KR100815449B1 - 버티컬 핸들러 및 버티컬 핸들러의 구동 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 버티컬 핸들러는 다수의 튜브가 적재되는 튜브 피딩부와, 상기 튜브에 의해서 일렬로 하강되는 반도체 소자가 소정의 슈트를 따라 하나씩 공급될 수 있도록 하기 위하여 슈트의 상측에 일렬로 형성되는 제 1 스토퍼 및 제 2 스토퍼가 포함되는 소자 피딩부와, 퍼스널 컴퓨터에 의하여 편집/기록된 데이터가 상기 반도체 소자에 기록/검사되도록 하기 위하여 최소한 반도체 소자 소켓이 포함되는 소자 기록/검사부와, 상기 소자 피딩부로부터 하나씩 공급되는 반도체 소자가 상기 소자 기록/검사부로 이송되며, 또 다른 반도체 소자가 상기 소자/기록 검사부로부터 제거되도록 하기 위하여 두개의 흡착부재가 형성된 소자 이송부와, 상기 소자 이송부로부터 제거된 반도체 소자의 정상 또는 불량에 따라 선별되도록 하기 위한 소정의 선형 동작 기구가 포함된 소자 선별부와, 상기 소자 선별부로부터 옮겨진 상기 반도체 칩이 저장되도록 하기 위한 소자 저장부가 포함되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 버티컬 핸들러는 슈트를 따라 자중에 의해 슬라이딩 공급되는 반도체 소자의 원활한 흐름을 유도하여 반도체 소자의 흐름에서 발생될 수 있는 잼 현상이 효과적으로 억제될 수 있는 효과가 있다.

버티컬 핸들러

Description

버티컬 핸들러 및 버티컬 핸들러의 구동 방법{Operating method of vertical handler and handler}

도 1은 본 고안에 따른 버티컬 핸들러의 사시도.

도 2는 본 고안에 따른 버티컬 핸들러의 작동 상태를 설명하기 위한 블록도.

도 3은 본 고안에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 피딩부의 확대 사시도.

도 4는 본 고안에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 이송부의 부분 확대도.

도 5는 본 고안에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 선별부의 동작을 설명하는 도면.

도 6은 본 고안에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 저장부의 확대 사시도.

도 7은 본 고안에 따른 버티컬 핸들러의 동작 방법을 설명하는 플로우 차트.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 튜브 피딩부 200 : 소자 피딩부

300 : 소자 이송부 400 : 소자 기록/검사부

500 : 소자 선별부 600 : 소자 저장부

본 발명은 버티컬 핸들러(Vertical handler)의 구동 방법 및 버티컬 핸들러 구동 장치에 관한 것으로서, 보다 상세히는 반도체 소자가 자동으로 공급되어 소정의 데이터가 저장되고, 또한 저장된 데이터의 정상적인 기록 여부가 테스트되어 정상적인 기록이 이루어진 반도체 소자 및 비 정상적인 기록이 이루어진 반도체 소자가 자동으로 분류되어 저장될 수 있도록 하는 버티컬 핸들러의 구동 방법 및 구동 장치에 관한 것이다.

버티컬 핸들러는 하측으로 경사져 형성된 슈트(Chute)에 가이드되어 반도체 소자가 낙하하며, 낙하하는 동안의 정지 동작 중에 반도체 소자가 멈추어져 반도체 소자 소켓에 삽입되어 소정의 데이터가 기록 및 테스트되고, 또한, 기록 및 테스트된 반도체 소자가 소정의 칩 저장부에 선별되어 저장되도록 하는 장치이다. 한편, 상기 버티컬 핸들러의 주된 기능은, 소정의 튜브에 저장되어 있는 반도체 소자에 데이터가 기록 및 테스트된 후, 배출되는 동작 중에 자동으로 선별이 이루어져 저장되도록 하는 것을 주된 것으로 한다.

그러나, 종래의 버티컬 핸들러는 반도체 소자가 일렬로 하나씩 공급되도록 하는 반도체 소자 피딩부의 동작이 원활하지 않아, 반도체 소자가 포게지는 등 잼이 종종 일어나게 되는 단점이 있다.

또한, 종래의 버티컬 핸들러는 반도체 소자에 소정의 데이터가 기록/저장된 후에 이송되는 동작등의 반도체 소자의 운반 중에, 반도체 소자가 하나씩만 운송이 이루어지도록 함으로써, 버티컬 핸들러의 효율이 떨어지는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 버티컬 핸들러는 원 반도체가 하나 위치되며 그 반도체 소자의 복사 목적이나, 기록되어야 하는 원래의 프로그램 편집을 위한 별도의 기기가 요구되는 단점이 있다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 소자의 운송이 원활히 이루어져 반도체 소자의 이송 중에 발생되는 잼 현상이 억제되도록 하는 버티컬 핸들러의 구동 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 반도체 소자의 이송 동작 중에 한 번에 적재 및 배출의 동작이 이루어지도록 하여, 핸들러에 의한 생산 효율을 높일 수 있도록 하는 버티컬 핸들러의 구동 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 구동 방법은 반도체 소자가 일렬로 공급되는 선로 상의 저지부로서 제 1 스토퍼 및 상기 제 1 스토퍼의 하측에 형성되는 제 2 스토퍼가 모두 하측으로 이동되어 반도체 소자의 진로가 저지되는 단계; 상기 제 1 스토퍼의 개방에 의하여 상기 반도체 소자가 슈트를 따라 하강되는 단계; 상기 제 1 스토퍼는 저지되고, 동시에 제 2 스토퍼는 개방되도록 하여 반도체 소자가 하나씩 공급되는 단계; 상기 제 2 스토퍼가 저지되어 또 다른 하나의 반도체 공급을 대비하는 단계; 상기 반도체 소자가 소자 기록/검사부로 이송되는 중에, 소자 기록/검사부에 의하여 이미 기록 및 검사 과정이 끝난 또 다른 하나의 반도체 소자가 상기 소자 선별부로 이송되는 단계; 반도체 소자에 소정의 데이터가 기록/저장 완결된 뒤에는 정상 또는 불량이 판단되어, 정상/불량에 따라 반도체 소자가 선별되는 단계; 및 상기 반도체 소자가 선별된 뒤에는 반도체 소자가 소정의 튜브에 저장되는 단계가 포함되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 버티컬 핸들러는 다수의 튜브가 적재되는 튜브 피딩부와, 상기 튜브에 의해서 일렬로 하강되는 반도체 소자가 소정의 슈트를 따라 하나씩 공급될 수 있도록 하기 위하여 슈트의 상측에 일렬로 형성되는 제 1 스토퍼 및 제 2 스토퍼가 포함되는 소자 피딩부와, 퍼스널 컴퓨터에 의하여 편집/기록된 데이터가 상기 반도체 소자에 기록/검사되도록 하기 위하여 최소한 반도체 소자 소켓이 포함되는 소자 기록/검사부와, 상기 소자 피딩부로부터 하나씩 공급되는 반도체 소자가 상기 소자 기록/검사부로 이송되며, 또 다른 반도체 소자가 상기 소자/기록 검사부로부터 제거되도록 하기 위하여 두개의 흡착부재가 형성된 소자 이송부와, 상기 소자 이송부로부터 제거된 반도체 소자의 정상 또는 불량에 따라 선별되도록 하기 위한 소정의 선형 동작 기구가 포함된 소자 선별부와, 상기 소자 선별부로부터 옮겨진 상기 반도체 칩이 저장되도록 하기 위한 소자 저장부가 포함되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 의하여 반도체 소자의 이송에 있어서 반도체 소자의 이송이 원활히 이루어져 핸들러에 의한 반도체의 데이터 수록 효율이 한층 더 높아질 수 있는 효과가 있다.

이하에서는 본 발명의 넓은 사상에 속하는 구체적인 실시예를 설명하도록 한다. 다만, 이미 널리 알려져 공지된 바가 있는 기술에 대해서는 그 상세한 설명은 생략하도록 한다.

도 1은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 버티컬 핸들러는 내부에 다수의 반도체 소자가 일렬로 적재되는 다수의 튜브가 상하로 적층되어 반도체 소자가 연속적으로 배출되도록 하기 위한 튜브 피딩부(100)와, 상기 튜브 피딩부(100)에서 일렬지어 연속적으로 배출되는 반도체 소자가 안정되게 하나씩 공급되도록 하기 위한 소자 피딩부(200)와, 반도체 소자에 데이터를 수록하고, 또한, 수록된 데이터의 정상적인 수록 여부가 확인되어 정상 또는 불량의 여부가 체크되도록 하기 위한 소자 기록/검사부(400)와, 상기 소자 피딩부(200)로 부터 상기 소자 기록/검사부(400)로 운반되도록 하고, 또한, 상기 소자 기록/검사부(400)에서 기록/검사된 반도체 소자가 배출되도록 하기 위한 칩 이송부(300)와, 상기 소자 기록/검사부(400)에서 배출되는 반도체 소자가 정상적으로 배출되어 정상 또는 불량의 여부에 따라 소정의 적재 구조에 저장되도록 하기 위한 칩 선별부(500)와, 상기 칩 선별부(500)로 부터 배출되는 반도체 소자가 소정의 적재 튜브에 저장되도록 하는 칩 저장부(600)가 포함된다.

설명된 바와 같은 개략적인 구성을 보다 상세히 설명하면, 상기 튜브 피딩부(100)는 소정의 가이드 구조에 의하여 튜브가 적재되며, 상기 튜브의 속에는 다수의 반도체 소자가 일렬로 삽입되어 있다. 그리고, 하나의 튜브 속에 삽입되어 있는 반도체 소자는 일렬로 연속적으로 배출되는데, 상기 반도체 소자가 전부 배출된 뒤에는 소정의 센서에 의하여 최하층의 튜브는 낙하되고, 상기 최하층 튜브의 직근 상측 튜브가 한 층 내려와, 또 다시 튜브 내에 적재되어 있는 반도체 소자가 배출되도록 한다.

또한, 상기 소자 피딩부(200)는 상기 튜브 피딩부(100)로 부터 연속적으로 배출되는 반도체 소자가 소정의 스토퍼 구조에 의해 단속되어 한번의 클럭(핸들러가 동작되는 소정의 단위)에 하나의 반도체 소자만이 슈트를 따라 활강되도록 한다. 이와 같은 소자 피딩부(200)에 의하여 한번의 클럭에 하나의 반도체만이 활강됨으로써, 반도제 소자의 잼 현상이 효과적으로 억제될 수 있다.

한편, 상기 소자 피딩부(200)의 하단에는 걸림턱이 형성되어 활강된 반도체 소자가 정지상태에서 대기하게 된다.

또한, 상기 소자 이송부(300)는 상기 걸림턱에서 정지하여 대기하고 있는 반도체 소자가 공기의 진공 흡입력에 의하여 흡착되어, 상하로의 동작 및 좌우로의 동작에 의하여 흡착된 반도체 소자가 소자 기록/검사부(400)로 이송될 수 있도록 한다.

또한, 상기 소자 기록/검사부(400)는 아이씨 소켓(IC Socket) 및 소정의 푸쉬 구조가 포함되어, 아이씨 소켓에 적재되는 반도체 소자의 리드가 소켓에 접촉된 상태에서 데이터가 수록및 검사될 수 있도록 한다.

또한, 상기 소자 선별부(500)는 데이터가 수록된 반도체 소자가 상기 소자 기록/검사부(400)로부터 상기 소자 이송부(300)에 의해 배출된 뒤에, 적재 튜브의 용량 및 반도체 소자 기록의 정상/불량의 여부가 판단되어 적절한 위치에 반도체 소자가 적재될 수 있도록 한다. 그리고, 상기 소자 선별부(500)는 좌우로 움직이는 선형 모드로서, 반도체 소자가 적절한 위치에 놓여 멈춰진 뒤에, 소자 선별부(500) 의 위치가 적정 위치에 선형이동 되도록 한 뒤에, 상기 스토퍼가 개방되도록 함으로써, 자중에 의하여 반도체 소자가 낙하되어 저장되도록 한다.

또한, 상기 소자 저장부(600)는 낙하되는 반도체 소자의 개수가 센서에 의하여 확인되는 상태에서 동작됨으로써, 계속해서 낙하되는 반도체 소자의 개수가 확인되어, 적재 튜브에 반도체 소자가 적재된 정도가 확인될 수 있도록 한다. 한편, 상기 소자 저장부(600)에 형성되는 소정의 최소한 하나 이상의 튜브에는 기록 상태가 불량인 반도체 소자가 저장되도록 하는 것이 바람직하다.

도 2는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 작동 상태를 설명하기 위한 블록도이다.

도 2를 참조하여 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 블록 구성을 설명하면, 버티컬 핸들러의 내부 구성은 전체로서 버티컬 핸들러가 제어되도록 하기 위한 마이크로 콘트롤러(10)와, 상기 마이크로 콘트롤러(10)에 의해 제어되어 소정의 데이터가 입력또는 테스트되도록 하기 위한 프로그램부(20)와, 상기 마이크로 콘트롤러(10)에 의해 제어되어 상기 소자 이송부(300) 및 소자 선별부(500)가 적절히 제어되어 동작되도록 하기 위한 모터 구동부(30)와, 상기 프로그램부(20)로 기록하고자 하는 데이터가 전송되고, 또한 기록된 데이터의 정상 여부가 판별되도록 하기위한 퍼스널 컴퓨터(80)가 주요한 구성으로서 포함된다.

보다 상세히, 상기 프로그램부(20)는 반도체 소자에 소정의 데이터가 수록되도록 하기위한 프로그램 입력부(21)와, 입력된 데이터의 정상 기록 여부가 검사되도록 하기 위한 테스트부(22)가 포함된다.

보다 상세히, 상기 마이크로 콘트롤러(10)는 상기 프로그램 입력부(21)가 제어되도록 하기 위한 프로그램 제어부(11)와, 상기 테스트부(22)가 제어되도록 하기 위한 테스트 제어부(12)와, 핸들러의 물리적인 동작이 제어되도록 하기 위한 기기 제어부(13)가 포함된다.

보다 상세히, 상기 모터 구동부(30)는 상기 소자 이송부(도 1의 300참조)와 상기 소자 선별부(500)가 적절히 구동되도록 하기 위하여, 상기 기기 제어부(13)로 부터의 제어 신호에 의해 적절히 구동되도록 하는 모터 콘트롤러(31a)(31b)와, 모터가 구동되도록 하기 위한 드라이버(32a)(32b)와, 모터가 포함되어 소정의 선형 동작이 이루어지도록 하기위한 소자 이송 구동부(33a)와 소자 선별 구동부(33b)가 포함된다.

한편, 상기 기기제어부(13)에 의해 제어되는 구성요소로는 진공 상태의 조성을 위한 펌프가 최소한 포함되는 압력기기(40)와, 반도체 소자의 위치가 확인되도록 하기 위하여 다수의 센서가 포함되는 센서부(50)와, 반도체 소자가 정상적으로 기록되지 못한 경우에, 해당되는 소자를 따로이 수납되어 반도체 소자의 기록이 삭제되도록 하기 위한 프로그램 이레이저(Program Eraser)(60)와, 반도체 소자에 정상적으로 데이터가 기록된 경우에 반도체 소자에 일정의 라벨이 찍히도록 하기 위한 라벨 프린터(70)와, 상기 소자 피딩부(200)가 동작되도록 하기 위한 스토퍼 제어부(90)가 더 포함된다.

한편, 버티컬 핸들러의 상면에 놓여 사용자가 핸들러의 온/오프 또는 동작 제어를 위한 신호가 입력되도록 하는 입력부(14)와, 상기 입력부(14)와 함께 형성 되어 핸들러의 상태가 표시되도록 하는 디스플레이부(15)가 더 형성된다.

도 3은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 피딩부의 확대 사시도이다.

도 3을 참조하면, 상기 소자 피딩부(도 1의 200참조)는 반도체 소자의 진행 방향을 기준으로 하측으로 기울어져 형성되는 슈트(Chute)(210)와, 상기 슈트(210)의 이격된 상측에 형성되어 자중에 의하여 하측으로 진행되는 반도체 소자가 걸려 멈춰지도록 하기 위한 제 1 스토퍼(215)와, 상기 제 1 스토퍼(215)의 하측에 형성되는 제 2 스토퍼(220)와, 상기 제 1 스토퍼(215)의 직근 상측에서 슈트(210)의 측면에 형성되어 반도체 소자의 존재 여부가 감지되도록 하기 위한 소자 소진 센서(225)와, 소자 피딩부(도 1의 200참조)의 최하단에 형성되어 하나씩 공급되는 반도체 소자의 위치가 일정 시간 동안 유지되어 소자 이송부(300)에 의해 이송될 수 있도록 하기 위한 걸림판(235)과, 상기 걸림판(235)의 측면 슈트(210)에 형성되어 상기 걸림판(235)에 반도체 소자가 위치되는 지의 여부가 확인되도록 하기 위한 제 1 위치 센서(230)가 최소한 포함된다. 다만, 반도체 소자의 크기에 따라 상기 소자 위치 센서(225)잼 현상이 억제되도록 하기 위하여 반도체 소자가 겹쳐질 수 있는 또 다른 위치에 센서가 형성되도록 할 수도 있다.

상기 제 1 스토퍼(215) 및 제 2 스토퍼(220)에는 솔레노이드 또는 공기압에 의한 피스톤과 같은 소정의 푸쉬수단에 의하여 상하로 선형 운동하게 된다. 또한, 상기 스토퍼(215)(220)의 하단이 슈트(210)의 상면 또는 반도체 소자의 상면에 닿아 스토퍼(215)(220)의 하측에 놓이는 반도체 소자의 진행이 방해되는 걸림턱으로 작동되어 반도체 소자가 하측으로 내려가지 않도록 한다.

한편, 상기 소자 소진 센서(225)는 슈트(210)를 따라 활강하는 반도체 소자의 크기에 따라 반도체 소자의 소진이 적절히 감지되도록 하기 위하여, 그 설치 위치가 변경될 수 있다. 이를 보다 상세히 설명하면, 소자 피딩부(200)의 슈트(210)에 저장되는 반도체 소자의 개수가 일정한 수준으로 유지되도록 하기 위하여, 반도체 소자의 크기가 큰 경우에는 대략 상측에 소자 소진 센서(225)가 놓이도록 하여 적절한 수의 반도체 소자가 소자 피딩부(200)에 공급되어 있도록 하고, 반도체 소자의 크기가 작은 경우에는 대략 하측에 소자 소진 센서(225)가 놓이도록 하여 적절한 수의 반도체 소자가 소지 피딩부(200)에 공급되어 있도록 하는 것이 바람직한 것이다.

상기 소자 피딩부(200)의 동작을 설명하도록 한다.

상기 스토퍼(215)(220)는 상하 방향으로 선형동작에 의해 하측에 놓이는 반도체 소자가 멈추게 되는 것을 살필 수 있다.

또한, 상기 소자 소진 센서(225)는 상기 제 1 스토퍼(215)의 상측으로 슈트(210)의 측벽에 형성되는 센서로서, 슈트(210)의 양측에 형성되어 하나의 튜브로부터 공급되는 반도체 소자가 모두 소진되면 이를 감지하여 튜브 피딩부(100)에 의하여 최하측의 튜브는 제거되고, 직극 상측의 튜브로 교체되도록 한다.

또한, 상기 제 1 위치 센서(230)는 슈트(230)의 하단에 형성되어 반도체 소자가 걸려있는 상태를 감지하여 반도체 소자가 하나씩 적절히 공급될 수 있도록 한다. 그리고, 제 1 위치 센서에 반도체 소자가 감지되지 않는 경우에는, 반도체 소 자의 공급에 이상이 발생된 것으로 핸들러의 동작이 정지되도록 하는 인터럽트 신호가 발생되도록 한다.

도 4는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 이송부의 부분 확대도이다.

도 4를 참조하면, 상기 소자 이송부(300)는 진공의 공기압에 의해서 반도체 소자가 흡착되도록 하기 위한 제 1 흡착부재(310) 및 제 2 흡착부재(315)와, 상기 흡착부재(310)(315)가 단부에 지지되는 일측의 양단부에 고정되는 이송 지지대(320)와, 이송 지지대(320) 타측 면의 하측에 형성되어 이송 지지대(320)가 상하로 동작가능토록 하기위한 상하 픽업부(325)가 포함된다.

보다 상세히, 상기 상하 픽업부(325)의 상하 동작에 의하여 제 1, 2 흡착부재(310)(315)가 상하로 움직이며, 반도체 소자가 흡착되어 이송될 수 있도록 한다. 그리고, 상기 상하 픽업부(325)의 동작은 공기압에 의한 푸쉬에 의해서 이루어진다.

한편, 상기 상하 픽업부(325)의 하측에는 타이밍 벨트 및 모터가 포함되는 선형 동작 기구가 형성되어 상기 상하 픽업부(325)가 좌우로 동작될 수 있도록 한다. 그리고, 상기 상하 픽업부(325)에 있어서 좌우로의 동작은 모터 구동부(도 2의 30참조)의 제어에 의해서 이루어진다.

도 5는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 선별부의 동작을 설명하는 도면이다.

도 5를 참조하면, 상기 소자 선별부(500)는 상기 소자 기록/검사부(400)에서 반도체 소자에 데이터가 기록 및 검사된 후에 배출되면, 반도체 소자의 정상 및 불 량의 여부가 확인되어 적절하게 배출되도록 하는 곳으로서, 하측에 타이밍 벨트 및 모터가 포함되는 소정의 선형 동작 기구가 형성되어 전후로 움직이게 되는 베이스와(525), 상기 베이스(525)의 상면에 형성되어 반도체 소자의 진행이 가이드되도록 하는 선별 슈트(520)와, 반도체 소자가 배출되기 전까지 움직이며 동요되지 않도록 하기 위하여 소자 선별부(500)의 하측 단부에 형성되는 제 3 스토퍼(510)와, 제 3 스토퍼(510)에 의하여 반도체 소자가 멈추어진 것이 확인되도록 하기위한 제 2 위치 센서(515)가 포함된다.

상기 소자 선별부(500)의 동작을 설명하면, 상기 베이스(525)는 베이스(525)의 하측에 형성되며 상기 모터 구동부(도 2의 30참조)의 소자 선별 구동부(도 2의 33c참조)에 의하여 구동되는 모터 및 상기 모터와 연결되는 타이밍 벨트에 의하여 전후로 동작된다.

설명된 바와 같은 동작을 참조하면, 상기 소자 이송부(300)에 의하여 이송된 반도체 소자는, 상기 슈트(520)의 상단에 놓인 뒤에 슈트(520)에 의하여 가이드되어 하측으로 이동되며, 이동되는 중에 슈트(520)의 하단에 형성된 제 3 스토퍼(510)에 걸려 진행이 멈추어지게 된다.

또한, 제 3 스토퍼(510)에 반도체 소자가 걸린 후에는, 베이스(525)가 이동되어 소자 저장부(도 1의 600참조)상의 적절한 위치에 놓이게 된다. 적절한 위치로 베이스(525)가 이동된 뒤에는 상기 제 3 스토퍼(510)가 개방되어 반도체 소자가 소자 저장부(600)로 배출된다.

도 6은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 저장부의 확대 사시도 이다.

도 6을 참조하면, 상기 소자 저장부는 기록/검사된 반도체 소자가 저장되도록 하기 위한 다수의 튜브가 삽입되는 튜브 삽입홈(610)과, 상기 튜브 삽입홈(610)에 삽입된 튜브의 위치가 고정되도록 하기위한 조임 부재(615)와, 상기 튜브 삽입홈(610)을 통하여 튜브에 반도체 소자가 저장되는 동안에, 하나의 튜브에 저장될 수 있는 반도체 소자의 용량이 가득 찬 경우에는 더이상 반도체 소자가 삽입되지 않도록 하기 위하여 저장되는 반도체 소자의 개수가 계속하여 카운터되도록 하기 위한 카운터 센서(620)가 포함된다.

상기 카운터 센서(620)에 의하여 저장되는 반도체 소자의 개수가 용량을 초과하는 경우에는, 상기 기기 제어부(13)에 의하여 제어되는 소자 선별 구동부(33c)를 제어하여, 더 이상 해당되는 튜브 삽입홈(610)으로는 상기 베이스(도 5의 525참조)가 진행되지 않도록 한다.

도 7은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 동작 방법을 설명하는 플로우 차트이다.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 핸들러는 상기 튜브 피딩부(100)에서 연속적으로 일렬로 정렬된 상태에서 반도체 소자가 공급되는 것을 상정한다. 반도체 소자가 일렬로 공급된 상태에서, 먼저 상기 제 1 스토퍼(215) 및 제 2 스토퍼(220)가 모두 하측으로 푸쉬되어 반도체 소자의 진로가 저지되도록 한다(ST 100). 그리고, 반도체 소자가 상기 제 1 스토퍼(215)에 의하여 저지된 후에는 제 1 스토퍼(215)의 개방에 의하여 반도체 소자가 슈트(도 3의 210참조)를 따라 이동되도록 한다(ST 110). 그리고, 제 1 스토퍼(215)는 저지되고, 제 2 스토퍼(220)는 개방되도록 하여 반도체 소자가 하나씩 공급되어 슈트(210)의 최하단으로 낙하되도록 한다(ST 120). 그리고, 상기 제 2 스토퍼(220)가 저지되어 또 다른 하나의 반도체 공급을 대비하도록 한다(ST 130).

상기 단계에 의하여 반도체 소자가 하나씩 공급된 후에는, 반도체 소자가 상기 소자 이송부(300)에 의하여 소자 기록/저장부(400)로 이송되는데, 이때 상기 소자 이송부(300)에는 두 개의 흡착부재(310)(315)가 구비되어 하나의 반도체 소자가 제 1 흡착부재(310)에 의하여 소자 기록/검사부(400)로 이송되는 중에, 제 2 흡착부재(315)에는 소자 기록/검사부(400)에 의하여 이미 기록 및 검사 과정이 끝난 또 다른 하나의 반도체 소자가 흡착되어 상기 소자 선별부(500)로 이송되도록 한다(ST 140).

그리고, 반도체 소자에 소정 데이터의 기록/검사 과정이 완결된 뒤에는 정상 또는 불량이 판단되어, 정상/불량에 따라 반도체 소자가 선별되도록 한다(ST 150). 상기 반도체 소자의 선별 단계(ST 150)에서 반도체 소자의 기록/검사는, 반도체 소자 소켓에 반도체 소자가 놓인 뒤에, 상기 프로그램 입력부(도 2의 21참조) 및 테스트부(도 2의 22참조)에 의하여 이루어진다.

한편, 상기 프로그램 입력부(21) 및 테스트부(22)는 상기 퍼스널 컴퓨터(80)의 제어에 의하여 이루어지는데, 퍼스널 컴퓨터(80)는 버티컬 핸들러와는 별도로 반도체 소자에 저장될 데이터가, 편집되고 또한 기록되는 부분이다. 그리고, 상기 퍼스널 컴퓨터(80)와 버티컬 핸들러와의 통신은 RS232케이블로 이루어진다.

반도체 소자가 선별된 뒤에는 반도체 소자가 소정의 튜브에 저장됨으로써, 반도체 소자의 기록/검사가 완결된 소자는 저장되며 핸들러에 의한 모든 공정이 종료된다(ST 160).

한편, 상기된 바와 같은 버티컬 핸들러의 구동 방법 중에 상기 소자 소진 센서(225)에 의하여 반도체 소자의 소진이 감지된 경우에는, 튜브 피딩부(100)에 소정의 신호가 인가되도록 하여, 새로운 튜브가 교체되도록 한다.

또한, 상기 제 1 위치 센서(230) 또는 제 2 위치 센서(515)(230)에 의하여 반도체 소자가 감지되는 않는 경우에는 소정의 경보 신호가 발생되도록 하며, 또한, 버티컬 핸들러의 동작이 정지 또는 종료되도록 하여 계속적으로 발생되는 핸들러의 보다 큰 고장이 방지되도록 한다.

본 발명에 따른 버티컬 핸들러는 슈트를 따라 자중에 의해 슬라이딩 공급되는 반도체 소자의 원활한 흐름을 유도하여 반도체 소자의 흐름에서 발생될 수 있는 잼 현상이 효과적으로 억제될 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 버티컬 핸들러는 반도체 소자의 이송에 있어서 반도체 소자의 이송이 원활히 이루어져 핸들러에 의한 반도체의 데이터 수록 효율이 한층 더 높아질 수 있는 효과가 있다.

또한, 반도체 소자에 기록/검사될 데이터가 퍼스널 컴퓨터와의 연계에 의하여 이루어짐으로써, 별도로 편집 및 저장됨으로써, 종래 반도체 소자의 복사에만 사용되었던 불편함이 극복되는 장점이 있다.

Claims (2)

1. 다수의 튜브가 적재되는 튜브 피딩부와,

   상기 튜브에 의해서 일렬로 하강되는 반도체 소자가 소정의 슈트를 따라 하나씩 공급될 수 있도록 하기 위하여 슈트의 상측에 일렬로 형성되는 제 1 스토퍼 및 제 2 스토퍼가 포함되는 소자 피딩부와,

   퍼스널 컴퓨터에 의하여 편집/기록된 데이터가 상기 반도체 소자에 기록/검사되도록 하기 위하여 최소한 반도체 소자 소켓이 포함되는 소자 기록/검사부와,

   상기 소자 피딩부로부터 하나씩 공급되는 반도체 소자가 상기 소자 기록/검사부로 이송되며, 또 다른 반도체 소자가 상기 소자/기록 검사부로부터 제거되도록 하기 위하여 두개의 흡착부재가 형성된 소자 이송부와,

   상기 소자 이송부로부터 제거된 반도체 소자의 정상 또는 불량에 따라 선별되도록 하기 위한 소정의 선형 동작 기구가 포함된 소자 선별부와,

   상기 소자 선별부로부터 옮겨진 상기 반도체 칩이 저장되도록 하기 위한 소자 저장부가 포함되는 것을 특징으로 하는 버티컬 핸들러.
2. 반도체 소자가 일렬로 공급되는 선로 상의 저지부로서 제 1 스토퍼 및 상기 제 1 스토퍼의 하측에 형성되는 제 2 스토퍼가 모두 하측으로 이동되어 반도체 소자의 진로가 저지되는 단계;

   상기 제 1 스토퍼의 개방에 의하여 상기 반도체 소자가 슈트를 따라 하강되 는 단계;

   상기 제 1 스토퍼는 저지되고, 동시에 제 2 스토퍼는 개방되도록 하여 반도체 소자가 하나씩 공급되는 단계;

   상기 제 2 스토퍼가 저지되어 또 다른 하나의 반도체 공급을 대비하는 단계;

   상기 반도체 소자가 소자 기록/검사부로 이송되는 중에, 소자 기록/검사부에 의하여 이미 기록 및 검사 과정이 끝난 또 다른 하나의 반도체 소자가 상기 소자 선별부로 이송되는 단계;

   반도체 소자에 소정의 데이터가 기록/저장 완결된 뒤에는 정상 또는 불량이 판단되어, 정상/불량에 따라 반도체 소자가 선별되는 단계; 및

   상기 반도체 소자가 선별된 뒤에는 반도체 소자가 소정의 튜브에 저장되는 단계가 포함되는 것을 특징으로 하는 버티컬 핸들러의 구동 방법.

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