KR100695642B1

KR100695642B1 - 표시장치 및 표시장치의 제조방법

Info

Publication number: KR100695642B1
Application number: KR1020040018871A
Authority: KR
Inventors: 모리시따히또시; 우에다히로시; 이와나가히로후미; 노우미시게아끼; 야마구찌다께히사
Original assignee: 어드밴스트 디스플레이 인코포레이티드
Priority date: 2003-04-18
Filing date: 2004-03-19
Publication date: 2007-03-15
Also published as: TW200422744A; US20040207796A1; TWI281077B; KR20040090697A; JP2004317924A; US7206056B2

Abstract

구동회로의 단자와 절연성 기판 상의 단자의 접속 신뢰성을 향상시킨다.

화소에 접속되는 인출 배선 (13), 인출 배선 (13) 에 접속되고 절연성 기판 (1) 상에 직접 실장되는 구동회로 (4) 의 단자 (7) 에 투명 도전막 (15) 을 통해 도전재료 (16) 에 의해 접속되는 배선 단자 (12), 절연성 기판 (1) 외부에 접속 가능한 외부 단자 (8), 외부 단자 (8) 에 접속된 외부 배선 (9), 및 외부 배선 (9) 에 접속되고 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와 도전재료 (16) 에 의해 직접 접속되는 외부 배선 단자 (10) 를 구비하는 표시장치로서, 배선 단자 (12) 에서 투명 도전막 (15) 과 접속되는 면은 고저항 도전막으로 형성되고, 외부 배선 단자 (10) 에서 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와 도전재료 (16) 에 의해 접속되는 면은 저저항 도전막으로 형성된다.

표시장치

Description

표시장치 및 표시장치의 제조방법 {DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY DEVICE}

도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에서의 표시장치의 평면도.

도 2 는 도 1 에서의 A-A 단면도.

도 3 은 본 발명의 제 2 실시형태에서의 표시장치의 구동회로 실장 부분의 평면도.

도 4 는 도 3 에서의 B-B 단면도.

도 5 는 본 발명의 제 3 실시형태에서의 표시장치의 구동회로 실장부의 구동회로 실장전의 평면도.

도 6 은 본 발명의 제 3 실시형태에서의 다른 표시장치의 구동회로 실장부의 구동회로 실장전의 평면도.

도 7 은 본 발명의 제 4 실시형태에서의 표시장치의 구동회로 실장부의 단면도.

도 8 은 본 발명의 제 5 실시형태에서의 표시장치의 구동회로 실장부의 구동회로 실장전의 평면도.

도 9 는 본 발명의 제 6 실시형태에서의 표시장치의 구동회로 실장부의 구동회로 실장전의 평면도.

도 10 은 본 발명의 제 7 실시형태에서의 구동회로의 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 : 절연성 기판 2 : 표시영역

3 : 컬러필터 기판 4 : 신호선 구동회로

5 : 주사선 구동회로 6 : 플렉시블 기판

7 : 주사선 구동회로의 단자 7a : 구동회로의 출력단자

7b : 구동회로의 입력단자 8 : 외부 단자

9 : 외부 배선 10 : 외부 배선 단자

11 : 절연막 12 : 배선 단자

13 : 인출배선 14 : 보호막

15 : 투명도전막 16 : 도전재료

17 : 도전입자 18 : 코팅 수지

19 : 구동회로간 배선 20 : 공급원 단자

21 : 공급선 단자 22 : 제 1 알루미늄 전극

23 : 제 2 알루미늄 전극 24 : 보호절연막

본 발명은 구동회로를 절연성 기판 상에 직접 실장한 구동회로와 절연성 기판 상 단자와의 접속 신뢰성이 높은 표시장치 및 표시장치의 제조방법에 관한 것으 로, 특히 액정표시장치에 적용하기에 바람직한 것이다.

최근 액정표시장치와 같은 표시장치의 보다 저렴한 제조방법으로서, 구동회로를 절연성 기판 상에 직접 실장하는 COG (Chip On Glass) 공법의 채용이 진행되고 있다. 이는 Au 범프를 형성한 구동회로를 절연성 기판 주위에 형성된 단자 상에 이방성 도전막 ACF (Anisotropic Conductive Film) 등의 도전재료를 사용하여 직접 실장하는 공법이다. 이 공법을 사용하는 경우, 구동회로를 구동하기 위한 전원선 또는 각종 신호선은 구동회로에 형성된 단자 (범프) 와 이방성 도전막을 통해 접속된다. 그러나, 이 범프는 구동회로에 다수 설치할 필요가 있기 때문에 그 피치는 매우 좁아지고, 그에 따라 절연성 기판 상에 형성되는 전원선 또는 각종 신호선의 배선 패턴의 피치도 좁아지기 때문에, 배선저항이 상승하고 구동회로가 정상적으로 동작하지 않는 등의 불량이 발생한다는 문제가 있었다.

상기 문제점을 해소하기 위하여 구동회로를 절연성 기판 상에 직접 실장한 종래의 표시장치는, 셀 상의 배선부를 금속도금 또는/및 증착에 의해 금속으로 덮고, 구동회로와의 전기적 접합부에 금속도금 또는/및 증착하지 않고, 유리 기판과의 접속부의 관찰이 가능하고, 구동회로에 대한 전원배선과 접지배선 및 승압용 배선에만 금속도금 또는/및 증착을 실시하기 때문에, 배선의 저저항화가 가능해지는 것이었다 (예를 들어 일본 공개특허공보 평11-52405호 (도 2)).

또한, 그 외의 종래기술로는, 기판 상에 복수의 단자를 형성하며 그 단자는 보호막에 의해 덮여 있고, 보호막에는 각 단자에 대응하여 패드 컨택트 홀이 형성되고, 보호막 상에 구동회로와 접속하는 패드가 형성되어 양호한 접촉 특성을 얻는 것이었다 (예를 들어 일본 공개특허공보 2002-244151호 (도 9)).

그러나, 상기한 일본 공개특허공보 평11-52405호 또는 일본 공개특허공보 2002-244151호의 종래기술에서는, 구동회로를 절연성 기판 상의 단자에 직접 실장하는 구성으로 되어있으나 절연성 기판 상 단자에 접속되는 절연성 기판 상의 배선재료의 종류에 따른 컨택트 저항의 상승을 억제하는 구성에 관해서는 전혀 언급되어 있지 않다. COG 공법에 의해 구동회로를 절연성 기판 상에 실장하는 경우, 구동회로가 실장된 영역의 전원선 및 각종 신호선의 배선에 관해서는 상기 서술한 바와 같이 큰 배선 패턴을 형성하여 저저항화하는 것은 곤란하다. 특히, 외부로부터의 입력용 플렉시블 회로 기판, 절연성 기판 상의 배선 및 단자를 통해 구동회로에 공급되는 전원선 및 각종 신호선에 관해서는, 그 구동회로의 입력신호가 되기 때문에 저항값을 낮게 형성하지 않으면 전원선의 전류 공급 능력의 부족 또는 전압 강하 또는 각종 신호선의 지연 등에 의해 구동회로가 정상으로 동작하지 않게 되어버리므로, 그 대책으로서 배선재료로서 Al 등의 상대적으로 저저항인 도전막을 채용하고 있었다. 이에 대하여, 절연성 기판 상의 화소가 형성되는 표시영역의 배선군과 접속된 배선에 관해서는, 상기한 것과 비교하여 그다지 배선저항을 낮게 형성할 필요는 없어, 배선재료로는 Cr 등과 같이 상대적으로 고저항인 도전막을 채용하고 있었다.

구동회로의 단자와 절연성 기판 상의 단자를 이방성 도전막 등의 도전재료를 통해 접속하는 경우, 절연성 기판 상의 단자는 배선에 사용된 금속재료에 접속된 투명도전막으로 형성된 경우가 많지만, 이 때 외부로부터의 입력용 플렉시블 회로 기판과 그 플렉시블 회로 기판, 절연성 기판 상 단자 및 배선을 통해 구동회로에 공급되는 전원선 및 각종 신호선에 관해서는, 상기 서술한 바와 같이 Al 등의 저저항 재료가 적용되고 있기 때문에, ITO (Indium Tin Oxide), SnO₂ 등으로 이루어지는 투명도전막과 Al 등의 저저항 재료와의 컨택트 저항이 높아지게 된다는 문제가 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 구동회로를 절연성 기판 상에 직접 실장한 표시장치에 있어서, 구동회로와 절연성 기판 상 단자와의 전기적 접속을 확실하게 하여 접속 신뢰성을 향상시키는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제 1 표시장치는, 절연성 기판 상에 형성된 화소에 접속되는 배선군, 상기 화소로 이루어지는 표시영역 외의 영역에서 상기 배선군의 적어도 하나에 접속된 인출 배선, 상기 인출 배선의 적어도 하나에 접속되고 상기 표시영역 외의 영역에서 상기 절연성 기판 상에 직접 실장되는 구동회로의 단자에 투명도전막을 통해 도전재료에 의해 접속되는 배선 단자, 상기 절연성 기판의 상기 표시영역 외의 단부에 형성되며 상기 절연성 기판 외부에 접속가능한 외부 단자, 상기 외부 단자의 적어도 하나에 접속된 외부 배선, 및 상기 외부 배선의 적어도 하나에 접속되고 상기 구동회로의 단자와 도전재료에 의해 직접 접속되는 외부 배선 단자를 구비한 표시장치로서, 상기 배선 단자에서 상기 투명도전막과 접속되는 면은 고저항 도 전막으로 형성되고, 상기 외부 배선 단자에서 상기 구동회로의 단자와 도전재료에 의해 접속되는 면은 저저항 도전막으로 형성된 것을 특징으로 하는 것이다.

(발명의 실시형태)

제 1 실시형태

본 발명의 제 1 실시형태를 도 1, 도 2 에 의해 설명한다. 도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에서의 표시장치의 평면도이고, 도 2 는 도 1 에서의 A-A 단면도이다. 도 1 에 있어서, 절연성 기판 (1) 상에 형성된 화소로 이루어지는 표시영역 (2) 을 갖고, 그 절연성 기판 (1) 과 도시하지 않는 액정을 협지하여 대향 기판이 되는 컬러필터 기판 (3) 이 배치되어 있다. 또한, 절연성 기판 (1) 의 표시영역 (2) 외의 영역에서는 화소에 접속되는 배선군을 구성하여 영상신호를 공급하는 신호선과 접속된 신호선 구동회로 (4), 및 화소에 접속된 배선군을 구성하여 그 화소를 구동하기 위한 주사선 구동회로 (5) 가 절연성 기판 (1) 상에 직접 실장된다. 그리고, 그 구동회로 (4 및 5) 에 전원 또는 각종 신호의 입력신호를 절연성 기판 (1) 의 외부에서 공급하기 위하여 플렉시블 기판 (6) 이 절연성 기판 (1) 의 단부에 접속된다.

다음으로, 도 2 를 사용하여 본 발명의 표시장치의 제조방법에 관하여 설명한다. 도 2 는 도 1 에서의 A-A 단면도이며, 예를 들어 유리 기판으로 이루어지는 절연성 기판 (1) 상에 Al, Cu, Au, Ag 또는 이들 합금 혹은 이들 적층막 중 어느 하나에서 선택된 저저항 도전막을 스퍼터링 등에 의해 퇴적하고 사진제판 등에 의해 패터닝함으로써, 예를 들어 박막 트랜지스터의 게이트전극에 접속되는 주 사선의 형성과 동시에 외부의 플렉시블 기판 (6) 으로부터 전원, 각종 신호를 절연성 기판 (1) 에 공급하기 위하여, 플렉시블 기판 (6) 과 접속되는 외부 단자 (8), 외부 배선 (9) 및 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와 후술할 도전재료에 의해 직접 접속되는 외부 배선 단자 (10) 를 형성한다. 도 2 에서는, 외부 배선 단자 (10) 에서의 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와 도전재료에 의해 직접 접속되는 면을 포함하며, 외부 배선 단자 (10), 외부 배선 (9) 및 외부 단자 (8) 는 동일층의 도전막 (저저항 도전막) 으로 형성된다.

그 후, SiN 등으로 이루어지는 절연막 (11) 을 형성한 후 Cr, Ti, Ta, Mo, W, Ni 또는 이들 합금 혹은 이들 적층막 중 어느 하나에서 선택된 고저항 도전막을 스퍼터링 등에 의해 퇴적하고 사진제판 등에 의해 패터닝함으로써, 예를 들어 박막 트랜지스터의 소스전극 또는 드레인전극에 접속되는 신호선의 형성과 동시에 신호선 구동회로 (4) 에서 출력된 신호를 표시영역의 화소에 공급하기 위하여 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와 후술할 투명도전막을 통해 도전재료에 의해 접속되는 배선 단자 (12) 및 표시영역의 화소에 접속된 배선군과 접속되는 인출 배선 (13) 을 형성한다. 도 2 에서는 배선 단자 (12) 에서의 투명 도전막과 접속되는 면을 포함하며, 배선 단자 (12), 인출 배선 (13) 은 동일층의 도전막 (고저항 도전막) 으로 형성된다.

그 후, SiN 등으로 이루어지는 보호막 (14) 을 형성하고 또한 표시영역의 화소를 구성하는 화소전극을 형성하는 공정과 동시에, ITO (Indium Tin Oxide), SnO₂ 등으로 이루어지는 투명 도전막 (15) 을 배선 단자 (12) 상에 형성한다. 이 때, 외부 단자 (8), 외부 배선 (9) 및 외부 배선 단자 (10) 는 상기 서술한 바와 같이 저저항 도전막으로 형성되어 있고, 저저항 도전막으로서 Al, Cu, Au, Ag 또는 이들 합금 혹은 이들의 적층막을 사용하는 경우, 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와의 접속은 ITO (Indium Tin Oxide), SnO₂ 등으로 이루어지는 투명 도전막을 통해 도전재료 (16) 에 의해 접속하면 컨택트 저항이 상승하게 되어 양호한 접속특성을 얻을 수 없기 때문에, 외부 배선 단자 (10) 상에는 투명 도전막 (15) 을 형성하지 않는 구성으로 한다. 이상에 의해 절연성 기판 상의 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와 접속하기 위한 패턴 형성이 완료된다.

여기에서, 본 명세서에서 고저항 도전막이란 배선으로서 사용되는 금속재료 중 상대적으로 그 비저항이 높은 것을 나타내는 것으로 하며, 예를 들어 비저항이 5μΩ·㎝ 이상인 것을 가리키는 것으로 하고, 저저항 도전막이란 배선으로서 사용되는 금속재료 중 상대적으로 그 비저항이 낮은 것을 나타내는 것으로 하며, 예를 들어 비저항이 5μΩ·㎝ 가 되지 않는 것을 가리키기로 한다. 또한, 상기 금속을 포함하는 합금 또는 상기 금속을 조합한 적층막 등도, 상기 서술한 바와 같이 그 비저항이 5μΩ·㎝ 이상이라면 고저항 도전막, 5μΩ·㎝ 가 되지 않는 것이면 저저항 도전막으로 한다.

다음으로, 마찬가지로 도 2 에 의해 구동회로를 실장하는 공정에 관하여 설명한다. 먼저, 외부 단자 (8), 외부 배선 단자 (10) 및 배선 단자 (12) 를 덮 도록 ACF 등으로 이루어지는 도전재료 (16) 를 도포한다. 이 도전재료 (16) 는 도전입자 (17) 와 절연성을 갖는 에폭시 수지로 구성된다. 그 후, 절연성 기판 (1) 의 단부에 형성된 외부 단자 (8) 에는 절연성 기판 (1) 의 외부에 위치하는 플렉시블 기판 (6) 이 접속된다. 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와, 배선 단자 (12) 및 외부 배선 단자 (10) 를 정밀하게 얼라인먼트한 후 열압착한다. 이 열압착의 조건은 도전재료의 도달온도 170∼200℃, 열압착 시간 5∼19초, 압력 30∼100 MPa 가 일반적으로 사용된다. 이 조건으로 열압착하면, 도전재료 (16) 에 함유되는 도전입자 (17) 중 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와 배선 단자 (12) 및 외부 배선 단자 (10) 사이에 협지된 도전입자는 도 2 에 나타낸 바와 같이 편평하고, 도 2 지면에 대하여 상하방향으로만 도통되며, 지면에 대하여 좌우방향에 관해서는 절연성 에폭시 수지가 존재하기 때문에 절연성이 유지된다. 그 후, 신호선 구동회로 (4) 의 주위와 플렉시블 기판 (6) 의 접속부 주변에 내습성 코팅 수지 (18) 를 디스펜서에 의해 도포한다. 상기 서술한 바와 같이 배선 단자 (12) 상에는 투명 도전막 (15) 이 형성되어 있지만 외부 배선 단자 (10) 상에는 투명 도전막 (15) 은 형성되지 않으므로, 도전재료 (16) 를 통해 직접 신호선 구동회로 (4) 의 단자와 접속된다.

상기 구성으로 함으로써, 외부로부터의 전원, 각종 신호를 입력하는 측의 단자인 외부 배선 단자를 저저항 도전막으로 형성한 경우, 투명도전막을 통해 도전재료에 의해 구동회로의 단자와 접속하는 것으로 인한 컨택트 저항의 상승을 억제할 수 있어, 구동회로의 단자와 절연성 기판 상 단자의 양호한 전기적 접속이 가능하 게 된다. 구동회로의 단자에서 표시영역의 화소로 출력되는 각종 신호에 관해서는, 절연성 기판 상의 고저항 도전막으로 형성된 배선 단자와 투명도전막을 통해 도전재료에 의해 구동회로의 단자와 접속하는 것으로 하였기 때문에, 이 경우도 컨택트 저항의 상승을 억제하는 것이 가능하게 된다. 결과적으로, 구동회로의 단자와 절연성 기판 상 단자가 컨택트 저항을 상승시키는 일없이 확실하게 전기적 접속이 가능하게 되며, 접속 신뢰성을 향상시키는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 실시형태에서는 저저항 도전막으로는 Al, Cu, Au, Ag 또는 이들 합금 혹은 이들 적층막 중 어느 하나에서 선택되는 것이라면 상기 효과를 나타내는데, 제조공정시의 내식성이 양호하기 때문에 Al 또는 이들 합금을 사용하는 것이 바람직하다.

제 2 실시형태

본 발명의 제 2 실시형태를 도 3 및 도 4 에 의해 설명한다. 도 3 은 본 발명의 제 2 실시형태에서의 표시장치의 구동회로 실장 부분의 평면도이고, 도 4 는 도 3 에서의 B-B 단면도이다. 도 3 및 도 4 에 있어서 도 1 및 도 2 와 동일한 구성 부분에 관해서는 동일 부호를 붙이고, 차이에 대하여 설명하다. 도 3 및 도 4 에서는 인접하는 2 개의 구동회로 (4) 가 나타나 있고, 그 구동회로 간의 접속은 각 구동회로의 대향하는 한 변에 형성된 단자에 의해, 구동회로간 배선 (19) 에 의해 행한다. 구동회로간 배선 (19) 은 예를 들어 도 4 에 있어서 좌측의 신호선 구동회로 (4) 로부터 우측의 신호선 구동회로 (4) 로 신호를 공급하는 경우, 특히 그 구동회로간 배선 (19) 이 저저항 도전막으로 형성될 때, 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 는 투명도전막을 사이에 두지 않고 도전재료 (16) 에 의해 절연성 기판 상의 공급원 단자 (20) 와 공급선 단자 (21) 와 접속됨으로써 컨택트 저항의 상승을 억제하여 양호한 접속 신뢰성이 획득된다.

또한, 절연성 기판 상의 공급원 단자 (20) 와 공급선 단자 (21) 는 도 3 에 나타낸 바와 같이 각 구동회로의 대향하는 한 변에 형성된 것이 구동회로간 배선 (19) 의 배선거리의 축소에 의한 저저항화 및 배선영역의 축소화 등에 보다 바람직하지만, 예를 들어 후술하는 제 3 실시형태에서의 도 6 과 같이 공급원 단자 (20) 및/또는 공급선 단자 (21) 의 일부가 신호선 구동회로 (4) 에서의 표시영역과 근접한 측의 한 변과 같이 구동회로와 대향하는 한 변 이외의 변에 형성되는 등 각 구동회로의 대향하는 한 변 근방에 형성되면 된다, 또한, 본 실시형태의 구동회로간 배선 (19) 은 주사선을 형성하는 공정과 동시에 형성함으로써 공정수의 삭감이 가능하게 된다.

제 3 실시형태

본 발명의 제 3 실시형태를 도 5 및 도 6 에 의해 설명한다. 도 5 는 본 발명의 제 3 실시형태에서의 표시장치의 구동회로 실장부의 구동회로 실장전의 평면도이고, 도 6 은 본 발명의 제 3 실시형태에서의 다른 표시장치의 구동회로 실장부의 구동회로 실장전의 평면도이다. 도 5 및 도 6 에 있어서 도 1 내지 도 4 와 동일한 구성부분에 관해서는 동일 부호를 붙이고, 차이에 대하여 설명한다. 도 5 에서는 구동회로 실장전의 절연성 기판 상 단자가 나타나 있고, 도 5 와 같이 표시영역 (2) 의 화소에 접속되는 인출 배선 (13) 에 접속되는 배선 단자 (12) 는 구동회로가 실장되는 영역에서 표시영역과 근접한 측의 한 변 근방 (도 5, 도 6 에 서는 한 변 근방에 2 열 배치) 에 형성되어 있다.

이러한 구성으로 함으로써, 표시영역의 화소에 접속되는 배선, 인접하는 구동회로와 접속하기 위한 배선 및 외부로부터의 전원, 및 각종 신호선을 구동회로에 입력하기 위한 배선 각각의 배선 패턴을, 불필요하게 둘러치지 않고 효율적으로 패터닝하는 것이 가능하게 되므로, 배선 저항의 상승을 억제할 수 있다. 또한, 상기 제 1 및 제 2 실시형태에 설명한 바와 같이, 인접하는 구동회로간을 접속하는 배선 및 외부로부터의 구동회로에 대한 입력의 배선 패턴에 관해서는, 저저항 도전막으로 형성하고 투명도전막을 사이에 두지 않고 도전재료에 의해 구동회로의 단자와 접속함으로써 마찬가지로 저저항화가 실현가능하다. 나아가, 표시영역의 화소에 접속되는 배선에 관해서는, 고저항 도전막으로 형성하고 투명도전막을 통해 도전재료에 의해 구동회로의 단자와 접속됨으로써 마찬가지로 저저항화를 실현할 수 있다. 또한, 도 5 에서의 인접하는 구동회로와의 구동회로간 배선 (19) 과 접속되는 절연성 기판 상의 공급원 단자 (20) 및 공급선 단자 (21) 는, 도 5 에 나타낸 바와 같이 인접하는 구동회로의 대향하는 각각의 한 변에 형성되어도 무방하고, 도 6 에 나타낸 바와 같이 그 일부를 표시영역과 근접하는 한 변에 형성해도 동일한 효과가 있다.

제 4 실시형태

본 발명의 제 4 실시형태를 도 7 에 의해 설명한다. 도 7 은 본 발명의 제 4 실시형태에서의 표시장치의 구동회로 실장부의 단면도이다. 도 7 에 있어서 도 1 내지 도 6 과 동일한 구성부분에 관해서는 동일 부호를 붙이고, 차이에 대 하여 설명한다. 도 7 에서는 외부에서 구동회로로 전원을 공급하는 외부 배선 (9) 과 접속되는 2 개의 외부 배선 단자 (10) 가 각각 하나의 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와 대응하여 접속되고, 외부 배선 단자 (10) 간 및 그 주위는 절연막 (11) 과 보호막 (14) 으로 둘러싸여 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 외부에서 전원을 구동회로에 입력할 때 복수의 구동회로 단자를 상대적으로 크게 형성된 하나의 절연성 기판 상 단자와 대응시켜 접속된 경우에 발생하는 단자 표면의 오염에 의한 컨택트 저항의 상승을 억제하여 접속 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

제 5 실시형태

본 발명의 제 5 실시형태를 도 8 에 의해 설명한다. 도 8 은 본 발명의 제 5 실시형태에서의 표시장치의 구동회로 실장부의 구동회로 실장전의 평면도이다. 도 8 에 있어서 도 1 내지 도 7 과 동일한 구성 부분에 관해서는 동일 부호를 붙이고, 차이에 대하여 설명한다. 도 8 에서는 외부의 플렉시블 기판과 접속되는 외부 단자 (8) 의 적어도 일부를 인접하여 실장되는 구동회로 간에 형성하고 있다. 이러한 구성으로 함으로써 표시장치의 표시영역 이외의 영역을 축소할 수 있어 소형화가 가능하게 된다.

제 6 실시형태

본 발명의 제 6 실시형태를 도 9 에 의해 설명한다. 도 9 는 본 발명의 제 6 실시형태에서의 표시장치의 구동회로 실장부의 구동회로 실장전의 평면도이다. 도 9 에 있어서 도 1 내지 도 8 과 동일한 구성 부분에 관해서는 동일 부호를 붙이고, 차이에 대하여 설명한다. 도 9 에서는 절연성 기판 상의 각 배선 및 각 단자 패턴을 형성한 후 외부의 플렉시블 기판과 접속되는 외부 단자 (8), 외부 단자 (8) 에 접속된 외부 배선 (9) 과 접속되는 외부 배선 단자 (9), 및 표시영역 (2) 의 화소에 접속되는 인출 배선 (13) 과 접속되는 배선 단자 (12) 를 ACF 등으로 이루어지는 도전재료 (16) 에 의해 덮도록 도포할 때, 동일한 공정으로 도포한다. 이와 같이 함으로써 도전재료 (16) 의 도포공정은 1회의 공정으로 완료되어 공정수의 삭감이 가능해진다.

제 7 실시형태

본 발명의 제 7 실시형태를 도 10 에 의해 설명한다. 도 10 은 본 발명의 제 7 실시형태에서의 구동회로의 단면도이다. 도 10 에 있어서 도 1 내지 도 9 와 동일한 구성 부분에 관해서는 동일 부호를 붙이고, 차이에 대하여 설명한다. 도 10 에서는 구동회로의 단자는 절연성 기판 상 단자가 고저항 도전막으로 형성되고 구동회로의 단자와 투명도전막을 통해 도전재료에 의해 접속되는 경우, 구동회로의 출력단자 (7a) 와 같이 상대적으로 그 높이를 낮게 형성하며, 절연성 기판 상 단자가 저저항 도전막으로 형성되고 구동회로의 단자와 투명도전막을 사이에 두지 않고 도전재료에 의해 접속되는 경우, 구동회로의 입력단자 (7b) 와 같이 상대적으로 그 높이를 높게 형성한다. 도 10 에서는, 신호선 구동회로 (4) 의 단자를 형성하기 위해 먼저 제 1 알루미늄 전극 (22) 을 구동회로의 출력단자 (7a) 및 입력단자 (7b) 와 대응하는 위치에 각각 형성한다. 그 후, 높이를 높게 형성하고자 하는 입력단자 (7b) 와 대응하는 위치에 제 2 알루미늄 전극 (23) 을 형성한다. 그 제 2 알루미늄 전극 (23) 의 적층 높이를 조정함으로써 출력 단자 (7a) 와 입력단자 (7b) 의 높이 차를 조정할 수 있다. 그 후, 보호절연막 (24) 을 출력단자 (7a) 와 입력단자 (7b) 의 주위에 형성한다.

출력단자 (7a) 와 입력단자 (7b) 의 높이 차는, 절연성 기판 상에 형성되는 각 단자에서 구동회로 단자와의 접속면의 높이 차와 실질적으로 같은 것이 바람직하다. 구체적으로는, 예를 들어 도 2 에서의 단자 구성의 경우, 표시영역의 화소에 접속되는 인출 배선 (13) 과 접속되는 배선 단자 (12) 는 투명 도전막 (15) 을 통해 도전재료 (16) 에 의해 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와 접속되고, 이에 대하여 외부로부터의 신호를 입력하는 외부 배선 (9) 에 접속되는 외부 배선 단자 (10) 는 투명 도전막 (15) 을 사이에 두지 않고 도전재료 (16) 에 의해 신호선 구동회로 (4) 의 단자 (7) 와 접속되기 때문에, 구동회로 단자의 높이 차는 투명 도전막 (15) 의 두께에 배선 단자 (12) 의 하층에 형성된 절연막 (11) 의 두께를 더한 두께 0.5 ㎛ 내지 1 ㎛ 정도로 하는 것이 바람직하다. 이러한 구성으로 함으로써 구동회로를 절연성 기판에 실장하였을 때 구동회로가 기울어짐으로 인한 열압착 불량 또는 전기적 접속불량 등을 억제할 수 있어, 접속 신뢰성을 향상시키는 것이 가능해진다.

이상, 본 발명을 제 1 내지 제 7 실시형태에 의해 설명하였으며, 각각의 실시형태를 적절히 조합함으로써 각각의 효과를 나타내는 것이 가능하다. 또한, 상기 제 1 내지 제 7 실시형태에서는 구동회로로서 주로 표시영역의 화소에 영상신호를 공급하는 신호선 구동회로에 관하여 설명하였으나, 화소를 구동하는 주사선 구동회로에 관해서도 표시영역의 화소에 접속되는 배선군과 접속된 인출배선이 신 호선 구동회로의 단자와 접속되는 인출배선과 마찬가지로 고저항 도전막으로 형성되는 경우, 상기 실시형태와 동일한 구성을 적용하는 것이 가능하다. 그리고, 상기 제 1 내지 제 7 실시형태에서의 층 구성, 각 층의 적층순서에 한정되지 않고 구동회로를 절연성 기판 상의 단자에 직접 실장하고 저저항 배선을 구비한 모든 표시장치에 적용가능하다.

또한, 상기 제 1 내지 제 7 실시형태에서의 표시장치로는 액정을 사용한 것에 관하여 설명하였으나 그것에 한정되지 않으며, EL 소자 등을 사용한 것에 적용될 수도 있고 구동회로를 절연성 기판 상 단자에 직접 실장하는 모든 표시장치에 적용하여도 무방하다.

본 발명에 의하면, 구동회로의 단자와 절연성 기판 상 단자가 컨택트 저항을 상승시키지 않고도 확실하게 전기적 접속이 가능하게 되어, 접속 신뢰성을 향상시키는 것이 가능하게 된다.

Claims

절연성 기판 상에 형성된 화소에 접속되는 배선군;

상기 화소로 이루어지는 표시영역 외의 영역에서 상기 배선군의 적어도 하나에 접속되는 인출 배선;

상기 인출 배선의 적어도 하나에 접속되고 상기 표시영역 외의 영역에서 상기 절연성 기판 상에 직접 실장되는 구동회로의 단자에 투명도전막을 통해 도전재료에 의해 접속되는 배선 단자;

상기 절연성 기판의 상기 표시영역 외의 단부에 형성되며 상기 절연성 기판 외부에 접속가능한 외부 단자;

상기 외부 단자의 적어도 하나에 접속되는 외부 배선; 및

상기 외부 배선의 적어도 하나에 접속되고 상기 구동회로의 단자와 도전재료에 의해 직접 접속되는 외부 배선 단자를 구비하는 표시장치에 있어서,

상기 배선 단자에서 상기 투명도전막과 접속되는 면은 제 1 도전막으로 형성되고,

상기 외부 배선 단자에서 상기 구동회로의 단자와 도전재료에 의해 접속되는 면은 제 2 도전막으로 형성되며,

상기 제 1 도전막은 상기 제 2 도전막보다 비저항이 높은 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 도전막은, Cr, Ti, Ta, Mo, W, Ni 또는 이들 합금 또는 이들 적층막 중 어느 하나에서 선택되며, 상기 제 2 도전막은 Al, Cu, Au, Ag 또는 이들 합금 또는 이들 적층막 중 어느 하나에서 선택되는 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 도전막은, Cr, Ti, Ta, Mo, W, Ni 또는 이들 합금 또는 이들 적층막 중 어느 하나에서 선택되며, 상기 제 2 도전막은 Al 또는 Al 의 합금 중 어느 하나에서 선택되는 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 외부 배선과 상기 외부 배선 단자는 상기 화소를 구동하는 주사선과 동일층의 도전막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 인출배선과 상기 배선 단자는 상기 화소를 구동하는 주사선과 절연막을 통해 교차하는 신호선과 동일층의 도전막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 투명도전막은 상기 화소를 구성하는 화소전극과 동일층의 도전막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 구동회로의 단자와 상기 구동회로에 인접하여 실장되는 구동회로의 단자가, 각각의 구동회로의 대향하는 한 변 근방에서 상기 제 2 도전막에 도전재료에 의해 직접 접속됨으로써 접속되는 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 배선 단자와 상기 투명도전막을 통해 접속되는 상기 구동회로의 단자는, 상기 구동회로에서의 상기 표시영역과 근접한 측의 한 변 근방에 형성된 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 외부 단자는 상기 구동회로와 상기 구동회로에 인접하여 실장되는 구동회로와의 간극에 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 외부 단자는 도전재료에 의해 절연성 기판 외부에 직접 접속되고, 상기 도전재료는 상기 절연성 기판 상에 직접 실장되는 상기 구동회로의 단자, 상기 배선 단자 및 상기 외부 배선 단자와의 접속에 사용되는 도전재료와 동일한 공정으로 형성된 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 구동회로의 단자에서, 상기 배선 단자와 상기 투명도전막을 통해 도전재료에 의해 접속되는 구동회로의 단자와, 상기 외부 배선 단자와 도전재료에 의해 직접 접속되는 구동회로의 단자 사이에서 단자의 높이차를 가지며,

상기 높이차는 상기 절연성 기판 상에 형성된 배선 단자 상의 투명도전막과 외부 배선 단자 각각의 상기 구동회로 단자와의 접속면의 높이차와 동일한 것을 특징으로 하는 표시장치.
절연성 기판 상에 형성된 화소에 접속되는 배선군,

상기 화소로 이루어지는 표시영역 외의 영역에서 상기 배선군의 적어도 하나에 접속된 인출 배선,

상기 절연성 기판의 상기 표시영역 외의 단부에 형성되며, 상기 절연성 기판 외부에 접속가능한 외부 단자, 및

상기 외부 단자의 적어도 하나에 접속된 외부 배선을 구비하는 표시장치의 제조방법에 있어서,

제 1 도전막을 퇴적하여 패터닝함으로써 상기 인출배선의 적어도 하나에 접속되고 상기 표시영역 외의 영역에서 배선 단자를 형성하는 공정;

상기 제 1 도전막보다 비저항이 낮은 제 2 도전막을 퇴적하여 패터닝함으로써 상기 외부 배선의 적어도 하나에 접속되는 외부 배선 단자를 형성하는 공정;

상기 배선 단자와 상기 절연성 기판 상에 직접 실장되는 구동회로의 단자가 투명도전막을 통해 도전재료에 의해 실장되는 공정; 및

상기 외부 배선 단자와 상기 구동회로의 단자가 도전재료에 의해 직접 실장되는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
제 12 항에 있어서,

상기 제 1 도전막은, Cr, Ti, Ta, Mo, W, Ni 또는 이들 합금 또는 이들 적층막 중 어느 하나에서 선택되며, 상기 제 2 도전막은 Al, Cu, Au, Ag 또는 이들 합금 또는 이들 적층막 중 어느 하나에서 선택되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
제 12 항에 있어서,

상기 제 1 도전막은, Cr, Ti, Ta, Mo, W, Ni 또는 이들 합금 또는 이들 적층막 중 어느 하나에서 선택되며, 상기 제 2 도전막은 Al 또는 Al 의 합금 중 어느 하나에서 선택되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 외부 배선과 상기 외부 배선 단자는 상기 화소를 구동하는 주사선을 형성하는 공정과 동일한 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 인출배선과 상기 배선 단자는 상기 화소를 구동하는 주사선과 절연막을 통해 교차하는 신호선을 형성하는 공정과 동일한 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 투명도전막은 상기 화소를 구성하는 화소전극을 형성하는 공정과 동일한 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 구동회로의 단자와 상기 구동회로에 인접하여 실장되는 구동회로의 단자가, 각 구동회로의 대향하는 한 변 근방에서 상기 제 2 도전막에 도전재료에 의해 직접 접속됨으로써 접속되는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 외부 단자는 도전재료에 의해 절연성 기판 외부에 접속되고, 상기 도전재료는 상기 절연성 기판 상에 직접 실장되는 구동회로의 단자, 상기 배선 단자 및 상기 외부 배선 단자와의 접속에 사용되는 도전재료와 동일한 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.