KR100828943B1 - 3t-4s 스텝 & 리피트 단위 셀 및 상기 단위 셀을 구비한 이미지센서, 데이터 저장 장치, 반도체 공정 마스크, 반도체 웨이퍼 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (29)
- 제1포토다이오드(0,0);상기 제1포토다이오드의 대각선 방향으로 배치된 제2포토다이오드(1,1);상기 제2포토다이오드의 한 쪽 옆에 배치된 제3포토다이오드(1,2); 및상기 제2포토다이오드의 상부에 배치된 제4포토다이오드(2,1)를 구비하며,상기 제1포토다이오드 및 상기 제2포토다이오드는 4개의 트랜지스터와 결합하여 제1공유 이미지센서 단위 셀을 구성하고, 상기 제3포토다이오드 및 상기 제4포토다이오드는 4개의 트랜지스터와 결합하여 제2공유 이미지센서 단위 셀을 구성하며,상기 제1포토다이오드 및 상기 제2포토다이오드에 입사된 영상에 대응되는 신호는 제1공통검출라인(OUT1)을 통하여 출력되고, 상기 제3포토다이오드 및 상기 제4포토다이오드에 입사된 영상에 대응되는 신호는 제2공통검출라인(OUT2)을 통하여 출력되며, 상기 4개의 포토다이오드의 일 단자는 제1전압원에 연결된 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제1항에 있어서, 상기 제1공유 이미지센서 단위 셀은,일 단자가 상기 제1포토다이오드(0,0)의 다른 일 단자에 연결되고 게이트에 제1전달신호(Tx0)가 인가된 제1전달트랜지스터(M1);일 단자가 상기 제2포토다이오드(1,1)의 다른 일 단자에 연결되고 게이트에 제2전달신호(Tx1)가 인가된 제2전달트랜지스터(M2);일 단자가 상기 제1전달트랜지스터(M1) 및 상기 제2전달트랜지스터(M2)의 다른 일 단자의 공통노드(FD node01)에 연결되고 다른 일 단자가 선택신호(Sx)에 연결되며 게이트에 제01리셋신호(Rx01)가 인가되는 제1리셋트랜지스터(M3); 및일 단자가 상기 선택신호(Sx) 또는 제2전압원(Vdd)에 연결되고 다른 일 단자가 제1공통검출라인(OUT1)에 연결되며 게이트가 상기 제1전달트랜지스터 및 상기 제2전달트랜지스터의 다른 일 단자의 공통노드(FD node01)에 연결된 제1변환트랜지스터(M4)를 구비하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제2항에 있어서, 상기 제2공유 이미지센서 단위 셀은,일 단자가 상기 제3포토다이오드(1,2)의 다른 일 단자에 연결되고 게이트에 제2전달신호(Tx1)가 인가된 제3전달트랜지스터(M5);일 단자가 상기 제4포토다이오드(2,1)의 다른 일 단자에 연결되고 게이트에 제3전달신호(Tx2)가 인가된 제4전달트랜지스터(M6);일 단자가 상기 제3전달트랜지스터(M5) 및 상기 제4전달트랜지스터(M6)의 다른 일 단자의 공통노드(FD node12)에 연결되고 다른 일 단자가 선택신호(Sx)에 연결된 제2리셋트랜지스터(M7); 및일 단자가 상기 선택신호(Sx) 또는 제2전압원(Vdd)에 연결되고 다른 일 단자가 제2공통검출라인(OUT2)에 연결되며 게이트가 상기 제3전달트랜지스터(M5) 및 상기 제4전달트랜지스터(M6)의 다른 일 단자의 공통노드(FD node12)에 연결된 제2변환트랜지스터(M7)를 구비하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제3항에 있어서,상기 제1전압원은 접지전압(GND)으로 구성되고, 상기 제2전압원은 제1전압원보다 전압준위가 높은 전압원(Vdd)으로 구성된 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제1항에 있어서,상기 제1포토다이오드(0,0)와 상기 제2포토다이오드(1,1)가 제1필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 동작하면 상기 제3포토다이오드(1,2)와 상기 제4포토다이오드(2,1)는 제2필터 및 제3필터를 각각 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 동작하며, 상기 제3포토다이오드(1,2)와 상기 제4포토다이오드(2,1)가 제1필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 동작하면 상기 제1포토다이오드(0,0)와 상기 제2포토다이오드(1,1)는 제2필터 및 제3필터를 각각 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 동작하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제5항에 있어서,상기 제1필터는 그린(Green) 필터, 상기 제2필터 및 상기 제3필터는 각각 레드(Red) 필터 및 블루(Blue) 필터 중 하나인 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리 피트 단위 셀.
- 제3항에 있어서,상기 제01리셋신호(Rx01)는 상기 제1전달신호(Tx0) 및 상기 제2전달신호(Tx1)와 관련되어 한 번 씩 인에이블 되며,상기 제12리셋신호(Rx12)는 상기 제2전달신호(Tx1) 및 상기 제3전달신호(Tx2)와 관련되어 한 번 씩 인에이블 되고,상기 선택신호(Sx01)는 상기 제1전달신호(Tx0), 상기 제2전달신호(Tx1) 및 상기 제3전달신호(Tx3)와 관련되어 한 번 씩 인에이블 되는 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 청구항 제1항에 기재된 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀 복수 개가 2차원으로 배열된 3T-4S 이미지센서에 있어서,상기 2차원으로 배열된 복수 개의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들 사이에 수직방향 또는 수평방향으로 복수 개의 공통검출라인이 배치되고,상기 복수 개의 공통검출라인을 따라 배열된 복수 개의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들은 포토다이오드들에 입사된 영상신호에 대응되는 변환전압들을 인접한 2개의 공통검출라인을 통하여 출력하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 이미지센서.
- 제8항에 있어서, 각각의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들은,그린 필터(Green Filter)를 통하여 2개의 포토다이오드에 입사된 영상신호에 대응되는 변환전압은 하나의 공통검출라인을 통해 출력하고, 레드 필터(Red Filter) 및 블루 필터(Blue)를 통하여 다른 2개의 포토다이오드에 입사된 영상신호에 대응되는 변환전압은 다른 하나의 공통검출라인을 통해 출력하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 이미지센서.
- 제9항에 있어서,상기 하나의 공통검출라인과 상기 다른 하나의 공통검출라인은 상기 2차원으로 배열된 복수 개의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들을 관통한 것과 상기 단위 셀에 인접하게 배치된 것 중 각각 하나인 것을 특징으로 하는 3T-4S 이미지센서.
- 제10항에 있어서,상기 복수 개의 공통검출라인은 그린 필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 생성된 변환전압을 출력하는 공통검출라인 및 레드 필터와 블루 필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 생성된 변환전압을 출력하는 공통검출라인이 번갈아 가면서 배치되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 이미지센서.
- 제1포토다이오드(0,0);상기 제1포토다이오드의 상부에 배치된 제2포토다이오드(1,0);상기 제2포토다이오드의 한 쪽 옆에 배치된 제3포토다이오드(1,1); 및상기 제3포토다이오드의 상부에 배치된 제4포토다이오드(2,1)를 구비하며,상기 제1포토다이오드(0,0) 및 상기 제3포토다이오드(1,1)는 4개의 트랜지스터와 결합하여 제1공유 이미지센서 단위 셀을 구성하고, 상기 제2포토다이오드(1,0) 및 상기 제4포토다이오드(2,1)는 4개의 트랜지스터와 결합하여 제2공유 이미지센서 단위 셀을 구성하며,상기 제2포토다이오드(1,0) 및 상기 제4포토다이오드(2,1)에 입사된 영상에 대응되는 신호는 제1공통검출라인(OUT1)을 통하여 출력되며, 상기 제1포토다이오드(0,0) 및 상기 제3포토다이오드(1,1)에 입사된 영상에 대응되는 신호는 제2공통검출라인(OUT2)을 통하여 출력되고, 상기 4개의 포토다이오드의 일 단자는 제1전압원에 연결된 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제12항에 있어서, 상기 제1공유 이미지센서 단위 셀은,일 단자가 상기 제1포토다이오드의 다른 일 단자에 연결되고 게이트에 제1전달신호(Tx0)가 인가된 제1전달트랜지스터(M1);일 단자가 상기 제3포토다이오드의 다른 일 단자에 연결되고 게이트에 제2전달신호(Tx1)가 인가된 제2전달트랜지스터(M2);일 단자가 상기 제1전달트랜지스터 및 상기 제2전달트랜지스터의 다른 일 단자의 공통노드(FD node01)에 연결되고 다른 일 단자가 선택신호(Sx)에 연결되며 게이트에 제01리셋신호(Rx01)가 인가되는 제1리셋트랜지스터(M3); 및일 단자가 상기 선택신호(Sx) 또는 제2전압원(Vdd)에 연결되고 게이트가 상기 제1전달트랜지스터 및 상기 제2전달트랜지스터의 다른 일 단자의 공통노드(FD node01)에 연결된 제1변환트랜지스터(M4)를 구비하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제13항에 있어서, 상기 제2공유 이미지센서 단위 셀은,일 단자가 상기 제2포토다이오드의 다른 일 단자에 연결되고 게이트에 제2전달신호(Tx1)가 인가된 제3전달트랜지스터(M5);일 단자가 상기 제4포토다이오드의 다른 일 단자에 연결되고 게이트에 제3전달신호(Tx2)가 인가된 제4전달트랜지스터(M6);일 단자가 상기 제3전달트랜지스터(M5) 및 상기 제4전달트랜지스터(M6)의 다른 일 단자의 공통노드(FD node12)에 연결되고 다른 일 단자가 선택신호(Sx)에 연결된 제2리셋트랜지스터(M7); 및일 단자가 상기 선택신호(Sx) 또는 제2전압원(Vdd)에 연결되고 게이트가 상기 제3전달트랜지스터(M5) 및 상기 제4전달트랜지스터(M6)의 다른 일 단자의 공통노드(FD node12)에 연결된 제2변환트랜지스터(M8)를 구비하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제14항에 있어서,상기 제1전압원은 접지전압(GND)으로 구성되고, 상기 제2전압원은 제1전압원보다 전압준위가 높은 전압원(Vdd)으로 구성된 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제12항에 있어서,상기 제1포토다이오드(0,0)와 상기 제3포토다이오드(1,1)가 제1필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 동작하면 상기 제2포토다이오드(1,0)와 상기 제4포토다이오드(2,1)는 제2필터 및 제3필터를 각각 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 동작하며, 상기 제2포토다이오드(1,0)와 상기 제4포토다이오드(2,1)가 제1필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 동작하면 상기 제1포토다이오드(0,0)와 상기 제3포토다이오드(1,1)는 제2필터 및 제3필터를 각각 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 동작하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제16항에 있어서,상기 제1필터는 그린(Green) 필터, 상기 제2필터 및 상기 제3필터는 각각 레드(Red) 필터 및 블루(Blue) 필터 중 하나인 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 제14항에 있어서,상기 제01리셋신호(Rx01)는 상기 제1전달신호(Tx0) 및 상기 제2전달신호(Tx1)와 관련되어 한 번 씩 인에이블 되며,상기 제12리셋신호(Rx12)는 상기 제2전달신호(Tx1) 및 상기 제3전달신 호(Tx2)와 관련되어 한 번 씩 인에이블 되고,상기 선택신호(Sx01)는 상기 제1전달신호(Tx0), 상기 제2전달신호(Tx1) 및 상기 제3전달신호(Tx2)와 관련되어 한 번 씩 인에이블 되는 것을 특징으로 하는 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀.
- 청구항 제12항에 기재된 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀 복수 개가 2차원으로 배열된 3T-4S 이미지센서에 있어서,상기 2차원으로 배열된 복수 개의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들 사이에 수직방향 또는 수평방향으로 복수 개의 공통검출라인이 배치되고,상기 복수 개의 공통검출라인을 따라 배열된 복수 개의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들은 포토다이오드들에 입사된 영상신호에 대응되는 변환전압들을 인접한 2개의 공통검출라인을 통하여 출력하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 이미지센서.
- 제19항에 있어서, 각각의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들은,그린 필터(Green Filter)를 통하여 2개의 포토다이오드에 입사된 영상신호에 대응되는 변환전압은 하나의 공통검출라인을 통해 출력하고, 레드 필터(Red Filter) 및 블루 필터(Blue)를 통하여 다른 2개의 포토다이오드에 입사된 영상신호에 대응되는 변환전압은 다른 하나의 공통검출라인을 통해 출력하는 것을 특징으로 하는 3T-4S 이미지센서.
- 제20항에 있어서,그린 필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 생성된 변환전압을 출력하는 공통출력라인 및 레드 필터와 블루 필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 생성된 변환전압을 출력하는 공통출력라인이 번갈아 가면서 배치되는 것을 특징으로 하는 3T-4S 이미지센서.
- 제19항에 있어서,상기 2차원으로 배열된 복수 개의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들의 양 쪽 가장자리에는 하나씩의 공통검출라인이 배치되고 상기 복수 개의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들의 중간에는 각각 2개씩의 공통검출라인이 배치되며,상기 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들의 양 쪽에 하나씩 배치된 2개의 공통검출라인 중 한 쪽에 배치된 하나의 공통검출라인을 통해서는 그린 필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 생성된 변환전압이 출력되고, 반대 편 쪽에 배치된 나머지 하나의 공통검출라인을 통해서는 레드 필터 및 블루 필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 생성된 변환전압이 출력되는 것을 특징으로 하는 3T-4S 이미지센서.
- 제19항에 있어서,상기 2차원으로 배열된 복수 개의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들의 한 쪽 가장자리에는 공통검출라인이 배치되지 않고, 상기 복수 개의 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들의 중간 및 다른 한 쪽 가장자리에는 각각 2개씩의 공통검출라인이 배치되며,상기 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀들의 한 쪽에 배치된 2개의 공통검출라인 중 하나의 공통검출라인을 통해서는 그린 필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 생성된 변환전압이 출력되고, 나머지 하나의 공통검출라인을 통해서는 레드 필터 및 블루 필터를 통하여 입사된 영상신호에 대응하여 생성된 변환전압이 출력되는 것을 특징으로 하는 3T-4S 이미지센서.
- 청구항 제1항에 기재된 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀을 구현한 레이아웃 패턴에 대한 정보가 포함된 데이터 저장 장치.
- 청구항 제24항에 기재된 데이터 저장 장치에 저장된 레이아웃 패턴에 대한 정보를 이용하여 생성된 반도체 공정 마스크.
- 청구항 제25항에 기재된 반도체 공정 마스크를 이용하여 구현시킨 반도체 웨이퍼.
- 청구항 제13항에 기재된 3T-4S 스텝 & 리피트 단위 셀을 구현한 레이아웃 패턴에 대한 정보가 포함된 데이터 저장 장치.
- 청구항 제27항에 기재된 데이터 저장 장치에 저장된 레이아웃 패턴에 대한 정보를 이용하여 생성된 반도체 공정 마스크.
- 청구항 제28항에 기재된 반도체 공정 마스크를 이용하여 구현시킨 반도체 웨이퍼.
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