KR100773538B1 - 반사 전극 및 이를 구비하는 화합물 반도체 발광소자 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 화합물 반도체 발광소자의 p형 화합물 반도체 층 상에 형성되는 전극에 있어서,상기 p형 화합물 반도체 층과 오믹콘택을 형성하는 것으로 Ag와 Ag-계 합금 중의 어느 하나로 형성된 제 1 전극 층;상기 제 1 전극 층 상에 형성되는 것으로 Ni, Ni-계 합금, Zn, Zn-계 합금, Cu, Cu-계 합금, Ru, Ir 및 Rh 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성된 제 3 전극 층;상기 제 3 전극 층 상에 광반사 물질로 형성되는 제 4 전극 층;을 구비하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자의 반사 전극.
- 제 1 항에 있어서,상기 Ag-계 합금은 Mg, Zn, Sc, Hf, Zr, Te, Se, Ta, W, Nb, Cu, Si, Ni, Co, Mo, Cr, Mn, Hg, Pr 및 La으로 이루어지는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자의 반사 전극.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극 층 및 제 3 전극 층의 두께는 각각 0.1nm 내지 500nm의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자의 반사 전극.
- 제 1 항에 있어서,상기 광반사 물질은 Ag, Ag-계 합금, Al, Al-계 합금 및 Rh로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자의 반사 전극.
- 제 4 항에 있어서,상기 제 4 전극 층의 두께는 10nm 내지 5000nm의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자의 반사 전극.
- 제 1 항에 있어서,어닐링 공정에서 발생되는 상기 제 4 전극 층 표면에서의 응집 현상을 억제하기 위해 상기 제 4 전극 층 상에 전기 전도성 물질로 형성되는 제 5 전극 층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자의 반사 전극.
- 제 6 항에 있어서,상기 전기 전도성 물질은 Cu, Cu/Ru, Cu/Ir, Cu-계 합금, Cu-계 합금/Ru 및 Cu-계 합금/Ir으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자의 반사 전극.
- 제 7 항에 있어서,상기 제 5 전극 층의 두께는 1nm 내지 500nm의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자의 반사 전극.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극 층과 제 3 전극 층 사이에,Ni 또는 Ni-계 합금으로 형성된 제 2 전극 층;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자의 반사 전극.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 2 전극 층의 두께는 0.1nm 내지 500nm의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자의 반사 전극.
- n형 및 p형 전극과 그 사이에 적어도 n형 화합물 반도체 층, 활성 층 및 p형 화합물 반도체 층을 구비하는 화합물 반도체 발광소자에 있어서,상기 p형 전극은,상기 p형 화합물 반도체 층과 오믹콘택을 형성하는 것으로 Ag와 Ag-계 합금 중의 어느 하나로 형성된 제 1 전극 층;상기 제 1 전극 층 상에 형성되는 것으로 Ni, Ni-계 합금, Zn, Zn-계 합금, Cu, Cu-계 합금, Ru, Ir 및 Rh 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성된 제 3 전극 층;상기 제 3 전극 층 상에 광반사 물질로 형성되는 제 4 전극 층;을 구비하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자.
- 제 11 항에 있어서,상기 Ag-계 합금은 Mg, Zn, Sc, Hf, Zr, Te, Se, Ta, W, Nb, Cu, Si, Ni, Co, Mo, Cr, Mn, Hg, Pr 및 La으로 이루어지는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자.
- 제 11 항에 있어서,상기 제 1 전극 층 및 제 3 전극 층의 두께는 각각 0.1nm 내지 500nm의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자.
- 제 11 항에 있어서,상기 광반사 물질은 Ag, Ag-계 합금, Al, Al-계 합금 및 Rh로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자.
- 제 14 항에 있어서,상기 제 4 전극 층의 두께는 10nm 내지 5000nm의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자.
- 제 11 항에 있어서,어닐링 공정에서 발생되는 상기 제 4 전극 층 표면에서의 응집 현상을 억제하기 위해 상기 제 4 전극 층 상에 전기 전도성 물질로 형성되는 제 5 전극 층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자.
- 제 16 항에 있어서,상기 전기 전도성 물질은 Cu, Cu/Ru, Cu/Ir, Cu-계 합금, Cu-계 합금/Ru 및 Cu-계 합금/Ir으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자.
- 제 17 항에 있어서,상기 제 5 전극 층의 두께는 1nm 내지 500nm의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자.
- 제 11 항에 있어서,상기 제 1 전극 층과 제 3 전극 층 사이에,Ni 또는 Ni-계 합금으로 형성된 제 2 전극 층;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자.
- 제 19 항에 있어서,상기 제 2 전극 층의 두께는 0.1nm 내지 500nm의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 발광소자.
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