KR100640434B1 - 마스크 제작 파일 생성 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크에 대한 정보를 담고 있는 파일을 변환하여 마스크 제작용 파일을 생성함에 있어서, 마스크에 대한 정보를 담고 있는 파일의 개수에 관계없이 다수의 파일을 한꺼번에 처리하여 마스크 제작용 파일을 생성할 수 있도록 하는 발명으로 복수개의 마스크 정보 파일을 함께 최종 분할 파일로 생성할 수 있도록 하여 공정 시간을 줄이며, 최종 분할 파일을 검사하는 절차에서도 파일의 이름을 파라미터로 설정하여 복수개의 파일을 함께 검사할 수 있어 공정 시간을 획기적으로 줄일 수 있다.
마스크, 검사, 축소, OPC, 분할

Description

마스크 제작 파일 생성 방법{METHOD OF MAKING FILE FOR MANUFACTURING MASK PATTERN}
도 1은 마스크 정보 파일에서 담고 있는 기판의 정보를 도시하고 있는 도면이다.
도 2는 도 1의 A 영역을 확대하여 도시하고 있는 도면이다.
도 3 내지 도 6은 90% 축소, 각 층의 추출 및 더미 패턴의 삽입 후 파일의 정보를 보여주는 도면이다.
도 4 및 도 5는 도 3의 B 영역을 확대한 도면이다.
도 6은 도 3의 C 영역을 확대한 도면이다.
도 7은 마스크 데이터 프로세싱(MDP)에서 사용되는 파일의 일부분을 보여주는 도면이다.
도 8은 MDP 룰 파일을 보여주는 도면이다.
도 9는 MDP 셀 스크립트 파일을 보여주는 도면이다.
도 10은 MDP 실행파일을 보여주는 도면이다.
도 11은 분할(fracturing) 룰(Rule) 파일을 보여주는 도면이다.
도 12는 분할(fracturing) 셀 스크립트(Shell script) 파일을 보여주는 도면이다.
도 13은 분할(fracturing) 실행파일을 보여주는 도면이다.
도 14는 자동 분할(fracturing) 파일을 보여주는 도면이다.
도 15는 최종 분할 파일이 가지는 마스크 정보를 보여주는 도면이다.
도 16은 도 15의 L 영역을 확대하여 보여주는 도면이다.
도 17은 EDA Tool로 최종 분할 파일을 확인하는 확인 파일의 일 실시예를 보여주는 도면이다.
본 발명은 마스크에 대한 정보를 담고 있는 파일을 변환하여 마스크 제작용 파일을 생성함에 있어서, 마스크에 대한 정보를 담고 있는 파일의 개수에 관계없이 다수의 파일을 한꺼번에 처리하여 마스크 제작용 파일을 생성할 수 있도록 하는 발명에 관한 것이다.
반도체를 생성하기 위하여 반도체 기판 상에 배선을 형성할 때 배선의 폭이 좁아 노광 현상을 이용하는 포토 리소그래피 방법을 주로 사용한다. 포토 리소그래피 공정에서는 마스크를 사용하는데, 마스크는 마스크 제작용 파일을 이용하여 마스크 제작용 장치를 작동/제어하여 제작한다.
일반적으로 마스크 정보를 가진 파일(이하에서는 "마스크 정보 파일"이라 함)은 직접 마스크 제작 장치에서 실행시킬 수 없다. 그러므로 마스크 정보 파일을 변환하여 마스크 제작 장치에서 실행되도록 하여야하는 문제점이 있다.
즉, 복수개의 마스크 정보 파일들을 이용하여 마스크 제작 요청이 온 경우 각각의 마스크 정보 파일 별로 변환을 수행하여야 하는데 각각 처리하다보면 시간적으로 오래 걸리는 단점이 있다.
특히 마스크 제작 요청 후 다시 마스크 정보 파일을 수정하는 경우가 잦고, 마스크의 정보 파일의 크기가 기가 단위인 관계로 다시 수행시 시간 손실이 큰 단점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 복수개의 마스크 정보 파일을 함께 마스크 제작용 파일로 변환할 수 있도록 하며, 마스크 패턴 생성 공정에서 에러 없이 좀 더 빠르게 마스크 제작을 수행할 수 있도록 하기 위한 발명이다.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 마스크 정보 파일을 파라미터 처리를 하여 한번에 복수개의 마스크 정보 파일을 최종 분할 파일로 변환할 수 있도록 한다.
구체적으로, 2 이상의 마스크 정보 파일을 한꺼번에 마스크 데이터 프로세싱(MDP) 처리하여 2 이상의 중간 파일을 생성하는 단계, 상기 2 이상의 중간 파일을 한꺼번에 분할하여 2 이상의 최종 분할 파일을 생성하는 단계를 포함하며, 상기 마스크 데이터 프로세싱(MDP) 처리하여 2 이상의 중간 파일을 생성하는 단계는 MDP 룰(rule) 파일, MDP 셀 스크립트(shell script) 파일 및 MDP 실행파일을 이용하여 수행되며, 상기 2 이상의 최종 분할 파일을 생성하는 단계는 분할(fracturing) 룰 (Rule) 파일, 분할(fracturing) 셀 스크립트(Shell script) 파일, 분할(fracturing) 실행파일을 이용하여 수행되는 마스크 제작 파일 생성 방법에 대한 것이며,
상기 마스크 데이터 프로세싱(MDP) 처리는 축소 단계, 각 층을 추출하는 단계 그리고 더미 패턴을 추가하는 단계를 포함하며,
상기 축소 단계, 각 층을 추출하는 단계 그리고 더미 패턴을 추가하는 단계는 함께 수행되며,
상기 중간 파일은 각 마스크 정보 파일 당 1개씩 생성되며,
상기 MDP 룰(rule) 파일에는 상기 마스크 정보 파일의 이름을 파라미터로 삽입하며,
상기 분할(fracturing) 룰(Rule) 파일에는 상기 중간 파일의 이름을 파라미터로 삽입하며,
상기 최종 분할 파일을 확인하는 단계를 더 포함하며, 상기 최종 분할 파일을 확인하는 단계도 상기 2 이상의 최종 분할 파일을 한꺼번에 확인한다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
먼저 본 발명의 한 실시예에 따른 마스크 제작 파일 생성 방법에 대하여 도 1 내지 도 17을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 마스크 정보 파일에서 담고 있는 기판의 정보를 도시하고 있는 도면이며, 도 2는 도 1의 A 영역을 확대하여 도시하고 있는 도면이다.
또한, 도 3 내지 도 6은 90% 축소, 각 층의 추출 및 더미 패턴의 삽입 후 파일의 정보를 보여주는 도면이며, 도 4 및 도 5는 도 3의 B 영역을 확대한 도면이고, 도 6은 도 3의 C 영역을 확대한 도면이다. 한편, 도 7은 마스크 데이터 프로세싱(MDP)에서 사용되는 파일의 일부분을 보여주는 도면이다.
도 1 및 도 2에서 도시하고 있는 바와 같은 정보를 담고 있는 마스크 정보 파일은 그 정보를 90% 축소하는 것으로부터 마스크 제작용 파일 생성을 시작한다. 물론 85% 축소하는 실시예도 있을 수 있으며, 축소 정도에 대해서는 다양한 실시예가 있을 수 있다.
또한, 90% 축소와 함께 각 층을 추출하고 더미 패턴(Dummy Pattern)을 추가하는 작업을 함께 수행한다.
여기서 90% 축소 단계, 각 층을 추출하는 단계 그리고 더미 패턴을 추가하는 단계는 하나의 마스크 데이터 프로세싱(MDP)에서 한꺼번에 수행한다. 이상과 같은 마스크 데이터 프로세싱(MDP) 단계는 다양한 실시예로 실시될 수 있으나 본 실시예에서는 칼리브(calibre)라는 일렉트로닉 디자인 오토메이션(EDA) 툴(tool)을 이용하여 수행한다.
복수의 마스크 정보 파일을 한꺼번에 처리하기 위해서는 MDP 룰(rule) 파일, MDP 셀 스크립트(shell script) 파일 및 MDP 실행파일이 필요하다.
MDP 룰 파일은 MDP 단계에서 적용되는 룰을 저장하고 있는 파일로 복수개의 마스크 정보 파일을 처리하기 위해서는 파라미터 처리를 행하여야 한다. 파라미터 처리에 대해서는 후술한다.
MDP 셀 스크립트 파일은 복수개의 마스크 정보 파일의 파라미터를 받아들여 MDP를 수행하기 위한 일종의 실행 파일로 각각의 파일을 실행시킨다.
한편, MDP 실행파일은 상기의 MDP 룰 파일과 셀 스크립트 파일을 이용하여 최종적으로 복수개의 마스크 정보 파일에 대하여 한꺼번에 마스크 데이터 프로세싱(MDP)을 수행할 수 있게 해주는 파일이다.
도 8 내지 도 10은 실시예에 따른 상기 3개 파일에 대한 이미지로 각각 도 8은 MDP 룰 파일을 보여주는 도면이고, 도 9는 MDP 셀 스크립트 파일을 보여주는 도면이고, 도 10은 MDP 실행파일을 보여주는 도면이다.
위의 MDP 실행파일에 의해서 복수개의 마스크 정보 파일을 한꺼번에 마스크 데이터 프로세싱(MDP)할 수 있으며 그 결과 복수개의 마스크 정보 파일 당 1개씩의 중간 파일이 생성된다.
파라미터 처리는 도 8의 D 영역에서 도시하고 있다. 도 8의 D 영역은 입력되는 파일의 이름을 기재하는 부분("GDS_FILE"이라 기재된 부분)으로 이 부분을 파라미터로 하여 다수의 파일이름이 각각 입력될 수 있도록 한다. 파라미터로 파일 이름을 입력할 수 있도록 함으로써 서로 다른 이름의 파일도 함께 실시할 수 있게 되었다. 뿐만 아니라 본 실시예에서는 D 영역에서 도시하고 있는 바와 같이 최상위층 구조(top structure)의 이름("TOP_NAME"라 기재된 부분)도 파라미터로 처리하고 있다.
한편, E 영역은 확대하는 것이 아니고 축소하는 공정임을 보여주며, F 영역은 출력되는 중간 파일의 이름을 입력하는 영역이고, G 영역은 출력되는 공정 용약 파일의 이름이 입력되는 영역이고, H 영역은 실제 적용되는 영역의 외부 경계를 한정지어주는 영역이다. 경계를 정하는 것도 파라미터로 처리할 수 있다.
생성된 중간 파일을 이용하여 최종 분할 파일을 생성하는 분할(fracturing) 공정은 다음과 같이 진행된다.
최종 분할 파일을 만들기 위한 분할(fracturing) 공정도 상술한 마스크 데이터 프로세싱(MDP) 공정과 유사하게 진행된다.
다른 점은 마스크 정보 파일당 중간 파일은 각각 1개씩 생성되었으나, 최종 분할 파일은 각각 10개씩 생성되어, 총 데이터의 양도 크게 증가한다. 여기서 생성되는 파일의 개수를 10개로 한정하고 있으나 실시예에 따라서 다른 개수로 생성될 수 있다.
최종 분할 파일을 생성하기 위한 분할(fracturing) 공정도 복수개의 중간 파일에 대하여 한꺼번에 수행하기 위해서는 분할(fracturing) 룰(Rule) 파일, 분할(fracturing) 셀 스크립트(Shell script) 파일, 분할(fracturing) 실행파일 및 자동 분할(fracturing) 파일이 필요하다.
분할(fracturing) 룰(Rule) 파일은 복수개의 중간 파일을 최종 분할 파일로 변환시키기 위한 룰(rule)을 담고 있는 파일로 복수개의 중간 파일을 한번에 처리하기 위하여 파라미터 처리가 필요하며, 이에 대해서는 후술한다.
분할(fracturing) 셀 스크립트(Shell script) 파일은 각 중간 파일의 파라미 터를 받아들여 분할(fracturing) 하기 위한 실행 파일이다.
분할(fracturing) 실행파일은 분할(fracturing) 룰(Rule) 파일과 분할(fracturing) 셀 스크립트(Shell script) 파일을 이용하여 각각의 중간 파일에 대하여 10개씩의 최종 분할 파일을 생성해주는 파일이다.
자동 분할(fracturing) 파일은 분할(fracturing) 실행파일을 통하여 생성된 10개씩의 최종 분할 파일을 자동으로 한꺼번에 실행할 수 있도록 하는 프로그램으로 복수개의 중간 파일을 각각 10개씩의 최종 분할 파일로 한꺼번에 생성할 수 있도록 한다.
도 11 내지 도 14는 한 실시예에 따른 파일을 보여준다. 도 11은 분할(fracturing) 룰(Rule) 파일을 보여주며, 도 12는 분할(fracturing) 셀 스크립트(Shell script) 파일을 보여주고, 도 13은 분할(fracturing) 실행파일을 보여주며, 도 14는 자동 분할(fracturing) 파일을 보여준다.
마스크 데이터 프로세싱(MDP)과 동일하게 위의 3개의 파일(분할(fracturing) 룰(Rule) 파일, 분할(fracturing) 셀 스크립트(Shell script) 파일, 분할(fracturing) 실행파일)에 의해서 10개의 최종 분할 파일을 한번에 수행할 수 있다.
도 11에서 I 영역은 분할 공정이 적용되는 중간 파일의 이름을 기재하는 영역으로 중간 파일의 이름을 파라미터로 삽입하여 이름이 다른 파일도 함께 분할 공정이 진행될 수 있도록 한다.
J 영역은 축소된 이후의 범위를 한정하는 영역이며, K는 각 중간 파일에 대 하여 생성되는 10개의 최종 분할 파일의 이름이 각각 달라야하므로 그 이름을 지정하는 영역이다.
최종 분할 파일은 마스크 제작 장비에서 실행되어 마스크를 제작하는 파일로 사용된다.
이상과 같이 생성된 최종 분할 파일이 제대로 생성되었는지 확인할 필요가 있으며, 이하에서는 확인하는 방법에 대하여 살펴본다.
본 발명에서는 최종 분할 파일을 확인하는 단계도 전체 파일을 한번에 확인할 수 있는 방법을 제공한다. 이때에서 최종 분할 파일의 이름을 파라미터로 삽입하여 함께 확인할 수 있도록 한다.
도 15는 최종 분할 파일이 가지는 마스크 정보를 보여주는 도면이며, 도 16은 도 15의 L 영역을 확대하여 보여주는 도면이다.
도 17은 EDA Tool로 최종 분할 파일을 확인하는 확인 파일의 일 실시예를 보여준다.
일반적으로 최종 분할 파일을 확인하는 사항은 다음과 같다.
Original MOAT vs. Dummy Moat and Dummy Poly Space, Original POLY vs. Dummy Moat and Dummy Poly Space, Original Moat vs. Dummy Moat and Dummy Poly overlap, Original Poly vs. Dummy Moat and Dummy Poly overlap, Original Moat, Poly and Metal vs. MDPed Moat, Poly and Metal check, MDPed Moat, Poly and Metal vs. OPCed Moat, Poly and Metal check
상술한 확인 항목에서 중요한 점은 삽입된 더미 패턴이 제대로 삽입된 것인 지를 확인하며, 뿐만 아니라 OPC도 제대로 수행되었는지를 확인한다는 것이다.
도 17의 M 영역은 상술한 확인 항목 및 확인 결과를 보여주는 부분이며, 결과값이 0이 나오면 문제가 없는 것이다.
또한, 본원 발명에서 파라미터화 할 수 있는 것은 OPC 입력 파일 이름, MDP 입력/출력 파일 이름, MDP 상층 구조 이름(top structure name), 원본 칩 사이즈 정보, 출력 마스크 데이터 파일 이름 등이 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 각각의 마스크 정보 파일별로 진행되던 최종 분할 파일 생성 절차가 파일의 이름을 파라미터로 설정하고 이를 이용하여 이름이 다른 복수개의 마스크 정보 파일을 함께 최종 분할 파일로 생성할 수 있도록 하여 공정 시간을 줄인다. 또한, 최종 분할 파일을 검사하는 절차에서도 파일의 이름을 파라미터로 설정하여 복수개의 파일을 함께 검사할 수 있어 공정 시간을 획기적으로 줄일 수 있다.

Claims (7)

  1. 2 이상의 마스크 정보 파일을 한꺼번에 마스크 데이터 프로세싱(MDP) 처리하여 2 이상의 중간 파일을 생성하는 단계,
    상기 2 이상의 중간 파일을 한꺼번에 분할하여 2 이상의 최종 분할 파일을 생성하는 단계를 포함하며,
    상기 마스크 데이터 프로세싱(MDP) 처리하여 2 이상의 중간 파일을 생성하는 단계는 MDP 룰(rule) 파일, MDP 셀 스크립트(shell script) 파일 및 MDP 실행파일을 이용하여 수행되며,
    상기 2 이상의 최종 분할 파일을 생성하는 단계는 분할(fracturing) 룰(Rule) 파일, 분할(fracturing) 셀 스크립트(Shell script) 파일, 분할(fracturing) 실행파일을 이용하여 수행되는 마스크 제작 파일 생성 방법.
  2. 제1항에서,
    상기 마스크 데이터 프로세싱(MDP) 처리는 축소 단계, 각 층을 추출하는 단계 그리고 더미 패턴을 추가하는 단계를 포함하는 마스크 제작 파일 생성 방법.
  3. 제2항에서,
    상기 축소 단계, 각 층을 추출하는 단계 그리고 더미 패턴을 추가하는 단계는 함께 수행되는 마스크 제작 파일 생성 방법.
  4. 제1항에서,
    상기 중간 파일은 각 마스크 정보 파일 당 1개씩 생성되는 마스크 제작 파일 생성 방법.
  5. 제1항에서,
    상기 MDP 룰(rule) 파일에는 상기 마스크 정보 파일의 이름을 파라미터로 삽입한 마스크 제작 파일 생성 방법.
  6. 제1항에서,
    상기 분할(fracturing) 룰(Rule) 파일에는 상기 중간 파일의 이름을 파라미터로 삽입한 마스크 제작 파일 생성 방법.
  7. 제1항에서,
    상기 최종 분할 파일을 확인하는 단계를 더 포함하며,
    상기 최종 분할 파일을 확인하는 단계도 상기 2 이상의 최종 분할 파일을 한꺼번에 확인하는 마스크 제작 파일 생성 방법.
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