CN1691855A - 有机el装置、电子机器 - Google Patents

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Abstract

一种有机EL装置，在基板的有效显示区域(4)内具备多个象素(XR、XG、XB)，在上述象素(XR、XG、XB)的每一个上设置具有由液相法形成的功能膜的第1有机EL元件，具有下述构成：在上述有效显示区域4的周围设置具备特性检查用的多个虚拟象素(D1R、D1G、D1B、D2R、D2G、D2B)的虚拟区域(D)，在上述虚拟象素的每一个上设置具有由与上述第1有机EL元件的功能膜相同的工序而形成的功能膜的第2有机EL元件。由此，提供一种可使涂敷在显示区域中的液体材料的干燥速度均一的有机EL装置。

Description

有机EL装置、电子机器
技术领域
本发明涉及有极EL装置、电子机器。
背景技术
近年来，作为自发光型显示器，正在进行有机电致发光(electroluminescence)元件(以下称作有机EL元件)的开发。作为该有机EL元件，已知由喷吐方法形成高分子的有机发光材料的元件。(参照专利文献1)。
由于喷吐法能够由高分辨率喷吐、涂覆直径为μm级的液滴，因此可实现有机发光材料的高精细图案形成。然而，在这种方法中，由使液滴干燥的阶段中在干燥状态上产生差异，因此在显示区域内造成了膜厚分布。即由于显示区域的外周部与中央部相比溶媒的蒸汽气压变低，因此存在与显示区域中央部相比膜厚变薄的倾向。这种膜厚分布成为亮度不均或颜色不均等的原因。
专利文献1：特许第3328297号公报
发明内容
本发明正是考虑了上述问题的发明，其目的在于提供一种能够防止由不同干燥状态而使显示品质降低的有机EL装置。
为了解决上述问题，本发明的有机EL装置，在基板的有效显示区域内具备多个象素，在所述象素的每一个上设置具有由液相法形成的功能膜的第1有机EL元件，其特征在于，在所述有效显示区域的周围设置具备特性检查用的多个虚拟象素的虚拟区域，在所述虚拟象素的每一个上设置具有由与所述第1有机EL元件的功能膜相同的处理形成的功能膜的第2有机EL元件。
如上所述，在采用液相处理形成功能膜的情况下，在涂敷了液体材料的区域的外周侧迅速完成干燥，而在中央侧得到稳定的干燥状态。本发明通过将液体材料的涂敷区域扩张到有效显示区域的外侧，在该扩张的部分中产生干燥不均，以使有效显示区域内的干燥状态稳定。即在本发明中，由于在有效显示区域中形成功能膜时，在该有效显示区域的外侧的虚拟区域中也形成相同的功能膜，因此干燥功能膜时的溶媒的蒸汽气压变为在有效显示区域的中央部和外周部大致相等。由此，在有效显示区域整体中可均匀地实现功能膜的膜厚，可进行没有亮度不均和颜色不均等的高品质的显示。此外在本构成中，由于在这种虚拟区域中设置具有发光构造的第2有机EL元件，并将该第2有机EL元件作为特性检查用的检查元件而利用，因此在基板上不需要设置其他的检查用构造，可实现小型的构成。
本发明的有机EL装置可以是基于上述虚拟象素的检查结果，可补正供给到上述有效显示区域的各象素中的信号的装置。具体地说，可作为上述虚拟区域具有沿上述有效显示区域的外周排列的多个第1虚拟象素，供给到各象素的上述信号基于上述第1虚拟象素的检查结果得到补正的装置。由此，可实现更均匀的显示。
在这种情况下，可以是上述虚拟区域具有可发不同颜色光的多个上述第1虚拟象素，并且发光颜色相同的第1虚拟象素彼此相互串联连接的装置。由于虚拟象素对显示并不做贡献，因此不必如有效显示区域内的象素那样能够个别驱动。因此，可以如本构成那样串联连接多个第1虚拟象素，并统一驱动这些象素(即，统一进行检查)。由此可使电路构成简单化。
此外在本发明的有机EL装置可以构成为，上述虚拟区域具有与所述有效显示区域的外周垂直地排列的多个第2虚拟象素，基于从所述虚拟区域的外周侧朝向有效显示区域侧的所述第2虚拟象素的发光特性的连续性变化，可检测出在所述有效显示区域的外周部的所述功能膜的膜厚变化的情况。如上所述，在本发明中，通过使干燥速度的变化量被虚拟区域吸收，可使有效显示区域的干燥状态稳定。但是，由干燥条件等造成上述变化量不能被充分吸收，因此功能膜的膜厚不均匀性不只产生在虚拟区域中，而且也在有效显示区域的外周部中产生。本构成是通过发光特性的变化检查这样的功能膜的膜厚分布，可简单判定功能膜的膜厚不均匀性是否达到有效显示区域的构成。例如，在发光亮度在到达有效显示区域前成为饱和(成为恒定)的情况下，可判定功能膜的膜厚变化只在虚拟区域的外周侧产生。另一方面，在发光亮度即使在有效显示区域的附近也不稳定的情况下，可判定功能膜的膜厚变化达到了有效显示区域内。
在这种情况下，可以互相串联连接上述多个第2虚拟象素，以统一驱动这些象素(即统一进行检查)。由此，可使电路构成简单化。
此外，本发明的有机EL装置，在基板的有效显示区域内具备多个象素，在所述象素的每一个上设置具有由液相法形成的功能膜的第1有机EL元件，并且在所述基板的表面上贴合功能性的薄膜，其特征在于，在所述有效显示区域的周围，设置具有成为贴合所述薄膜时的定位标记的多个虚拟象素的虚拟区域，在所述虚拟象素的每一个上设置具有由与所述第1有机EL元件的功能膜相同的处理形成的功能膜的第2有机EL元件。
本构成也可在有效显示区域整体中均匀实现功能膜的膜厚，可进行没有亮度不均或颜色不均等的高品质的显示。此外在本实施方式中，由于在这种虚拟象素中设置具有发光结构的第2有机EL元件，将该第2有机EL元件作为薄膜贴合时的定位标记利用，因此在基板上不需要设置其他的定位标记，可实现小型化构成。
在本发明的有机EL装置中，可互相串联连接上述多个虚拟象素，以统一驱动这些象素(即通过统一使各虚拟象素发光，显示定位标记的形状)。由此，可使电路构成简单化。
此外，本发明的电子机器的特征是具备上述的有机EL装置。由此，可提供小型的显示品质高的电子机器。
附图说明
图1是表示有关第1实施方式的有机EL装置的等价电路图。
图2是表示有关第1实施方式的有机EL装置的平面结构的模式图。
图3是表示有关第1实施方式的有机EL装置的虚拟区域的结构的模式图。
图4是扩大显示有关第1实施方式的有机EL装置的虚拟区域的主要部分的模式图。
图5是表示有关第1实施方式的有机EL装置的制作方法的工序图。
图6是表示有关第2实施方式的有机EL装置的虚拟区域的结构的模式图。
图7是扩大显示有关第2实施方式的有机EL装置的虚拟区域的主要部分的模式图。
图8是表示有关第2实施方式的有机EL装置的剖面构造的模式图。
图9是表示本发明的电子机器的一例的立体图。
图中：1、2-有机EL装置；4-有效显示区域；5-虚拟区域；10-基板；14-空穴注入层(功能膜)；15-有机发光层(功能膜)；18-偏振片(功能性薄膜)；1000-电子机器；D-检查区域；D1R、D1G、D1B-第1虚拟象素；D2R、D2G、D2B-第2虚拟象素；MR、MG、MB-虚拟象素；X、XR、XG、XB-象素。
具体实施方式
以下，边参照附图，边对本发明的实施方式进行说明。还有，在以下所有的图面中，为了将各层或各部件在图面上设为可认知程度的大小，因此使各层或各部件的比例尺不同。
(第1实施方式)
(有机EL装置)
首先，边参照图1～图5，边对本发明的第1实施方式进行说明。
以下所示的本实施方式的有机EL装置是作为开关元件采用薄膜晶体管(Thin Film Transistor，以下简记为TFT)的有源矩阵方式的有机EL显示装置，特别是具有R(红)、G(绿)、B(蓝)三种的高分子有机发光层的彩色有机EL显示装置。
图1是表示有关本实施方式的有机EL装置的等价电路的模式图。
有机EL显示装置1是具有由多条扫描线101、沿相对各扫描线101垂直交差的方向延伸的多条信号线102、与各信号线102并列延伸的多条电力线(电源线)103构成的布线结构，在扫描线101和信号线102的各交点附近形成了象素X的装置。
在信号线102上连接具备移位寄存器、电平移位器、视频线和模拟开关的数据线驱动电路100。此外，在扫描线101上连接具备移位寄存器和电平转移电路的扫描线驱动电路80。还有，在各象素X上设置介由扫描线101将扫描信号供给到栅极的开关用TFT11b、介由该开关用TFT11b保持来自信号线102的被共用的象素信号的保持电容11c、将由该保持电容11c保持的象素信号供给到栅极的驱动用TFT11a(驱动用电子元件)、当介由该驱动用TFT11a电连接在电源线103上时从该电源线103流入驱动电流的阳极(象素电极)12、和在该阳极12和阴极(共同电极)16之间夹入的电光学层E。并且，由这种阳极12、阴极16和电光学层E构成发光元件、即有机EL元件。还有，本发明的电光学层E由有机发光层或空穴注入层等的多个功能膜构成。
根据该有机EL显示装置1，如果驱动扫描线101、开关用TFT11b变为导通状态，那么此时的信号线102的电位保持到保持电容11c，根据该保持电容11c的状态，决定驱动用TFT11a的导通、截至状态。然后，介由驱动用TFT11a的沟道，电流从电源线103流到阳极12，还介由电光学层E电流流到阴极16。电光学层E根据流过该流经的电流量发光。
接着，采用图2对本实施方式的有机EL显示装置1的平面结构进行说明。
如图2所示，本实施方式的有机EL显示装置1构成为具有：具有电绝缘性的基板10A；将连接在图中未示出的开关用TFT上的象素电极在基板10A上配置为矩阵状而形成的图中未示出的象素电极区域；配置在象素电极区域周围且连接在各象素电极上的电源线103(参照图1)；和至少位于象素电极区域上的俯视大致呈矩形的象素部3(图中单点划线框内)。此外，象素部3被划分为中央部分的有效显示区域4(图中双点划线框内)、配置在有效显示区域4的周围的虚拟区域5(单点划线和双点划线间的区域)。
在有效显示区域4中，分别具有象素电极的显示区域R、G、B间隔地配置在A-A′方向以及B-B′方向。此外，在有效显示区域4的图中两侧上配置扫描线驱动电路80。该扫描线驱动电路80设置位于虚拟区域5的下侧。还有，在有效显示区域4的图中上侧配置检查电路90。该检查电路90设置位于虚拟区域5的下侧。检查电路90是用于检查有机EL显示装置1的动作状况的电路，具备例如将检查结果输出到外部的图中未示出的检查信息输出机构，构成为能够在制造过程或出厂时进行显示装置的品质、缺陷的检查。
扫描线驱动电路80和检查电路90的驱动电压，从规定的电源部介由驱动电压导通部被施加。此外，对这些扫描线驱动电路80以及检查电路90的驱动控制信号以及驱动电压被设定为，从负责该有机EL显示装置1的动作控制的规定的主驱动器等介由驱动控制信号导通部发送以及被施加的方式。还有，这种情况下的驱动控制信号是来自与扫描线驱动电路80和检查电路90输出信号时的控制有关的主驱动器等的指令信号。
虚拟区域5是并不对显示做贡献的非显示区域。在本实施方式中，将该虚拟区域5作为在有效显示区域4中采用液相法形成功能膜时的液体材料的废弃区域来利用。即在通过液体材料的涂覆、干燥形成功能膜的情况下，如果只在有效显示区域4中配置液体材料，则如上所述在有效显示区域4的中央部和外周部之间干燥状态存在差异，导致产生功能膜的膜厚分布。针对此，在有效显示区域4的周围设置这种虚拟区域5的情况下，由从该虚拟区域5蒸发的溶煤的蒸汽，有效显示区域4的内外的干燥状态变为相等，在有效显示区域4整体中均匀地形成功能膜。
然而，在本实施方式中，上述的虚拟区域5由于不只是为了防止有效显示区域4内的干燥不均，也可作为实用的其它用途，例如作为用于检查有机EL元件的特性的检查区域来利用。
图3、图4是表示虚拟区域5的具体的构成的模式图。如图3所示，在有效显示区域4的周围，除了将液体材料废弃的5′区域以外，设置多个检查区域D。在各检查区域D中，设置有机EL元件的特性检查用的多个虚拟象素。这些虚拟象素除了不包括TFT或保持电容等的开关构造这点以外，与有效显示区域4的象素X具有相同的象素结构。即在各虚拟象素中设置具有与在有效显示区域4中设置的有机EL元件(第1有机EL元件)相同结构的虚拟的有机EL元件(第2有机EL元件)，各虚拟的有机EL元件构成为根据从每个电源线(图示省略)供给的电流可发光。
检查区域D，如图4所示，包括：用于检查有机EL元件的特性的偏差的第1区域D1；和用于检查功能膜的膜厚分布的第2区域D2。
在第1区域D1中设置有沿有效显示区域4的外周排列的多个第1虚拟象素D1R、D1G、D1B。在这些第1虚拟象素中，与有效显示区域4的象素XR、XG、XB相同，包括可发不同颜色光的多种类的虚拟象素(在本实施方式中为红色发光用的第1虚拟象素D1R、绿色发光用的第1虚拟象素D1G、和蓝色发光用的第1虚拟象素D1B)。该第1虚拟象素是用于检查有机EL元件的电流-亮度特性(I-L特性)等的象素。在本实施方式中，适用该第1虚拟象素D1R、D1G、D1B调查发光特性的偏差，根据该偏差按每行补正供给到有效显示区域4的各象素XR、XG、XB的信号。上述的象素信号是基于该第1虚拟象素的检查结果被进行补正的信号，通过上述补正，在有效显示区域内可得到均匀的发光特性。
这些第1虚拟象素，由于并不是对显示作贡献的象素，因此不需要如有效显示区域内的象素那样个别驱动。因此，在本实施方式中，将发光色相同的虚拟象素彼此相互串联连接，以统一驱动这些象素(即统一检查)的方式进行。通过这种方式，可将电路构成简单化。还有，在图4中，符号L1R、L1G、L1B是检查信号取出用的布线，符号T1R、T1G、T1B是外部端子。布线L1R、L1G、L1B是分别对红色发光用的第1虚拟象素D1R、绿色发光用的第1虚拟象素D1G、和蓝色发光用的第1虚拟象素D1B作为共同的布线而设置的。
在这些第2区域D2上设置与有效显示区域4的外周垂直地排列的多个第2虚拟象素D2R、D2G、D2B。在这些第2虚拟象素中，也与有效显示区域4的象素XR、XG、XB相同，包括可发不同颜色光的多种类的虚拟象素(在本实施方式中为红色发光用的第2虚拟象素D2R、绿色发光用的第2虚拟象素D2G和蓝色发光用的第2虚拟象素D2B)。该第2虚拟象素是用于检查有机EL元件的功能膜的膜厚分布的象素。在本实施方式中，通过检查这些第2虚拟象素的发光特性的变化，检测出从虚拟区域的外周侧到有效显示区域侧的功能膜的膜厚变动的情况。如前所述，在本实施方式中，通过将干燥速度的变化量由虚拟区域吸收，使有效显示区域的干燥状态稳定。由干燥条件等造成上述变化量不能被充分吸收，因此功能膜的膜厚不均匀性不只产生在虚拟区域中，而且也在有效显示区域的外周部中产生。本构成是通过发光特性的变化检查这样的功能膜的膜厚分布，可简单判定功能膜的膜厚不均匀性是否达到有效显示区域的构成。例如，在发光亮度在到达有效显示区域前成为饱和(成为恒定)的情况下，可判定功能膜的膜厚变化只在虚拟区域的外周侧产生。另一方面，在发光亮度即使在有效显示区域的附近也不稳定的情况下，可判定功能膜的膜厚变化达到了有效显示区域内。
这些第2虚拟象素D2R、D2G、D2B互相串联连接。在检查发光特性的情况下，统一驱动这些第2虚拟象素，由CCD等个别检查每一个第2虚拟象素的发光特性。还有，在图4中，符号L2是检查信号取出用的布线，符号T2是外部端子。布线L2是对红色发光用的第2虚拟象素D2R、绿色发光用的第2虚拟象素D2G、和蓝色发光用的第2虚拟象素D2B作为共同的布线而设置的。
接着，采用图5(d)，对有机EL显示装置1的剖面结构进行说明。
该有机EL显示装置1在元件基板10上顺次具有阳极12、电光学层E、阴极16。在元件基板10中，在由玻璃或树脂等构成的基板主体10A的上面形成电路部11。在该电路部11的上面，与有效显示区域4的各象素以及虚拟区域5的各虚拟象素对应，俯视呈大致矩形状的阳极12排列为矩阵状。在电路部11中，在有效显示区域4内，形成包括扫描线101、信号线102等的各种布线和保持电容11c、TFT11a、11b等的电子电路。另一方面，在虚拟区域5中，除了用于驱动虚拟象素的布线以外，没有设置用于个别驱动虚拟象素的TFT等的开关构造。在形成了该阳极12的元件基板10上形成在每个象素位置(包括有效显示区域4内的象素以及虚拟区域5内的虚拟象素)上具有开口部的围堰层13。该围堰层13是作为用于隔开各象素的隔壁而发挥功能的层，在由该围堰层13划分的区域内(即围堰层13的开口部H内)形成分别包括有机发光层15的电光学层E。
围堰层13由氧化硅或氧化钛等的无机绝缘材料构成的无机围堰层13a和由丙烯酸类树脂或聚酰亚胺类树脂等的有机绝缘材料构成的有机围堰层13b的二层构造构成。在这种围堰层13a、13b中，在每个阳极12的平面区域上设置互相连通的开口部H1、H2(在以下的记载中，总括这两个称作开口部H)。无机围堰层13a的开口部H1设置在阳极12的平面区域内，其周边部以放搁置在阳极12的周边部上的方式形成。有机围堰层13b设置在该无机围堰层13a的平面区域内，其宽度形成为比无机围堰层13a的宽度窄。
在围堰层13的互相连通的开口部H处形成上述的电光学层E，按照覆盖该围堰层13以及电光学层E的方式设置阴极16。
阳极12和阴极16由ITO及其他导电材料构成。例如在将从电光学层E发出的光从阳极侧取出的底部发射(bottom emission)型的构造中，在阳极12中采用ITO等的透光性导电材料。在这种情况下，为了使从阳极侧取出产生在阴极侧的光，在阴极16中可采用Al或Ag等的高反射率的金属材料或Al/ITO等的透光性材料与高反射率金属材料的层叠构造。反过来，在从阴极侧取出发出的光的顶部发射(top emission)型的构造中，在阴极16中采用透光性导电材料，在阳极12中采用高反射率的导电材料。在这种情况下，在阴极16中，例如采用bathocuproin(BCP)和铯的共蒸镀膜，还有为了付与导电性适于采用层叠ITO的构造。另外，阴极16配置为覆盖围堰层13以及电光学层E的露出面，在各象素中作为共同的共同电极发挥功能。
电光学层E具有从下层侧顺次层叠空穴注入层14和有机发光层15的构造。
作为用于形成空穴注入层15的材料(空穴注入材料)，例如可使用聚噻吩衍生物、聚吡咯衍生物等或者使用在这些材料中掺入聚苯乙烯磺酸(PSS)等的酸性物质的掺杂体等。例如，在聚噻吩衍生物中可采用在PEDOT中掺入PSS的PEDOT：PSS。
有机发光层15由可发荧光或者磷光的公知的发光材料形成。具体地说，适于使用(聚)对苯撑乙烯撑衍生物、聚苯撑衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯基咔唑、聚噻吩衍生物等的高分子发光体，或者紫苏烯系色素、香豆素系色素、碱性蕊香红系色素等的低分子有机发光色素。在作为发光物质的共轭系高分子中，特别优选包括芳烯乙烯撑或者聚芴结构的物质等。此外，在这些材料中也可掺入红荧烯、紫苏烯、9，10二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等的材料而使用。
如上所述构成的元件基板10的表面，可由具备干燥剂的密封缶或气体屏蔽性的密封材料(图示省略)进行密封。作为密封材料可适于采用例如SiO2等的硅氧化物、SiN等的硅氮化物，或者SiOxNy等的硅氧氮化物。此外，在阴极16和密封材料之间也可根据需要设置保护膜。还有，在由上述的硅氧化物、硅氮化物、硅氧氮化物构成配置在阳极12的下层侧的层间绝缘膜的情况下，成为通过气体屏蔽性的膜(即层间绝缘膜以及密封材料)包裹住由阳极12、电光学层E、阴极16构成的有机EL元件，可构成可靠性更高的有机EL装置。
(有机EL装置的制造方法)
接着，对本发明的有机EL装置的制造方法进行说明。图5是表示本实施方式的有机EL显示装置1的制造工序的剖面模式图。
本实施方式的有机EL显示装置1的制造方法，例如具备：(1)围堰层形成工序；(2)空穴注入层形成工序；(3)发光层形成工序；(4)阴极(共同电极)形成工序、密封工序；(5)检查工序。还有，有机EL显示装置的制造方法并不限定于此，根据需要也存在除去其它工序或追加的情况。以下，对每个工序进行说明。
(1)围堰层形成工序
首先，准备如图5(a)所示的元件基板10。该元件基板10在玻璃等的基板主体10A上具备电路部11。在该电路部11中，一方面在有效显示区域4内设置所述的扫描线101、信号线102、TFT11a、保持电容11b等的象素开关结构，另一方面在虚拟区域5中除了用于驱动上述虚拟象素的布线以外，未设置用于个别驱动虚拟象素的TFT等的开关构造。在该电路部11上，在有效显示区域4的各象素和虚拟区域5的各虚拟象素中分别排列形成作为象素电极的阳极12。
在本工序中，如图5(b)所示，在该元件基板10上形成用于间隔象素和虚拟象素的围堰层13(无机围堰层13a、有机围堰层13b)。在此首先通过蒸镀或溅射等成膜氧化硅或氧化钛等的无机绝缘膜。然后，通过图案形成，在各象素区域以及各虚拟象素区域中形成开口部H1，使阳极12的电极面露出一部分。此时，开口部H1的边缘配置在比阳极12的外周部更内侧(即阳极12的中心侧)上。此外，上述无机绝缘膜的厚度优选50nm～200nm的范围。通过上述，形成无机围堰层13a。
接着，以覆盖无机围堰层13a和阳极12的表面的方式，由自旋涂敷等成膜丙烯酸树脂或聚酰亚胺树脂等的有机绝缘膜，通过溅射形成连通开口部H1的开口部H2。此时，开口部H2的边缘配置在比开口部H1的边缘更外侧(即阳极12的外周部侧)上。有机绝缘膜的厚度优选0.1μm～3.5μm的范围，特别优选2μm左右的厚度。根据以上，形成有机围堰层13b。
(2)空穴注入层形成工序
接着，如图5(c)所示，在围堰层13的开口部H中由液滴喷吐法形成空穴注入层14。在该工序中，首先在喷吐装置的突出头中填充含有空穴注入材料的液体材料，边使喷吐头和基板10相对移动，边从喷吐喷嘴将上述液体材料喷吐到围堰层13的开口部H内(液滴喷吐工序)。并且，通过干燥除去液体材料中的溶媒，将液体材料中包含的空穴注入材料膜化(干燥工程)。由此，在阳极12的露出面上形成空穴注入层14。
在该工序中，由于不只有效显示区域4，在有效显示区域4的周边(虚拟区域5)也配置液体材料，因此在干燥工序中，不会产生有效显示区域4的外周部与中央部相比更快变为非常干燥的不良情况。
还有，作为上述液体材料，可采用使上述的空穴注入材料溶解在极性溶媒中的材料。作为极性溶媒可举出，例如异丙醇(IPA)、n-丁醇、r-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1、3-二甲基-2-咪唑烷酮(DMI)及其衍生物、乙酸卡必醇酯、丁基卡必醇乙酸酯等的二醇类等。并且，由适于喷吐处理的组成混合上述材料。
还有，包括该空穴注入层形成工序以及以后的工序，优选没有水、氧的气体环境，优选在例如氮气体环境、氩气体环境等的惰性气体环境中进行。
(3)发光层形成工序
接着，由液滴喷吐法在正孔注入层14上形成有机发光层15。在该工序中，首先，在喷吐装置的喷吐头中填充包含规定颜色的发光材料、例如蓝色发光材料，边使喷吐头和基板10相对移动，边从喷吐喷嘴将上述液体材料喷吐到对应蓝色象素的围堰层13的开口部H内(液滴喷吐工序)。并且，通过干燥除去液体材料中的溶媒，将包含在液体材料中的发光材料膜化(干燥工序)。由此，在空穴注入层14的露出面中形成蓝色的有机发光层。接着，采用与形成该蓝色的有机发光层相同的顺序，顺次形成红色(R)的有机发光层和绿色(G)的有机发光层。在图5(c)中，用符号15表示这些有机发光层。
在该工序中，由于不只有效显示区域4，在有效显示区域4的周边(虚拟区域5)也配置液体材料，因此在干燥工序中，不会产生有效显示区域4的外周部与中央部相比更快变为非常干燥的不良情况。
还有，作为上述液体材料，可采用使上述的发光材料溶解在非极性溶媒中的材料。作为非极性溶媒，优选对空穴注入层14不溶解的材料，例如可采用环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲苯、四甲苯等的非极性溶媒。通过将这种非极性溶媒作为发光材料的溶媒使用，可不使空穴注入层14再溶解而涂敷液体材料。
根据以上所述，在阳极12上形成电光学层E。还有，有机发光层15的形成顺序并不限于上述的顺序，也可以任一种顺序形成。
(4)阴极(共同电极)形成工序、密封工序
接着，如图5(d)所示，在围堰层13以及电光学层E的露出面上形成阴极16。阴极16在采用底部发射的构造的情况下，最好由光反射性的导电材料构成。例如适用Al或Ag等的高反射率的金属膜。此时，虽然阴极16也可为Al等的单层膜，但是为了使发光元件更高效率发光，也可采用象电子注入层和导电层那样的层叠结构。在这种情况下，优选在靠近有机发光层15的侧形成由Ca、Ba等的功函数小的材料构成的电子注入层。还有，也可由发光材料在Ca或Ba的有机发光侧上形成由LiF构成的薄层。电子注入层和导电层的成膜方法也可从电阻加热蒸镀法、溅射法等已知的成膜方法中选择适当的方法。该阴极16的厚度优选100～1000nm的范围，尤其是200～500nm左右。
另一方面，在采用顶部发射结构的情况下，由于将来自有机发光层15的光从阴极16侧取出，因此阴极16必须是透明的。因此，作为阴极16适于为ITO等。此外，可以采用对电光学层E以及围堰层34的露出面成膜BCP和Cs的共蒸镀膜，还有为了付与导电性而由溅射法或CVD法等在基板整个面上成膜ITO等的透光性导电材料这样的结构。此外，在阴极16中也可采用如Ca/ITO等那样的电子注入层和透光性导电层的层叠结构。
在此之后，为使阴极16或电光学层E不因水或氧等劣化，根据需要由密封缶或气体屏蔽性的密封材料进行密封元件基板10的表面。作为密封材料，优选具有气体屏蔽性的材料，可适于采用例如SiO2等的硅氧化物或SiN等的硅氮化物、或者SiOxNy等的硅氧氮化物。更有效地是，在这些无机氧化物层上层叠丙烯酸、聚合酯和环氧等的树脂层。
(5)检查工序
接着，检查有机EL元件的特性。在这里，例如检查以下的项目。
(a)由液相法形成的功能膜(空穴注入层14或有机发光层15)的膜厚分布的检查。
(b)有机EL元件的特性偏差的检查。
(a)的检查通过使用在与有效显示区域4的外周垂直的方向上排列的第2虚拟象素，调查从虚拟区域5的外周侧朝向有效显示区域4侧的发光特性的连续变化而进行。由于功能膜的膜厚的变化表现为发光特性的变化，因此通过调查这种发光特性的变化，可间接得知在有效显示区域的外周部干燥状态是否稳定。例如，在功能膜的膜厚变化只在虚拟区域5的外周侧产生的情况下，由于发光亮度在到达有效显示区域前饱和，因此可判定发光亮度在有效显示区域附近成为恒定的产品是良品。另一方面，可判定发光亮度即使在有效显示区域的附近也不稳定的产品为不良品。
(b)的检查通过调查沿有效显示区域4的外周排列的第1虚拟象素的发光特性而进行。
有机EL元件的发光特性，由于其I-V特性或I-L特性即使在同一板内也有很大偏差。这种特性的偏差成为亮度不均、颜色不均的原因。在本实施方式中，采用第1虚拟象素对这种有机EL元件的发光特性的偏差按每行进行检查，使该检查结果反映于供给到有效显示区域4的各象素中的象素信号中。具体地说，准备检查表，使检查结果反映于该检查表，修正各象素的数据。
根据以上所述，本实施方式的有机EL装置1的制造工序结束。
根据以上说明，在本实施方式中，在采用液相处理于有效显示区域4上形成功能膜时，由于在该有效显示区域4的周围的虚拟区域5上也形成相同的功能膜，因此干燥功能膜时的溶媒的蒸汽压在有效显示区域的中央部和外周部中变为大致相等。由此，在有效显示区域整体中可实现功能膜的厚度均匀，成为可进行没有亮度不均或颜色不均等的高品质的显示。此外在本实施方式中，由于在上述虚拟区域中设置具有发光结构的第2有机EL元件，将该第2有机EL元件作为特性检查用的检查元件利用，因此在基板上不需要设置其它的检查用的构造，可实现小型化构成。
(第2实施方式)
接着，采用图6～图8对本发明的第2实施方式进行说明。在本实施方式中，对与上述第1实施方式相同的部件或者部位付与相同的符号，省略详细的说明。在本实施方式，与上述第1实施方式不同的点仅在于；在形成了有机EL元件的基板10上贴合偏振片等的功能性的薄膜；和将设置在虚拟区域5上的有机EL元件作为贴合该功能性薄膜时的定位标记利用。
图6、图7是表示虚拟区域5的具体的构成的模式图。如图6所示，在有效显示区域4的周围，不只是将液体材料废弃的区域5′，还设置多个定位区域M。这些定位区域M分别配置在有效显示区域4的四角上，在各定位区域M中设置定位用的多个虚拟象素。这些虚拟象素，除了不具备TFT等的开关元件和保持电容以外，具有与有效显示区域4的象素X相同的象素结构。即在各虚拟象素中，设置具有与设置在有效显示区域4中的有机EL元件(第1有机EL元件)相同的构造的虚拟有机EL元件(第2有机EL元件)，各虚拟有机EL元件分别根据从电源线(图示省略)供给的电流可发光。
如图7所示，在定位区域M上设置沿有效显示区域4的外周排列的多个虚拟象素MR、MG、MB。在这些虚拟象素中，与有效显示区域4的象素XR、XG、XB相同，包括可发不同颜色光的多种虚拟象素(在本实施方式中为红色发光用的虚拟象素MR、绿色发光用的虚拟象素MG和蓝色发光用的虚拟象素MB)。由于这些虚拟象素并不是对显示做贡献的象素，因此不需要象有效显示区域内的象素那样个别驱动。由此，在本实施方式中，设置为发光色相同的虚拟象素彼此互相串联连接，以统一驱动这些象素(即，通过使各虚拟象素统一发光，显示定位标记的形状)的方式。因此可将电路构成简单化。还有，在图7中，符号L是信号取出用的布线，符号T是外部端子。布线L作为对红色发光用的虚拟象素MR、绿色发光用的虚拟象素MG和蓝色发光用的虚拟象素MB共同的布线而设置的。
接着，采用图8，对有机EL显示装置1的象素结构进行说明。
该有机EL显示装置2在元件基板上顺次具备阳极12、电光学层E、阴极16、保护层17、偏振片18。在元件基板10上，在由玻璃或树脂等构成的基板主体10A上形成电路部11。在该电路部11之上，与有效显示区域4的各象素和虚拟区域5的各虚拟象素对应，俯视呈大致矩形状的阳极12排列为矩阵状。在电路部11中，在有效显示区域4内形成包括扫描线、信号线等的各种布线和保持电容、TFT等的电子电路。另一方面，在虚拟区域5中，除了用于驱动上述虚拟象素的布线以外，没有设置用于个别驱动虚拟象素的TFT等的开关构造。在形成该阳极12的元件基板10上形成在每一个象素位置(包括有效显示区域4内的象素和虚拟区域5内的虚拟象素)上具有开口部的围堰层13。该围堰层13是作为用于间隔各象素的隔壁发挥功能的层，在由该围堰层13划分的区域内(即围堰层13的开口部H内)形成分别包括有机发光层15的电光学层E。
电光学层E具有从下层侧顺次层叠空穴注入层14和有机发光层15的构造。这些功能膜14、15与上述第1实施方式相同，是由液相法形成的膜。例如空穴注入层14通过由液滴喷吐法将包括上述空穴注入材料的液体材料喷吐到围堰层13的开口部H中并将其干燥而形成。同样，有机发光层15通过由液滴喷吐法将包括上述发光材料的液体材料喷吐到围堰层13的开口部H中并将其干燥而形成。此时，在本实施方式中，将这些液体材料不但配置在有效显示区域4中，而且也配置在有效显示区域4的周围(虚拟区域5)。由此，在干燥工序中，不会产生有效显示区域4的外周部与中央部相比更快地成为很干燥状态的不良情况。
上述构成的元件基板10的表面由保护层17密封，更进一步在该保护层17的表面上贴合作为反射防止膜的偏振片18。该偏振片18是使用上述的定位用虚拟象素，在板的制造工序的最终阶段粘合的。
如上所述，在本实施方式中，由于在采用液相处理在有效显示区域4中形成功能膜时，也在该有效显示区域4的周围的虚拟区域5中形成同样的功能膜，因此在有效显示区域整体中可实现功能膜的膜厚均匀，可进行没有亮度不均和颜色不均等的高品质的显示。此外在本实施方式中，由于在这种虚拟区域中设置具有发光结构的第2有机EL元件，将该第2有机EL元件作为薄膜贴合时的定位标记利用，因此在基板上不需要制作其他的定位标记，可实现小型化构成。
还有，虽然在本实施方式中，将偏振片作为贴合在基板上的功能性薄膜，但本发明并不限定于此。
(电子机器)
接着，对本发明的电子机器进行说明。
图9是表示有关本发明的电子机器的一例的立体图。在该图中所示的移动电话1000在显示部1001中具备上述的有机EL装置。
上述实施方式的有机EL装置，不限于上述移动电话，可适用于具有电子图书、个人计算机、数码相机、液晶电视、录像器型或者监视器直视型的磁带录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子笔记本、计算器、文字处理机、工作站、电视电话、POS终端、触摸屏的机器等各种电子机器中。在任一个电子机器中都可适用本发明的有机EL装置，可实现显示品质的提高。
以上，虽然边参照附图，边对有关本发明的适用的实施方式例进行说明，但是本发明并不限定于有关的例子。在上述的例子中所示的各购成部件的诸形状或组合等只是一例，在不超出本发明的主要内容的范围内可基于设计要求等有各种变化。

Claims (9)

1、一种有机EL装置，在基板的有效显示区域内具备多个象素，在所述象素的每一个上设置具有由液相法形成的功能膜的第1有机EL元件，其特征在于，
在所述有效显示区域的周围设置具备特性检查用的多个虚拟象素的虚拟区域，在所述虚拟象素的每一个上设置具有由与所述第1有机EL元件的功能膜相同的处理形成的功能膜的第2有机EL元件。
2、根据权利要求1中所述的有机EL装置，其特征在于，
基于所述虚拟象素的检查结果，可补正供给到所述有效显示区域的各象素中的信号。
3、根据权利要求2中所述的有机EL显示装置，其特征在于，
所述虚拟区域具有沿所述有效显示区域的外周排列的多个第1虚拟象素，供给到各象素的所述信号基于所述第1虚拟象素的检查结果得到补正。
4、根据权利要求3中所述的有机EL显示装置，其特征在于，
所述虚拟区域具有可发不同颜色光的多个所述第1虚拟象素，并且发光颜色相同的第1虚拟象素彼此相互串联连接。
5、根据权利要求2～4中任一项所述的有机EL装置，其特征在于，
所述虚拟区域具有与所述有效显示区域的外周垂直地排列的多个第2虚拟象素，基于从所述虚拟区域的外周侧朝向有效显示区域侧的所述第2虚拟象素的发光特性的连续性变化，可检测出在所述有效显示区域的外周部的所述功能膜的膜厚变化的情况。
6、根据权利要求3中所述的有机EL装置，其特征在于，
所述第2虚拟象素互相串联连接。
7、一种有机EL装置，在基板的有效显示区域内具备多个象素，在所述象素的每一个上设置具有由液相法形成的功能膜的第1有机EL元件，并且在所述基板的表面上贴合功能性的薄膜，其特征在于，
在所述有效显示区域的周围，设置具有成为贴合所述薄膜时的定位标记的多个虚拟象素的虚拟区域，在所述虚拟象素的每一个上设置具有由与所述第1有机EL元件的功能膜相同的处理形成的功能膜的第2有机EL元件。
8、根据权利要求7中所述的有机EL装置，其特征在于，
所述多个虚拟象素互相串联连接。
9、一种电子机器，其特征在于，
具备权利要求1～8中任一项所述的有机EL装置。
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