KR100805375B1

KR100805375B1 - 밀폐형 직선 이송로봇

Info

Publication number: KR100805375B1
Application number: KR1020060136736A
Authority: KR
Inventors: 한월숙
Original assignee: 한월숙; 주식회사 알파로보틱스
Priority date: 2006-12-28
Filing date: 2006-12-28
Publication date: 2008-02-20

Abstract

본 발명은 밀폐형 직선 이송로봇에 관한 것으로서, 긴 행정거리를 제공하면서도 저렴한 가격대에 보급하고, 정밀이동성, 고속이동성, 파티클(particle) 유입차단, 저소음 이송이 가능한 밀폐형 직선 이송로봇을 제공할 수 있게 한 것이다.

즉, 본 발명은 커버(3)로 양단부가 밀폐되는 메인프레임(2)에 슬라이드부재(4)에 의해 슬라이드 이동하는 테이블(5)을 설치하며, 메인프레임(2)의 상부에는 테이블(5)에 형성된 공간(5a)을 통해 양측 커버(3)에 고정되는 덮개(6)로 덮여지며, 테이블(6)을 구동하는 구동수단(10)으로 래크(11)와 피니언(16)을 사용한 직선 이송로봇(1)에 있어서,

상기 래크(11)는 메인프레임(2)의 길이방향으로 고정 설치되며, 래크(11)에 치 결합되는 피니언(16)을 구동하는 정역모터(13)와 감속기(14)는 덮개(6) 아래쪽에 내장 설치되며, 피니언(16)이 일체 형성된 출력축(15)은 백래쉬 보정수단에 의해 테이블(5)에 고정되며, 백래쉬 보정수단은 테이블(5)에 형성된 나사공(5c)에 볼트(20)를 결합하는 하우징(19)의 중심을 출력축(15)을 결합한 상태에서 지지되는 베어링(18)의 중심과 편심되게 구성하거나, 구동수단(10)으로 타이밍벨트(21)(26)와 피니언(16)을 적용토록 한 것으로서, 본 발명에 의하면 반도체, 핸드폰, PDP, LCD, 유기EL와 같은 평판 디스플레이 등을 제조하기 위한 클린룸 내에 설치하는 각종 정밀한 이송 및 얼라인장치에 적용할 수 있는 밀폐형 직선 이송로봇(1)을 중저가에 보급할 수 있는 것이다.

밀폐형 직선 이송로봇, 슬라이드부재, 덮개, 구동수단, 래크, 피니언, 타이밍벨트

Description

밀폐형 직선 이송로봇{Hermetic type linear transfer robot}

도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시예를 보인 정면도

도 2는 본 발명 제1실시예의 평면도

도 3은 본 발명 제1실시예의 측단면도

도 4는 본 발명의 출력축 결합상태를 보인 사시도

도 5는 본 발명의 백래쉬 보정수단을 보인 평면도

도 6은 본 발명 제2실시예의 평면도

도 7은 도 6의 요부 발췌 평면도

도 8은 본 발명 제2실시예의 다른 예를 보인 평면도

도 9는 도 8의 요부 발췌 평면도

도 10은 본 발명 제3실시예의 평면도

도 11은 도 10의 요부 발췌 평면도

도 12는 본 발명 제 2 및 제3실시예에 적용되는 고정수단 발췌 사시도

도 13은 본 발명 제 2 및 제3실시예에 적용되는 장력조절수단 발췌 사시도

도 14, 도 15는 도 13의 평단면도 및 정면도

■도면의 주요부분에 사용된 부호의 설명 ■

1:(밀폐형) 직선 이송로봇 2:메인프레임

3:커버 4:슬라이드부재

4a:LM가이드 4b:LM블록

5:테이블 5a:공간

5b:결합구멍 5c:나사공

6:덮개 10:구동수단

11:래크 12:볼트

13:정역모터 14:감속기

15:출력축 16:피니언

17:볼트 18:베어링

19:하우징 19a:조립구멍

20:볼트 21:타이밍벨트

22:피동피니언 23:벨트

24:고정수단 24a:받침구

25b:가압구 24c:볼트

25:장력조절수단 25a:받침구

25b:가압구 25c:볼트

25d:나사공 25e:지지체

25f:조절볼트 26:타이밍벨트

27:가이드롤러

본 발명은 밀폐형 직선 이송로봇에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 긴 행정거리를 제공하면서도 저렴한 가격대에 보급하고, 정밀이동성, 고속이동성, 파티클(particle) 유입차단, 저소음 이송이 가능한 밀폐형 직선 이송로봇을 제공할 수 있게 한 것이다.

반도체, 핸드폰, PDP, LCD, 유기EL와 같은 평판 디스플레이 제조를 위해 클린룸 내에 설치하는 각종 정밀한 이송 및 얼라인장치의 경우 좁은 공간 내에 설치되어 이용되고 있으며, 대부분의 이송장치는 볼 스크루타입 리니어 혹은 리니어 모터장치가 적용되어 사용되고 있다.

상기와 같이 널리 사용되고 있는 이송장치는 테이블을 이송시키는 구동수단인 정역모터로 구동되는 스크루가 처지지 않는 범위 내에서 그 길이가 결정되는 것으로, 1M이상의 행정거리에 적용 및 고속 반송이 어려웠다.

그리고 리니어 모터장치의 경우 볼 스크루 타입에 비해서 월등히 긴 행정거리를 제공할 수 있으나, 테이블을 이송시키는 구동수단인 리니어고정자와 리니어가동자가 볼 스크루에 비해 상대적으로 가격이 비싼 문제점으로 사용이 제한적으로 이루어지고 있는 실정이다.

이에 본 발명자는 정밀 이송이 가능하고, 행정거리에 제한 없이 사용할 수 있으며, 고속에서도 안전성과 정숙성을 함께 제공할 수 있는 밀폐형 직선 이송로봇을 제공함에 발명의 기술적 과제를 두고 본 발명을 연구 개발한 것이다.

상기 기술적 과제를 해결할 수단으로 본 발명에서는 메인프레임에 슬라이드부재를 따라서 이동하도록 설치되어 있는 테이블을 구동하는 구동수단으로 래크 혹은 타이밍벨트와 이들에 결합되는 피니언 및 이를 구동하는 감속기와 정역모터를 덮개 아래쪽에 설치하였으며, 래크 혹은 타이밍벨트와 피니언으로 구성되는 구동의 백래쉬(backlash)를 해결함으로 해서 정밀 이동이 가능하게 한 것이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시예를 보인 정면도를 도시한 것이고, 도 도 2, 도 3은 본 발명 제1실시예의 평면도 및 측단면도를 도시한 것이며, 도 4는 본 발명의 출력축 결합상태를 보인 사시도 등을 도시한 것으로서, 이하에서 본 발명의 구성을 설명한다.

본 발명은 반도체, 핸드폰, PDP, LCD, 유기EL와 같은 평판 디스플레이 등을 제조하기 위한 클린룸 내에 설치하는 각종 정밀한 이송 및 얼라인장치에 적용할 수 있는 밀폐형 직선 이송로봇(1)에 관한 것으로서, 정밀 이동이 가능하고, 행정거리 에 제한 없이 사용할 수 있고, 고속반송이 이루어질 수 있으면서도 정숙한 작동성을 제공할 수 있게 함에 그 특징이 있다.

본 발명은 커버(3)로 양단부가 밀폐되는 메인프레임(2)에 LM가이드(4a) 및 LM블록(4b)으로 구성되는 슬라이드부재(4)에 의해 슬라이드 이동하는 테이블(5)을 설치하며, 메인프레임(2)의 상부는 양단부의 커버(3)에 고정되며 테이블(5)에 형성된 공간(5a)을 통해 테이블(5)의 작동과 무관하게 설치되는 덮개(6)에 의해 덮여지게 하며, 상기 테이블(5)은 구동수단(10)에 의해 이송되게 한 직선 이송로봇(1)의 구성에 있어서 구동수단(10)을 적극적으로 개량 개발한 것이다.

본 발명에서는 구동수단(10)으로 메인프레임(2)에 길이방향으로 볼트(12)로 고정 설치되는 래크(11)와, 래크(11)에 치 결합되도록 정역모터(13)로 구동되는 감속기(14)에 결합되는 출력축(15)과 일체 형성된 피니언(16)을 적용한 구성이다.

상기 피니언(16)을 구동하는 정역모터(13) 및 감속기(14)는 덮개(6) 아래쪽에 위치되는 것을 적용한다.

상기 피니언(16)이 형성된 출력축(15)은 래크(11)와 피니언(16)의 백래쉬를 보정할 수 있는 백래쉬 보정수단에 의해 테이블(5)에 1차 고정된 상태에서 동력이 전달되게 감속기(14)에 끼워져 고정되며, 감속기(14)는 출력축(15)에 끼움 결합된 상태에서 볼트(17)에 의해 테이블(5)에 고정된다.

상기 백래쉬 보정수단으로 본 발명에서는 테이블(5)에 형성된 결합구멍(5b)을 통해 결합되는 피니언(16)에 일체 형성된 출력축(15)을 결합한 상태에서 지지되는 베어링(18)과, 베어링(18)이 결합되어 있는 하우징(19)의 중심을 서로 편심되게 구성하여 백래쉬를 보정할 수 있게 하였고, 하우징(19)의 가장자리에 장공 형상의 조립구멍(19a)을 형성하고 이 조립구멍(19a)을 통해서 테이블(5)에 형성된 나사공(5c)에 볼트(20)를 결합하는 구성을 통해서 하우징(19)을 고정할 수 있게 하였다.

도 6은 본 발명 제2실시예의 평면도를 도시한 것이고, 도 7은 도 6의 요부 발췌 평면도를 도시한 것으로서, 이는 상기와 같은 밀폐형 직선 이송로봇(1)을 구성함에 있어서, 정역모터(13)로 구동되는 감속기(14)의 출력축(15)에 형성된 피니언(16)과 결합되도록 메인프레임(2)에 길이방향으로 타이밍벨트(21)를 고정 설치하며, 테이블(5)의 하측에는 타이밍벨트(21)를 따라서 이동하는 피동피니언(22)을 자유롭게 회전되게 핀으로 설치하여 피니언(16)과 벨트(23)로 상호 연결한 구성이다.

도 8은 본 발명 제2실시예의 다른 예를 보인 평면도를 도시한 것이고, 도 9는 도 8의 요부 발췌 평면도를 도시한 것으로서, 이는 상기 제 2실시예와 같이 밀폐형 직선 이송로봇(1)을 구성함에 있어서, 정역모터(13)로 구동되는 감속기(14)의 출력축(15)에 형성된 피니언(16)과 결합되도록 메인프레임(2)에 길이방향으로 타이밍벨트(21)를 고정 설치하며, 테이블(5)의 하측에는 타이밍벨트(21)를 따라서 이동하는 피동피니언(22)과 피니언(16)의 동력을 피동피니언(22)에 전달하는 유성기어(22a)를 자유롭게 회전되게 핀으로 설치한 구성이다.

상기 타이밍벨트(21)의 고정은 일측 단부를 메인프레임(2)에 고정하는 고정수단(24)과 타측 단부를 고정한 상태에서 타이밍벨트(21)의 장력을 조절되게 한 장력조절수단(25)에 의해 이루어진다.

도 10은 본 발명 제3실시예의 평면도를 도시한 것이고, 도 11은 도 10의 요부 발췌 평면도를 도시한 것으로서, 이는 상기와 같은 직선 이송로봇(1)을 구성함에 있어서, 정역모터(13)로 구동되는 감속기(14)의 출력축(15)에 형성된 피니언(16)과 결합되도록 메인프레임(2)에 길이방향으로 고정 설치되는 타이밍벨트(26)를 제 2실시예와 같이 고정수단(24) 및 장력조절수단(25)을 이용하여 양단을 고정 설치하되, 상기 타이밍벨트(26)는 기어이가 피니언(16)의 기어이와 반대방향이 되게 설치한 상태에서 피니언(16)을 180도 이상 감싼 상태로 조립되게 한 구성이다.

즉, 피니언(16)의 양측으로 테이블(5)에 자유롭게 회전되도록 핀으로 설치되어 있는 가이드롤러(27)를 배치하여 피니언(16)의 기어이와 반대방향으로 기어이가 배열된 타이밍벨트(26)의 기어이가 피니언(16)에 결합되도록 한 상태에서 가이드롤러(27)에 의해 피니언(16) 쪽으로 가압되게 하여 타이밍벨트(26)가 180도 이상 피니언(16)을 감싼 상태에서 작동되게 함으로 해서 작동 안전성을 제공할 수 있게 한 것이다.

본 발명 제 3실시예에서의 타이밍벨트(26)는 메인프레임(2)의 내부 측면에 고정 설치된 것을 도시한 것이나, 필요에 따라서는 타이밍벨트(26)를 메인프레임(2)의 바닥에 설치하여 사용할 수도 있는 것이며(도시되지 않음.) 이러한 구성은 본 발명의 설계변경에 의해 쉽게 이루어질 수 있는 것이다.

상기 고정수단(24)은 도 12에 도시된 바와 같이 메인프레임(2)에 고정되는 받침구(24a)에 타이밍벨트(21)를 가압 고정하는 기어이가 형성된 가압구(24b)를 볼트(24c)로 결합한 구성이다.

그리고 상기 장력조절수단(25)은 도 13, 도 14에 도시된 바와 같이 메인프레임(2)에 접하는 받침구(25a)에 기어이가 형성된 가압구(25b)를 볼트(25c)로 고정하여 타이밍벨트(21)를 고정하고, 받침구(25a)에는 타이밍벨트(21)의 길이방향으로 나사공(25d)을 형성하고, 이 나사공(25d)에는 메인프레임(2)에 고정 설치되는 지지체(25e)에 결합된 조절볼트(25f)를 결합하여 타이밍벨트(21)를 당기게 한 구성이다.

이상과 같이 구성되는 본 발명의 밀폐형 직선 이송로봇(1)은 반도체, 핸드폰, PDP, LCD, 유기EL와 같은 평판 디스플레이 등을 제조하기 위한 클린룸 내에 설치하는 각종 정밀한 이송 및 얼라인장치에 적용하여 사용하는 것으로서,

본 발명의 조립은 먼저 메인프레임(2) 바닥에 길이방향으로 래크(11)를 설치한 상태에서 슬라이드부재(4)에 의해 안내되는 테이블(5)을 설치하고, 테이블(5)에 형성되어 있는 결합구멍(5b)을 통해 하우징(19)에 결합되어 있는 베어링(18)에 지지된 출력축(15)과 일체 형성된 피니언(16)을 내입하여 래크(11)와 치 결합되게 한 상태에서 하우징(19)을 테이블(5)에 고정한다.

이때 본 발명에서는 백래쉬 보정수단을 이용하여 래크(11)와 피니언(16)의 작동에 의해 발생하는 백래쉬를 보정하게 되는데, 도 5에 도시된 바와 같이 베어링(18)이 결합되는 하우징(19)의 중심이 베어링(18)과 편심되게 구성되어 있으므로 출력축(15)에 형성되어 있는 피니언(16)을 래크(11)에 결합하여 시험 이송을 통해 백래쉬 여부를 확인하고, 백래쉬가 있을 경우 베어링(18)이 결합되어 있는 하우 징(19)을 출력축(15)상에서 회동하는 방법으로 출력축(15)의 위치를 미세 이동하여 백래쉬를 보정한 상태에서 볼트(20)를 나사공(5c)에 체결하여 하우징(19)을 테이블(5)에 고정한다.

상기와 같이 래크(11) 및 피니언(16)의 조립이 완료되면 피니언(16)과 일체 형성된 출력축(15)에 정역모터(13)와 일체형으로 조립되어 있는 감속기(14)를 결합하여 구동이 이루어지게 한 상태에서 감속기(14)를 테이블(5)에 볼트(17)로 고정한 다음 테이블(5)에 형성된 공간(5a)으로 덮개(6)를 내입하여 메인프레임(2)의 양단 측면에 고정되어 있는 커버(3)와 고정하면 된다.

이상과 같이 조립 구성되는 본 발명은 기존 사용하고 있는 볼 스크루에서는 제공하기 어려운 긴 스트로크(래크(11)를 다수개 연결하는 방법을 통해서 스트로크의 길이를 연장할 수 있음.)의 제공이 가능하면서도 리니어 모터가이드에서 제공하는 정밀 이송 및 고속반송이 가능하다.

또한 테이블(5)의 작동과 무관한 덮개(5)에 의해 메인프레임(2)의 상부가 덮이므로 내장되어 있는 래크(11)와, 정역모터(13) 및 감속기(14)로 구동되는 피니언(16) 등에 이송부품 등이 낙하되어 들어가거나 각종 미세 이물질(파티클)이 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있어 이들로 인해 발생하는 고장 염려를 줄일 수 있고, 내부에서 발생하는 소음을 획기적으로 저감시킬 수 있는 것이다.

그리고 본 발명의 제 2 및 제 3실시예는 피니언(16)과 타이밍벨트(21)(26)를 결합한 구성으로 제작비용을 더욱 저렴하게 할 수 있으면서도 소음을 획기적으로 감소시킬 수 있는 밀폐형 직선 이송로봇(1)을 제공할 수 있는 것이다.

피니언(16)과의 결합대상으로 타이밍벨트(21)(26)를 결합할 경우 슬립현상 등이 발생할 수 있으나, 본 발명 제 2실시예에 의하면 테이블(5) 하측으로 피니언(16)과 벨트(23)로 연결되는 피동피니언(22)을 추가 구성함으로 해서 안정된 작동성을 보장할 수 있게 하였으며, 제 3실시예에서는 피니언(16)의 양측으로 테이블(5)에 설치되는 가이드롤러(27)를 배치함으로 해서 타이밍벨트(26)가 피니언(26)을 180도 이상 감싼 상태에서 작동이 이루어지게 함으로 해서 슬립 없는 작동 안정성을 제공할 수 있게 하였다.

또한 제 2 및 제3실시예와 같이 타이밍벨트(21)(26)를 사용할 경우 타이밍벨트(21)(26)가 늘어나는 현상이 발생하게 되는데, 본 발명에서는 이를 보완할 수 있는 장력조절수단(25)이 구비되어 있어 이러한 문제점을 일소할 수 있는 것이다.

즉, 타이밍벨트(21)(26)의 늘어짐 현상이 발생한 경우 메인프레임(2)에 고정되어 있는 지지체(25e)에 결합된 조절볼트(25f)를 조이면 받침구(25a)에 형성되어 있는 나사공(25d)에 조절볼트(25f)가 잠기게 되는데, 이때 타이밍벨트(21)(26)의 일단을 고정하고 있는 받침구(25a) 및 가압구(25b)가 지지체(25e) 쪽으로 슬라이드 이동되면서 타이밍벨트(21)(26)를 팽팽하게 당겨지게 되는 것이다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에서 제공하는 밀폐형 직선 이송로봇(1)은 테이블을 이송하는 구동수단(10)을 덮개(6) 내부에 위치되게 하고, 정역모터(13) 및 감속기(14)를 통해 제공되는 회전력을 래크(11) 혹은 타이밍벨 트(21)(26)와 맞물려 있는 피니언(16)으로 출력되게 하고, 피니언(16)의 백래쉬를 출력축이 결합되는 하우징(19)을 베어링(18)과 편심되게 형성한 것으로서, 본 발명에 의하면 반도체, 핸드폰, PDP, LCD, 유기EL와 같은 평판 디스플레이 등을 제조하기 위한 클린룸 내에 설치하는 각종 정밀한 이송 및 얼라인장치에 적용할 수 있는 밀폐형 직선 이송로봇을 중저가로 보급할 수 있으며, 저소음, 파티클 유입타단, 정밀이송, 고속반송이 가능한 매우 유용한 발명이다.

Claims

커버(3)로 양단부가 밀폐되는 메인프레임(2)에 슬라이드부재(4)에 의해 슬라이드 이동하는 테이블(5)을 설치하며, 메인프레임(2)의 상부에는 테이블(5)에 형성된 공간(5a)을 통해 양측 커버(3)에 고정되는 덮개(6)로 덮여지며, 테이블(6)을 구동하는 구동수단(10)으로 래크(11)와 피니언(16)을 사용한 직선 이송로봇(1)에 있어서,

상기 래크(11)는 메인프레임(2)의 길이방향으로 고정 설치되며,

상기 래크(11)에 치 결합되는 피니언(16)을 구동하는 정역모터(13)와 감속기(14)는 덮개(6) 아래쪽에 내장 설치되며,

상기 피니언(16)이 일체 형성된 출력축(15)은 백래쉬 보정수단에 의해 테이블(5)에 고정되며,

상기 백래쉬 보정수단은 테이블(5)에 형성된 나사공(5c)에 볼트(20)를 결합하는 하우징(19)의 중심을 출력축(15)을 결합한 상태에서 지지되는 베어링(18)의 중심과 편심되게 구성한 것을 특징으로 하는 밀폐형 직선 이송로봇.
커버(3)로 양단부가 밀폐되는 메인프레임(2)에 슬라이드부재(4)에 의해 슬라이드 이동하는 테이블(5)을 설치하며, 메인프레임(2)의 상부에는 테이블(5)에 형성된 공간(5a)을 통해 양측 커버(3)에 고정되는 덮개(6)로 덮여지며, 테이블(6)을 구 동하는 구동수단(10)으로 타이밍벨트(21)와 피니언(16)을 사용한 직선 이송로봇(1)에 있어서,

상기 타이밍벨트(21)는 메인프레임(2)의 길이방향으로 고정수단(24)과 장력조절수단(25)으로 고정 설치되고,

상기 타이밍벨트(21)에 치 결합되는 피니언(16)을 구동하는 정역모터(13)와 감속기(14)는 덮개(6) 아래쪽에 내장 설치되며,

상기 피니언(16)이 일체 형성된 출력축(15)은 백래쉬 보정수단에 의해 테이블(5)에 고정되며,

상기 백래쉬 보정수단은 테이블(5)에 형성된 나사공(5c)에 볼트(20)를 결합하는 하우징(19)의 중심을 출력축(15)을 결합한 상태에서 지지되는 베어링(18)의 중심과 편심되게 구성한 것을 특징으로 하는 밀폐형 직선 이송로봇.
제 2항에 있어서,

상기 테이블(5)의 하측에는 타이밍벨트(21)에 치 결합되는 피동피니언(22)이 핀으로 설치되어 상기 피니언(16)과 벨트(23)로 연결한 것을 특징으로 하는 밀폐형 직선 이송로봇.
제 2항에 있어서,

상기 테이블(5)의 하측에는 타이밍벨트(21)를 따라서 이동하는 피동피니언(22)과 피니언(16)의 동력을 피동피니언(22)에 전달하는 유성기어(22a)를 핀으로 설치한 것을 특징으로 하는 밀폐형 직선 이송로봇.
커버(3)로 양단부가 밀폐되는 메인프레임(2)에 슬라이드부재(4)에 의해 슬라이드 이동하는 테이블(5)을 설치하며, 메인프레임(2)의 상부에는 테이블(5)에 형성된 공간(5a)을 통해 양측 커버(3)에 고정되는 덮개(6)로 덮여지며, 테이블(6)을 구동하는 구동수단(10)으로 타이밍벨트(26)와 피니언(16)을 사용한 직선 이송로봇(1)에 있어서,

상기 타이밍벨트(26)는 기어이가 피니언(16)의 기어이와 반대방향이 되게 메인프레임(2)의 길이방향으로 고정수단(24)과 장력조절수단(25)으로 고정 설치하고,

상기 타이밍벨트(21)에 치 결합되는 피니언(16)을 구동하는 정역모터(13)와 감속기(14)는 덮개(6) 아래쪽에 내장 설치되며,

상기 타이밍벨트(26)는 180도 이상 피니언(16)을 감싼 상태에서 테이블(5)에 핀으로 설치되어 있는 가이드롤러(27)에 의해 피니언(16) 쪽으로 가압되며,

상기 피니언(16)이 일체 형성된 출력축(15)은 백래쉬 보정수단에 의해 테이블(5)에 고정되며,

상기 백래쉬 보정수단은 테이블(5)에 형성된 나사공(5c)에 볼트(20)를 결합하는 하우징(19)의 중심을 출력축(15)을 결합한 상태에서 지지되는 베어링(18)의 중심과 편심되게 구성한 것을 특징으로 하는 밀폐형 직선 이송로봇.
제 2항 또는 제 5항에 있어서,

상기 고정수단(24)은 메인프레임(2)에 고정되는 받침구(24a)와, 타이밍벨트(21)를 가압 고정하는 기어이가 형성된 가압구(24b)와, 가압구(24b)를 받침구(24a)에 고정하는 볼트(24c)로 구성되며,

상기 장력조절수단(25)은 메인프레임(2)에 접하는 받침구(25a)와, 기어이가 형성된 가압구(25b)와, 가압구(25b)를 받침구(25a)에 고정하는 볼트(25c)와, 타이밍벨트(21)의 길이방향으로 받침구(25a)에 형성한 나사공(25d)과, 메인프레임(2)에 고정 설치되는 지지체(25e) 및 나사공(25d)에 결합되도록 지지체(25e)에 결합된 조절볼트(25f)를 포함하는 구성인 것을 특징으로 하는 밀폐형 직선 이송로봇.