KR100691851B1

KR100691851B1 - 진공흡착 이송장치

Info

Publication number: KR100691851B1
Application number: KR1020050117035A
Authority: KR
Inventors: 강동신
Original assignee: (주)와이에스썸텍
Priority date: 2005-12-02
Filing date: 2005-12-02
Publication date: 2007-03-12

Abstract

개시된 진공흡착 이송장치는, 진공을 이용하여 소재평판을 흡착하거나, 진공을 해제하여 소재평판을 분리하는 진공유닛과, 진공유닛에 연결되어 소재평판을 상승시키거나 하강시켜 소정의 위치에 안착시키기 위해 진공유닛을 수직으로 이송하는 수직이송장치 및 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 소정의 위치로 이송하기 위한 수평이송장치를 포함하여 구성된다.

이와 같은 구성의 진공흡착 이송장치는 소재평판을 진공흡착에 의하여 이송하기 때 고온의 소재평판이라도 용이하게 이송할 수 있을 뿐 아니라, 저진공 및 고풍력의 진공펌프를 사용함으로써 경제적으로 유리한 효과와 함께, 보다 안정적인 소재평판의 이송이 가능한 효과를 제공할 수 있다.

평판, 진공흡착, 링 블로워, 진공펌프, 볼 부쉬, 가열로

Description

진공흡착 이송장치{Vacuum Absorption Device for Transferring Hot Plate}

도 1은 종래 기술에 따른 터널형 가열로를 도시한 단면도이다.

도 2는 종래 기술에 따른 배치형 가열로를 도시한 단면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 가열로를 도시한 정면도이다.

도 4는 도 3에 도시된 가열로의 진공흡착 이송장치를 도시한 평면도이다.

도 5는 도 3에 도시된 가열로의 진공흡착 이송장치를 도시한 측면도이다.

도 6a는 도 5의 A에 대한 확대도이다.

도 6b는 도 5의 B에 대한 확대도이다.

도 7은 도 4에 도시된 본 발명에 따른 진공흡착 이송장치가 소재평판을 흡착하는 공정을 도시한 정면도이다.

도 8은 본 발명에 따른 진공흡착 이송장치가 소재평판을 흡착한 후에 이를 수평으로 이송하는 공정을 도시한 정면도이다.

도 9는 본 발명에 따른 진공흡착 이송장치가 소재평판을 수평으로 이송한 후에 후공정을 위한 소정의 작업대에 안착시키기 위해 하강하는 공정을 도시한 정면도이다.

도 10은 본 발명에 따른 진공흡착 이송장치가 소재평판을 소정의 작업대에 안착시키고 다시 복귀하는 공정을 도시한 정면도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 진공흡착 이송장치 110 : 프레임

112 : 프레임 지지판 120 : 진공흡착패드

130 : 픽업헤드 140 : 핀

142 : 핀홀 150 : 지지로드

152 : 수직이송로드 153 : 수직 가이드 로드

154 : 수직 가이드 실린더 155 : 수직이송 구동모터

158 : 리니어 가이드 지지대 160 : 링 블로워

162 : 에어흡입관 163 : 에어흡입구

170 : 수직이송모터 180 : 피니언

182 : 랙 185 : 리니어 가이드

186 : 볼 부쉬 187 : 리니어 가이드 로드

200 : 소재평판 210 : 리프터

220 : 리프팅 로드 230 : 소재평판 지지판

300 : 소재평판 투입부 310 : 롤러

400 : 가열로 본체 420 : 도어

430 : 가열수단 440 : 블로워

본 발명은 건조로 또는 소성로 등의 가열로에 있어서 피가열물인 소재평판 이송장치에 관한 것으로서, 특히 진공장치를 이용하여 고온의 소재평판을 진공흡착하여 다른 공정으로 이송하는 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 가열로는 소재평판을 소정의 고온으로 처리하는 로(furnace)를 말하는데, 여기에는 고온을 공급하는 가열로 본체와 피가열물을 투입 및 배출하는 장치 및 이송장치가 포함되는 것이 일반적이며, 필요에 따라 냉각장치가 수반되기도 한다.

상기 피가열물을 배출하고 이를 후(後)공정에 투입하는데 있어, 이를 이송하는 장치는 일반적으로 그리퍼(gripper)나 롤러(roller) 등의 컨베이어(conveyor) 장치가 사용되어 왔다.

이러한 가열로는 일반적으로 터널(tunnel) 방식이나 배치(batch)방식의 건조로 또는 소성로가 많이 이용되어 왔는데, 터널 방식의 경우에는 도 1에 도시된 바와 같은 구조가 일반적으로 채용되었다.

도면을 참조하면, 가열하고자 하는 소재평판(2)은 팔레트(pallet, 4)에 적재되어 가열로(1)의 내부에서 컨베이어벨트 또는 롤러컨베이어 등의 컨베이어 장치(3)에 의해 터널형의 가열로(1)를 통과하고, 가열로(1) 내부로는 가열수단(5)에서 발생하는 열에 의해 뜨거운 공기가 순환되고, 이에 따라 상기 소재평판(2)의 건조 또는 소성을 위한 가열이 이루어지게 된다.

그런데, 이러한 종래의 가열로(1)는 고온으로 가열하는 경우에는 가열로(1) 를 통과하여 이후의 공정으로 이송하는 경우 고온의 상태인 채로 이송하기 어려우므로 냉각과정을 거치거나 실온에서 일정한 온도로 냉각될 때까지 기다려야 하는 등의 문제가 있을 뿐 아니라, 다시 고온의 처리가 필요한 후공정이 요구되는 경우에는 또다시 가열을 위한 에너지의 투입이 필요하게 되는 등의 문제점을 가지고 있다.

또한, 배치식의 가열로는 국내 공개특허 제1997-0017811호에 개시되어 있는바, 이는 평판의 열처리 시스템에 관한 것으로, 랙(rack, 7)에 평판(8)을 적재하여 다수의 히터(9)가 설치된 가열로에 투입한 후, 처리가 종료되면 반출하는 방식이다.

그러나, 상기의 배치식 가열로는 랙(7)에 적재된 평판(8)을 가열로의 내부로 인입하고, 가열을 통해 건조 또는 소성 등의 작업이 이루어진 후에 이를 외부로 반출하는 방식으로, 상기 평판(8)을 반출하여 다음공정으로 이송하는데 있어 상기와 같은 문제점이 있는 것은 마찬가지이다.

먼저, 국내 특허공개 제1997-0009471호에 개시된 가열로는 승강핀과 승각판, 핫 플레이트 및 급기관을 포함하는 구조로 이루어져 있는데, 이러한 가열로는 승강핀에 의해 기판이 상기 핫 플레이트에 접근시키는 방식으로 예열 및 본 가열을 하는 것을 개시한 것일 뿐, 상기의 문제점들을 해결할 수 있는 구조를 개시한 것은 아니다.

또한, 일반적으로 진공흡착으로 소재평판을 이송하는 장치에는 진공펌프(vacuum pump)가 사용되는데, 이러한 진공펌프는 작동원리에 따라 기체를 진공용기 의 외부로 제거하는 펌프인 파지티브 디스플레이스 펌프(positive displace pump)와 배기시킨 기체가 여전히 진공용기나 펌프 속에 남게 되는 인트랩먼트 펌프(entrapment pump)로 나뉠 수 있다.

상기 파지티브 디스플레이스 펌프에는 로터리 펌프(rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌프가 속하며, 상기 인트랩먼트 펌프에는 흡착펌프(sorption pump)나 냉온펌프(cryopump), 이온펌프(ion pump) 등이 속한다.

이러한 진공펌프에서 소재평판을 성형하여 열을 가하는 처리장치에 있어, 여러 공정이 필요한 경우에 진공흡착장치를 이용하여 소재평판을 흡착시킨 후 소정의 장소로 이송하게 된다.

이러한 상기 흡착장치는 진공압력이 각종 부재를 거쳐 진공흡착패드(vacuum absorption pad)까지 공급되어지면, 진공흡착패드는 하강하여서 제품을 흡착한 후 다시 상승하여 소정의 장소로 이동하게 되는 것이다.

종래에 사용되는 진공흡착장치는 두 가지 방식이 사용되고 있는데, 그 중 하나는 제1수직이송수단에 의하여 픽업헤드(pickup head)는 한꺼번에 하강하고, 제2수직이송수단에 의하여 1개의 픽업헤드가 하강하여 진공에 의하여 소재평판을 잡은 후에 상승하게 된다. 그 후 수평이송수단에 의하여 일정거리만큼 이동한 후에 제2수직이동수단에 의하여 픽업헤드가 하강하여 진공으로 소재평판을 잡은 후에 상승하고, 이와 같은 동작을 픽업헤드가 소재평판을 잡을 때까지 반복하여 수행하게 된다.

상기의 실시예에서, 제1수직이송수단, 제2수직이송수단 및 수평이송수단은 동력을 발생하는 서보모터(Servo Motor), 이러한 서보모터에 의해 회전하는 스크류(screw), 스크류에 결합되는 너트, 이동을 가이드하는 안내레일 및 안내레일의 이동을 가이드하는 가이드로 구성된다.

다른 실시예를 살펴보면, 제1수직이송수단과 수평이송수단은 제1실시예의 구성과 동일하며, 제2수직이송수단은 에어실린더(air cylinder)와 이 에어실린더에 에어를 공급하는 에어밸브(air valve)와 에어를 발생하는 에어펌프(air pump) 등으로 구성된다.

이러한 상기 진공흡착장치에서 에어밸브는 장치의 본체에 고정되므로 에어밸브와 에어실린더까지의 거리가 상당히 멀게 되어 제어장치에서 지령신호가 에어밸브로 전달된 후 이 에어밸브가 작동하여 에어실린더를 동작하는 데까지는 시간이 상당히 지연되어 많은 시간에 소요된다는 문제가 있을 뿐 아니라, 고온의 소재평판을 이송하는데 있어, 상기 패드가 변형되어 진공장치를 이용하기 곤란하다는 문제가 있으며, 고진공(high vacuum)의 진공펌프는 가격이 비쌀 뿐 아니라, 고진공을 위한 펌프에서 발생되는 열에 의하여 진공패드의 온도가 높아지고, 특히 그 소재평판이 글라스 평판인 경우에는 글라스 평판이 녹아 진공패드에 형성된 에어흡입구로 들어가서 이를 막게 된다.

따라서, 상기한 문제점을 해결할 수 있는 새로운 구조의 진공흡착 이송장치가 요구되고 있다.

본 발명은 상기의 필요성을 감안하여 창출된 것으로서, 특히 고온의 소재평판(hot plate)을 안전하고 효율적으로 이송할 수 있도록 개선된 글라스 평판의 진공흡착 이송장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 진공도가 낮은 저진공 및 고풍력(高風力)의 진공펌프를 이용하여 가열로의 처리비용을 감소시켜, 경제적인 고온의 소재평판 이송장치를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 소재평판이 글라스 평판인 경우 진공장치에 의해 발생하는 열에 의해 글라스 평판이 녹아 진공흡착패드의 에어흡입구를 막는 것을 방지함으로써, 진공흡착패드의 수명을 연장시킬 수 있는 고온의 소재평판 이송장치를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 소재평판을 이송하기 위해 진공을 가하거나 해제하여 소재평판을 흡착하거나 해제하는 진공유닛과, 상기 진공유닛의 일단에 설치되어, 직접 소재평판을 흡착하여 이송시키기 위한 진공흡착패드와, 상기 진공유닛과 연결되어 소재평판을 흡착하여 상승시키고 진공을 해제하여 소정의 위치에 안착시키기 위해 상기 진공흡착패드를 수직으로 이송하는 수직이송장치 및 상기 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 소정의 위치로 이송하기 위한 수평이송장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 진공유닛은 에어흡입구와 팬(fan) 및 에어배출구가 형성된 링 블로워(ring blower)와 상기 링 블로워와 연결되어진 픽업헤드(pickup head) 및 상 기 픽업헤드에 연결되어 직접 소재평판을 흡착하는 진공흡착패드를 포함하여 구성된 것이 바람직하다.

또한, 상기 링 블로워는 200 내지 400 mmH₂O(mmAq) 범위의 저진공(rough vacuum)이고, 600 내지 1000 ℓ/min 의 고풍량(高風量)인 것이 바람직하다.

또한, 상기 진공흡착패드는 상기 진공유닛과 상하로 일정길이 만큼 움직일 수 있도록 핀(pin)으로 결합된 것이 바람직하며, 상기 진공흡착패드는 스테인레스 스틸 재질인 것이 바람직하다.

또한, 상기 수직이송장치는 실린더와 실린더 로드(cylinder rod) 및 이를 구동하기 위한 구동모터를 포함하여 구성되는 것이 바람직하며, 상기 수평이송장치는 랙 앤 피니언(rack and pinion) 기어 및 상기 랙 앤 피니언 기어에 연결되고, 상기 소재평판의 수평이송을 가이드하는 리니어 가이드(linear guide)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진공흡착 이송장치를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 소재평판(200)이 이송장치(300)에 의해 가열로 본체(400)로 투입되고, 상기 소재평판(200)은 가열로 본체(400)의 내부에서 소성 또는 건조 등의 공정이 수행된 후, 본 발명에 의한 진공흡착 이송장치(100)로 이송되는 공정을 개략적으로 도시한 것이다.

이때, 상기 소재평판(200)의 이송장치는 롤러 컨베이어(310)가 주로 이용되고 있으며, 가열로 본체(400)에는 가열로의 유지보수를 위한 도어(420)와 열을 공급하는 가열수단(430) 및 펌프(440) 등이 구비된다.

또한, 상기 진공흡착 이송장치(100)는 진공펌프(160)와, 상기 진공펌프(160)와 연결된 진공흡착패드(120)와, 상기 진공흡착패드(120)를 상하 방향으로 이송하기 위한 수직이송장치 및 수평이송장치를 구비하게 된다.

도 4는 본 발명에 따른 진공흡착 이송장치를 도시한 평면도이며, 도 5는 도 4에 도시된 진공흡착 장치의 측면도이다.

도면을 참조하면, 진공흡착 이송장치는 진공을 생성하는 진공유닛과, 진공흡착된 소재평판을 수평으로 이송하는 수평이송유닛 및 진공흡착된 소재평판을 상하 방향으로 이동시키는 수직이송유닛으로 구분될 수 있다.

이때, 상기 진공유닛은 소재평판(200, 도 3 참조)을 흡착하여 이송시키기 위한 진공흡착패드(120)와, 이를 고정하여 지지하는 픽업헤드(pickup head, 130)와, 상기 진공흡착패드(120)와 에어흡입관(162)에 의해 연결되는 진공펌프를 포함하여 구성되며, 이때 상기 진공펌프는 고풍력 및 저진공의 링 블로워(ring blower, 160)인 것이 바람직하다.

진공장치에 의해 형성되는 진공도는 극고진공(extreme high vacuum, XHV), 초고진공(ultra high vacuum, UHV), 고진공(high vacuum, HV), 중진공(medium vacuum, MV) 및 저진공(low(rough) vacuum, LV)으로 나뉠 수 있다. 여기서 고진공은 압력이 0.1 내지 10 - 5 Pa 내외인 경우를 말하고, 저진공은 압력이 100 Pa 이 상인 경우를 말하는 것이 일반적이다.

만일 고진공이 사용된다면, 진공장치의 가격이 비싸지고, 소음이 심할 뿐 아니라, 특히 글라스 평판에 있어서는 진공장치에서 발생하는 열에 의하여 발생하는 열에 의해 글라스 평판이 녹아 진공흡착패드의 진공을 위한 구멍을 막게 되는 문제가 발생할 수 있다.

따라서, 상기 진공장치의 링 블로워는 상기 진공흡착패드(120)의 수명을 연장시킬 수 있는 고온의 글라스 평판 이송장치를 제공할 수 있게 한다.

따라서 상기 글라스 평판에 사용되는 진공펌프는 저진공의 진공펌프가 사용되어야 한다. 따라서, 이의 실시예로 고풍량 저진공의 링 블로워(160)가 사용되는 것이 바람직한데, 이는 다른 일반적인 진공펌프보다 가격 면에서 저렴하고, 그 구조가 간단하여 유지보수가 용이하며, 고장이 적다는 장점이 있다. 또한, 그 구동에 있어 사용되는 전력이 적기 때문에 저진공을 요하는 경우에 유리하다.

이때, 상기 링 블로워는 200 내지 400 mmH2O(mmAq) 범위의 저진공(rough vacuum), 600 내지 1000 ℓ/min 의 고풍력(高風力)인 것이 바람직하며, 상기 저진공의 진공펌프는 에어배출구와 에어흡입관이 상하로 형성되어 있는 링 블로워를 사용하는 것이 바람직하며, 고풍력의 진공흡착패드와 소재평판의 위치가 정확하게 맞지 않는 경우에라도 안정적으로 소재평판을 흡착하여 이송할 수 있는 장점이 있다.

또한, 상기 링 블로워(160)는 그 일측은 에어배출구(미도시)가 형성되고, 그 타측은 에어흡입관(162)이 형성되어 있으며, 팬이 구동됨에 따라 에어흡입관(162) 쪽의 공기를 에어배출구 쪽으로 뽑아냄으로써, 내부의 압력을 감압(減壓)시켜 일정 한 진공을 형성하도록 한다.

이때, 진공흡착력(vacuum attraction strength)은 진공도와 사용되는 진공흡착패드의 면적에 비례한다. 즉 아래의 식에 의해 진공흡착력이 계산될 수 있다.

W = (P × A) / 760

위의 수학식 1에서 W는 흡착력(단위: kg)이고, A는 흡착패드의 넓이이며, P는 진공도이다.

그러나 위의 수학식은 정지상태의 이론적인 것이며, 실제 적용에 있어서는 적용방향, 작용완급 및 효율 등 여러 가지 요인을 고려할 필요가 있다. 일반적으로 물체 위쪽에서의 흡착력은 안정율을 고려하여 이론계산 흡착력의 1/3 정도만을 사용한다.

이러한 상기의 수학식 1에 의하여 필요한 진공흡착력을 계산하여, 용도에 따라 이용할 수 있게 된다.

또한, 진공을 형성하기 위하여, 상기 링 블로워(160)의 팬이 회전함에 따라 온도가 높아지므로 이를 냉각시키기 위하여 지지로드(150)에 내재된 에어흡입관(162)의 주위로 냉각수가 흐르게 함으로써, 수냉식(水冷式)으로 고온의 가스를 냉각시켜 주는 것이 바람직하다.

즉, 입수관(入水管, 164)으로 들어간 냉각수는 상기 에어흡입관(162)을 따라 흐르는 고온의 에어와 열교환이 이루어짐으로써 고온의 에어가 냉각되고, 온도가 높아진 냉각수는 다시 출수관(出水管, 165)을 통하여 외부로 배출되어 지는 과정이 이루어진다.

또한, 상기 수직이송유닛은 실린더(172)와 실린더 로드(174) 및 이를 구동하기 위한 구동모터(170)를 포함하여 구성된다.

가열로 본체(400)로부터 퇴출된 소재평판(200)은 지지판(230)에 얹혀지고, 이를 지지하여 상하강 시키는 리프터(210)에 탑재된 후, 진공펌프(170)에 의하여 상기 소재평판(200)은 진공흡착패드(120)에 흡착되어 상승하게 된다.

상기 흡착되어 상승한 소재평판(200)은 수평이송유닛에 의하여 수평으로 이송되어 다음 공정으로 이동된다.

도 6a는 도 5에 도시된 A에 대한 확대도로서, 진공흡착된 소재평판을 수평으로 이송하기 위한 수단을 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 수평이송유닛은 랙 앤 피니언(rack and pinion) 기어(182, 180)와, 이에 연결되고 상기 소재평판(200)의 수평이송을 가이드하는 리니어 가이드(linear guide, 186)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

상기 리니어 가이드(185)는 볼 부쉬(ball bush, 187)와 이를 가이드 하는 리니어 가이드 로드(186)로 구성될 수 있다.

즉, 상기 리니어 가이드(185)는 상기 랙(182)과 피니언(180)이 구동함에 따라 상기 볼 부쉬(186)가 리니어 가기드 지지대(158) 위에 설치된 리니어 가이드 로드(187)를 따라 수평으로 이동함으로써 상기 진공흡착 이송장치(100)는 수평으로 이동하게 되는 것이다.

도 6b는 도 5에 도시된 B의 확대도로서, 상기 픽업헤드(130)와 진공흡착패드 (120)가 핀(140)으로 결합된 모습을 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 진공흡착패드(120)는 상하로 일정 길이 만큼 진동할 수 있도록, 픽업헤드(130)에 형성된 핀 홀(pin hole, 142)과 핀(pin, 140)으로 결합되는 것이 바람직하며, 그 재질은 스테인리스강(stainless steel) 재질인 것이 바람직하다.

이때, 소재평판(200)이 고온이므로 쉽게 변형되거나 균열이 생기기 쉬우므로, 상기 진공흡착패드(120)는 소재평판(200)을 흡착하여 이송시키는 도중에 충격을 흡수할 수 있도록 상기 진공흡착패드(120)와 이를 지지하는 픽업헤드(200)를 타원형의 핀 홀(142)에 핀(140)을 결합시킴으로써, 흡착과 이송 및 해제 과정에서 상하로의 진동이 발생하더라도 상기 진공흡착패드(120)가 핀을 따라 일정한 거리를 자유롭게 움직일 수 있도록 하여 충격을 흡수할 수 있도록 만들어진다.

이에 따라, 상기 소재평판(200)이 변형되거나 균열이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.

이러한 상기 소재평판(200)은 글라스 평판일 수 있으며, 특히 고온으로 가열된 글라스 평판의 경우에는 저진공 펌프로서 링 블로워(160)를 채용하는 것이 바람직하다.

상기 진공흡착 이송장치의 동작을 자세히 살펴보기로 한다.

상기 진공흡착 이송장치는, 흡착동작, 이송동작, 해제동작 및 복귀동작을 거치면서 진공을 형성하게 되며, 이는 도 7 내지 도 10에 자세히 도시되어 있다.

먼저, 도 7은 도 4에 도시한 본 발명에 따른 진공흡착 이송장치의 흡착동작 을 도시한 측면도이다.

도면을 참조하면, 상기 흡착동작은 먼저 진공펌프(160)의 팬이 모터에 의하여 회전하면서 에어흡입구(163)로부터 내부의 공기를 흡입하여 에어흡입관(162)을 통하여 진공펌프(160)의 에어배출구(미도시)로 배기됨으로써 내부의 압력이 낮아진다. 이어 진공회로에 누실이 없는 경우에는 회로 내에서 처음에 설정된 도달 진공도에서 진공도가 변화없이 유지되고, 진공 스위치의 출력신호를 확인하고, 반송동작으로 실행한다.

도 8은 상기 흡착된 소재평판이 수평이송되는 공정을 도시한 측면도이다.

도면을 참조하면, 상기 진공흡착된 소재평판을 수평으로 이송하기 위하여, 이송(반송)을 개시하고, 진공 스위치 작동 접속을 확인하고, 목적지에 도달하면 해제동작을 실행하게 된다.

이러한 이송동작은 실린더의 상부에 설치된 수직가이드(153)를 따라 랙 앤 피니언 기어(182, 180)에 의해 이루어지며, 상기 랙(182) 앤 피니언(180)의 동작을 구동하는 서보모터(155)가 설치된다. 상기 서보모터(155)의 구동에 따라 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 상기 랙 앤 피니언(182, 180)에 의해 직선의 수평운동이 가능하게 되고, 이러한 수평운동을 가이드하는 수평가이드부(184)가 설치되어 원하는 위치에 진공흡착패드(120)를 수평으로 이송한 후에 해제동작을 진행하게 된다. 상기 수평가이드부(184)는 LM가이드나 가이드 부쉬 등이 사용될 수 있으며, 바람직하게는 볼 부쉬(186)와 리니어 가이드(187)가 사용된다.

또한, 수직이동에 대해 살펴보면, 먼저 수직으로 왕복운동 하는 수직이송로 드(152)와, 상기 수직이송로드(152)의 왕복운동을 가능하게 하는 구동모터(170)가 설치된다.

상기 구동모터(170)의 구동에 따라 상기 수직이송로드(152)는 상하 방향으로 왕복운동을 하게 되고, 이에 따라 상기 수직이송로드(152)의 일단에 설치된 지지로드(150) 및 지지로드(150)의 하단에 설치되는 픽업헤드(130)가 상하로 왕복운동이 가능하게 된다.

이때, 상기 지지로드(150)의 내부에는 소재평판(200)의 진공흡착을 위한 에어흡입관(162)을 내재하게 되며, 상기 픽업헤드(130)는 진공흡착패드(120)가 핀(140)으로 연결되어, 상기 수직이송로드(152)의 왕복운동에 따라 진공흡착패드(120)가 수직으로 이동할 수 있는 것이다.

도 9은 상기 수평이송된 소재평판을 하강시켜 소정의 후공정에 필요한 작업대에 안착시키는 공정을 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 진공 on/off용 밸브(미도시)의 신호를 끊고, 진공회로 내에 진공파괴밸브(미도시)가 열리게 되어 대기의 공기가 주입되고, 이에 따라 진공회로 내의 압력이 상승하며, 진공이 "0"이 되면 파괴가 완료되고, 이어 파괴신호를 끊고, 복귀동작을 실행시킨다.

도 10은 상기 소재평판을 안착시킨 후에 다시 복귀하는 공정을 도시한 측면도이다.

도면을 참조하면, 상기 소재 평판(200)이 수평으로 이송되기 전의 원위치로 복귀하는 것으로, 다음의 흡착물 위로 동작을 개시한다.

따라서, 상기 과정을 거치면서 고온으로 가열된 소재평판이 안정적으로 자동공정에 의하여 이송되어 이후에 거쳐야 할 후공정으로 이송되는 것이다.

상술한 바와 같이 진공유닛과, 수직이송장치 및 수평이송장치를 포함하여 구성된 본 발명의 진공흡착 이송장치는 다음과 같은 효과를 제공한다.

첫째, 고온으로 가열된 상태의 소재평판을 안전하고 효율적으로 이송할 수 있도록 한 효과를 제공한다.

둘째, 저진공인 진공펌프를 사용함으로써 진공장치를 구축하는데 경비가 저렴하고, 고풍력의 진공펌프를 사용함으로써 진공흡착패드에 소재평판이 정확하게 일치하지 않더라도 안전하게 소재평판을 흡착하여 이송할 수 있는 효과가 있다.

셋째, 특히 소재평판이 글라스 평판인 경우에 진공장치에 의하여 발생하는 열에 의해 글라스 평판이 녹아 진공흡착패드의 에어흡입구가 막히는 것을 방지함으로써, 진공흡착패드의 수명을 연장시킬 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 상기에 설명되고 도면에 예시된 것에 의해 한정되는 것은 아니며, 다음에 기재되는 청구의 범위 내에서 더 많은 변형 및 변용예가 가능한 것임은 물론이다.

Claims

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진공을 형성하여 소재평판을 흡착하거나, 진공을 해제하여 소재평판을 분리하는 진공유닛과;

상기 진공유닛에 연결되어 소재평판을 상승시키거나 하강시켜 수직으로 이송하는 수직이송장치 및;

상기 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 수평방향으로 이송하기 위한 수평이송장치를 구비하고,

상기 진공유닛은 에어흡입구와 팬(pan) 및 에어배출구를 포함하여 구성되는 링 블로워(ring blower)와, 상기 링 블로워와 연결된 픽업헤드(pickup head) 및 상기 픽업헤드에 결합되어 소재평판을 흡착하는 진공흡착패드를 포함하여 구성되고,

상기 링 블로워는 진공흡착패드와 에어흡입관으로 연결되고, 진공파괴밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소재평판의 진공흡착 이송장치.
진공을 형성하여 소재평판을 흡착하거나, 진공을 해제하여 소재평판을 분리하는 진공유닛과;

상기 진공유닛에 연결되어 소재평판을 상승시키거나 하강시켜 수직으로 이송하는 수직이송장치 및;

상기 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 수평방향으로 이송하기 위한 수평이송장치를 구비하고,

상기 진공유닛은 에어흡입구와 팬(pan) 및 에어배출구를 포함하여 구성되는 링 블로워(ring blower)와, 상기 링 블로워와 연결된 픽업헤드(pickup head) 및 상기 픽업헤드에 결합되어 소재평판을 흡착하는 진공흡착패드를 포함하여 구성되고,

상기 링 블로워는 200 내지 400 mmH_2O(mmAq) 범위의 저진공(rough vacuum)이고, 600 내지 1000 ℓ/min 의 고풍력(高風力)인 것을 특징으로 하는 소재평판의 진공흡착 이송장치.
진공을 형성하여 소재평판을 흡착하거나, 진공을 해제하여 소재평판을 분리하는 진공유닛과;

상기 진공유닛에 연결되어 소재평판을 상승시키거나 하강시켜 수직으로 이송하는 수직이송장치 및;

상기 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 수평방향으로 이송하기 위한 수평이송장치를 구비하고,

상기 진공유닛은 에어흡입구와 팬(pan) 및 에어배출구를 포함하여 구성되는 링 블로워(ring blower)와, 상기 링 블로워와 연결된 픽업헤드(pickup head) 및 상기 픽업헤드에 결합되어 소재평판을 흡착하는 진공흡착패드를 포함하여 구성되고,

상기 픽업헤드에는 장공 모양의 핀홀(pin hole)이 형성되고, 상기 핀홀에 핀(pin)이 체결됨으로써 상기 진공흡착패드와 픽업헤드가 결합된 것을 특징으로 하는 소재평판의 진공흡착 이송장치.
진공을 형성하여 소재평판을 흡착하거나, 진공을 해제하여 소재평판을 분리하는 진공유닛과;

상기 진공유닛에 연결되어 소재평판을 상승시키거나 하강시켜 수직으로 이송하는 수직이송장치 및;

상기 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 수평방향으로 이송하기 위한 수평이송장치를 구비하고,

상기 진공유닛은 에어흡입구와 팬(pan) 및 에어배출구를 포함하여 구성되는 링 블로워(ring blower)와, 상기 링 블로워와 연결된 픽업헤드(pickup head) 및 상기 픽업헤드에 결합되어 소재평판을 흡착하는 진공흡착패드를 포함하여 구성되고,

상기 진공흡착패드는 스테인리스 스틸(stainless steel) 재질인 것을 특징으로 하는 소재평판의 진공흡착 이송장치.
진공을 형성하여 소재평판을 흡착하거나, 진공을 해제하여 소재평판을 분리하는 진공유닛과;

상기 진공유닛에 연결되어 소재평판을 상승시키거나 하강시켜 수직으로 이송하는 수직이송장치 및;

상기 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 수평방향으로 이송하기 위한 수평이송장치를 구비하고,

상기 수직이송장치는 실린더와 실린더 로드 및 이를 구동하기 위한 구동모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 소재평판의 진공흡착 이송장치.
진공을 형성하여 소재평판을 흡착하거나, 진공을 해제하여 소재평판을 분리하는 진공유닛과;

상기 진공유닛에 연결되어 소재평판을 상승시키거나 하강시켜 수직으로 이송하는 수직이송장치 및;

상기 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 수평방향으로 이송하기 위한 수평이송장치를 구비하고,

상기 수평이송장치는 랙 앤 피니언(rack and pinion) 기어 및 상기 랙 앤 피니언 기어에 연결되고, 상기 소재평판의 수평이송을 가이드하는 리니어 가이드(linear guide)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 소재평판의 진공흡착 이송장치.
제 8항에 있어서,

상기 리니어 가이드는 볼 부쉬(ball bush)인 것을 특징으로 하는 소재평판의 진공흡착 이송장치.
진공을 형성하여 소재평판을 흡착하거나, 진공을 해제하여 소재평판을 분리하는 진공유닛과;

상기 진공유닛에 연결되어 소재평판을 상승시키거나 하강시켜 수직으로 이송하는 수직이송장치 및;

상기 수직이송장치에 의해 상승한 소재평판을 수평방향으로 이송하기 위한 수평이송장치를 구비하고,

상기 소재평판은 글라스 평판(glass plate)인 것을 특징으로 하는 소재평판의 진공흡착 이송장치.