KR100669063B1 - 무기 공침체 입자의 제조방법, 무기 공침체 소성입자 및무기 형광체 - Google Patents
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Abstract
공침법에 의해 무기복합입자를 합성하는 방법에 있어서, 입자형상 및 입경을 제어하는 용이한 방법 및 그것에 의해 수득되는 고성능 무기복합입자 및 고성능 무기형광체를 제공한다. 2 종 이상의 금속이온을 함유하는 용액으로부터 공침체 입자를 제조하는 방법에서, 2 종 이상의 금속이온을 함유하는 수용액을 만들어, 이 용액을 핵 입자의 발생에 제공되는 A 액과 핵 입자의 성장에 제공되는 B 액으로 분할하고, 우선 A 액을 공침석출반응시켜서 핵 입자를 함유하는 생성액을 만들고, 이어서 이것과 B 액을 합하여 공침석출반응시키는 것을 특징으로 하는 무기공침체 입자의 제조방법이다. 상기의 방법으로 수득한 무기공침체 입자를 600 ℃ 이상의 온도에서 소성하여 형성한 평균입경이 0.5 ~ 10 ㎛ 의 무기공침체 소성입자 및 유로퓸과 이트륨을 함유하는 평균입경이 0.5 ~ 10 ㎛ 의 무기공침체 소성입자로 이루어진 무기형광체 또는 진공자외선 여기소자용 형광체이다.
Description
본 발명은 무기복합공침체 입자의 제조방법, 그 공침체 (共沈體) 소성입자 및 무기형광체에 관한 것이다.
희토류 (希土類; rare earth element) 이온을 함유하는 무기화합물은 그 특이한 특성에 의해 일렉트로닉스를 중심으로 광범위하게 기능성 재료로서 이용되고 있다. 또, 이 종의 재료는 그 기능을 더욱 효과적으로 발현시키기 위하여 분말입자의 형상, 입경이 고정밀도로 제어되어 높은 분산성을 갖는 분말이 요구되고 있다. 예컨대, 일본 공개특허공보 평6-271316 호에서는 이트륨과 유로퓸을 함께 포함하는 화합물에 대해서, 요소를 침전 발생제로서 사용하는 균일 침전법에 의해, 평균입경 약 0.1 ~ 0.2 ㎛ 의 구상 미립자를 제조하는 기술에 대하여 개시되어 있다.
그러나, 이러한 방법으로 수득한 입자는, 그 입경이 너무 작아서 사용특성에 열악하다는 문제가 있다. 예컨대, 이트륨과 유로퓸을 함유하는 입자를 형광체 로서 사용하는 경우, 그 입자의 도포성능이나 형광체로서의 수명 등의 관점에서 입경 0.5 ~ 10 ㎛ 에서 사용되는 경우가 많지만, 상기 방법에서 수득되는 입자를 이와 같은 용도에 사용하는 경우에는, 그 입자가 너무 작다는 문제가 있다.
본 발명은 공침법에 의해 무기복합 입자를 합성하는 방법에 있어서, 입자형상 및 입경을 제어하는 것이 용이한 방법 및 그것에 의해 수득되는 고성능 무기복합 입자 및 고성능 무기형광체를 제공하는 것에 있다.
본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위하여 예의 검토한 결과, 공침체 제조시에 적극적으로 핵 생성기와 핵 성장기를 분리하는 방법을 취함으로써, 입자형태, 입경을 고도로 제어할 수 있는 것을 발견하여 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
즉, 본 발명은 2 종 이상의 금속이온을 함유하는 용액으로부터 공침체 입자를 제조하는 방법에서, 2 종 이상의 금속이온을 함유하는 수용액을 만들어, 이 용액을 핵 입자의 발생에 제공되는 A 액과 핵 입자의 성장에 제공되는 B 액으로 분할하여 우선 A 액을 공침석출반응시켜서 핵 입자를 함유하는 생성액을 만들어 이것을 B 액과 합쳐서 공침석출반응시키는 것을 특징으로 하는 무기공침체 입자의 제조방법이 제공된다.
또, 본 발명은 2 종 이상의 금속이온을 함유하는 용액으로부터 공침체 입자를 제조하는 방법에 있어서, 2 종 이상의 금속이온을 함유하는 제 1 의 수용액을 공침석출반응시켜서 핵 입자를 함유하는 생성액을 만들어, 이 생성액을 상기 제 1 의 수용액의 금속이온간 상대농도와 실질적으로 동일한 금속이온간 상대농도를 갖 는 제 2 의 수용액과 혼합하여 수득한 혼합액을 공침석출반응시키는 것을 특징으로 하는 무기공침체 입자의 제조방법이 제공된다.
또, 본 발명은 상기의 방법으로 수득된 무기공침체 입자를 600 ℃ 이상의 온도에서 소성하여 형성된 평균입경이 0.5 ~ 10 ㎛ 의 무기공침체 소성입자가 제공된다.
또한, 본 발명은 유로퓸과 이트륨을 함유하는 평균입자가 0.5 ~ 10 ㎛ 의 무기공침체 소성입자로 이루어진 무기형광체 또는 진공자외선 여기소자용 형광체가 제공된다.
본 발명은 2 종 이상의 금속을 갖는 무기공침체 입자의 제조방법이다. 본 발명의 방법을 실시하는데는 2 종 이상 금속이온을 함유하는 수용액으로 이루어지는 원액을 만들어, 이 원액을 핵 입자의 발생에 제공되는 A 액과, 핵 입자의 성장에 제공되는 B 액으로 분할하여서, 우선 상기 A 액을 공침석출반응시켜서 공침체로 이루어진 핵 입자를 함유하는 A2 액을 만들어서, 이 A2 액과 B 액을 합쳐서 공침석출반응시킨다.
상기 금속이온으로는 침전을 형성하여 수득하는 것이라면 된다. 이러한 것으로서는 Cu, Ag, Au 등의 제 Ib 족 금속, Mg. Ca, Sr, Ba, Zn, Cd, Hg 등의 제 II 족 금속, Al, Ga, In, Tl, Sc, Y 등의 제 III 족 금속, Si, Ge, Sn, Pb, Ti, Zr, Hf 등의 제 IV 족 금속, As, Sb, Bi, V, Nb, Ta 등의 제 V 족 금속, Se, Te, Cr, Mo, W 등의 제 VI 족 금속, Mn, Tc, Re 등의 제 VIIa 족 금속, Fe, Co, Ni, Ru, Rh, Pd, Os, Ir, Pt 등의 제 VIII 족 금속, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 등의 란탄계열 금속, Ac, Th, Pa, U, Np, Pu, Am 등의 악티늄계열 금속으로부터 선택되는 금속이온을 들 수 있다.
상기 금속이온을 함유하는 수용액 (원액) 은, 상기 금속의 수용성 염을 수중에 용해시킴으로써 수득할 수 있다. 이 경우, 수용액 중의 금속이온의 성분조성은 원하는 공침체 입자의 성분조성에 대응하여 선정을 하면 된다. 또, 그 수용액의 pH 는 pH 조절제에 의해 원하는 pH 로 조절하면 된다. 수용액 (원액) 중의 전체 금속이온의 농도는 0.0005 ~ 0.5 몰/L 가 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.01 ~ 0.1 몰/L, 더욱 바람직하게는 0.005 ~ 0.05 몰/L, 매우 바람직하게는 0.001 ~ 0.02 몰/L 의 범위이다.
본 발명에서는, 상기 원액은 이것을 핵 입자의 발생에 제공되는 A 액과, 핵 입자의 성장에 제공되는 B 액으로 분할하지만, 이 경우 A 액과 B 액의 비율은 A 액 1 용량부 당, B 액 1 ~ 50 용량부가 바람직하고, 보다 바람직하게는 1 ~ 10 용량부, 더욱 바람직하게는 2 ~ 5 용량부의 비율이다.
본 발명에서는, 우선 A 액을 공침석출반응시켜서, 핵 입자 (공침물)을 함유하는 생성액 (A2 액)을 만들고, 이 A2 액과 상기 B 액을 합쳐서 공침석출반응시킨다. 이 공침석출반응에 의해 A2 액 중의 공침체 입자를 핵 입자로서 입자가 성장한 공침체 입자가 생성된다.
상기 공침석출반응은 종래의 공지방법에 따라서 실시할 수 있고, 그 금속이온의 종류에 따라서 적절한 방법이 채택된다. 일반적으로는, 이 공침석출반응은 침전발생제로서 요소를 사용함으로써 실시할 수 있다. 이 경우, 요소의 사용비율은 원액 중에 함유되어 있는 전체 금속이온 1 몰 당, 5 ~ 100 몰이 바람직하고, 보다 바람직하게는 20 ~ 80 몰의 비율이다. 이 요소는 원액에 대해 적절하게 첨가되고 분할된 A 액이나 B 액에 대해 첨가하여도 된다.
상기와 같이하여 수득되는 공침체 입자는, 이것을 액중에서 분리하여 건조하고, 필요에 따라 소성한다. 이 경우, 건조는 원하는 소성입자의 조성, 입경 등의 성장에 따라 선택되지만, 일반적으로는 40 ~ 150 ℃ 가 바람직하고, 보다 바람직하게는 60 ~ 100 ℃ 의 범위에서 실시된다. 한편, 소성은 600 ℃ 이상의 온도가 바람직하고, 보다 바람직하게는 600 ~ 1500 ℃, 더욱 바람직하게는 1000 ~ 1400 ℃ 의 온도범위에서 실시된다. 소성 분위기는 원하는 소성입자의 성상에 따라서 적절하게 선택되지만, 일반적으로는 공기 분위기나 질소가스나 아르곤가스 등의 불활성 분위기가 채택된다. 경우에 따라서는 수소 등의 환원 분위기도 사용된다.
본 발명은 중량평균입경이 0.3 ~ 10 ㎛, 특히 0.5 ~ 3 ㎛ 의 공침체 입자를 수득할 수 있다. 이 공침체 입자는 구형도에 우수한 것으로, 거의 구체상의 입자이다. 공침석출 조건의 선택 및 석출회수 증가에 의해 보다 큰 구형 입자를 제조할 수 있다.
또한, 본 발명을 희토류 복합산화물의 형광체의 전형적인 이트륨/유로퓸계에 서 공침체 입자를 제조하는 경우를 예를 들어 상세하게 설명한다.
이 경우에 사용하는 금속이온의 염은 용매 (통상은 물) 에 용해하는 것이 불가결하고, 예컨대, 이트륨염으로서는 염화이트륨 (YCl3), 질산이트륨 (Y(NO3)3
) 혹은 그들의 수화물 등을 사용할 수 있고, 유로퓸염으로는 염화유로퓸 (EuCl3), 질산유로퓸 (Eu(NO3)3) 혹은 그들의 수화물 등을 사용할 수 있다.
3 종류 이상의 금속이온을 함유하는 복합산화물의 경우도, 동일한 생각으로 각각의 금속이온의 가용성 염을 사용할 수 있다.
본 발명을 실시함에 있어서, 우선 상기한 이트륨염 및 유로퓸염을 수중에 용해시켜, 이 수용액에 염산이나 황산 등의 산성 pH 조정제를 첨가하고, 바람직하게는 pH 3 이하, 보다 바람직하게는 pH 2 ~ 3 의 산성수용액을 만든다.
이트륨염과 유로퓸염의 원자비 Y/Eu 는, 특히 제약은 하지 않지만, 바람직하게는 9.5/0.5 ~ 0.5/9.5 이다.
또한, 상기와 같이 제조한 액을 원액으로 하고, 이 원액을 A 액 (핵 입자생성용) 과 B 액 (성장성분용) 의 2 개로 분할한다. A 액과 B 액과의 비율은 A 액/ B 액 용적비로서 바람직하게는 1:1 ~ 1:50, 더욱 바람직하게는 1:1 ~ 1:10, 매우 바람직하게는 1:2 ~ 1:5 로 나눈다. 이어서, A 액을 교반하면서 60 ~ 80 ℃에서 10 ~ 30 분간 가열하여 핵 입자의 생성을 행한 후, 그 중에 핵 성장성분용의 B 액을 가하여 교반하면서 동일 온도에서 30 ~ 100 분간 가열한 후, 더욱 교반하면서 90 ℃ 이상에서 30 ~ 60 분간 가열하여 입자성장한 구형 공침체를 생성시킬 수 있다. 이들의 관련 온도, 시간에 대해서는 상기조건에 제약되는 것은 아니다. 이 가열온도는 수용액의 pH 가 바람직하게는 7 이상, 보다 바람직하게는 7.5 ~ 8.5 에 달할 때까지 행한다. 또한, 이 가열온도를 가압 조건하에서 행함으로써, 100 ℃ 이상의 온도를 채택할 수 있다.
본 발명은 상기 원액에 대해서는, 침전발생제로서 요소를 첨가할 수 있으나, 이 경우의 요소의 첨가 비율은 일반적으로는 이트륨염 및 유로퓸염의 총량 1 몰 당, 바람직하게는 5 ~ 100 몰, 보다 바람직하게는 20 ~ 80 몰의 비율이다.
이렇게 생성한 공침체 입자는 고ㆍ액분리에 의해 수용액으로부터 분리한 후, 물을 첨가 하여 초음파 등에 의해 재분산하는 공정과, 수중에서 재분산한 공침체를 분리하는 공정으로 이루어진 세정처리를 설치한다. 이 세정처리는 복수회 (2 ~ 6 회) 반복하여 실시하는 것이 좋다. 이렇게 수득한 공침체를 건조함으로서 건조구형입자를 수득할 수 있지만 수세정 후, 건조 전에 이소프로판올 등의 알코올 용매나 다른 유기용매에 재분산시킨 후, 건조시키는 것이 바람직하다.
상기 공침체 구형입자는 이트륨의 염기성 탄산염 (식:YOHCO3) 과 유로퓸의 염기성 탄산염 (식: EuOHCO3) 의 혼합체로 이루어진 구형으로 투과형 전자현미경 관찰로부터, 그 입자 직경이 약 1 ~ 2 ㎛ 로서 입자 분포폭이 약 1 ㎛ 이하로 좁고, 샤프한 입도분포를 갖는 것을 알 수 있다. 공침석출조건의 선택 및 석출회수 증가로부터, 보다 큰 구형입자를 제조할 수 있다.
상기 공침체 구형입자는 이들을 공기 분위기 중에서 바람직하게는 600 ℃ 이 상, 보다 바람직하게는 800 ~ 1400 ℃ 범위에서 소성하여 성형품으로 할 수 있다. 이 성형품은 산화이트륨 (Y2O3) 과 산화유로퓸 (Eu2O3) 의 복합체로 이루어진 구형입자이다. 이 성형품은 상기 공침체 구형입자의 경우와 동일하고, 그 입자 직경이 약 1 ~ 2 ㎛ 로 입경 분포폭이 약 1 ㎛ 이하로 좁고, 샤프한 입도분포를 갖는 것이다. 이것은 취급성도 우수하고, 무기재료로서 적합하고, 자외선 여기에 의해 적색의 형광을 나타낸다. 예컨대, 254 nm 여기의 3 파장형 형광램프 또는 147 nm 진공자외선 여기소자용 적색형광체에 유용하다.
상기의 양태에서는 2 종 이상 금속이온을 함유하는 수용액 (원액) 을, 핵 입자의 발생에 제공되는 A 액과 핵 입자의 성장에 제공되는 B 액으로 분리했으나, 원액으로부터 소정 양의 제 1 부분 및 소정 양의 제 2 부분을 분리하여 각각 핵 입자의 발생 및 성장에 제공할 수 있다고 할 것까지는 없다. 이 경우, 공침반응을 실시하기 전에, 제 1 부분 및/또는 제 2 부분을 필요에 따라서 물로 희석하거나 요소 등의 침전제를 첨가하거나 할 수 있다. 또한, 다른 양태로서는 2 종 이상 금속이온을 함유하는 제 1 의 수용액을 제조하고, 그 1 부 또는 전부를 공침석출반응시켜서 핵 입자를 함유하는 생성액을 만들고, 한편 제 1 의 수용액과 동종의 2 종 이상 금속이온을 함유하고, 제 1 수용액의 금속이온간의 상대농도와 실질적으로 동일한 금속이온간의 상대농도를 갖는 제 2 수용액을 작성하고, 그의 1 부 또는 전부를 상기 핵 입자를 함유하는 생성액과 혼합하고, 이렇게 수득한 혼합액을 공침석출반응시키는 방법을 들 수 있다. 이들의 양태의 경우, 제 1 수용액 (또는 제 1 부분) 과 제 2 수용액 (또는 제 2 부분)의 총 금속이온 농도비는, 상기의 A 및 B 액에의 분할 용량비와 동일하다. 즉, 제 1 수용액 (또는 제 1 부분) 의 총 금속이온 농도의 제 2 수용액 (또는 제 2 부분) 의 총 금속이온농도의 비는 바람직하게는 1:1 ~ 1:50, 보다 바람직하게는 1:1 ~ 1:10, 매우 바람직하게는 1:2 ~ 1:5 이다. 또, 제 1 수용액 및 제 2 수용액의 총 금속이온 농도는, 상기의 원액에 대해서 전술한 총 금속이온 농도범위 안에서 적절히 선택된다.
본 발명은 그의 2 종 이상의 금속을 함유하는 각 종의 공침체 입자를 수득할 수 있다. 이 같은 공침체 입자로서는 상기한 이트륨과 유로퓸을 함유하는 무기형광체와 다른, 이트륨과 가돌리늄과 유로퓸을 함유, 이트륨과 바나듐과 유로퓸을 함유, 이트륨과 테르븀을 함유, 이트륨과 가돌리늄과 테르퓸을 함유하는 무기형광체 등을 들 수 있다. 또한, 코발트와 몰리브덴, 니켈과 몰리브덴 등의 복수의 전이금속을 함유하는 촉매 등을 들 수 있다.
[실시예]
이하, 실시예를 사용하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명은 실시예에 한정하는 것은 아니다.
실시예 1
염화이트륨 6 수화물 (YCl3ㆍ6H2O)(와꼬쥰야꾸(주) 제조, > 99.9 %) 2.6 g, 염화 유로퓸 6 수화물 (EuCl3ㆍ6H2O)((주)레아메탈릭 제조, > 99.9 %) 0.16 g, 요소 (와꼬쥰야꾸(주) 제조, 특급) 27 g을 증류수 900 ml 에 용해하고, 염산 (와꼬쥰야 꾸(주) 제조, 시약특급)을 사용하여 pH 2.5 에 조정한 후, 24 시간 정치하여, 이 용액을 원액으로 하였다. 이 원액을 2 개로, 즉 A 액 (핵 입자생성용) 과 B 액 (성장성분용)을 각각 용적비 3:6 으로 나누었다. 이어서, A 액을 교반하면서 77 ℃에서 20 분간 가열하고, 여기에 B 액을 첨가하여 교반하면서 77 ℃에서 60 분간 가열한 후, 더욱 교반하면서 97 ℃에서 40 분간 가열하여 공침체를 생성하였다. 계속해서 이 공침체를 생성한 수용액을 원심분리하여 공침체를 분리하여, 이것을 증류수에 첨가하여 초음파에 의해 재분산시킨 후에 원심분리하였다. 이 공침체의 재처리와 원심분리처리를 총 4 회 행한 후, 이소프로판올에 첨가하여 초음파에 의해 재분산시킨 후에 원심분리하여 상등수의 이소프로판올을 제거하고, 진공건조하여 공침체 입자분말을 수득하였다.
수득한 공침체 입자에 대해서는 투과형 전자현미경 (TEM)(필립스사 제품, C30/STM) 에 의해 관찰한 바, 입경 약 1 ㎛ 의 구형입자인 것이 확인되었다.
실시예 2
이어서, 상기에서 수득한 공침체 구형입자를 850 ℃, 공기 중에서 1 시간 소성시켜 공침체 소성입자를 수득하였다. 수득한 입자에 대해서, 투과형전자현미경 (TEM)(필립스사 제조, C30/STM) 에 의해 관찰한 바, 입경이 1 ㎛ 구형입자인 것이 확인되었다. 또한, 이 소성입자에 대해서는 X 선 (CuKα) 회절장치 (리가꾸덴끼(주) 제조, 로타훌렉스 RU-300)를 사용하여 평가한 결과, 산화이트륨에 유로퓸이 고용(固溶)한 구조의 단상인 것이 확인되었다. 또한, 이 소성입자의 형광특성을 형광발광분석기 (니뽄분꼬오 고오교(주) 제조ㆍFP-770 형) 에 의해 평가한 결 과, 단자외광 (파장: 254 nm)를 조사하면, 611 nm 의 파장에서 강한 광을 발산하는 우수한 적색 형광체인 것이 확인되었다. 아울러 진공 중 (3 X 10-2 mmHg)에서 우시오 덴끼사 제조 엑시머램프 (UER 20H-146V)를 사용하고, 진공자외광 (146 ±10 nm)을 조사한 바, 강한 적색발광을 나타냈다.
비교예 1
염화이트륨 6 수화물 (YCl3ㆍ6H2O)(와꼬준야꾸(주) 제조, > 99.9 %) 2.6 g, 염화유로퓸 6 수화물 (EuCl3ㆍ6H2O)((주)레아메탈릭 제조, > 99.9 %) 0.16 g, 요소 (와꼬쥰야꾸(주) 제조, 시약특급) 27 g을 증류수 900 ml 에 용해하고, 염산 (와꼬쥰야꾸(주) 제조, 시약특급)을 사용하여 pH 2.5 에 조정한 후, 24 시간 정치하였다. 이 수용액을 교반하면서 97 ℃에서 1 시간 가열시켜 공침체를 생성하였다. 이어서 이 공침체를 생성한 수용액을 원심분리하여 공침체를 분리하고, 이것을 증류수에 첨가하고, 초음파에 의해 재분산시킨 후에 원심분리하였다. 이 공침체의 재분산처리와 원심분리처리를 총 4 회 실시한 후, 이소프로판올에 첨가하여 초음파에 의해 재분산시킨 후, 원심분리하여 상등층의 이소프로판올을 제거하고 진공건조하여 공침체 입자분말을 수득하였다.
수득한 입자에 대해서, 투과형 전자현미경 (TEM)(필립스사 제조, C30/STM) 에 의해 관찰한 바, 이 경우에는 그 입자가 작고 입경이 약 0.1 ㎛ 의 구형 미립자인 것이 확인되었다.
본 발명은 평균입경이 0.3 ㎛ 이상의 비교적 큰 공침체 입자를 만들 수 있다. 본 발명에 의한 공침체 입자는 그 입경이 비교적 크므로 취급이 용이하고, 용제에 분산시켜서 도포액으로 한 경우, 그 도포가 용이하다. 또한, 그 공침체 입자를 무기형광체로서 사용할 경우에는, 그 수명이 길게되는 이점을 얻을 수 있다. 이것으로부터, 3 파장형 형광램프용 또는 플라즈마디스플레이 등의 진공자외선 여기소자 형광체로서 사용할 수 있다.
Claims (11)
- 2 종 이상의 금속이온을 함유하는 용액으로부터 공침체 (共沈體) 입자를 제조하는 방법에서, 2 종 이상의 금속이온을 함유하는 수용액을 만들어, 이 수용액을 핵 입자의 발생에 제공되는 A 액과 핵 입자의 성장에 제공되는 B 액으로 분할하고, 우선 A 액을 공침석출반응시키고, 핵 입자를 함유하는 생성액을 만들고, 이어서 이것과 B 액을 합쳐서 공침석출반응시키는 것을 특징으로 하는 무기공침체 입자의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 2 종류 이상의 금속이온이 1 종 이상의 희토류(希土類) 이온을 함유하는 방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 희토류 이온이 이트륨 이온과 유로퓸 이온을 함유하는 방법.
- 2 종 이상의 금속이온을 함유하는 용액에서 공침체 입자를 제조하는 방법에서, 2 종 이상의 금속이온을 함유하는 제 1 수용액을 공침석출반응시켜서 핵 입자를 함유하는 생성액을 만들고, 이어서 이 생성액을 상기 제 1 수용액의 금속이온간 상대농도와 실질적으로 동일한 금속이온간 상대농도를 갖는 제 2 수용액과 혼합하여 수득한 혼합액을 공침석출반응시키는 것을 특징으로 하는 무기공침체 입자의 제 조방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 2 종 이상의 금속이온이 1 종 이상의 희토류 이온을 함유하는 방법.
- 제 5 항에 있어서, 상기 희토류 이온이 이트륨 이온과 유로퓸 이온을 함유하는 방법.
- 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 의해 수득된 무기공침체 입자를 600 ℃ 이상에서 소성하여 형성된 평균입경이 0.3 ~ 10 ㎛ 의 무기공침체 소성입자.
- 제 7 항에 기재된 무기공침체 소성입자를 함유하는 무기형광체.
- 제 7 항에 기재된 무기공침체 소성입자를 함유하는 진공자외선 여기소자용 형광체.
- 제 8 항에 있어서, 상기 무기공침체 소성입자가 유로퓸과 이트륨을 함유하는 입자로 이루어진 무기형광체.
- 제 9 항에 있어서, 상기 무기공침체 소성입자가 유로퓸과 이트륨을 함유하는 입자로 이루어진 진공자외선 여기소자용 형광체.
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