KR100798718B1 - 형상 측정 장치 - Google Patents

Abstract

형상 측정 장치(1)는 세그멘트가 복수열 늘어서서 접합된 피측정물(1)을 한 방향으로 상대적으로 이동시키면서 피측정물의 형상을 측정한다. 세그멘트의 각 열 에 대응하여 설치되고, 상기 상대적인 이동에 따라서 피측정물의 단부면(1a)상을 회전하면서 단부면(1a)의 요철에 따라서 변위하는 롤러(31)와 각 롤러(31)에 대응하여 설치되고, 각각의 롤러의 변위량을 검출하는 검출 수단과, 그 검출 수단이 검출한 상기 롤러의 변위량에 기초하여 상기 피측정물의 형상 데이터를 산출하는 연산 수단을 구비하는 형상 측정 장치.

Description

형상 측정 장치{SHAPE-MEASURING DEVICE}

본 발명은 세그멘트가 복수열이 되도록 접합된 디젤 파티큐레이트 필터 등의 피측정물의 형상을 측정하는 형상 측정 장치에 관한 것이다.

최근의 많은 디젤 엔진에는 디젤 파티큐레이트 필터(DPF)가 머플러 등의 배기계내에 삽입되어 있고, 그 DPF에 의해서 배출 가스에 포함되어 있는 파티큐레이트를 제거하는 구조를 갖고 있다. 이 DPF는 탄화규소 등의 소결체로 이루어지는 세그멘트가 접합재를 통해 복수 접합되는 것에 의해 디젤 엔진의 머플러에 상응하는 원주 형태, 타원 기둥 형태 등의 외형으로 성형된다. 세그멘트는 외형이 구형 통형상, 정방형 통형상으로 성형되어 있고, 복수의 열이 되도록 정렬 상태로 접합되고, 접합후 상술한 원주 형태 등으로 연삭 가공함으로써 머플러에 상응하는 외형으로 성형된다.

이러한 DPF는 누름 도구를 이용하여 머플러내에 삽입되지만, DPF는 기우는 일없이 머플러 내에 억지로 밀어 넣어지는 것이 배출 가스의 누출 방지나 장착 안정성 등의 관점에서 바람직하며, 단부면의 평면도나 평행도가 일정한 허용 범위 내인 것이 필요하다. 그러나, 세그멘트가 소결체로 이루어지기 때문에 길이가 변동되기 쉽고 더구나 접합재가 단부면으로부터 돌출되어 있는 경우도 있기 때문에 DPF의 단부면이 불균일해지고 허용 범위 밖의 형상이 되는 경우가 존재한다. 이 때문에 허용 범위내의 형상의 DPF만을 선택하기 위해서 DPF의 형상 측정이 필요해진다. 종래에 있어서의 DPF의 형상 측정은 이하와 같은 방법에 의해서 행해지고 있다.

(1) 다이얼게이지, 선형게이지로 이루어지는 다수의 측정자를 각 세그멘트에 대응하도록 배치하고, 세그멘트의 단부면에 측정자를 동시에 밀어 부침으로써 그 높이를 측정한다.

(2) 다이얼게이지, 선형게이지로 이루어지는 측정자 중 하나로 작업자가 DPF를 회전 이동시키면서 단부면의 데이터를 측정한다.

(3) DPF를 턴 테이블상에 설치하여 회전시키면서 이미지 센서에 의해서 DPF의 엣지를 검출하여 DPF의 전체 둘레의 높이를 계측한다(특허문헌 1 참조).

특허문헌 : 일본특개소55-37918호 공보

그러나, 종래의 측정 방법에서는 다음과 같은 문제점을 각각 갖고 있다.

즉, (1)의 방법에서는 얻어지는 데이터량이 많아지고, 데이터 처리가 늦어진다. 또, 세그멘트만에 대해 측정하기 때문에, 접합재의 돌출을 측정할 수 없어 정확한 데이터를 얻을 수 없다. 더욱, 측정에 있어서는 DPF를 정지시킨 상태로 할 필요가 있어 DPF를 돌리면서의 연속 측정을 할 수 없어 신속하고 대량의 처리에 부적합하게 되어 있다.

(2)의 방법에서는 하나의 DPF를 측정하는 주기가 길어진다. 또, 자동화가 어려울뿐 아니라, DPF를 돌리면서의 연속 측정을 할 수 없다.

(3)의 방법에서는, DPF의 외주부의 높이 정보만을 위해서 평면도나 평행도를 측정할 수 없음과 동시에 접합재의 돌출을 측정할 수 없어 정확한 데이터를 얻을 수 없다. 또, 타원형 등의 이형(異形)의 DPF에 대한 측정을 할 수 없다.

본 발명은 이러한 종래의 문제점을 고려하여 이루어진 것으로, 복수의 세그멘트를 접합한 DPF 등의 피측정물에 대하여 각 세그멘트나 접합재의 상태를 확실하게 얻을 수 있어 평면도나 평행도를 정확하게 측정할 수 있음과 동시에, 신속하게 대량 처리를 하는 것이 가능한 형상 측정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 연구가 중첩된 결과, 이하의 수단에 의해 상기 목적을 달성할 수 있는 것이 발견되었다.

본 발명에 의하면 세그멘트가 복수열 늘어서 접합된 피측정물을 한 방향으로 상대적으로 이동을 시키면서 상기 피측정물의 형상을 측정하는 장치로서, 상기 세그멘트의 각 열에 대응하여 설치되고, 상기 상대적인 이동에 따라 피측정물의 단부면상을 회전하면서 단부면의 요철에 따라서 변위하는 복수의 롤러와, 그 복수의 롤러 각각에 대응하여 설치되고 각각의 롤러의 변위량을 검출하는 검출 수단과, 그 검출 수단이 검출한 상기 롤러의 변위량에 기초하여 상기 피측정물의 형상 데이터를 산출하는 연산 수단을 구비하는 형상 측정 장치가 제공된다.

본 발명의 형상 측정 장치는 세그멘트의 각 열에 대응하여 설치된 롤러가 피검사물의 단부면을 회전하면서 단부면의 요철에 따라서 상하 이동 등의 변위를 행하고, 이 변위량을 검출 수단이 검출하고, 검출치에 기초하여 연산 수단이 형상 데이터를 산출한다. 본 발명에서는 롤러가 세그멘트의 열에 대응하여 설치되기 때문에, 모든 세그멘트열에 대한 측정을 할 수 있음과 동시에 세그멘트 사이에서 세그멘트의 접합을 하는 접합재에 대한 측정을 할 수 있다. 이 때문에, 피측정물의 평면도, 평행도를 확실하게 측정할 수 있어 정확한 측정이 가능해진다. 게다가 피측정물 및 롤러를 상대적으로 한 방향으로 이동시키면서 측정을 할 수 있기 때문에 연속적인 처리가 가능하고 대량 처리를 할 수 있다.

본 발명의 형상 측정 장치에 있어서는 상기 검출 수단은 상기 롤러가 회전 가능하게 부착된 롤러 프레임에 접촉되어 있어, 롤러의 상기 변위에 따라 변위하는 롤러 프레임의 변위량을 검출하는 접촉 프로브인 것이 바람직하다. 이 바람직한 형태에서는 롤러 프레임에 접촉하는 접촉 프로브를 검출 수단으로서 이용하기 때문에, 프로브에는 워크 진행 방향의 힘이 가해지지 않고, 상하의 변위만이 전해져서 간단한 구조라도 정확한 검출이 가능하게 됨과 동시에 프로브 수명의 향상을 가져온다.

또한, 본 발명의 형상 측정 장치에 있어서는 상기 롤러가 캠 팔로워(cam follewer)인 것이 바람직하다. 이 바람직한 형태에서는 롤러로서 캠 팔로워를 이용하기 때문에 롤러의 회전에 의해 접촉자의 마모를 줄이고, 피측정물의 단부면의 요철에 맞춘 변위를 정확히 측정하는 것이 가능해진다.

본 발명의 형상 측정 장치는 모든 세그멘트 열에 대한 측정 및 세그멘트의 접합을 하는 접합재에 대한 측정을 할 수 있기 때문에 피측정물의 평면도, 평행도를 확실하고 또한 신속하게 측정할 수 있으며, 게다가 피측정물 및 롤러가 상대적인 이동을 행하는 측정이기 때문에 연속적인 처리가 가능하고 대량 처리를 할 수 있다.

본 발명 형상 측정 장치의 바람직한 형태에 따르면, 상기 효과에 더하여 프로브에는 워크 진행 방향의 힘이 가해지지 않고, 상하의 변위만이 전해져서 간단한 구조라도 정확한 검출이 가능해진다.

본 발명 형상 측정 장치의 바람직한 형태에 따르면, 상기 효과에 더하여 접촉자의 마모를 줄이고, 피측정물의 단부면의 요철에 맞춘 변위를 확실하게 행할 수 있기 때문에 정확히 측정하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 형상 측정 장치의 일 실시예를 도시하는 전체 정면도.

도 2는 본 발명의 형상 측정 장치의 일 실시예를 도시하는 평면도.

도 3은 롤러의 배치 부분을 도시하는 평면도.

도 4는 배치한 롤러와 DPF와의 관계를 도시하는 정면도.

도 5는 롤러의 배치 상태를 도시하는 측면도.

도 6은 측정 데이터의 일례를 도시하는 특성도.

도 7은 세그멘트의 일례의 사시도.

도 8은 도 7의 A-A 선 단면도.

도 9는 DPF의 사시도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

1 : DPF

1a : DPF의 단부면

11 : 형상 측정 장치

12 : 이동부

13 : 측정부

18 : 적재대

22 : 측정대

31 : 롤러

33 : 롤러 프레임

35 : 접촉 프로브

37 : 연산 수단

이하, 본 발명의 실시예에 관해서 적절하게 도면을 참조하면서 설명하는데, 본 발명은 이들에 한정되어 해석되는 것은 아니며, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한도에서 당업자의 지식에 기초하여 여러 가지의 변경, 수정, 개량을 가하여 얻는 것이다. 예컨대, 도면은 적합한 본 발명의 실시예를 나타내는 것이지만, 본 발명은 도면에 나타내는 형태나 도면에 표시되는 정보에 의해 제한되지 않는다. 본 발명을 실시하거나 또는 검증한 바로는 본 명세서 중에 기술된 것과 같은 수단 혹은 균등한 수단이 적용될 수 있지만, 적합한 수단은 이하에 기술되는 수단이다.

도 1 ~ 도 5는 본 발명의 형상 측정 장치의 일 실시예를 도시한 도면이며, 도 6는 측정 결과의 그래프의 일례를 도시한 도면이며, 도 7 및 도 8은 세그멘트의 일례를 도시한 도면이며, 도 9는 피측정물로서의 DPF의 일례를 도시한 도면이다.

본 발명의 형상 측정 장치는 도 9에 도시되는 DPF(1), 그 밖의 형상의 피측정물에 적용되는 것으로, 도 7 ~ 도 9를 참조하여 DPF(1)를 설명한다. DPF(1)는 도 7 및 도 8에 표시되는 세그멘트(2)가 접합재(9)를 통해 접합되는 것에 의해 구성된다.

세그멘트(2)는 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 다공질의 칸막이 벽(6)에 의해서 구획된 다수의 유통 구멍(5)을 갖고 있다. 유통 구멍(5)은 세그멘트(2)를 축 방향으로 관통하고 있어 인접해 있는 유통 구멍(5)에서의 일단부가 충전재(7)에 의해서 교대로 플러깅되어 있다. 즉, 하나의 유통 구멍(5)에서는 좌단부가 개구되어 있는 한편, 우단부가 충전재(7)에 의해서 플러깅되어 있고, 이것과 인접한 다른 유통 구멍(5)에서는 좌단부가 충전재(7)에 의해서 플러깅되지만, 우단부가 개구되어 있다.

이러한 구조에 의해 도 8의 화살표에 도시된 바와 같이 배출 가스는 좌단부가 개구되어 있는 유통 구멍에 유입된 후, 다공질의 칸막이 벽(6)을 통과하여 다른 유통 구멍(5)으로부터 유출된다. 그리고, 칸막이 벽(6)을 통과할 때에 배출 가스 중의 파티큐레이트가 칸막이 벽(6)에 포착되기 때문에 배출 가스의 정화를 행할 수 있다. 또한, 세그멘트(2)는 정방형 단면으로 되어 있지만, 삼각형 단면, 육각형 단면 등의 적절한 단면 형상으로 할 수 있어 유통 구멍(5)의 단면 형상도 삼각형, 육각형, 원형, 타원형, 그 밖의 형상으로 할 수 있다.

DPF(1)는 이러한 세그멘트(2)가 복수열로 정렬되어 정렬된 상태로 접합재(9)에 의해서 접합되어 제조된다. 그리고, 세그멘트(2)의 접합 후 원형 단면, 타원형 단면, 삼각형 단면 등의 적절한 단면이 되도록 연삭 가공되어 주위를 코트재(4)에 의해서 피복하도록 되어 있다.

세그멘트(2)의 재료로서는 강도, 내열성의 관점에서 코디어라이트, 멀라이트, 알루미나, 스피넬, 탄화규소, 탄화규소-코디어라이트계 복합재, 규소-탄화규소 복합재, 질화규소, 리튬 알루미늄 실리케이트, 티타늄산 알루미늄, Fe-Cr-Al계 금속으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 또는 복수 종을 조합시킨 재료가 사용되고, 특히, 탄화규소 또는 규소-탄화 규소 복합 재료가 양호하다.

세그멘트(2)의 제조는 상술한 것 중에서 선택된 재료에 메틸셀룰로오스, 히드록시프로폭실셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스, 카르복실메틸셀루로오스, 폴리비닐알콜 등의 바인더, 계면 활성제나 물 등을 첨가하여 가소성의 배토로 하고, 이 배토를 압출 성형함으로써 칸막이 벽(6)에 의해서 구획된 축 방향으로 관통하는 다수의 유통 구멍(5)을 갖는 허니컴 형상으로 한다. 그리고, 이것을 마이크로파, 열풍 등에 의해서 건조한 후 소결함으로써 세그멘트(2)로 한다.

세그멘트(2)를 접합하는 접합재(9)의 재료로서는 세그멘트(2)의 재료에 맞는 것이 사용되고, 예컨대, 탄화규소, 질화규소, 코디어라이트, 알루미나, 멀라이트 등의 무기 입자 또는 섬유와 콜로이달 실리카, 콜로이달 알루미나 등의 콜로이달졸의 혼합물에 필요에 따라서 금속 섬유 등의 금속, 조공재(造孔材), 각종 세라믹스의 입자 등을 첨가한 재료를 선택할 수 있다.

다음에, 이 실시예의 형상 측정 장치에 관해서 설명한다. 형상 측정 장치(11)는 도 1에 도시된 바와 같이 피측정물로서의 DPF(1)를 직선적으로 이동시키 기 위한 이동부(12)와, DPF(1)의 단부면을 측정하기 위한 측정부(13)를 구비하고 있다.

이동부(12)는 플로어(14)상에 적재되는 프레임(15)을 갖고 있다. 프레임(15)의 상부에는 한 방향(좌우 방향)으로 향하여 수평형으로 연장되는 볼나사 등으로 이루어지는 이송 로드(16)가 설치됨과 동시에 이송 로드(16)와 동일한 방향으로 연장되는 가이드 로드(17)가 설치된다.

가이드 로드(17)에는 DPF(1)가 적재된 적재대(18)가 슬라이드하도록 결합해 있다. 적재대(18)의 하부에는 감속 기구를 갖춘 이동용 모터(19)가 부착되어 있고, 이 이동용 모터(19)에 이송 로드(16)가 기어 결합 상태로 관통하고 있다. 이러한 구조에서는 이동용 모터(19)가 구동함으로써 적재대(18)가 가이드 로드(17)에 따라서 우측으로부터 좌측으로 향하여 직선적으로 이동하고, 이 이동 중에 측정부(13)에 의한 DPF(1)에 대한 단부면(1a)의 측정이 행하여진다.

측정부(13)는 프레임(15)의 대략 중앙부에서 수직형이 되어 상승하는 2개의 지주(21)와 지주(21)에 따라서 상하 이동 가능하게 부착된 측정대(22)를 구비하고 있다. 또한, 지주(21) 사이에는 볼나사 등으로 이루어지는 상하 이송 로드(23)가 수직형으로 설치된다. 지주(21)의 상단부에는 모터대(24)가 고정되어 있고, 이 모터대(24)에 상하용 모터(25)가 부착되어 있다. 상하용 모터(25)는 톱니바퀴 기구(26)를 통해 상하 이송 로드(23)에 맞물려 있어, 그 구동에 의해 상하 이송 로드(23)를 회전시킨다. 이 회전에 의해 측정대(22)가 상하 이동할 수 있다. 측정대(22)에는 DPF(1)의 단부면(1a)을 측정하는 복수의 롤러(31)가 부착되는 것이다.

롤러(31)는 정렬형으로 되어 있는 DPF(1)의 세그멘트(2)의 각 열에 대응하 도록 설치된다. 즉, 적재대(18)에 적재되는 DPF(1)가 그 이송 방향과 직교하는 방향을 따라서 복수의 세그멘트 열을 갖고 있는 경우, 각 세그멘트에 대응한 수의 롤러(31)가 설치되는 것이다. 이와 같이 롤러(31)가 DPF(1)의 세그멘트(2)의 각 열에 대응하도록 설치됨으로써 롤러(31)는 그 열내에 있는 모든 세그멘트(2)의 단부면을 측정할 수 있다. 이에 더하여, 롤러(31)는 세그멘트(2)를 접합하고 있는 접합재(9)에 접촉하여 그 돌출량을 측정할 수 있다.

이 실시예에 있어서, 롤러(31)는 도 2및 도 3에 도시된 바와 같이 크로스형으로, 또한 인접하는 롤러(31)끼리가 서로 지그재그형으로 배치되는 것이다. 이러한 지그재그형의 배치 구조로 함으로써 모든 롤러(31)를 조밀하게 배치할 수 있기 때문에, 배치 공간을 적게 할 수 있는 메리트가 있다.

롤러(31)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 대략 수평인 롤러 프레임(33)에 각각 회전 가능하게 지지되어 있다. 따라서, DPF(1)가 이동하여 그 단부면(1a)이 접촉함으로써 롤러(31)는 단부면(1a)에 접촉하면서 회전할 수 있다.

또한, 이 실시예에서 롤러로서는 캠 팔로워가 사용되고 있다. 캠 팔로워는 외륜의 내부에 바늘형 회전자가 설치된 베어링이며, 회전 토크가 작고 DPF(1)의 단부면(1a)과의 접촉에 의해 외륜이 양호하게 회전할 수 있다. 따라서, 접촉자의 마모를 줄임과 동시에, DPF(1)의 단부면(1a)의 요철에 양호하게 추종하여 변위할 수 있어 고정밀도의 측정을 할 수 있다.

각 롤러 프레임(33)은 측정대(22)로부터 수직 하강하는 지지 로드(34)에 상 하 이동 가능하게 부착되어 있고, 롤러(31)가 상하 방향으로 변위하면 롤러 프레임(33)도 같은 방향으로 같은 양만큼 변위하도록 되어 있다. 이러한 구조에서는 롤러(31)가 DPF(1)의 단부면(1a)을 회전할 때에 롤러(31)는 단부면(1a)의 요철에 따라서 상하 방향으로 변위하고, 그와 동시에 그 롤러 프레임(33)이 마찬가지로 변위한다.

이상에 더하여 롤러(31)의 변위량을 검출하는 검출 수단으로서의 접촉 프로브(35)가 롤러(31)와 대응하도록 배치되어 있다. 접촉 프로브(35)는 도 4에 도시된 바와 같이 측정대(22)로부터 수직 하강하고, 그 검출 헤드(35a)가 각 롤러 프레임(33)의 상단면에 접촉해 있다.

따라서, 접촉 프로브(35)는 롤러 프레임(33)이 상하 방향으로 변위함으로써, 그 변위량을 검출한다. 이에 따라, 접촉 프로브(35)는 롤러 프레임(33)을 통해 각 롤러(31)의 변위량을 검출하도록 되어 있다.

각각의 접촉 프로브(35)가 검출한 롤러의 변위량은 도 1에 도시되는 연산 수단(37)에 출력된다. 연산 수단(37)은 이 변위량에 기초하여 DPF(1)의 형상 데이터를 산출하는 것으로 퍼스널 컴퓨터 등이 사용된다. 연산 수단(37)에 의한 형상 데이터의 산출은 DPF(1)가 적재되는 이동부(12)의 적재대(18)의 상면을 기준으로서 행할 수 있다.

또한, 이동부(12)에는 도 2에 도시된 바와 같이 워크 검지 센서(41) 및 스트로크 앤드 센서(42)가 배치되어 있다. 워크 검지 센서(41)는 측정부(13) 근방에 배치되어 있고, 적재대(18)에 적재되어 이동하는 DPF(1)의 선단 측면을 검출함으로 써, 측정부(13)에 들어가는 DPF(1)의 검출 개시 신호를 출력한다.

도 6은 롤러(31)의 변위량을 DPF(1)와의 상대 이동 거리에 대응하여 도시한 특성도이며, 롤러(31)가 DPF(1)의 단부면(1a)을 회전함으로써 얻어지는 것이다. Tl은 DPF(1)의 높이의 최소치이고 T2는 최대치이며 F는 기울기를 보정한 변위량의 폭이다.

DPF(1)의 단부면(1a)의 평행도는 모든 롤러(31)로부터 구한 차(T2-Tl)에 의해 산출할 수 있다.

또한, DPF(1)의 단부면(1a)의 평면도는 모든 롤러(31)로부터 구한 변위량의 폭(F)에서 산출된다.

이러한 실시예에서는 DPF(1)의 세그멘트(2)의 열에 맞추어서 롤러(31)를 설치하고, 롤러(31)가 세그멘트 열에 따라서 회전함으로써 형상을 측정하기 때문에, DPF(1)의 평면도나 평행도 등의 필요한 형상을 측정할 수 있음과 동시에, 신속하고 또한 정확한 측정을 할 수 있다.

또한, 세그멘트 열에 더하여 접합재(9)의 돌출도 측정할 수 있기 때문에 정확한 형상 데이터로 할 수 있다.

게다가, DPF(1)를 이동시키면서 측정을 하기 때문에 연속적인 측정이 가능해져 대량 처리에 알맞은 것으로 할 수 있다.

본 발명은 이미 서술한 바와 같이 이상의 실시예에 한정되는 일없이 여러 가지 변경이 가능하다. 예컨대, DPF(1)를 한 방향으로 이동시켜 측정을 하고 있는데, 롤러(31)를 한 방향으로 이동시켜도 되고, DPF(1) 및 롤러(31)의 쌍방을 이동시켜 도 된다. 또, 롤러(31)의 변위량을 검출하는 검출 수단으로서는 광학적인 검출 구조로서도 좋고, 자기적인 검출 구조로서도 좋다. 게다가, DPF(1)로서는 타원 주상, 다각 주상, 그 밖의 형상의 것을 피측정물로서 이용할 수 있다. 이에 더하여 피측정물로서는 세그멘트가 열형상으로 되어 접합된 구조라도 되고, DPF 이외의 워크에 마찬가지로 적용할 수 있다.

본 발명의 형상 측정 장치는 세그멘트가 복수열 늘어서서 접합된 모든 피측정물의 형상을 측정하는 수단으로서 유용하다. 특히, 피측정물이 디젤 엔진 파티큐레이트 필터인 경우에 적합하게 이용된다.

Claims (3)

1. 세그멘트가 복수열 늘어서서 접합된 피측정물을 한 방향으로 상대적으로 이동시키면서 상기 피측정물의 형상을 측정하는 장치로서,

   상기 세그멘트의 각 열에 대응하여 설치되고, 상기 상대적인 이동에 따라 피측정물의 단부면 상을 회전하면서 단부면의 요철에 따라서 변위하는 복수의 롤러와,

   상기 롤러가 회전 가능하게 부착된 롤러 프레임과,

   상기 롤러 프레임이 복수의 지지 로드에 의해 상하 이동 가능하게 부착된 측정대와,

   그 복수 롤러의 각각에 대응하여 설치되고, 각각의 롤러의 변위량을 검출하는 검출 수단과,

   그 검출 수단이 검출한 상기 롤러의 변위량에 기초하여 상기 피측정물의 형상 데이터를 산출하는 연산 수단

   을 구비하며, 상기 복수의 지지 로드는 상기 상대적인 이동의 방향과 평행을 이루도록 정렬된 것인 형상 측정 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 검출 수단은 상기 롤러 프레임에 접촉되어 있고, 상기 롤러의 상기 변위에 따라서 변위하는 롤러 프레임의 변위량을 검출하는 접촉 프로브인 것인 형상 측정 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 롤러는 캠 팔로워(cam follower)인 것인 형상 측정 장치.

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