KR100728145B1 - 유기 ｅｌ 장치 및 전자 기기 - Google Patents

유기 ｅｌ 장치 및 전자 기기 Download PDF

Info

Publication number
KR100728145B1
KR100728145B1 KR1020050024907A KR20050024907A KR100728145B1 KR 100728145 B1 KR100728145 B1 KR 100728145B1 KR 1020050024907 A KR1020050024907 A KR 1020050024907A KR 20050024907 A KR20050024907 A KR 20050024907A KR 100728145 B1 KR100728145 B1 KR 100728145B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
organic
dummy
actual display
pixel
region
Prior art date
Application number
KR1020050024907A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060044758A (ko
Inventor
다다시 야마다
Original Assignee
세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세이코 엡슨 가부시키가이샤 filed Critical 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Publication of KR20060044758A publication Critical patent/KR20060044758A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100728145B1 publication Critical patent/KR100728145B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80—Constructional details
    • H10K59/88—Dummy elements, i.e. elements having non-functional features
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/14—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of the electroluminescent material, or by the simultaneous addition of the electroluminescent material in or onto the light source
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/191—Deposition of organic active material characterised by provisions for the orientation or alignment of the layer to be deposited
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/70—Testing, e.g. accelerated lifetime tests
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80—Constructional details
    • H10K59/86—Series electrical configurations of multiple OLEDs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 표시 영역에 도포된 액체 재료의 건조 속도를 균일하게 하는 것이 가능한 유기 EL 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
기판의 실제 표시 영역(4) 내에 복수의 화소(XR, XG, XB)를 구비하고, 상기 화소(XR, XG, XB)의 각각에 액상법에 의해 형성된 기능막을 갖는 제 1 유기 EL 소자가 설치된 유기 EL 장치에서, 상기 실제 표시 영역(4)의 주위에, 특성 검사용의 복수의 더미 화소(D1R, D1G, D1B, D2R, D2G, D2B)를 구비한 더미 영역(D)이 설치되고, 상기 더미 화소의 각각에 상기 제 1 유기 EL 소자의 기능막과 동일한 프로세스로 형성된 기능막을 갖는 제 2 유기 EL 소자가 설치된 구성으로 함으로써 상기 과제를 해결한다.
유기 EL 장치, 더미 영역, 기판, 편광판, 유기 발광층, 더미 화소

Description

유기 ＥＬ 장치 및 전자 기기{ORGANIC EL DEVICE AND ELECTRONIC APPARATUS}
도 1은 제 1 실시예에 따른 유기 EL 장치의 등가 회로를 나타내는 도면.
도 2는 상기 유기 EL 장치의 평면 구조를 나타내는 모식도.
도 3은 상기 유기 EL 장치의 더미 영역의 구조를 나타내는 모식도.
도 4는 상기 유기 EL 장치의 더미 영역의 요부를 확대하여 나타내는 모식도.
도 5는 상기 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 공정도.
도 6은 제 2 실시예에 따른 유기 EL 장치의 더미 영역의 구조를 나타내는 모식도.
도 7은 상기 유기 EL 장치의 더미 영역의 요부를 확대하여 나타내는 모식도.
도 8은 상기 유기 EL 장치의 단면 구조를 나타내는 모식도.
도 9는 본 발명의 전자 기기의 일례를 나타내는 사시도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1, 2…유기 EL 장치 4…실제 표시 영역
5…더미 영역 10…기판
14…정공 주입층(기능막) 15…유기 발광층(기능막)
18…편광판(기능성 필름) 1000…전자 기기
D…검사 영역 D1R, D1G, D1B…제 1 더미 화소
D2R, D2G, D2B…제 2 더미 화소 MR, MG , MB…더미 화소
X, XR, XG, XB…화소
본 발명은 유기 EL 장치 및 전자 기기에 관한 것이다.
최근, 자발광형 디스플레이로서, 유기 일렉트로루미네선스 소자(이하, 유기 EL 소자로 칭함)의 개발이 진행되고 있다. 이 유기 EL 소자로서는 고분자의 유기 발광 재료를 잉크젯법에 의해 형성한 것이 알려져 있다(특허문헌 1 참조).
[특허문헌 1] 일본국 특허 제 3328297호 공보
잉크젯법은 직경이 ㎛오더인 액적(液滴)을 고해상도로 토출, 도포할 수 있기 때문에, 유기 발광 재료의 고선명 패터닝이 가능하다. 그러나, 이 방법에서는 액적을 건조시키는 단계에서 건조 상태에 차이가 생기고, 표시 영역 내에서 막 두께 분포가 발생할 경우가 있다. 즉, 표시 영역의 외주부에서는 중앙부에 비해서 용매의 증기압이 낮아지기 때문에, 표시 영역 중앙부에 비해서 막 두께가 얇아지는 경향에 있다. 이러한 막 두께 분포는 휘도 불균일이나 색 불균일 등의 원인이 된다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 건조 불균일에 의한 표시 품질의 저하를 방지할 수 있는 유기 EL 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 유기 EL 장치는 기판의 실제 표시 영역 내에 복수의 화소를 구비하고, 상기 화소의 각각에, 액상법에 의해 형성된 기능막을 갖는 제 1 유기 EL 소자가 설치된 유기 EL 장치로서, 상기 실제 표시 영역의 주위에, 특성 검사용의 복수의 더미 화소를 구비한 더미 영역이 설치되고, 상기 더미 화소의 각각에, 상기 제 1 유기 EL 소자의 기능막과 동일 프로세스로 형성된 기능막을 갖는 제 2 유기 EL 소자가 설치된 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 액상 프로세스를 이용하여 기능막을 형성할 경우에는 액체 재료를 도포한 영역의 외주측에서 건조가 빠르게 진행되고, 중앙측에서는 안정적인 건조 상태를 얻을 수 있다. 본 발명은 액체 재료의 도포 영역을 실제 표시 영역의 외측으로 확장하고, 이 확장한 부분에 건조 불균일을 발생시킴으로써, 실제 표시 영역 내의 건조 상태를 안정시키도록 한 것이다. 즉, 본 발명에서는 실제 표시 영역에 기능막을 형성할 때에, 그 실제 표시 영역의 외측의 더미 영역에도 동일한 기능막을 형성하고 있기 때문에, 기능막을 건조할 때의 용매의 증기압이 실제 표시 영역의 중앙부와 외주부에서 대략 동일하게 된다. 이 때문에, 실제 표시 영역 전체에서 기능막의 막 두께를 균일하게 할 수 있고, 휘도 불균일이나 색 불균일 등이 없는 고품질의 표시가 가능하게 된다. 또한, 본 구성에서는 이러한 더미 영역에 발광 구조를 갖는 제 2 유기 EL 소자를 설치하고, 이 제 2 유기 EL 소자를 특성 검사용의 검사 소자로서 이용하고 있기 때문에, 기판 상에 별도 검사용의 구조 를 만들 필요가 없고, 콤팩트한 구성을 실현할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치에서는 상기 더미 화소의 검사 결과에 기초하여 상기 실제 표시 영역의 각 화소에 부여하는 신호를 보정 가능하도록 한 것으로 할 수 있다. 구체적으로는 상기 더미 영역이 상기 실제 표시 영역의 외주에 따라서 배열된 복수의 제 1 더미 화소를 갖고, 각 화소에 부여하는 상기 신호가 상기 제 1 더미 화소의 검사 결과에 기초하여 보정된 것으로 할 수 있다. 이렇게 함으로써, 보다 균일한 표시를 실현할 수 있다.
이 경우, 상기 더미 영역이 다른 색을 발광 가능한 복수의 상기 제 1 더미 화소를 갖고, 발광색이 동일한 제 1 더미 화소끼리가 서로 직렬로 접속된 것으로 할 수 있다. 더미 화소는 표시에 기여하는 것이 아니므로, 실제 표시 영역 내의 화소와 같이 개별적으로 구동할 수 있을 필요는 없다. 따라서, 본 구성과 같이 복수의 제 1 더미 화소를 직렬로 접속하고, 이들을 일괄적으로 구동하는(즉, 일괄적으로 검사하는) 것도 가능하다. 이렇게 함으로써 회로 구성을 단순화할 수 있다.
또한, 본 발명의 유기 EL 장치에서는 상기 더미 영역이 상기 실제 표시 영역의 외주에 수직으로 배열된 복수의 제 2 더미 화소를 갖고, 상기 더미 영역의 외주측으로부터 실제 표시 영역측을 향하는 상기 제 2 더미 화소의 발광 특성의 연속적인 변화에 기초하여, 상기 실제 표시 영역의 외주부에서의 상기 기능막의 막 두께변동의 형상을 검출 가능하게 한 구성으로 할 수 있다. 상술한 바와 같이, 본 발명에서는 건조 속도의 변동분을 더미 영역에 흡수시킴으로써, 실제 표시 영역의 건조 상태를 안정시키고 있다. 그러나, 건조 조건 등에 따라서는 상기 변동분을 충 분히 흡수할 수 없고, 기능막의 막 두께 불균일성이 더미 영역뿐만 아니라 실제 표시 영역의 외주부에도 발생하는 경우가 있다. 본 구성은 이러한 기능막의 막 두께 분포를 발광 특성의 변화에 의해서 검출하고, 막 두께 불균일성이 실제 표시 영역에까지 미치고 있는지의 여부를 간단하게 판정할 수 있게 한 것이다. 예를 들어, 발광 휘도가 실제 표시 영역에 이르기 전에 포화되는(일정하게 되는) 경우에는 기능막의 막 두께 변동이 더미 영역의 외주측에서만 발생하고 있다고 판정할 수 있다. 한편, 발광 휘도가 실제 표시 영역의 주위에서도 안정되어 있지 않은 경우에는 기능막의 막 두께 변동이 실제 표시 영역 내에도 미치고 있다고 판정할 수 있다.
이 경우, 상기 복수의 제 2 더미 화소를 서로 직렬로 접속하고, 이들을 일괄적으로 구동하는(즉, 일괄적으로 검사하는) 것이 가능하다. 이렇게 함으로써 회로 구성을 간단하게 할 수 있다.
또한, 본 발명의 유기 EL 장치는 기판의 실제 표시 영역 내에 복수의 화소를 구비하고, 상기 화소의 각각에, 액상법에 의해 형성된 기능막을 갖는 제 1 유기 EL 소자가 설치되는 동시에, 상기 기판의 표면에 기능성의 필름이 점착된 유기 EL 장치로서, 상기 실제 표시 영역의 주위에, 상기 필름을 점착할 때의 얼라인먼트 마크가 되는 복수의 더미 화소를 구비한 더미 영역이 설치되고, 상기 더미 화소의 각각에 상기 제 1 유기 EL 소자의 기능막과 동일한 프로세스로 형성된 기능막을 갖는 제 2 유기 EL 소자가 설치된 것을 특징으로 한다.
본 구성에서도, 실제 표시 영역 전체에서 기능막의 막 두께를 균일하게 할 수 있고, 휘도 불균일이나 색 불균일 등이 없는 고품질의 표시가 가능하게 된다. 또한, 본 구성에서는 이러한 더미 화소에 발광 구조를 갖는 제 2 유기 EL 소자를 설치하고, 이 제 2 유기 EL 소자를 필름 점착시의 얼라인먼트 마크로서 이용하기 때문에, 기판 상에 별도 얼라인먼트 마크를 만들 필요가 없고, 콤팩트한 구성을 실현할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치에서는 상기 복수의 더미 화소를 서로 직렬로 접속하고, 이들을 일괄적으로 구동할(즉, 각 더미 화소를 일괄적으로 발광시킴으로써, 얼라인먼트 마크의 형상을 나타낼) 수 있다. 이렇게 함으로써 회로 구성을 간단하게 할 수 있다.
또한, 본 발명의 전자 기기는 상술한 유기 EL 장치를 구비한 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 소형이며 표시 품질이 높은 전자 기기를 제공할 수 있다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 대해서 설명한다. 또한, 이하의 모든 도면에서는 각 층이나 각 부재를 도면 상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 때문에, 각 층이나 각 부재마다 축척을 다르게 한다.
[제 1 실시예]
[유기 EL 장치]
우선, 도 1~도 5를 참조하면서 본 발명의 제 1 실시예에 대해서 설명한다.
이하에 나타내는 본 실시예의 유기 EL 장치는 스위칭 소자로서 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, 이하, TFT로 약기함)를 이용한 액티브 매트릭스 방식의 유기 EL 표시 장치이며, 특히 R(적색), G(녹색), B(청색)의 3종류의 고분자 유기 발광층을 구비한 컬러 유기 EL 표시 장치이다.
도 1은 본 실시예에 따른 유기 EL 장치의 등가 회로를 나타내는 모식도이다.
유기 EL 표시 장치(1)는 복수의 주사선(101)과, 각 주사선(101)에 대하여 직각으로 교차하는 방향으로 연장하는 복수의 신호선(102)과, 각 신호선(102)에 병렬로 연장하는 복수의 전력선(전원선)(103)으로 이루어지는 배선 구성을 갖고, 주사선(101)과 신호선(102)의 각 교점 부근에 화소(X)를 형성한 것이다.
신호선(102)에는 시프트 레지스터, 레벨 시프터, 비디오 라인 및 아날로그 스위치를 구비하는 데이터선 구동 회로(100)가 접속되어 있다. 또한, 주사선(101)에는 시프트 레지스터 및 레벨 시프터를 구비하는 주사선 구동 회로(80)가 접속되어 있다. 또한, 각 화소(X)에는 주사선(101)을 통해서 주사 신호가 게이트 전극에 공급되는 스위칭용 TFT(11b)와, 이 스위칭용 TFT(11b)를 통해서 신호선(102)으로부터 공유되는 화소 신호를 유지하는 유지 용량(11c)과, 상기 유지 용량(11c)에 의해서 유지된 화소 신호가 게이트 전극에 공급되는 구동용 TFT(11a)(구동용 전자 소자)와, 이 구동용 TFT(11a)를 통해서 전원선(103)에 전기적으로 접속했을 때에 상기 전원선(103)으로부터 구동 전류가 흘러 들어 오는 양극(화소 전극)(12)과, 이 양극(12)과 음극(공통 전극)(17) 사이에 삽입된 전기 광학층(E)이 설치되어 있다. 그리고, 이러한 양극(12)과 음극(17) 및 전기 광학층(E)에 의해, 발광 소자, 즉 유기 EL 소자가 구성되어 있다. 또한, 본 실시예의 전기 광학층(E)은 유기 발광층이나 정공 주입층 등의 복수의 기능막에 의해서 구성되어 있다.
이 유기 EL 표시 장치(1)에 의하면, 주사선(101)이 구동되어서 스위칭용 TFT(11b)가 온 상태가 되면, 그 때의 신호선(102)의 전위가 유지 용량(11c)에 유지되고, 상기 유지 용량(11c)의 상태에 따라서, 구동용 TFT(11a)의 온·오프 상태가 결정된다. 그리고, 구동용 TFT(11a)의 채널을 통해서, 전원선(103)으로부터 양극(12)으로 전류가 흐르고, 또한, 전기 광학층(E)을 통해서 음극(17)에 전류가 흐른다. 전기 광학층(E)은 이것을 흐르는 전류량에 따라서 발광한다.
이어서, 도 2를 이용하여 본 실시예의 유기 EL 표시 장치(1)의 평면 구조에 대해서 설명한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 유기 EL 표시 장치(1)는 전기 절연성을 구비하는 기판(10A)과, 도시가 생략된 스위칭용 TFT에 접속된 화소 전극이 기판(10A) 상에 매트릭스 형상으로 배치되어서 이루어지는 도시가 생략된 화소 전극역과, 화소 전극역의 주위에 배치되는 동시에 각 화소 전극에 접속되는 전원선(103)(도 1 참조)과, 적어도 화소 전극역 상에 위치하는 평면에서 보아 대략 사각형의 화소부(3)(도면 중 일점쇄선 범위 내)를 구비하여 구성되어 있다. 또한, 화소부(3)는 중앙 부분의 실제 표시 영역(4)(도면 중 이점쇄선 범위 내)과, 실제 표시 영역(4)의 주위에 배치된 더미 영역(5)(일점쇄선 및 이점쇄선 사이의 영역)으로 구획되어 있다.
실제 표시 영역(4)에는 각각 화소 전극을 갖는 표시 영역 R, G, B가 A-A′방향 및 B-B′방향으로 이간하여 배치되어 있다. 또한, 실제 표시 영역(4)의 도면 중양측에는 주사선 구동 회로(80)가 배치되어 있다. 상기 주사선 구동 회로(80)는 더미 영역(5)의 하측에 위치하여 설치되어 있다. 또한, 실제 표시 영역(4)의 도면 중 상측에는 검사 회로(90)가 배치되어 있다. 상기 검사 회로(90)는 더미 영역(5)의 하측에 위치하여 설치되어 있다. 검사 회로(90)는 유기 EL 표시 장치(1)의 작동 상황을 검사하기 위한 회로로서, 예를 들어, 검사 결과를 외부에 출력하는 도시되지 않은 검사 정보 출력 수단을 구비하고, 제조 도중이나 출시시의 표시 장치의 품질, 결함의 검사를 행할 수 있도록 구성되어 있다.
주사선 구동 회로(80) 및 검사 회로(90)의 구동 전압은 소정의 전원부로부터 구동 전압 도통부를 통해서 인가되어 있다. 또한, 이들 주사선 구동 회로(80) 및 검사 회로(90)로의 구동 제어 신호 및 구동 전압은 이 유기 EL 표시 장치(1)의 작동 제어를 관장하는 소정의 메인 드라이버 등으로부터 구동 제어 신호 도통부 등을 통해서 송신 및 인가되도록 되어 있다. 또한, 이 경우의 구동 제어 신호는 주사선 구동 회로(80) 및 검사 회로(90)가 신호를 출력할 때의 제어에 관련되는 메인 드라이버 등으로부터의 지령 신호이다.
더미 영역(5)은 표시에 기여하지 않는 비표시 영역이다. 본 실시예에서는 이 더미 영역(5)을 실제 표시 영역(4)에 액상법을 이용하여 기능막을 형성할 때의 액체 재료의 버리기 토출 영역으로서 이용하고 있다. 즉, 기능막을 액체 재료의 도포·건조에 의해서 형성할 경우, 실제 표시 영역(4)에만 액체 재료를 배치하면, 상술한 바와 같이 실제 표시 영역(4)의 중앙부와 외주부의 사이에서 건조 상태에 차이가 생기고, 기능막의 막 두께에 분포가 생기게 된다. 이에 대하여 실제 표시 영역(4)의 주위에 이러한 더미 영역(5)을 설치한 경우에는 이 더미 영역(5)으로부터 증발하는 용매의 증기에 의해서, 실제 표시 영역(4) 내외의 건조 상태가 동일해 지고, 실제 표시 영역(4) 전체에 기능막이 균일하게 형성되게 된다.
그런데, 본 실시예에서는 이러한 더미 영역(5)을 단순히 실제 표시 영역(4)내의 건조 불균일을 방지하기 위해서 뿐만 아니라, 실용적인 것 이외의 용도, 예를 들어, 유기 EL 소자의 특성을 검사하기 위한 검사 영역으로서 이용하고 있다.
도 3, 도 4는 더미 영역(5)의 구체적인 구성을 나타내는 모식도이다. 도 3 에 나타낸 바와 같이, 실제 표시 영역(4)의 주위에는 단순히 액체 재료를 버리기 토출한 영역(5′) 이외에, 복수의 검사 영역(D)이 설치되어 있다. 각 검사 영역(D)에는 유기 EL 소자의 특성 검사용의 복수의 더미 화소가 설치되어 있다. 이들 더미 화소는 TFT나 유지 용량 등의 스위칭 구조를 구비하지 않는 점을 제외하고 실제 표시 영역(4)의 화소(X)와 동일한 화소 구조를 갖고 있다. 즉, 각 더미 화소에는 실제 표시 영역(4)에 설치된 유기 EL 소자(제 1 유기 EL 소자)와 동일한 구조를 갖는 더미의 유기 EL 소자(제 2 유기 EL 소자)가 설치되어 있으며, 각 더미의 유기 EL 소자는 각각 전원선(도시 생략)으로부터 공급되는 전류에 의해서 발광 가능하게 구성되어 있다.
검사 영역(D)은 도 4에 나타낸 바와 같이, 유기 EL 소자의 특성의 편차를 검사하기 위한 제 1 영역(D1)과, 기능막의 막 두께 분포를 검사하기 위한 제 2 영역(D2)을 포함하고 있다.
제 1 영역(D1)에는 실제 표시 영역(4)의 외주에 따라서 배열된 복수의 제 1 더미 화소(D1R, D1G, D1B)가 설치되어 있다. 이들 제 1 더미 화소에는 실제 표시 영역(4)의 화소(XR, XG, XB)와 마찬가지로, 다른 색을 발광 가능한 복수 종류의 더미 화소(본 실시예에서는 적색 발광용의 제 1 더미 화소(D1R)와 녹색 발광용의 제 1 더미 화소(D1G) 및 청색 발광용의 제 1 더미 화소(D1B))가 포함되어 있다. 이 제 1 더미 화소는 유기 EL 소자의 전류-휘도 특성(I-L 특성) 등을 검사하기 위한 것이며, 본 실시예에서는 이 제 1 더미 화소(D1R, D1G, D1B)를 사용하여 발광 특성의 편차를 조사하고, 이 편차에 따라서 실제 표시 영역(4)의 각 화소(XR, XG, XB)에 부여하는 신호를 라인마다 보정하고 있다. 상술한 화소 신호는 이 제 1 더미 화소의 검사 결과에 기초하여 보정된 것이며, 이러한 보정에 의해서, 실제 표시 영역 내에서 균일한 발광 특성을 얻을 수 있도록 되어 있다.
이들 제 1 더미 화소는 표시에 기여하는 것이 아니므로, 실제 표시 영역 내의 화소와 같이 개별적으로 구동할 수 있을 필요는 없다. 따라서, 본 실시예에서는 발광색이 동일한 더미 화소끼리를 서로 직렬로 접속하고, 이들을 일괄적으로 구동하도록(즉, 일괄적으로 검사하도록) 하고 있다. 이렇게 함으로써 회로 구성을 단순화 할 수 있다. 또한, 도 4에서, 부호 L1R, L1G, L1B는 검사 신호 취출(取出)용 배선이며, 부호 T1R, T1G, T1B는 외부 단자이다. 배선 L1R, L1G, L1B는 각각 적색 발광용 제 1 더미 화소(D1R), 녹색 발광용 제 1 더미 화소(D1G) 및 청색 발광용 제 1 더미 화소(D1B)에 대하여 공통 배선으로서 설치되어 있다.
제 2 영역(D2)에는 실제 표시 영역(4)의 외주에 수직으로 배열된 복수의 제 2 더미 화소(D2R, D2G, D2B)가 설치되어 있다. 이들 제 1 더미 화소에도, 실제 표시 영역(4)의 화소(XR, XG, XB)와 마찬가지로, 다른 색을 발광 가능한 복수 종류의 더미 화소(본 실시예에서는 적색 발광용의 제 2 더미 화소(D2R)와 녹색 발광용의 제 2 더미 화소(D2G)및 청색 발광용의 제 2 더미 화소(D2B))가 포함되어 있다. 이 제 2 더미 화소는 유기 EL 소자의 기능막의 막 두께 분포를 검사하기 위한 것이며, 본실시예에서는 이들 제 2 더미 화소의 발광 특성의 변화를 검사함으로써, 더미 영역의 외주측으로부터 실제 표시 영역측에 걸친 기능막의 막 두께 변동의 형상을 검출하고 있다. 상기한 바와 같이, 본 실시예에서는 건조 속도의 변동분을 더미 영역에 흡수시킴으로써 실제 표시 영역의 건조 상태를 안정시키고 있다. 그러나, 건조 조건 등에 따라서는 상기 변동분을 충분히 흡수할 수 없고, 기능막의 막 두께 불균일성이 더미 영역뿐만 아니라 실제 표시 영역의 외주부에도 발생하는 경우가 있다. 본 구성은 이러한 기능막의 막 두께 분포를 발광 특성의 변화에 따라 검출하고, 막 두께 불균일성이 실제 표시 영역에까지 미치고 있는지의 여부를 간단하게 판정할 수 있도록 한 것이다. 예를 들어, 발광 휘도가 실제 표시 영역에 이르기 전에 포화되는(일정하게 되는) 경우에는 기능막의 막 두께 변동이 더미 영역의 외주측에만 발생하고 있다고 판정할 수 있다. 한편, 발광 휘도가 실제 표시 영역의 주위에서도 안정되어 있지 않은 경우에는 기능막의 막 두께 변동이 실제 표시 영역 내에도 미치고 있다고 판정할 수 있다.
이들 제 2 더미 화소(D2R, D2G, D2B)는 서로 직렬로 접속되어 있다. 발광 특성을 검사하는 경우에는 이들 제 2 더미 화소를 일괄적으로 구동하고, 각각의 제 2 더미 화소의 발광 특성을 CCD 등으로 개별적으로 검사한다. 또한, 도 4에서, 부호 L2는 검사 신호 취출용 배선이며, 부호 T2는 외부 단자이다. 배선 L2는 적색 발광용 제 2 더미 화소(D2R), 녹색 발광용 제 2 더미 화소(D2G) 및 청색 발광용 제 2 더미 화소(D2B)에 대하여 공통 배선으로서 설치되어 있다.
이어서, 도 5의 (d)를 이용하여, 유기 EL 표시 장치(1)의 단면 구조에 대해서 설명한다.
이 유기 EL 표시 장치(1)는 소자 기판(10) 상에 양극(12), 전기 광학층(E), 음극(16)을 차례로 구비하고 있다. 소자 기판(10)에는 유리나 수지 등으로 이루어지는 기판 본체(10A) 상에 회로부(11)가 형성되어 있다. 이 회로부(11) 상에는 실제 표시 영역(4)의 각 화소 및 더미 영역(5)의 각 더미 화소에 대응하고, 평면에서 보아 대략 사각형 형상의 양극(12)이 매트릭스 형상으로 배열되어 있다. 회로부(11)에는 실제 표시 영역(4) 내에, 주사선(101), 신호선(102) 등의 각종 배선이나, 유지 용량(11c), TFT(11a, 11b) 등을 포함하는 전자 회로가 형성되어 있다. 한편, 더미 영역(5)에는 더미 화소를 구동하기 위한 배선 이외에는 더미 화소를 개별적으로 구동하기 위한 TFT 등의 스위칭 구조는 설치되어 있지 않다. 이 양극(12)이 형성된 소자 기판(10) 상에는 각각의 화소 위치(실제 표시 영역(4) 내의 화소 및 더미 영역(5) 내의 더미 화소를 포함함)에 개구부를 갖는 뱅크층(13)이 형성되어 있 다. 이 뱅크층(13)은 각 화소를 구획하기 위한 격벽으로서 기능하는 것이며, 이 뱅크층(13)에 의해 구획된 영역 내(즉, 뱅크층(13)의 개구부(H) 내)에는 각각 유기 발광층(15)을 포함하는 전기 광학층(E)이 형성되어 있다.
뱅크층(13)은 산화 규소나 산화 티탄 등의 무기 절연 재료로 이루어지는 무기 뱅크층(13a)과, 아크릴 수지나 폴리이미드 수지 등의 유기 절연 재료로 이루어지는 유기 뱅크층(13b)의 2층 구조로 이루어진다. 이들 뱅크층(13a , 13b)에는 각각 양극(12)의 평면 영역에, 서로 연통하는 개구부(H1, H2)(이하의 기재에서는 이들을 통합하여 개구부(H)로 기재함)가 설치되어 있다. 무기 뱅크층(13a)의 개구부(H1)는 양극(12)의 평면 영역 내에 설치되어 있으며, 그 둘레부는 양극(12)의 둘레부 상에 올려지도록 형성되어 있다. 유기 뱅크층(13b)은 이 무기 뱅크층(13a)의 평면 영역 내에 설치되어 있고, 그 폭은 무기 뱅크층(13a)의 폭보다도 좁게 형성되어 있다.
뱅크층(13)의 서로 연통하는 개구부(H)에는 상술한 전기 광학층(E)이 형성되어 있으며, 이 뱅크층(13) 및 전기 광학층(E)를 덮도록, 음극(16)이 설치되어 있다.
양극(12) 및 음극(16)은 ITO 이외의 도전 재료로 이루어진다. 예를 들어, 전기 광학층(E)으로부터 발한 광(光)을 양극측에서 취출하는 보텀 이미션(bottom emission)형 구조에서는 양극(12)에는 ITO 등의 투광성 도전 재료가 이용된다. 이 경우, 음극측에 발한 광을 양극측으로부터 취출할 수 있도록, 음극(16)에는 Al이나 Ag 등의 고반사율의 금속 재료나, Al/ITO 등의 투광성 재료와 고반사율 금속 재료 의 적층 구조를 채용할 수 있다. 반대로, 발광광을 음극측에서 취출하는 톱 이미션(top emission)형의 구조에서는 음극(16)에 투광성 도전 재료가 이용되고, 양극(12)에는 고반사율의 도전 재료가 이용된다. 이 경우, 음극(16)에는 예를 들어, 바소크프로인(BCP)과 세슘(Cs)의 공증착막을 이용하고, 또한, 도전성을 부여하기 위해서 ITO를 적층하는 구조가 적합하게 채용된다. 또한, 음극(16)은 뱅크층(13)및 전기 광학층(E)의 노출면을 덮도록 배치되어 있으며, 각 화소에 공통인 공통 전극으로서 기능한다.
전기 광학층(E)은 정공 주입층(14)과 유기 발광층(15)이 하층측으로부터 차례로 적층된 구조를 갖는다.
정공 주입층(15)을 형성하기 위한 재료(정공 주입 재료)로서는 예를 들어, 폴리티오펜 유도체, 폴리피롤 유도체 등, 또는 이들 재료에 폴리스틸렌술폰산(PSS) 등의 산성 물질을 도핑한 도핑체 등을 사용할 수 있다. 예를 들어, 폴리티오펜 유도체에서는 PEDOT에 PSS를 도프한 PEDOT:PSS를 채용할 수 있다.
유기 발광층(15)은 형광 또는 인광을 발광하는 것이 가능한 공지의 발광 재료에 의해서 형성되어 있다. 구체적으로는 (폴리)파라페닐렌비닐렌 유도체, 폴리페닐렌 유도체, 폴리플루오렌 유도체, 폴리비닐카르바졸, 폴리티오펜 유도체 등의 고분자 발광체나, 페릴렌계 색소, 크마린계 색소, 로다민계 색소 등의 저분자 유기 발광 색소가 적합하게 사용된다. 발광 물질이 되는 공역계 고분자 중에서는 아릴렌비닐렌 또는 폴리플루오렌 구조를 포함하는 것 등이 특히 바람직하다. 또한, 이들 재료에 루브렌, 페릴렌, 9, 10-디페닐 안트라센, 테트라페닐부타젠, 나일 레드, 크마린6, 퀴나크리돈 등의 재료를 도핑하여 이용할 수도 있다.
이렇게 구성된 소자 기판(10)의 표면은 건조제를 구비한 밀봉캔이나 가스 배리어성의 밀봉재(도시 생략)에 의해서 밀봉할 수 있다. 밀봉재로서는 예를 들어, SiO2 등의 규소산화물이나, SiN 등의 규소질화물, 또는 SiOxNy 등의 규소산질화물을 적합하게 이용할 수 있다. 또한, 음극(16)과 밀봉재 사이에는 필요에 따라서 보호막을 설치할 수도 있다. 또한, 양극(12)의 하층측에 배포된 층간 절연막을 이러한 규소산화물, 규소질화물, 규소산질화물에 의해서 구성한 경우에는 양극(12), 전기 광학층(E), 음극(16)으로 이루어지는 유기 EL 소자가 가스 배리어성의 막(즉, 층간 절연막 및 밀봉재)에 의해서 감싸지게 되고, 보다 신뢰성이 높은 유기 EL 장치를 구성할 수 있다.
[유기 EL 장치의 제조 방법]
이어서, 본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에 대해서 설명한다. 도 5는 본 실시예의 유기 EL 표시 장치(1)의 제조 공정을 나타내는 단면 모식도이다.
본 실시예의 유기 EL 표시 장치(1)의 제조 방법은 예를 들어, (1) 뱅크층 형성 공정, (2) 정공 주입층 형성 공정, (3) 발광층 형성 공정, (4) 음극(공통 전극) 형성 공정, 밀봉 공정, (5) 검사 공정을 구비하고 있다. 또한, 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은 이것에 한정되는 것이 아니며, 필요에 따라서 기타의 공정이 제외되는 경우, 또한, 추가되는 경우도 있다. 이하, 각각의 공정에 대해서 설명한다.
(1) 뱅크층 형성 공정
우선, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같은 소자 기판(10)을 준비한다. 이 소자 기판(10)은 유리 등의 기판 본체(10A) 상에 회로부(11)를 구비하고 있다. 이 회로부(11)에는 실제 표시 영역(4) 내에, 상술한 주사선(101), 신호선(102), TFT(11a), 유지 용량(11b) 등의 화소 스위칭 구조가 설치되는 한편, 더미 영역(5)에는 상술한 더미 화소를 구동하기 위한 배선 이외에는 더미 화소를 개별적으로 구동하기 위한 TFT 등의 스위칭 구조는 설치되어 있지 않다. 이 회로부(11) 상에는 실제 표시 영역(4)의 각 화소 및 더미 영역(5)의 각 더미 화소에, 각각 화소 전극으로서의 양극(12)이 배열 형성되어 있다.
본 공정에서는 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 이 소자 기판(10) 상에, 화소 및 더미 화소를 구획하기 위한 뱅크층(13)(무기 뱅크층(13a), 유기 뱅크층(13b))을 형성한다. 여기에서는 우선, 산화규소나 산화티탄 등의 무기 절연막을 증착이나 스퍼터링 등에 의해 성막한다. 그리고, 패터닝에 의해, 각 화소 영역 및 각 더미 화소 영역에 개구부(H1)를 형성하고, 양극(12)의 전극면을 일부 노출시킨다. 이 때, 개구부(H1)의 가장자리가 양극(12)의 외주부보다도 내측(즉, 양극(12)의 중심측)에 배치되도록 한다. 또한, 상기 무기 절연막의 두께는 50nm~200nm의 범위가 바람직하다. 이상에 의해, 무기 뱅크층(13a)이 형성된다.
이어서, 무기 뱅크층(13a) 및 양극(12)의 표면을 덮도록, 아크릴 수지, 폴리이미드 수지 등의 유기 절연막을 스핀 코팅 등에 의해 성막하고, 패터닝에 의해, 개구부(H1)에 연통하는 개구부(H2)를 형성한다. 이 때, 개구부(H2)의 가장자리가 개구부(H1)의 가장자리보다도 외측(즉 양극(12)의 외주부측)에 배치되도록 한다. 유기 절연막의 두께는 0.1㎛~3.5㎛의 범위가 바람직하고, 특히 2㎛ 정도의 두께가 바람직하다. 이상에 의해, 유기 뱅크층(13b)이 형성된다.
(2) 정공 주입층 형성 공정
이어서, 도 5의 (c)에 나타낸 바와 같이, 뱅크층(13)의 개구부(H)에 액적 토출법에 의해 정공 주입층(14)을 형성한다. 이 공정에서는 우선, 잉크젯 장치의 토출 헤드에 정공 주입 재료를 함유하는 액체 재료를 충전하고, 토출 헤드와 기판(10)을 상대적으로 이동시키면서 토출 노즐로부터 상기 액체 재료를 뱅크층(13)의 개구부(H) 내에 토출한다(액적 토출 공정). 그리고, 액체 재료 중의 용매를 건조에 의해 제거하고, 액체 재료 중에 포함되는 정공 주입 재료를 막화한다(건조 공정). 이에 따라, 양극(12)의 노출면에 정공 주입층(14)이 형성된다.
이 공정에서는 실제 표시 영역(4)뿐만 아니라, 실제 표시 영역(4)의 주위(더미 영역(5))에도 액체 재료가 배치되기 때문에, 건조 공정에서, 실제 표시 영역(4)의 외주부가 중앙부에 비해서 극히 건조가 빠르게 진행되는 불량은 발생하지 않는다.
또한, 상기 액체 재료로서는 상술한 정공 주입 재료를 극성 용매에 용해시킨 것을 이용할 수 있다. 극성 용매로서는 예를 들어, 이소프로필알코올(IPA), n-부틸 알코올, γ-부틸올락톤, N-메틸피롤리돈(NMP), 1, 3-디메틸-2-이미다졸리디논(DMI) 및 그 유도체, 카르비톨아세테이트, 부틸카르비톨아세테이트 등의 글리콜류(類) 등을 들 수 있다. 그리고, 상기 재료를 잉크젯 프로세스에 적합한 조성으로 혼합한다.
또한, 이 정공 주입층 형성 공정을 포함하여 이 이후의 공정은 물, 산소가 없는 분위기로 하는 것이 바람직하고, 예를 들어, 질소 분위기, 아르곤 분위기 등의 불활성 가스 분위기하에서 행하는 것이 바람직하다.
(발광층 형성 공정)
이어서, 액적 토출법에 의해 정공 주입층(14) 상에 유기 발광층(15)을 형성한다. 이 공정에서는 우선, 잉크젯 장치의 토출 헤드에 소정의 색의 발광 재료, 예를 들어, 청색 발광 재료를 함유하는 액체 재료를 충전하고, 토출 헤드와 기판(10)을 상대 이동시키면서 토출 노즐로부터 상기 액체 재료를 청색 화소에 대응한 뱅크층(13)의 개구부(H) 내에 토출한다(액적 토출 공정). 그리고, 액체 재료 중의 용매를 건조에 의해 제거하고, 액체 재료 중에 포함되는 발광 재료를 막화한다(건조 공정). 이에 따라, 정공 주입층(14)의 노출면에 청색의 유기 발광층이 형성된다. 계속해서, 이 청색의 유기 발광층을 형성한 것과 동일한 순서를 이용하여, 적색(R)의 유기 발광층과 녹색(G)의 유기 발광층을 차례로 형성한다. 도 5의 (c)에서는 이들 유기 발광층을 부호 15로 나타내고 있다.
이 공정에서는 실제 표시 영역(4)뿐만 아니라, 실제 표시 영역(4)의 주위(더미 영역(5))에도 액체 재료가 배치되기 때문에, 건조 공정에서, 실제 표시 영역(4)의 외주부가 중앙부에 비해서 극단적으로 건조가 빠르게 진행되는 불량은 발생하지 않는다.
또한, 상기 액체 재료로서는 상술한 발광 재료를 비극성 용매 중에 용해시킨 것을 이용할 수 있다. 비극성 용매로서는 정공 주입층(14)에 대하여 불용(不溶)인 것이 바람직하고, 예를 들어, 시클로헥실벤젠, 디히드로벤조플란, 트리메틸벤젠, 테트라메틸벤젠 등의 비극성 용매를 이용할 수 있다. 이러한 비극성 용매를 발광 재료의 용매로 이용함으로써 정공 주입층(14)을 재(再)용해시키지 않고 액체 재료를 도포하는 것이 가능해 진다.
이상에 의해, 양극(12) 상에 전기 광학층(E)이 형성된다. 또한, 유기 발광층(15)의 형성 순서는 상술한 것에 한정되지 않고, 어떠한 순서로 형성해도 좋다.
(4) 음극(공통 전극) 형성 공정, 밀봉 공정
이어서, 도 5의 (d)에 나타낸 바와 같이, 뱅크층(13) 및 전기 광학층(E)의 노출면에 음극(16)을 형성한다. 음극(16)은 보텀 이미션 구조를 채용했을 경우에는 광반사성의 도전 재료로 이루어지는 것이 바람직하다. 예를 들어, Al이나 Ag 등의 고반사율의 금속막이 적합하다. 이 때, 음극(16)은 Al 등의 단층막으로 할 수도 있지만, 발광 소자를 효율적으로 발광시키기 위해서, 전자 주입층과 도전층과 같은 적층 구조를 채용할 수도 있다. 이 경우, 유기 발광층(15)에 가까운 측에 Ca, Ba 등의 일함수가 작은 재료로 이루어지는 전자 주입층을 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 발광 재료에 따라서는 Ca나 Ba의 유기 발광층측에 LiF 등으로 이루어지는 박층을 형성할 수도 있다. 전자 주입층 및 도전층의 성막 방법은 저항 가열 증착법, 스퍼터링법 등, 기지(旣知)의 성막 방법에서 적절한 방법을 선택하면 된다. 이 음극(16)의 두께는 예를 들어, 100~1000nm의 범위가 바람직하고, 특히 200~500nm 정도가 좋다.
한편, 톱 이미션 구조를 채용한 경우에는 유기 발광층(15)으로부터의 광을 음극(16)측으로부터 취출하므로, 음극(16)은 투명하지 않으면 안된다. 따라서, 음극(16)으로서는 ITO 등이 적합하다. 또한, 전기 광학층(E) 및 뱅크층(34)의 노출면에 대하여 BCP와 Cs의 공증착막을 성막하고, 또한 도전성을 부여하기 위해서 스퍼터링법이나 CVD법 등에 의해 기판 전면에 ITO 등의 투광성 도전 재료를 성막하는 구성을 채용할 수도 있다. 또한, 음극(16)에는 Ca/ITO 등과 같은 전자 주입층과 투광성 도전층의 적층 구조를 채용하는 것도 가능하다.
이 후, 음극(16)이나 전기 광학층(E)이 수분이나 산소 등에 의해 열화되지 않도록, 필요에 따라서 소자 기판(10)의 표면을 밀봉캔이나 가스 배리어성 밀봉재에 의해서 밀봉한다. 밀봉재로서는 가스 배리어성을 갖는 것이 바람직하고, 예를 들어, SiO2 등의 규소산화물이나, SiN 등의 규소질화물, 또는 SiOxNy 등의 규소산질화물을 적합하게 이용할 수 있다. 또한, 효과적으로는 이들 무기 산화물층 상에 아크릴이나 폴리에스테르, 에폭시 등의 수지층을 적층하면 좋다.
(5) 검사 공정
이어서, 유기 EL 소자의 특성을 검사한다. 여기에서는 예를 들어, 이하의 항목을 검사한다.
(a) 액상법으로 형성한 기능막(정공 주입층(14)이나 유기 발광층(15))의 막 두께 분포의 검사.
(b) 유기 EL 소자의 특성 편차의 검사.
(a)의 검사는 실제 표시 영역(4)의 외주에 수직 방향으로 배열된 제 2 더미 화소를 사용하여, 더미 영역(5)의 외주측에서 실제 표시 영역(4)측을 향하는 발광 특성의 연속적인 변화를 조사함으로써 행한다. 기능막의 막 두께의 변화는 발광 특성의 변화로서 나타나기 때문에, 이러한 발광 특성의 변화를 조사함으로써, 실제 표시 영역의 외주부에서 건조 상태가 안정적인지의 여부를 간접적으로 알 수 있다. 예를 들어, 기능막의 막 두께 변동이 더미 영역(5)의 외주측에만 발생하고 있는 경우에는 발광 휘도는 실제 표시 영역에 이르기 전에 포화되기 때문에, 발광 휘도가 실제 표시 영역의 주위에서 일정하게 되어 있는 것에 대해서는 양품(良品)으로 판정할 수 있다. 한편, 발광 휘도가 실제 표시 영역의 주위에서도 안정적이지 않은 것에 대해서는 불량품으로 판정할 수 있다.
(b)의 검사는 실제 표시 영역(4)의 외주에 따라서 배열된 제 1 더미 화소의 발광 특성을 조사함으로써 행한다.
유기 EL 소자의 발광 특성은 그 I-V 특성이나 I-L 특성에 의해 동일한 패널 내라도 크게 불균일해 질 경우가 있다. 이러한 특성의 편차는 휘도 불균일이나 색 불균일의 원인이 된다. 본 실시예에서는 이러한 유기 EL 소자의 발광 특성의 편차를 제 1 더미 화소를 사용해서 라인마다 검사하고, 그 검사 결과를, 실제 표시 영역(4)의 각 화소에 공급하는 화소 신호에 반영시키고 있다. 구체적으로는 룩업 테이블을 준비하고, 검사 결과를 이 룩업 테이블에 반영시켜서 각 화소의 데이터를 보정하고 있다.
이상에 의해, 본 실시예의 유기 EL 장치(1)의 제조 공정이 종료된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에서는 실제 표시 영역(4)에 액상 프로세 스를 이용하여 기능막을 형성할 때에, 실제 표시 영역(4) 주위의 더미 영역(5)에도 동일한 기능막을 형성하고 있기 때문에, 기능막을 건조할 때의 용매의 증기압이 실제 표시 영역의 중앙부와 외주부에서 대략 동일해 진다. 이 때문에, 실제 표시 영역 전체에서 기능막의 막 두께를 균일하게 할 수 있고, 휘도 불균일이나 색 불균일 등이 없는 고품질의 표시가 가능하게 된다. 또한, 본 실시예에서는 이러한 더미 영역에 발광 구조를 갖는 제 2 유기 EL 소자를 설치하고, 이 제 2 유기 EL 소자를 특성 검사용의 검사 소자로서 이용하고 있기 때문에, 기판 상에 별도 검사용의 구조를 만들 필요가 없고, 콤팩트한 구성을 실현할 수 있다.
[제 2 실시예]
이어서, 도 6~도 8을 이용하여 본 발명의 제 2 실시예에 대해서 설명한다. 본 실시예에서, 상기 제 1 실시예와 동일한 부재 또는 부위에 대해서는 동일한 부호를 첨부하고, 상세한 설명은 생략한다. 본 실시예에서 상기 제 1 실시예와 다른 점은 유기 EL 소자가 형성된 기판(10)에 편광판 등의 기능성 필름이 점착되어 있는 점과, 더미 영역(5)에 설치한 유기 EL 소자를 이 기능성 필름을 점착할 때의 얼라인먼트 마크으로서 이용한 점뿐이다.
도 6, 도 7은 더미 영역(5)의 구체적인 구성을 나타내는 모식도이다. 도 6 에 나타낸 바와 같이, 실제 표시 영역(4)의 주위에는 단순히 액체 재료를 버리기 토출한 영역(5′) 이외에, 복수의 얼라인먼트 영역(M)이 설치되어 있다. 이들의 얼라인먼트 영역(M)은 각각 실제 표시 영역(4)의 네모퉁이에 배치되어 있고, 각 얼라인먼트 영역(M)에는 얼라인먼트용의 복수의 더미 화소가 설치되어 있다. 이들 더미 화소는 TFT 등의 스위칭 소자나 저장 용량을 구비하지 않는 점을 제외하고 실제 표시 영역(4)의 화소(X)와 동일한 화소 구조를 갖고 있다. 즉, 각 더미 화소에는 실제 표시 영역(4)에 설치된 유기 EL 소자(제 1 유기 EL 소자)와 동일한 구조를 갖는 더미의 유기 EL 소자(제 2 유기 EL 소자)가 설치되어 있으며, 각 더미의 유기 EL 소자는 각각 전원선(도시 생략)으로부터 공급되는 전류에 의해서 발광 가능하도록 구성되어 있다.
얼라인먼트 영역(M)에는 도 7에 나타낸 바와 같이, 실제 표시 영역(4)의 외주에 따라서 배열된 복수의 더미 화소(MR, MG , MB)가 설치되어 있다. 이들 더미 화소에는 실제 표시 영역(4)의 화소(XR, XG, XB)와 마찬가지로, 다른 색을 발광 가능한 복수 종류의 더미 화소(본 실시예에서는 적색 발광용의 더미 화소(MR)와 녹색 발광용의 더미 화소(MG) 및 청색 발광용의 더미 화소(MB))가 포함되어 있다. 이들 더미 화소는 표시에 기여하는 것이 아니므로, 실제 표시 영역 내의 화소와 같이 개별적으로 구동할 수 있을 필요는 없다. 따라서, 본 실시예에서는 발광색이 동일한 더미 화소끼리를 서로 직렬로 접속하고, 이들을 일괄적으로 구동하도록(즉, 각 더미 화소를 일괄적으로 발광시킴으로써, 얼라인먼트 마크의 형상이 나타나도록) 하고 있다. 이렇게 함으로써 회로 구성을 단순화할 수 있다. 또한, 도 7에서, 부호 L은 신호 취출용의 배선이며, 부호 T는 외부 단자이다. 배선 L은 각각 적색 발광용의 더미 화소(MR), 녹색 발광용의 더미 화소(MG) 및 청색 발광용의 더미 화소(MB) 에 대하여 공통 배선으로서 설치되어 있다.
이어서, 도 8을 이용하여, 유기 EL 표시 장치(1)의 화소 구조에 대해서 설명한다.
이 유기 EL 표시 장치(2)는 소자 기판(10) 상에 양극(12), 전기 광학층(E), 음극(16), 보호층(17), 편광판(18)을 차례로 구비하고 있다. 소자 기판(10)에는 유리나 수지 등으로 이루어지는 기판 본체(10A) 상에 회로부(11)가 형성되어 있다. 이 회로부(11) 상에는 실제 표시 영역(4)의 각 화소 및 더미 영역(5)의 각 더미 화소에 대응하여, 평면에서 보아 대략 사각형 형상의 양극(12)이 매트릭스 형상으로 배열되어 있다. 회로부(11)에는 실제 표시 영역(4) 내에, 주사선, 신호선 등의 각종 배선이나, 유지 용량, TFT 등을 포함하는 전자 회로가 형성되어 있다. 한편, 더미 영역(5)에는 상술한 더미 화소를 구동하기 위한 배선 이외에는 더미 화소를 개별적으로 구동하기 위한 TFT 등의 스위칭 구조는 설치되어 있지 않다. 이 양극(12)이 형성된 소자 기판(10) 상에는 각각의 화소 위치(실제 표시 영역(4) 내의 화소 및 더미 영역(5) 내의 더미 화소를 포함함)에 개구부를 갖는 뱅크층(13)이 형성되어 있다. 이 뱅크층(13)은 각 화소를 구획하기 위한 격벽으로서 기능하는 것이며, 이 뱅크층(13)에 의해 구획된 영역 내(즉, 뱅크층(13)의 개구부(H) 내)에는 각각 유기 발광층(15)을 포함하는 전기 광학층(E)이 형성되어 있다.
전기 광학층(E)는 정공 주입층(14)과 유기 발광층(15)이 하층측으로부터 차례로 적층된 구조를 갖는다. 이들 기능막(14, 15)은 상기 제 1 실시예와 마찬가지로, 액상법에 의해 형성된 것이다. 예를 들어, 정공 주입층(14)은 상술한 정공 주 입 재료를 포함하는 액체 재료를 액적 토출법에 의해 뱅크층(13)의 개구부(H)에 토출하고, 이것을 건조함으로써 형성된다. 마찬가지로, 유기 발광층(15)은 상술한 발광 재료를 포함하는 액체 재료를 액적 토출법에 의해 뱅크층(13)의 개구부(H)에 토출하고, 이것을 건조함으로써 형성된다. 이 때, 본 실시예에서는 이들 액체 재료를 실제 표시 영역(4)뿐만 아니라, 실제 표시 영역(4)의 주위(더미 영역(5))에도 배치하고 있다. 이 때문에, 건조 공정에서, 실제 표시 영역(4)의 외주부가 중앙부에 비해서 극단적으로 건조가 빠르게 진행되는 불량은 발생하지 않는다.
이렇게 구성된 소자 기판(10)의 표면은 보호층(17)에 의해 밀봉되어 있으며, 또한 이 보호층(17)의 표면에는 반사 방지 필름으로서 편광판(18)이 점착되어 있다. 이 편광판(18)은 상술한 얼라인먼트용 더미 화소를 사용하여, 패널 제조 공정의 최종 단계에서 접합된 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에서도 실제 표시 영역(4)에 액상 프로세스를 이용하여 기능막을 형성할 때에, 그 실제 표시 영역(4) 주위의 더미 영역(5)에도 같은 기능막을 형성하고 있기 때문에, 실제 표시 영역 전체에서 기능막의 막 두께를 균일하게 할 수 있고, 휘도 불균일이나 색 불균일 등이 없는 고품질의 표시가 가능하게 된다. 또한, 본 실시예에서는 이러한 더미 영역에 발광 구조를 갖는 제 2 유기 EL 소자를 설치하고, 이 제 2 유기 EL 소자를 필름 점착시의 얼라인먼트 마크로서 이용하고 있기 때문에, 기판 상에 별도 얼라인먼트 마크를 만들 필요가 없고, 콤팩트한 구성을 실현할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 기판에 점착하는 기능성 필름을 편광판으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
[전자 기기]
이어서, 본 발명의 전자 기기에 대해서 설명한다.
도 9는 본 발명에 따른 전자 기기의 일례를 나타내는 사시도이다. 이 도면에 나타내는 휴대 전화(1000)는 표시부(1001)에 상술한 유기 EL 장치를 구비하고 있다.
상기 실시예의 유기 EL 장치는 상기 휴대 전화에 한정되지 않고, 전자 북(book), 퍼스널 컴퓨터, 디지털 스틸 카메라, 액정 텔레비젼, 뷰파인더형 또는 모니터 직시형 비디오 테이프 리코더, 카 네비게이션(car-navigation) 장치, 소형 무선 호출기, 전자수첩, 전자계산기, 워드프로세서, 워크스테이션, 화상 전화, POS단말, 터치패널을 구비한 기기 등등, 다양한 전자 기기에 적용할 수 있다. 어떠한 전자 기기에서도, 본 발명의 유기 EL 장치를 적용함으로써 표시 품질의 향상을 도모할 수 있다.
이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 적합한 실시예예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 상술한 예에서 나타낸 각 구성 부재의 각종 형상이나 조합 등은 일례이며, 본 발명의 주지(主旨)로부터 일탈하지 않는 범위에서 설계 요구 등에 기초하여 다양하게 변경 가능하다.
본 발명에서는, 건조 불균일에 의한 표시 품질의 저하를 방지할 수 있는 유기 EL 장치가 제공된다.

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 기판의 실제 표시 영역 내에 복수의 화소를 구비하고, 상기 화소 각각에 액상법에 의해 형성된 기능막을 갖는 제 1 유기 EL 소자가 설치되는 동시에, 상기 기판의 표면에 기능성 필름이 점착된 유기 EL 장치로서,
    상기 실제 표시 영역의 주위에 상기 필름을 점착할 때의 얼라인먼트 마크가 되는 복수의 더미 화소를 구비한 더미 영역이 설치되고,
    상기 더미 화소 각각에 상기 제 1 유기 EL 소자의 기능막과 동일 프로세스로 형성된 기능막을 갖는 제 2 유기 EL 소자가 설치되며,
    상기 제 2 유기 EL 소자는 발광 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 복수의 더미 화소가 서로 직렬로 접속된 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  9. 삭제
KR1020050024907A 2004-04-26 2005-03-25 유기 ｅｌ 장치 및 전자 기기 KR100728145B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004129651A JP4239890B2 (ja) 2004-04-26 2004-04-26 有機ｅｌ装置、電子機器
JPJP-P-2004-00129651 2004-04-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060044758A KR20060044758A (ko) 2006-05-16
KR100728145B1 true KR100728145B1 (ko) 2007-06-13

Family

ID=35135539

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050024907A KR100728145B1 (ko) 2004-04-26 2005-03-25 유기 ｅｌ 장치 및 전자 기기

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7442956B2 (ko)
JP (1) JP4239890B2 (ko)
KR (1) KR100728145B1 (ko)
CN (1) CN1691855A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9959813B2 (en) 2015-01-26 2018-05-01 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display
US10319951B2 (en) 2016-11-30 2019-06-11 Lg Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and method for manufacturing the same

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3748075B2 (ja) * 2002-08-30 2006-02-22 セイコーエプソン株式会社 電子モジュール及びその製造方法並びに電子機器
KR100663028B1 (ko) * 2003-12-30 2006-12-28 엘지.필립스 엘시디 주식회사 유기 전계 발광 소자 및 그의 제조 방법
KR100712289B1 (ko) * 2005-04-07 2007-04-27 삼성에스디아이 주식회사 평판표시장치 및 그의 제조방법
KR100659765B1 (ko) * 2005-09-08 2006-12-19 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
JP2007144240A (ja) * 2005-11-24 2007-06-14 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 塗布装置および塗布方法
KR100719714B1 (ko) * 2005-12-21 2007-05-17 삼성에스디아이 주식회사 유기발광 표시장치 및 이의 결함검사방법
KR101241140B1 (ko) * 2006-06-26 2013-03-08 엘지디스플레이 주식회사 섀도우마스크와 이를 이용한 유기전계발광소자 및 그제조방법
WO2008015422A2 (en) * 2006-08-01 2008-02-07 Cambridge Display Technology Limited Methods of manufacturing opto-electrical devices
KR100751380B1 (ko) * 2006-08-09 2007-08-22 삼성에스디아이 주식회사 유기 발광 표시장치
KR100835010B1 (ko) * 2006-11-21 2008-06-04 엘지디스플레이 주식회사 전계발광표시장치
KR101320104B1 (ko) * 2006-11-29 2013-10-18 엘지디스플레이 주식회사 전계발광표시장치
US8304982B2 (en) 2006-11-30 2012-11-06 Lg Display Co., Ltd. Organic EL device and method for manufacturing the same
JP5169330B2 (ja) * 2008-03-06 2013-03-27 セイコーエプソン株式会社 薄膜形成方法
JP5154316B2 (ja) * 2008-06-30 2013-02-27 株式会社ジャパンディスプレイイースト タッチパネル
JP2010044118A (ja) * 2008-08-08 2010-02-25 Sony Corp 表示装置およびその製造方法
US9484462B2 (en) 2009-09-24 2016-11-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Fin structure of fin field effect transistor
JP5310372B2 (ja) * 2009-08-12 2013-10-09 ソニー株式会社 表示装置、輝度劣化補正方法および電子機器
JP2011076025A (ja) * 2009-10-02 2011-04-14 Sony Corp 表示装置、表示装置の駆動方法および電子機器
KR101084191B1 (ko) * 2010-02-16 2011-11-17 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 디스플레이 장치 및 그 제조 방법
JP2011204384A (ja) * 2010-03-24 2011-10-13 Canon Inc 表示装置
US8835962B2 (en) * 2010-05-13 2014-09-16 Sri International Cavity electroluminescent devices with integrated microlenses
JP4990425B1 (ja) 2010-12-20 2012-08-01 パナソニック株式会社 有機ｅｌディスプレイパネル及びその製造方法
JP6045276B2 (ja) * 2012-09-28 2016-12-14 株式会社ジャパンディスプレイ 有機ｅｌ表示装置及び有機ｅｌ表示装置の製造方法
JP6114664B2 (ja) * 2013-08-29 2017-04-12 株式会社ジャパンディスプレイ 有機ｅｌ表示装置
US9136191B2 (en) * 2013-09-26 2015-09-15 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Measuring method for width of color filter unit and manufacturing method for liquid crystal panel
KR102208918B1 (ko) 2013-10-22 2021-01-29 삼성디스플레이 주식회사 유기발광표시장치
KR102411542B1 (ko) * 2015-05-19 2022-06-22 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 픽셀 패터닝 및 픽셀 위치 검사 방법과 그 패터닝에 사용되는 마스크
KR102534929B1 (ko) * 2015-05-29 2023-05-22 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광표시장치
KR102421609B1 (ko) * 2016-06-20 2022-07-18 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 조광 필름, 조광 필름의 구동 방법, 조광 부재, 차량
JP6839517B2 (ja) * 2016-10-17 2021-03-10 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置の製造方法及び表示装置
CN113748514B (zh) * 2020-03-27 2023-09-29 京东方科技集团股份有限公司 显示面板及显示装置
US12089480B2 (en) * 2020-05-09 2024-09-10 Chengdu Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Display panel including redundant driving circuits that form alignment marks in a peripheral region thereof, method for manufacturing the same, display device and method for manufacturing the same
WO2022113324A1 (ja) * 2020-11-30 2022-06-02 シャープ株式会社 表示装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030047774A (ko) * 2001-12-06 2003-06-18 세이코 엡슨 가부시키가이샤 전기 광학 장치 및 전자 기기

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07311315A (ja) 1994-05-17 1995-11-28 Nippon Sheet Glass Co Ltd 光導波路または平板マイクロレンズの製造方法
JP2666761B2 (ja) 1995-03-28 1997-10-22 日本電気株式会社 半導体ウェハ
US5777392A (en) 1995-03-28 1998-07-07 Nec Corporation Semiconductor device having improved alignment marks
JP3887826B2 (ja) 1997-03-12 2007-02-28 セイコーエプソン株式会社 表示装置及び電子機器
KR100577903B1 (ko) 1998-03-17 2006-05-10 세이코 엡슨 가부시키가이샤 박막패터닝용 기판 및 그 표면처리
JP3628997B2 (ja) * 2000-11-27 2005-03-16 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
JP2002304155A (ja) 2001-01-29 2002-10-18 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置
SG111928A1 (en) 2001-01-29 2005-06-29 Semiconductor Energy Lab Light emitting device
US7081704B2 (en) 2002-08-09 2006-07-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP4651922B2 (ja) 2002-08-09 2011-03-16 株式会社半導体エネルギー研究所 Ｅｌ表示装置
JP3748075B2 (ja) 2002-08-30 2006-02-22 セイコーエプソン株式会社 電子モジュール及びその製造方法並びに電子機器
CN102610189B (zh) * 2002-10-31 2015-02-18 株式会社半导体能源研究所 显示设备及其控制方法
JP2004200158A (ja) * 2002-12-04 2004-07-15 Seiko Epson Corp 有機ｅｌ装置製造用基板、有機ｅｌ装置、有機ｅｌ装置の製造方法、及び電子機器
JP2005190779A (ja) * 2003-12-25 2005-07-14 Hitachi Displays Ltd 表示装置
JP2005235567A (ja) * 2004-02-19 2005-09-02 Seiko Epson Corp 有機ｅｌ装置とその製造方法、及び電子機器

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030047774A (ko) * 2001-12-06 2003-06-18 세이코 엡슨 가부시키가이샤 전기 광학 장치 및 전자 기기

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1020030047774

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9959813B2 (en) 2015-01-26 2018-05-01 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display
US10192492B2 (en) 2015-01-26 2019-01-29 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display
US10319951B2 (en) 2016-11-30 2019-06-11 Lg Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and method for manufacturing the same

Also Published As

Publication number Publication date
US7442956B2 (en) 2008-10-28
JP4239890B2 (ja) 2009-03-18
US20050236620A1 (en) 2005-10-27
JP2005310708A (ja) 2005-11-04
CN1691855A (zh) 2005-11-02
KR20060044758A (ko) 2006-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100728145B1 (ko) 유기 ｅｌ 장치 및 전자 기기
US7348207B2 (en) Method of manufacturing organic EL device, organic EL device, and electronic apparatus
US8029850B2 (en) Method of manufacturing organic electroluminescent device and method of manufacturing device
US7244158B2 (en) Method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus
US7679283B2 (en) EL display device, method of manufacturing the same, and electronic apparatus
US7449351B2 (en) Display device, method of manufacturing the same, and electronic apparatus
US7355342B2 (en) Organic EL device and electronic apparatus capable of preventing a short circuit
KR101004856B1 (ko) 표시장치의 제조방법
JP2012160388A (ja) 有機ｅｌ表示装置およびその製造方法
KR100548689B1 (ko) 일렉트로루미네선스 장치의 제조 방법 및일렉트로루미네선스 장치, 및 전자 기기
US7638949B2 (en) Organic electroluminescence device, method for driving thereof, and electronic appliance
KR20060049804A (ko) 표시 장치 및 전자 기기
JP4604778B2 (ja) 有機ｅｌ装置、電子機器
JP2005243281A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、及び電子機器
JP4265230B2 (ja) 電気光学表示装置及びその製造方法並びに電子機器
JP4957318B2 (ja) 有機ｅｌ装置の製造方法
JP2008159367A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法並びに電子機器
JP2009212042A (ja) 有機ｅｌ素子およびその製造方法
JP2004241134A (ja) 有機ｅｌ装置及び電子機器
JP2005100750A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス装置及び電子機器
JP2006038986A (ja) 表示装置、電子機器
JP2010040816A (ja) 有機ｅｌ装置および有機ｅｌ装置の製造方法、ならびに電子機器
JP2016162877A (ja) 電気光学装置及び電子機器
JP2005310590A (ja) 有機ｅｌ表示装置とその製造方法、並びに電子機器
JP2005222724A (ja) 電気光学装置とその製造方法並びに電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130520

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140530

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150518

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160517

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170522

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180517

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190515

Year of fee payment: 13