KR100777645B1 - 다이아몬드상 카본 코팅 장치 및 그 제조방법 - Google Patents

다이아몬드상 카본 코팅 장치 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

다이아몬드상 카본 필름(Diamond Like Carbon Film: 이하 "DLC 필름"이라 함)을 코팅하는 장치 및 그 코팅 방법에 관한 것으로서, 플렉시블 기판을 공중에 지지하는 수단, 지지 수단이 설치된 진공 챔버, 진공 챔버의 내부를 코팅에 적합한 진공 상태로 유지시키는 진공 수단, 가스공급 수단, 상기 진공 챔버 내의 지그에 접속되어 각각 다른 수치의 전류를 인가하여 불균일하게 플라즈마 자장을 형성하도록 하여 비대칭 마그네트론(Closed Field Unbalanced Magnetron) 필드를 형성하도록 하는 전원 공급수단 및 플렉시블 기판 위에 소정의 원소로 된 다이아몬드 상 카본 필름을 적층하는 적층 수단으로 구성을 마련한다.
상기와 같은 플렉시블 기판 DLC 필름 코팅 장치 및 그 방법은 기본의 화학기상성장법(CVD) 종류가 아닌 상온에서 증착이 가능한 스퍼터 공정을 이용하며, 플렉시블 기판에 대해 열과 플라즈마의 영향을 최소화하기 위해 단시간 증착을 하며, 비대칭 마그네트론 스퍼터 공정으로 대면적 증착과 높은 증착율에 의한 균일 증착이 가능하기 때문에 산업화 응용에 더욱 효과적이다. 본 발명의 또 다른 효과는 플렉시블 기판위에 DLC 필름을 코팅하여 마모나 부식에 의한 영향을 줄이는 것이다.
플렉시블 기판, DLC, 코팅, 비대칭 마그네트론, 박막, 스퍼터

Description

다이아몬드상 카본 코팅 장치 및 그 제조방법{Diamond Like Carbon Coating Device and the Method for manufacturing the same}
도 1은 본 발명에 따른 플렉시블 다이아몬드상 카본 코팅의 개략적인 단면을 나타낸 도면,
도 2는 본 발명에 따른 DLC 코팅을 플렉시블 기판에 적층하기 위한 적층장치를 설명하기 위한 개략적인 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110 : 플렉시블 기판
120 : DLC 코팅 필름
210 : 플렉시블 기판
220 : 진공 챔버
221 : 기판 지지대
222 : 지그
223 : 냉각수
224 : 타겟
225 : 압력 측정기
231 : 바이어스 전원공급계
232 : 아르곤 가스 공급 장치
233 : 아세틸렌 가스 공급 장치
234 : 전자석
240 : 진공계
241: 진공펌프
242 ~ 244 : 밸브
본 발명은 플렉시블 기판상에 DLC 필름을 코팅하는 장치 및 그 코팅 방법에 관한 것으로서, 특히 플렉시블 기판과 DLC 필름의 접착력을 증진 시키고, 증착된 DLC 필름이 플렉시블 기판을 보호할 수 있도록 된 플렉시블 DLC 필름 코팅 장치 및 그 코팅 방법에 관한 것이다.
DLC 필름은 높은 경도와 윤활성 및 내마모성이 있으며, 표면이 매우 평활하고, 저온에서 합성할 수 있기 때문에, 다양한 분야에서 활용되고 있으나, 탄화물을 포함하지 않는 이종 기판과의 접착력이 낮다는 문제점이 있다. 특히, 플렉시블한 재료, 예컨대, 폴리머(polymer)와의 접착력이 낮고, 온도에 민감하기 때문에, DLC 필름의 응용 분야를 확대하기 위해서는 상기 플렉시블 기판과의 접착력을 증진시키고 온도에 따른 영향력을 최소화하기 위한 기술이 요구된다.
종래, DLC 필름의 접착력을 증진시키기 위한 방법으로서, 필름의 잔류 응력 을 감소시키는 방법 및 필름과 기판의 계면 접착력을 증진시키는 방법이 제안되었다.
먼저, 필름의 잔류 응력을 감소시키는 방법은, 필름을 합성할 때 제 3 원소를 첨가하거나 합성 온도를 증가시키거나 추후의 열처리 등을 통해 필름의 잔류 응력을 감소시키는 것이다. 그러나 DLC 필름의 경우, 잔류 응력은 필름의 구조나 기계적 물성과 매우 밀접한 관계가 있기 때문에, 잔류 응력이 감소하면 필름의 구조가 열화되고, 이에 따라 필름의 기계적 물성도 열화 된다. 따라서, 이 방법을 사용하면 필름의 물성을 우수하게 유지할 수 없다.
기판과 필름의 계면 접착력을 증진시키는 방법은 기판의 청결도 및 기판 표면과 필름간의 계면 특성을 향상시킴으로써 계면 접착력을 증진시키는 것이다. 통상, 기판을 합성 장비에 장착하기 전에 에틸렌, 아세톤 등의 유기 용매로 기판을 세척하여 표면에 잔류하는 오일이나 유기물을 제거하는 공정을 거치게 되며, 기판을 합성 장비에 장착하고 나서 DLC 필름을 코팅하기 전에 아르곤 이온을 이용한 스퍼터링에 의해 기판 표면의 산화물 등을 제거하고 기판 표면을 활성화시키는 공정을 다시 한번 거치게 된다. 그러나 이러한 공정을 통해서도 기판과 DLC 필름의 충분한 접착력을 구현할 수 없을 시에는, 필름과 기판 재질 모두와 화학적 친화력이 우수한 재료로 이루어진 접착력 증진층을 개재하는 것이 일반적이다. 이러한 접착력 중간층으로는, Cr 나 Ti 등의 재료가 단일층 구조 혹은 복합층 구조로 사용되어 왔다.
상기 설명한 접착력 증진층을 개재한 DLC 필름 코팅에 관한 장치와 방법에 대해서는 대한민국 등록특허공보 10-0357007, 공개특허공보 특2003-0063109호에 각각 개시되어 있다.
그러나 상기 공보에 개시된 기술에 있어서는, DLC 필름을 코팅하는 기술이 반도체 기판 등 딱딱한 표면의 기판에 코팅을 하는 것으로 한정된 것이었다. 즉 지지대가 챔버내에 평면으로 설치되어 있고 그 위에 기판으로서 공구강, 철계, 비철계 금속 등에 사용되는 DLC 필름 코팅 장치 및 코팅 방법이었다.
한편, 근래 디스플레이를 둘둘 말아서 가지고 다니거나, 곡면 등 다양한 형태로 가공할 수 있는 꿈의 디스플레이라고 불리는 플렉시블 디스플레이의 기술이 개발되고 있다. 이와 같은 플렉시블 기판으로는 Polyimide(Kapton), Polyethersulfone (PES), Polyetherimide(PEI), Polycarbonate(PC), Polyethylenenapthalate(PEN), Polyester (PET) 등이 사용되고 있다.
이러한 플렉시블 기판에는 유연성과 함께, 낮은 마찰계수, 부드러운 표면, 내식성, 내산화성 등이 요구되고, 융점이 낮은 플렉시블 기판을 사용하기 때문에 저온에서 제조해야만 하는 기술적 문제가 있다. 또한, 상기와 같은 플렉시블 기판은 디스플레이에 응용시 강도가 약한 표면 때문에 그 수명이 줄어들어 드는 단점을 야기하기 때문에 DLC 필름을 이용하여 보호용 코팅을 해야 한다.
이에 본 발명의 발명자들은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해서, 고속 증착을 위해 새롭게 설계한 비대칭 마그네트론(Closed-Field Unbalanced Magnetron, CFUBM) 스퍼터(sputter)라는 장치를 이용하였고, 열(온도)과 플라즈마에 따른 온도 영향을 줄이기 위해 단시간 내에 DLC를 플렉시블 기판상에 용이하게 증착하는 연구를 진행하게 되었다.
따라서, 본 발명의 목적은 DLC 필름의 우수한 물리적인 특성을 플렉시블의 기판에 도입함으로써 플렉시블 기판이 지니는 유연한 특성에, DLC 필름이 지니는 낮은 마찰계수, 부드러운 표면, 내식성, 내산화성 등이 부가될 수 있는 플렉시블 DLC 필름 코팅 장치, 그 코팅 방법 및 그 코팅된 구조물을 제공하는 것이다.
또, 본 발명의 다른 목적은 DLC 필름 내의 수소의 비율을 조절하는 방법을 사용하여, 플렉시블 기판의 마모를 줄여 표면을 보호해 주는 보호용 코팅 역할과 기판과 DLC 필름의 접착력을 증가시킬 수 있는 플렉시블 DLC 필름 카본 코팅 장치, 그 코팅 방법 및 그 코팅된 구조물을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 온도의 증가 없이 상온에서 증착이 가능하고 대면적 증착이 가능하며, 플렉시블 기판에 직접적으로 영향을 주는 열과 플라즈마에 의한 영향을 최소한으로 줄일 수 있도록 단시간 내에 균일하고 고효율 증착이 가능한 플렉시블 DLC 필름 코팅 장치, 그 코팅 방법 및 그 코팅된 구조물을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명자들은 플렉시블 기판에 따른 DLC 필름의 증착을 시도하였으며, 여러 가지 변수를 적용하여 최적 조건 구현을 시도하였다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 장치는 기판을 지지하는 지지수단, 상기 지지수단이 설치된 진공 챔버, 상기 진공 쳄버의 내부를 코팅에 적합한 진공 상태로 유지시키는 진공수단, 가스공급수단을 구비한 다이아몬드상 카본 필름을 코팅하는 장치에 있어서, 상기 진공 챔버 내의 지그에 접속되어 진공 챔버 내부에 플라즈마를 발생시키기 위한 전원 및 진공 챔버와 전원 간에 삽입되어 이들 간의 임피던스를 조정하여 플라즈마 생성을 조절하기 위한 정합회로로 구성되어 양측의 내부 전자석에 각각 다른 수치의 전류를 인가하여 불균일하게 플라즈마 자장을 형성하도록 하여 비대칭 마그네트론 필드를 형성하도록 하는 전원 공급수단, 및 상기 기판 위에 소정의 원소로 된 다이아몬드상 카본 필름을 비대칭 마그네트론(Close Field Unbalanced Magnetron, CFUBM) 스퍼터링법을 이용하여 코팅하는 코팅수단을 포함하고, 상기 기판은 플렉시블 기판인 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 장치에 있어서, 상기 지지 수단은 지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 장치에 있어서, 상기 지지대는 지그에 의해 상기 진공 챔버 내의 공간에 고정되는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 장치에 있어서, 상기 스퍼터링 시에 사용하는 스퍼터 가스는 아르곤 가스(Ar)와 아세틸렌 가스(C2H2)의 혼합 가스를 사용하는 것을 특징으로 한다.
상기 아세틸렌 가스(C2H2)의 함량은 10~30%인 것을 특징으로 한다.
삭제
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 장치에 있어서, 상기 코팅수단은 수소를 포함하는 가스를 첨가하지 않는 비벙질 탄소(a-C)의 형태로 코팅하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 장치에 있어서, 상기 코팅수단은 수소를 포함하는 가스를 첨가하는 수소화된 비정질 탄소(a-C:H)의 형태로 이코팅하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 장치에 있어서, 상기 수소를 포함하는 가스는 아세틸렌(C2H2)인 것을 특징으로 한다.
삭제
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 장치에 있어서, 상기 코팅수단은 플렉시블 기판상의 다이아몬드상 카본 필름이 중간층이 없는 단일층으로 이루어지도록 하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 장치에 있어서, 상기 소정의 원소는 주기율표 4B족에 포함되어 있는 원소인 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치에 있어서, 상기 주기율표 4B족에 포함되어 있는 원소는 탄소가 함유량 대비 90% 이상이 되는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 장치에 있어서, 상기 플렉시블 기판은 Polyimide (Kapton), Polyethersulfone (PES), Polyetherimide (PEI), Polycarbonate (PC), Polyethylenenapthalate (PEN), Polyester (PET) 중의 어느 하나인 것을 특징한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법은 기판을 지지하는 지지수단, 상기 지지수단이 설치된 진공 챔버, 상기 진공 챔버의 내부를 코팅에 적합한 진공 상태로 유지시키는 진공수단, 가스공급수단, 전원공급수단을 사용하여 상기 기판 상에 다이아몬드상 카본 필름을 코팅하는 방법에 있어서, 상기 기판을 준비하는 단계, 상기 지지수단에 상기 기판을 지지하는 지지단계, 상기 진공 챔버 내부에 각각 다른 수치의 전류를 인가하여 불균일하게 플라즈마 자장을 형성하도록 하여 비대칭 마그네트론(Close Field Unbalanced Magnetron, CFUBM) 필드를 형성하도록 하는 단계 및 상기 단계에서 형성된 비대칭 마그네트론 필드를 이용하여 상기 기판 상에 소정의 원소로 소정 두께를 갖는 층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 기판은 플렉시블 기판인 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법에 있어서, 상기 지지대는 지그에 의해 상기 진공 챔버 내의 공간에 고정되는 것을 특징으로 한다.
삭제
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법에 있어서, 상기 스퍼터링 시에 사용하는 스퍼터 가스는 아르곤 가스(Ar)와 아세틸렌 가스(C2H2)의 혼합 가스를 사용하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법에 있어서, 상기 아세틸렌 가스(C2H2)의 함량은 10~30%인 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법에 있어서, 상기 코팅단계는 수소를 포함하는 가스를 첨가하지 않는 비정질 탄소(a-C)의 형태로 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법에 있어서, 상기 코팅단계는 수소를 포함하는 가스를 첨가하여 수소화된 비정질 탄소(a-C:H)의 형태로 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법에 있어서, 상기 수소를 포함하는 가스가 아세틸렌(C2H2)인 것을 특징으로 한다.
삭제
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법에 있어서, 상기 코팅단계는 플렉시블 기판 상의 다이아몬드상 카본 필름이 중간층이 없는 단일층으로 이루어지도록 하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법에 있어서, 상기 소정의 원소는 주기율표 4B족에 포함되어 있는 원소인 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법에 있어서, 상기 주기율표 4B족에 포함되어 있는 원소는 탄소가 함유량 대비 90% 이상이 되는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 코팅 방법에 있어서, 상기 플렉시블 기판은 Polyimide (Kapton), Polyethersulfone (PES), Polyetherimide (PEI), Polycarbonate (PC), Polyethylenenapthalate (PEN), Polyester (PET) 등을 사용하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.
이하 도면을 참조로 본 발명을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 플렉시블 기판(110) 상에 DLC층(120)이 증착된 구조 물의 단면도이다.
도 1에 있어서, 상기 플렉시블 층은 통상 120㎛의 두께를 가지며, 상기 DLC층은 50 nm의 높이로 증착되며, 수소 포함 여부에 따라 a-C 또는 a-C:H 형태로 증착된다.
도 2는 본 발명에 따른 DLC 필름 코팅 장치의 개략적인 블록 단면도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 DLC 필름 코팅 장치는, 기판(210), 진공 챔버(220), 제 1 및 제 2의 가스 공급계(232, 233)와 전원공급계(231) 및 진공계(240)를 포함하고 있다.
진공 챔버(220) 내부에는 기판 지지대(221)가 배치되어 있으며, 기판 지지대(221)의 상부에는 지그(222)가 설치되어 지지대를 고정한다. 또한, 지그는 바이어스 전원공급계(231)와 직접적으로 연결되어 있다. 챔버(220) 외벽은 챔버 내에 적정온도 이상 온도가 올라가지 않도록 냉각수(223)가 계속 흐르도록 구성될 수 있다.
진공계(240)는 진공 펌프(241), 즉 확산 펌프(diffusion pump)와 로터리 펌프 (Rotary pump), 그리고 밸브(242, 243, 244)를 포함하여, 진공 챔버(220)의 내부를 코팅에 적합한 진공 상태로 유지시킨다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에서는 진공 챔버(220) 내의 압력을 측정하기 위한 압력 측정기(225)가 제공되어 있다. 이러한 압력 측정기로 측정한 값들은 진공 챔버(220) 내의 압력 및 출입하는 가스의 양을 표시하며 적정 수준으로 유지한다.
제 1 및 제 2의 가스 공급계(232, 233)는 기판 코팅에 필요한 가스들, 예를 들어 아르곤 가스(Ar), 아세틸렌(C2H2) 등의 수소 함유 가스 등을 진공 챔버(220) 내에 공급해준다. 여기서 아르곤 가스는 플라즈마를 일으키는 불활성 가스이며, 아세틸렌 가스는 플라즈마에 의해 분해되어 DLC 박막을 형성하는 반응 가스 역할을 한다.
전자석 파워를 포함하는 전원 공급계(231)는, 진공 챔버(220) 내의 지그(221)에 접속되어 진공 챔버(220) 내부에 플라즈마를 발생시키기 위한 전원, 및 진공 챔버(220)와 전원 간에 삽입되어 이들 간의 임피던스를 조정하여 플라즈마 생성을 조절하기 위한 정합회로로 구성된다. 여기서 양측의 내부 전자석에 각각 다른 수치의 전류를 인가하여 불균일하게 플라즈마 자장을 형성하게 된다.
마그네트론 스퍼터 타겟(224)은 99.99%의 카본(graphite) 타겟이 사용되었고 측면에 각각 부착되어 플라즈마 필드를 형성하였다.
다음으로, 본 발명에 따른 DLC 필름 코팅 장치를 사용하여, 기판(210) 상에 DLC 필름을 코팅하는 방법의 일 실시예에 대해 설명한다.
먼저, 플렉시블 기판 Polyimide(Kapton), Polyethersulfone (PES), Polyetherimide(PEI), Polycarbonate(PC), Polyethylenenapthalate(PEN), Polyester (PET) 등으로 이루어진 기판(210)을 유기 용매로 세척하여, 진공 챔버(220) 내의 기판 지지대(21) 상에 장착한다.
이어서, 가스 공급계(231)로부터 아르곤 가스를 15 sccm 공급하고, 수소 포함 가스인 아세틸렌 가스(함량 10~30%)를 2.5 sccm 공급하면서, 압력 측정기를 이 용하여 진공 챔버(220) 내의 압력을 30 m Torr로 유지하고, 전자석 파워 내외에 전원을 공급하여 플라즈마를 생성시키면, 4B족 원소 특히 카본 타겟을 스퍼터링 함으로써 탄소(C)가 비산되어 기판(210)상에 탄소(C)층이 형성되고, 플라즈마에 의해 분해된 수소(H)가 카본(C)과 결합(C-H)하게 된다. 이때, 전원 공급계(231)로부터 기판 지지대(222)에 DC 전원, 즉 기판 바이어스를 공급하면 본 발명에 따른 플렉시블 기판 위에 DLC 필름을 코팅하는 장치가 완성되게 된다.
상술한 바와 같이, 플렉시블 기판(210)과 DLC 필름(220) 을 결합함으로써 플렉시블 기판(210)에 DLC 필름(220)의 우수한 물리적인 특성을 추가하여, 적절한 강도(Hardness)와 우수한 마찰계수(Friction coefficient)를 가지는 플렉시블 디스플레이의 보호 코팅으로서 역할을 할 수 있는 필름을 형성할 수 있다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 플렉시블 기판 DLC 필름 코팅 장치 및 그 방법에 의하면, 플렉시블 기판 위에 비대칭 마그네트론 스퍼터(CFUBM sputter) 방식을 사용하여 DLC 박막층을 증착함으로써, 플렉시블 기판과의 접착력을 증가시켜 낮은 마모율과 내부식성, 그리고 낮은 마찰계수와 부드러운 표면에 의한 보호용 코팅으로써 상당한 효과가 있다.
또한, 이러한 특성들을 첨가해 플렉시블 기판의 수명을 연장할 수 있는 조건 이 되므로 앞으로 플렉시블 기판의 광범위한 실용화 할 수 있는 효과도 있다.

Claims (27)

  1. 기판을 지지하는 지지수단, 상기 지지수단이 설치된 진공 챔버, 상기 진공 쳄버의 내부를 코팅에 적합한 진공 상태로 유지시키는 진공수단, 가스공급수단을 구비한 다이아몬드상 카본 필름을 코팅하는 장치에 있어서,
    상기 진공 챔버 내의 지그에 접속되어 진공 챔버 내부에 플라즈마를 발생시키기 위한 전원 및 진공 챔버와 전원 간에 삽입되어 이들 간의 임피던스를 조정하여 플라즈마 생성을 조절하기 위한 정합회로로 구성되어 양측의 내부 전자석에 각각 다른 수치의 전류를 인가하여 불균일하게 플라즈마 자장을 형성하도록 하여 비대칭 마그네트론 필드를 형성하도록 하는 전원 공급수단, 및
    상기 기판 위에 소정의 원소로 된 다이아몬드상 카본 필름을 비대칭 마그네트론(Close Field Unbalanced Magnetron, CFUBM) 스퍼터링법을 이용하여 코팅하는 코팅수단을 포함하고,
    상기 기판은 플렉시블 기판인 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 지지 수단은 상기기판을 지지하는 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 지지대는 지그에 의해 상기 진공 챔버내의 공간에 고정되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 스퍼터링 시에 사용하는 스퍼터 가스는 아르곤 가스(Ar)와 아세틸렌 가스(C2H2)의 혼합 가스를 사용하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 아세틸렌 가스(C2H2)의 함량은 10~30%인 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 코팅수단은 수소를 포함하는 가스를 첨가하지 않는 비정질 탄소(a-C) 형태로 코팅하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 코팅수단은 수소를 포함하는 가스를 첨가하여 수소화된 비정질 탄소(a-C:H) 형태로 코팅하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 수소를 포함하는 가스가 아세틸렌(C2H2)인 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  10. 삭제
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 코팅수단은 플렉시블 기판상의 다이아몬드상 카본 필름이 중간층이 없는 단일층으로 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 소정의 원소는 주기율표 4B족에 포함되어 있는 원소인 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 주기율표 4B족에 포함되어 있는 원소는 탄소가 함유량 대비 90% 이상이 되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  14. 제 1항에 있어서,
    상기 플렉시블 기판은 Polyimide (Kapton), Polyethersulfone (PES), Polyetherimide (PEI), Polycarbonate (PC), Polyethylenenapthalate (PEN), Polyester (PET) 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 장치.
  15. 기판을 지지하는 지지수단, 상기 지지수단이 설치된 진공 챔버, 상기 진공 챔버의 내부를 코팅에 적합한 진공 상태로 유지시키는 진공수단, 가스공급수단, 전원공급수단을 사용하여 상기 기판 상에 다이아몬드상 카본 필름을 코팅하는 방법에 있어서,
    상기 기판을 준비하는 단계,
    상기 지지수단에 상기 기판을 지지하는 지지단계,
    상기 진공 챔버 내부에 각각 다른 수치의 전류를 인가하여 불균일하게 플라즈마 자장을 형성하도록 하여 비대칭 마그네트론(Close Field Unbalanced Magnetron, CFUBM) 필드를 형성하도록 하는 단계 및
    상기 단계에서 형성된 비대칭 마그네트론 필드를 이용하여 상기 기판 상에 소정의 원소로 소정 두께를 갖는 층을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 기판은 플렉시블 기판인 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 지지단계는 지그에 의해 상기 진공 챔버 내의 공간에 고정하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
  17. 삭제
  18. 제 15항에 있어서,
    상기 스퍼터링 시에 사용하는 스퍼터 가스는 아르곤 가스(Ar)와 아세틸렌 가스(C2H2)의 혼합 가스를 사용하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 아세틸렌 가스(C2H2)의 함량은 10~30%인 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
  20. 제 15항에 있어서,
    상기 코팅단계는 수소를 포함하는 가스를 첨가하지 않는 비정질 탄소(a-C)의 형태로 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
  21. 제 15항에 있어서,
    상기 코팅단계는 수소를 포함하는 가스를 첨가하는 수소화된 비정질 탄소(a-C:H) 형태로 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
  22. 제 21항에 있어서,
    상기 수소를 포함하는 가스는 아세틸렌(C2H2)인 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
  23. 삭제
  24. 제 15항에 있어서,
    상기 코팅단계는 플렉시블 기판 상의 다이아몬드상 카본 필름이 중간층이 없는 단일층으로 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
  25. 제 15항에 있어서,
    상기 소정의 원소는 주기율표 4B족에 포함되어 있는 원소인 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
  26. 제 25항에 있어서,
    상기 주기율표 4B족에 포함되어 있는 원소는 탄소가 함유량 대비 90% 이상이 되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
  27. 제 15항에 있어서,
    상기 플렉시블 기판은 Polyimide (Kapton), Polyethersulfone (PES), Polyetherimide (PEI), Polycarbonate (PC), Polyethylenenapthalate (PEN), Polyester (PET) 등을 사용하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 코팅 방법.
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