KR100785578B1

KR100785578B1 - 자기식 위치 검출 장치

Info

Publication number: KR100785578B1
Application number: KR1020050088514A
Authority: KR
Inventors: 마나부 시라키; 쥰이치 다다
Original assignee: 가부시끼가이샤시코기껜
Priority date: 2004-11-16
Filing date: 2005-09-23
Publication date: 2007-12-13
Also published as: US20060103374A1; JP2006145220A; CN100378429C; CN1776354A; KR20060055312A; US7196511B2

Abstract

장치의 소형화를 도모함과 더불어 해상도(解像度)가 우수한 자기식(磁氣式) 위치 검출 장치를 제공한다. 본 발명의 자기식 위치 검출 장치(1)는, 상이한 자극(5)을 번갈아 배치한 자화면(magnetized surface)(3)에 대향해서 배치되어, 자화면(3)의 자계(磁界) 강도(强度)에 상응한 전류를 출력하는 복수의 자기 저항 소자 +A1∼+A4, -A1∼-A4, +B1∼+B4, -B1∼-B4로서 이루어지는 한 쌍의 자기 저항 회로 A, B와, 각각의 자기 저항 회로 A, B에 설치한 전력 공급 단자 Vcc와, 출력 단자 +AO, +B0, -AO, -B0를 구비하고, 한 쌍의 자기 저항 회로 A, B는 각각 자기 저항 소자 +A1∼+A4, -A1∼-A4, +B1∼+B4, -B1∼-B4가 직렬로 접속되어 있으며, 또한 각각의 자기 저항 소자의 전류 통로를 서로 평행하게 되도록 빗살 형상으로 배치하고, 상기 한 쌍의 자기 저항 회로 중 한쪽의 자기 저항 회로 A의 자기 저항 소자 +A2, +A3 사이에 다른 쪽의 자기 저항 회로 B의 자기 저항 소자 +B2, +B1이 배치되어 있다.

Description

자기식 위치 검출 장치{MAGNETIC POSITION DETECTING APPARATUS}

도 1은 제1실시형태에 따른 자기식 위치 검출 장치의 패턴 회로(pattern circuit)를 자화면과의 관계로 나타내는 평면도.

도 2는 도 1에 나타내는 자기식 위치 검출 장치의 등가(等價) 회로도.

도 3은 제1실시형태에 따른 자기식 위치 검출 장치의 사용 상태를 모식적(模式的)으로 나타낸 사시도.

도 4는 도 3에 나타내는 자기식 위치 검출 장치로부터 얻어진 출력 파형의 도면.

도 5는 도 1에 나타내는 자기식 위치 검출 장치의 패턴 회로를 개략적으로 나타낸 도면.

도 6은 변형 예에 따른 자기식 위치 검출 장치의 패턴 회로를 개략적으로 나타낸 도면.

도 7은 변형 예에 따른 자기식 위치 검출 장치의 도면이며, (a)는 사시도, (b)는 평면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1: 자기식 위치 검출 장치(위치 센서)

3: 자화면(magnetized surface)

5: 자극(磁極)

13: 접속 부분

A: 한쪽의 자기 저항 회로

B: 다른 쪽의 자기 저항 회로

Vcc: 전력 공급 단자

+A0, +B0, -A0, -B0: 출력 단자

+A1∼+A4, -A1∼-A4, +B1∼+B4, -B1∼-B4: 자기 저항 소자

본 발명은, 선형(線形)으로 이동 또는 회전하는 피구동체(被驅動體)의 위치를 검출하는 위치 검출 장치에 관한 것으로, 특히 자기(磁氣)를 이용한 자기식 위치 검출 장치에 관한 것이다.

이 종류의 위치 검출 장치로서, 특허 문헌 1에는 복수의 자기 저항 소자를 직렬로 접속해서 이루어지는 한쪽 및 다른 쪽의 자기 저항 회로를 빗살 형상으로 형성하는 동시에, 한쪽 및 다른 쪽의 자기 저항 회로를 자극의 배열 방향을 따라 횡(橫)으로 늘어 세운 구성이 개시되어 있다.

특허 문헌 2에는, 자화면(magnetized surface)에 홈을 형성하고, 기준 위치에 있어서의 자기 저항 회로로부터의 출력 파형을 조절하려고 하는 기술이 개시되어 있다.

(특허 문헌 1)

일본국 특공소54-41335호 공보

(특허 문헌 2)

일본국 특개평7-4987호 공보

그러나 특허 문헌 1의 기술에서는, 자기식 위치 검출 장치에 있어서의 복수의 자기 저항 회로가, 자극의 배열 방향에 늘어 세워서 설치되어 있기 때문에, 1개의 자기 저항 회로가 다수의 자기 저항 소자를 갖는 경우나, 다수의 자기 저항 회로를 설치할 경우에는, 자극의 배열 방향에 있어서의 회로의 길이가 길어져, 대형화함과 더불어 출력 파형의 해상도가 저하한다고 하는 문제가 있다.

특허 문헌 2에 있어서도, 복수의 자기 저항 회로를 설치한 경우에는, 특허 문헌 1과 마찬가지로 위치 검출 장치의 대형화 문제가 생기는 것과 더불어, 도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 회전하는 피구동체의 위치 검출 장치에 있어서는, 위치 검출 장치(21)의 폭 방향의 길이를 길게 취하면, 위치 검출 장치의 폭 방향 양단(21a)에서는 위치 어긋남에 의해 받는 자계 강도가 저하해서 출력 파형의 해상도가 저하한다고 하는 문제가 있다.

본 발명은, 상기 사정에 착안해서 이루어진 것이며, 위치 검출 장치의 소형화를 도모함과 더불어 해상도가 우수한 자기식 위치 검출 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 제1양태에 따르면, 상이한 자극을 번갈아 배치한 자화면에 대향해서 배치되어, 자화면의 자계 강도에 상응한 전류를 출력하는 복수의 자기 저항 소자로서 이루어지는 한 쌍의 자기 저항 회로와, 각각의 자기 저항 회로에 설치한 전력 공급 단자와 출력 단자를 구비하고, 한 쌍의 자기 저항 회로는 각각 자기 저항 소자가 직렬로 접속되어 있으며 또한 각각의 자기 저항 소자의 전류 통로를 서로 평행하게 되도록 빗살 형상으로 배치하고, 상기 한 쌍의 자기 저항 회로 중 한쪽의 자기 저항 회로의 자기 저항 소자 사이에 다른 쪽의 자기 저항 회로의 자기 저항 소자가 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제2양태에 따르면, 상기 제1양태에 따른 발명에 있어서, 한 쌍의 자기 저항 회로 중의 적어도 한쪽의 자기 저항 회로를 구성하는 자기 저항 소자는 기준 자기 저항 소자와 기준 자기 저항 소자로부터 (λ/n) 또는 (λ/2m) 비켜 놓아서 배치한 보정용 자기 저항 소자를 가지며, λ는 자화면의 자극의 늘어 세운 방향에 있어서의 자극의 폭이고, n은 0을 제외하는 짝수, m은 1을 제외하는 홀수인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제3양태에 따르면, 상기 제1 또는 제2양태에 따른 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 자기 저항 회로 중 한쪽의 자기 저항 회로와 다른 쪽의 자기 저항 회로는, 출력 파형의 위상 차(差)를 90° 비켜 놓고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제4양태에 따르면, 상기 제1 내지 제3양태에 따른 발명 중 어느 하나에 있어서, 각각의 자기 저항 소자 사이를 직렬로 접속하는 부분은 도전(導電) 재료에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.

이하에, 도 1∼도 5를 참조해서, 본 발명의 제1실시형태에 대해서 설명한다. 도 1은 제1실시형태에 따른 자기식 위치 검출 장치의 패턴 회로를 자화면과의 관계로 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1에 나타내는 자기식 위치 검출 장치의 등가 회로도이며, 도 3은 제1실시형태에 따른 자기식 위치 검출 장치의 사용 상태를 모식적으로 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3에 나타내는 자기식 위치 검출 장치로부터 얻어진 출력 파형의 도면이며, 도 5는 도 1에 나타내는 자기식 위치 검출 장치의 패턴 회로의 배치를 개략적으로 나타낸 도면이다.

본 실시형태에 따른 자기식 위치 검출 장치(1)는, 일례(一例)로서 휴대 전화에 조립되는 오토포커스 카메라(autofocus camera)의 줌 렌즈(zoom lens)나 포커스 렌즈(focus lens)의 위치를 검지하는 것이다. 카메라에는 줌 렌즈나 포커스 렌즈의 구동에 대응해서 설치된 자화면(3)이 설치되어 있으며, 자화면(3)에는 N극 및 S극의 자극(5)이 직렬로, 또한 N극과 S극이 번갈아 형성되어 있다. 자극(5)의 배열 방향에 있어서의 1개의 자극(5)의 폭은 λ이다.

자기식 위치 검출 장치(1)는, 기재(基材) 표면에 회로(9)(패턴 회로)가 형성되어 있으며, 회로(9)의 표면은 수지재(樹脂材)에 의해 피복되어 있다. 패턴 회로(9)는 제1자기 저항 회로 +A와, 제2자기 저항 회로 -A와, 제3자기 저항 회로 +B와, 제4자기 저항 회로 -B로 구성되어 있으며, 각각의 제1∼제4자기 저항 회로 +A, -A, +B, -B는, 각각 공통의 전원 Vcc와 접지 GND에 접속되어 있다.

본 실시형태에서는, 한쪽의 자기 저항 회로 A는 제1자기 저항 회로 +A 및 제2자기 저항 회로 -A로 구성되어 있으며, 다른 쪽의 자기 저항 회로 B는 제3자기 저항 회로 +B 및 제4자기 저항 회로 -B로 구성되어 있다.

한쪽의 자기 저항 회로 A에 있어서, 제1자기 저항 회로 +A와 제2자기 저항 회로 -A는 λ(360°） 어긋난 위치에 있어, 양(兩) 출력을 증폭한 출력 파형을 얻을 수 있게 되어 있다. 마찬가지로, 다른 쪽의 자기 저항 회로 B에 있어서도, 제3자기 저항 회로 +B 및 제4자기 저항 회로 -B는 λ(360°） 어긋난 위치에 있어, 양 출력을 증폭한 출력 파형이 얻어지도록 되어 있다.

제1자기 저항 회로 +A는, 기준 자기 저항 소자 +A1에 대하여, λ/2 어긋난 위치에 짝수 고조파(高調波) 성분용의 보정용 자기 저항 소자 +A3이 배치되어 있는 것과 더불어 λ/6 어긋난 위치에 홀수 고조파 보정 성분용의 보정 자기 저항 소자 +A2가 배치되어 있다. 또한, 보정용 자기 저항 소자 +A3에 대해서도 λ/6 어긋난 위치에 홀수 고조파 성분의 보정용 자기 저항 소자 +A4가 배치되어 있다.

짝수 고조파 성분의 보정용 자기 저항 소자 +A3은 기준 자기 저항 소자 +A1에 대하여 λ/n(n은 0을 제외하는 짝수)이면 좋으며, 본 실시형태에서는, n=2이다. 홀수 고조파 보정 성분용의 보정 자기 저항 소자 +A2는 기준 자기 저항 소자 +A1에 대하여 λ/2m(m은 1을 제외하는 홀수)이면 좋으며, 본 실시형태에서는, m=3이다. 또한, 보정용 자기 저항 소자 +A4도 짝수 고조파 보정용 자기 저항 소자 +A3에 대하여 λ/2m(m은 1을 제외하는 홀수)이면 좋으며, 본 실시형태에서는, m=3이다.

이하의 제2자기 저항 회로∼제4자기 저항 회로 -A, +B, -B에 있어서도, 제1자기 저항 회로 +A와 마찬가지로 기준 자기 저항 회로 -A1, +B1, -B1에 대하여 짝수 고조파 성분의 보정용 자기 저항 소자 -A3, +B3, -B3이 배치되어 있으며, 홀수 고조파 성분용의 보정 자기 저항 소자 -A2, -A4, +B2, +B4, -B2, -B4가 배치되어 있다.

또한, 자기식 위치 검출 장치(1)의 회로(9)에 있어서, 제1자기 저항 회로 +A의 출력 단자는 +A0이고, 제2자기 저항 회로 -A의 출력 단자는 -A0이며, 제3자기 저항 회로 +B의 출력 단자는 +B0이다.

각각의 자기 저항 소자 +A1∼+A4, -A1∼-A4, +B1∼+B4, -B1∼-B4는 각각 전류 통로를 서로 평행으로 해서 배치되어 있다. 또한, 한쪽의 자기 저항 회로 +A 및 다른 쪽의 자기 저항 회로 +B는 각각 빗살 형상을 형성하도록 자기 저항 회로 +A1∼+A4, +B1∼+B4가 배치되어 있으며, 한쪽의 자기 저항 회로 +A의 빗살 형상으로 배치한 자기 저항 소자 +A2와 +A3의 사이에 다른 쪽의 자기 저항 회로 +B의 자기 저항 소자 +B2와 +B1이 배치되어 있다. 자기 저항 회로 -A 및 -B에 있어서도 마찬가지로, 자기 저항 소자 +A4와 -A4의 사이에 자기 저항 소자 +B3, +B4가 배치되고, 자기 저항 소자 -A3과 -A1의 사이에 자기 저항 소자 -B4, -B3이 배치되며, 자기 저항 소자 -B1과 -B3의 사이에 -A1, -A2가 배치되어 있다.

각각의 자기 저항 회로 A, B에 있어서, 평행으로 배치된 자기 저항 소자 +A1∼+A4, -A1∼-A4, +B1∼+B4, -B1∼-B4를 접속하는 부분(13)은 보통의 도전 재료로 되어 있다.

이어서, 본 실시형태에 있어서의 작용, 효과에 대해서 설명한다.

본 실시형태에 의하면, 한쪽의 자기 저항 회로 A와 다른 쪽의 자기 저항 회로 B는 서로 빗살 형상을 이루어, 한쪽의 자기 저항 회로 A에 있어서의 자기 저항 소자 +A1∼+A4, -A1∼-A4 사이에 다른 쪽의 자기 저항 회로 B에 있어서의 자기 저항 소자 +B1∼+B4, -B1∼-B4를 배치하고 있으므로, 자기식 위치 검출 장치(위치 센서)(1)의 회로(9)를 집약해서 면적을 작게 할 수 있어, 위치 센서(1)의 소형화를 도모할 수 있다.

다수의 자기 저항 소자 +B1∼+B4, -B1∼-B4를 배치했을 경우에서도, 자화면(3)의 자극 폭 λ에 대하여 자기 저항 소자 +B1∼+B4, -B1∼-B4를 집약할 수 있으므로, 위치 센서(1)의 검지 폭을 작게 할 수 있는 것과 더불어, 보정용의 자기 저항 소자도 다수 배치할 수 있으므로, 검지 정밀도를 높일 수 있다.

특히, 위치 센서의 검지 폭을 작게 함으로써, 자화면이 원형이나 만곡(彎曲)한 형상으로 되어 있을 경우에도 각각의 자기 저항 소자와 자화면 사이의 간격 오차를 작게 할 수 있어, 자계 강도의 차가 적게 되므로 해상도가 높은 출력 파형을 얻을 수 있다.

기준으로 되는 자기 저항 소자 +A1, -A1, +B1, -B1에 대하여 λ/n 비켜 놓아서 배치한 자기 저항 소자 +A3, -A3, +B3, -B3에서는 출력 파장에 있어서의 짝수 고조파 성분을 보정할 수 있으며, λ/3m 비켜 놓아서 배치한 자기 저항 소자 +A4, +A2, -A4, -A2, +B4, +B2, -B4, -B2에서는 출력 파장에 있어서의 홀수 고조파 성분을 보정함으로써, 도 4에 나타내는 바와 같은 기준 파장 h를 조절한 사인 파형 S나 코사인 파형 C를 얻을 수 있다. 이러한 조절된 사인 파형 S나 코사인 파형 C를 얻음으로써, 폭 λ 내에 있어서의 위치를 정밀도 좋게 검지할 수 있고, 해상도를 높일 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 사인 파형 S와 코사인 파형 C를 동시에 출력함으로써, 자화면(3)에 대한 자기식 위치 검출 장치(1)의 상대적인 이동 방향이나 이동 속도를 검지할 수 있다. 이렇게, 이동 속도를 검지함으로써, 예를 들면 응용 예로서, 카메라의 줌 렌즈와 포커스 렌즈를 구동하는 위치 센서로서 이용했을 경우에는, 줌 렌즈와 포커스 렌즈를 거의 동시에 설정할 수 있다.

각각의 자기 저항 소자 +A1∼+A4, -A1∼-A4, +B1∼+B4, -B1∼-B4는 전류 통로를 서로 평행으로 하고 있기 때문에, 자기 저항 소자 +A1∼+A4, -A1∼-A4, +B1∼+B4, -B1∼-B4의 접속 부분(13)은 전류 통로에 대하여 평행하게 배치할 수 없게 된다. 그러나, 이 접속 부분(13)에 자기 저항 소자가 아니고 도전 재료를 이용함으로써, 접속 부분(13)이 계자(界磁)의 영향을 받지 않고 출력할 수 있으므로, 출력 파형의 파형 정밀도를 더욱 높일 수 있다.

본 발명은 상술한 실시형태에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈(逸脫)하지 않는 범위에서 여러 가지의 변형이 가능하다.

예를 들면, 자기식 위치 검출 장치(1)는, 선형 구동용에 한정하지 않고, 도 7(a)에 나타낸 바와 같이 자극면(3)을 원주에 따라 형성하고, 자기식 위치 검출 장치(1)에 의해 회전 위치를 검지하는 것이어도 좋다. 이 경우, 도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 종래 기술과 같이 각각의 자기 저항 회로를 횡으로 늘어 세워서 길게 했을 때에는(도면 중 일점 쇄선으로 나타냄) 그 양단(21a)에서 받는 계자 강도가 작아지게 되는 단점이 있지만, 본 실시형태에 따른 자기식 위치 검출 장치(1)는 자화 방향에 있어서의 폭을 작게 하고 있기 때문에, 단부(1a)에 있어서도 각각의 자기 저항 소자가 받는 자기 강도의 차를 작게 할 수 있다. 이것에 의해, 종래보다도 정밀도가 높은 위치 검지를 실행할 수 있다.

한쪽의 자기 저항 회로 A와 다른 쪽의 자기 저항 회로 B에 있어서의 각각의 자기 저항 소자의 배치는 상술한 실시형태에 한정하지 않고, 본질적인 각각의 자기 저항 소자의 작용 효과를 동일하게 해서 늘어 세워 교환한 배치, 예를 들면 도 6에 나타내는 바와 같은 배치로 해도 좋다.

상술한 실시형태에서는, 한쪽의 자기 저항 회로 A는 +A와 -A의 2개의 자기 저항 회로로 구성했지만, +A나 -A의 한쪽의 회로만으로도 좋고, 마찬가지로 다른 쪽의 자기 저항 회로 B도 +B나 -B의 한쪽의 자기 저항 회로만으로 구성해도 좋다.

본 실시형태에 따른 자기식 위치 검출 장치(1)는 카메라에 한정하지 않고, 공작 기계의 위치 제어나 소위 인코더 등으로서 이용할 수도 있으며, 용도는 한정되지 않는다.

상기 제1양태에 따른 발명에 의하면, 한 쌍의 자기 저항 회로 중 한쪽의 자기 저항 회로와 다른 쪽의 자기 저항 회로를 빗살 형상으로 형성해서, 한쪽의 자기 저항 회로에 있어서의 자기 저항 소자 사이에 다른 쪽의 자기 저항 회로에 있어서의 자기 저항 소자를 배치하는 구성이기 때문에, 자기 저항 회로를 배치하는 면적을 작게 할 수 있어, 자기식 위치 검출 장치의 소형화를 도모할 수 있다. 또한, 자화면의 자극 폭(λ)에 대하여 자기 저항 소자의 배치를 집약할 수 있으므로, 증폭용의 자기 저항 회로나 출력 파형을 정형하는 보정용 자기 저항 소자를 설치하기 위해서 다수의 자기 저항 소자를 배치할 경우에도 자기식 위치 검출 장치 전체의 회로 폭을 작게 할 수 있어, 검지 정밀도나 해상도를 높일 수 있다. 특히, 자기식 위치 검출 장치의 검지 폭을 작게 함으로써, 자화면이 원형이나 만곡한 형상으로 되어 있을 경우에도 각각의 자기 저항 소자와 자화면 사이의 간격 오차를 작게 할 수 있어, 자계 강도의 차가 적어지므로 해상도가 높은 출력 파형을 얻을 수 있다.

상기 제2양태에 따른 발명에 의하면, 상기 제1양태에 따른 발명과 마찬가지의 작용 효과를 얻을 수 있는 것과 더불어, λ/n 비켜 놓아서 배치한 자기 저항 소자에서는 출력 파장에 있어서의 짝수 고조파 성분을 보정할 수 있고, λ/2m에서는 홀수 고조파 성분을 보정함으로써, 도 4에 나타내는 바와 같은 기준 파장 h를 조절한 사인 파형 S나 코사인 파형 C를 얻을 수 있다. 이러한 조절된 사인 파형 S나 코사인 파형 C를 얻음으로써, 폭 λ 내에 있어서의 위치를 정밀도 좋게 검지할 수 있고, 해상도를 높일 수 있다.

상기 제3양태 따른 발명에 의하면, 상기 제1 또는 제2양태에 따른 발명과 마찬가지의 작용 효과를 얻을 수 있는 것과 더불어, 도 4에 나타낸 바와 같이 사인 파형 S와 코사인 파형 C를 동시에 출력함으로써, 자화면에 대한 자기식 위치 검출 장치의 상대적인 이동 방향이나 이동 속도를 검지할 수 있다.

상기 제4양태에 따른 발명에 의하면, 각각의 자기 저항 소자는 전류 통로를 서로 평행으로 하고 있기 때문에, 자기 저항 소자의 접속 부분은 전류 통로에 대하여 평행하게 배치할 수 없게 된다. 따라서, 이 접속 부분에 자기 저항 소자가 아니라 도전 재료를 이용함으로써, 접속 부분이 자화면에 있어서의 계자(界磁)의 영향을 받지 않고 출력할 수 있으므로, 출력 파형의 파형 정밀도를 더욱 높여 높은 해상도를 얻을 수 있다.

Claims

삭제
상이한 자극(磁極)을 번갈아 배치한 자화면(magnetized surface)에 대향해서 배치되어, 자화면의 자계(磁界) 강도에 상응한 전류를 출력하는 복수의 자기(磁氣) 저항 소자로 이루어지는 한 쌍의 자기 저항 회로와, 각각의 자기 저항 회로에 설치한 전력 공급 단자와 출력 단자를 구비하고,

상기 한 쌍의 자기 저항 회로는 각각 자기 저항 소자가 직렬로 접속되어 있으며 또한 각각의 자기 저항 소자의 전류 통로를 서로 평행하게 되도록 빗살 형상으로 배치하고, 상기 한 쌍의 자기 저항 회로 중 한쪽의 자기 저항 회로의 자기 저항 소자 사이에 다른 쪽의 자기 저항 회로의 자기 저항 소자가 배치되어 있으며,

상기 한 쌍의 자기 저항 회로 중의 적어도 한쪽의 자기 저항 회로를 구성하는 자기 저항 소자는 기준 자기 저항 소자와 기준 자기 저항 소자로부터 (λ/n) 또는 (λ/2m) 비켜 놓아서 배치한 보정용 자기 저항 소자를 갖고, λ는 자화면의 자극의 늘어서는 방향에 있어서의 자극의 폭이며, n은 0을 제외하는 짝수, m은 1을 제외하는 홀수인 것을 특징으로 하는 자기식 위치 검출 장치.
상이한 자극(磁極)을 번갈아 배치한 자화면(magnetized surface)에 대향해서 배치되어, 자화면의 자계(磁界) 강도에 상응한 전류를 출력하는 복수의 자기(磁氣) 저항 소자로 이루어지는 한 쌍의 자기 저항 회로와, 각각의 자기 저항 회로에 설치한 전력 공급 단자와 출력 단자를 구비하고,

상기 한 쌍의 자기 저항 회로는 각각 자기 저항 소자가 직렬로 접속되어 있으며 또한 각각의 자기 저항 소자의 전류 통로를 서로 평행하게 되도록 빗살 형상으로 배치하고, 상기 한 쌍의 자기 저항 회로 중 한쪽의 자기 저항 회로의 자기 저항 소자 사이에 다른 쪽의 자기 저항 회로의 자기 저항 소자가 배치되어 있으며,

상기 한 쌍의 자기 저항 회로 중 한쪽의 자기 저항 회로와 다른 쪽의 자기 저항 회로는, 출력 파형의 위상 차(差)를 90° 비켜 놓고 있는 것을 특징으로 하는 자기식 위치 검출 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서, 각각의 자기 저항 소자 사이를 직렬로 접속하는 부분은 도전(導電) 재료에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 자기식 위치 검출 장치.