KR100636462B1 - 전기 광학 장치용 기판, 전기 광학 장치용 기판의 제조방법, 전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법 및전자기기 - Google Patents

전기 광학 장치용 기판, 전기 광학 장치용 기판의 제조방법, 전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법 및전자기기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전기 광학 장치용 기판 또는 전기 광학 장치에 있어서, 하지층의 패턴 형상을 변경하는 것에 의해 하지층이 박리되기 어려워지도록 구성하고, 이에 따라 반사막의 불량의 발생을 억제하여 제품의 제조 비율을 향상시키는 것으로, 본 발명의 전기 광학 장치용 기판은, 기판 상에 서로 적층 배치된 반사막(213) 및 하지층(212)이 형성되고, 반사막 및 하지층의 일부를 포함하는 복수의 화소 영역이 배열되어 이루어지며, 화소 영역마다, 반사막이 형성되어 있지 않은 투과 개구부(213a)와, 해당 투과 개구부와 평면적으로 겹치는 위치에 배치된, 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부(212a)가 마련되고, 인접하는 상기 화소 영역 사이에서 하지 개구부가 서로 연속하고 있는 것을 특징으로 한다.

Description

전기 광학 장치용 기판, 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법, 전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법 및 전자기기{SUBSTRATE FOR ELECTRO-OPTICAL DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, ELECTRO-OPTICAL DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND ELECTRONIC APPARATUS}
도 1은 실시예 1의 액정 표시 장치의 구조를 나타내는 확대 종단면도,
도 2는 실시예 1의 전기 광학 장치용 기판의 반사막의 패턴을 나타내는 확대 평면도,
도 3은 실시예 1의 픽셀 내의 패턴을 나타내는 확대 평면도,
도 4는 실시예 2의 픽셀 내의 패턴을 나타내는 확대 평면도,
도 5는 실시예 3의 픽셀 내의 패턴을 나타내는 확대 평면도,
도 6은 실시예 4의 픽셀 내의 패턴을 나타내는 확대 평면도,
도 7은 실시예 5의 픽셀 내의 패턴을 나타내는 확대 평면도,
도 8은 실시예 6의 픽셀 내의 패턴을 나타내는 확대 평면도,
도 9는 실시예 7의 (a) 픽셀 내의 패턴을 나타내는 확대 평면도, (b) 확대 단면도 및 (c) 다른 구성예의 확대 단면도,
도 10(a)-(d)는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법을 나타내는 공정 단면 도,
도 11(a)-(d)는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법을 나타내는 공정 단면도,
도 12는 실시예 1의 액정 표시 장치의 액정 패널의 개략 사시도,
도 13은 실시예 1의 액정 패널의 개략 종단면도,
도 14는 실시예 8의 액정 표시 장치의 개략 종단면도,
도 15는 실시예 8의 (a) 액정 표시 장치의 확대 부분 단면도 및 (b) 확대 부분 평면도,
도 16은 실시예 9의 전자기기의 개략 구성도,
도 17은 실시예 9의 전자기기의 개략 사시도,
도 18은 종래의 액정 표시 장치의 픽셀 내의 패턴을 나타내는 확대 평면도,
도 19는 종래의 별도의 액정 표시 장치의 픽셀 내의 패턴을 나타내는 확대 평면도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
200 : 액정 표시 장치 210 : 전기 광학 장치용 기판
211 : 제 1 기판 212 : 하지층
212a : 하지 개구부 212b : 개구 가장자리 부분
213 : 반사막 213a : 투과 개구부
214 : 착색층 220 : 대향 기판
230 : 밀봉재
본 발명은 전기 광학 장치용 기판, 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법, 전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법 및 전자기기에 관한 것으로, 특히, 반투과 반사형의 전기 광학 장치로서 구성하는 경우에 적합한 반사막의 구조 및 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반투과 반사형의 전기 광학 장치는 최근의 휴대형 전자기기의 발전에 따라 수많이 쓰이고 있다. 예컨대, 전기 광학 장치의 일종인 액정 표시 장치를 예로 들어 설명하면, 반투과 반사형의 액정 표시체가 휴대전화나 휴대형 정보단말 등에 채용되어 있다. 반투과 반사형의 액정 표시 장치는, 백라이트를 점등함으로써 투과형의 액정 표시 장치와 마찬가지의 투과형 표시가 가능하고, 또한, 백라이트를 쓰지 않는 경우에도, 외광을 반사막에 의해 반사시키는 것에 의해 반사형 액정 표시 장치와 마찬가지의 반사형 표시가 가능하게 되기 때문에, 환경에 따라 투과형 표시와 반사형 표시를 선택하여 쓸 수 있고, 또한, 반사형 표시를 이용함으로써 소비 전력의 저감을 도모할 수 있다는 이점을 갖는다.
상기 반투과 반사형의 액정 표시 장치는, 외광을 반사막에 의해 반사시키고, 그 반사광으로 표시를 시인 가능하게 하도록 구성되어 있지만, 반사막의 반사면이 예컨대 경면 상태이면, 조명에 의한 환영이나 배경의 투영 등이 발생하여, 시인성을 악화시키는 원인이 된다. 그래서, 미세한 표면 요철 형상(거친 면)을 갖는 광 산란성의 반사면으로 함으로써, 표시의 밝기를 확보하면서, 조명에 의한 환영이나 배경의 투영을 방지하는 것과 같은 방법이 일반적으로 채용되고 있다. 상기와 같은 광 산란성의 반사면을 구비한 반사막을 형성하는 방법으로서는, 기판 상에 표면 요철 형상을 구비한 수지 등으로 구성되는 하지층을 형성하고, 이 하지층 상에 반사막을 형성하는 것에 의해, 하지층의 표면 요철 형상을 반영한 광 산란성의 반사면을 형성하는 방법이 알려져 있다.
상기와 같은 반투과 반사형의 액정 표시 장치에 있어서는, 도 18 및 도 19에 나타내는 바와 같이, 액정 패널을 구성하는 한쪽 기판 상에, 감광성 수지를 도포하고, 노광 및 현상을 하는 것에 의해, 표면 요철 형상을 구비한 하지층(112)에 화소마다 하지 개구부(112a)가 형성되어 있다. 이 하지층(112) 상에는, 금속 박막 등에 의해 구성되는 반사막(113)이 형성되어 있다. 또한, 하지 개구부(112a)와 평면적으로 겹치는 부분에는, 반사막(113)이 형성되어 있지 않은 투과 개구부(113a)가 구성되어 있다. 이 구성에 의하면, 도시하지 않는 백라이트로부터 조사된 광은 화소 영역마다 투과 개구부(113a) 및 하지 개구부(112a)를 통과함으로써 투과형 표시를 구성하는 표시광으로 되고, 또한, 외광이 액정 패널 내에 입사하여 각 화소 영역의 반사막(113R, 113G, 113B)에 의해 반사되는 것에 의해 반사형 표시를 구성하는 표시광으로 된다.
그러나, 상기 종래의 반투과 반사형의 액정 표시 장치에 있어서는, 화소 영역마다 하지층(112)을 제거한 하지 개구부(112a)가 창문 형상으로 형성되어 있는 것에 의해, 하지층(112)의 현상시에, 인접하는 하지 개구부(112a) 사이에 있는 브릿지 형상으로 구성된 수지 부분이 기판으로부터 박리된다는 불량이 생기는 경우가 있다. 특히, 투과 표시를 중시함으로써 각 화소 영역에서의 투과 개구부(113a)의 개구율을 크게 구성하는 경우에는, 상기 브릿지 형상의 수지 부분의 폭도 작게 되기 때문에, 하지층(112)이 보다 박리되기 쉬워진다. 또한, 도 18 및 도 19에 나타내는 바와 같이 각 화소 영역이 세로가 긴 직사각형 형상을 갖는 경우에, 투과 개구부(113a)를 크게 형성하면, 도 18에 나타내는 수지 부분(113X)과 같이, 화소 영역의 긴쪽 방향과 직교하는 방향으로 인접하는 하지 개구부(112a) 사이의 수지 부분의 폭이 더 좁게 되기 때문에, 당해 부분은 한층더 기판으로부터 박리되기 쉬워진다.
상기한 바와 같이 하지층(112)의 현상시에 상기 수지 부분이 일단 기판으로부터 박리되면, 그것이 기판 상에 재부착되더라도 하지층(112)에 형상 불량이 발생하기 때문에, 반사막의 형상도 불량으로 되고, 이에 따라 제품의 제조 비율이 저하한다는 문제점이 있다.
그래서, 본 발명은 상기 문제점을 해결하는 것이며, 그 과제는, 하지층의 패턴 형상을 변경하는 것에 의해 하지층이 박리되기 어려워지도록 구성하고, 이에 따라 반사막의 불량의 발생을 억제하여 제품의 제조 비율을 향상시키는 것이다.
본 발명의 전기 광학 장치용 기판은, 기판 상에 배치된 하지층과, 상기 하지층 상에 적층 배치된 반사막과, 상기 반사막 및 상기 하지층을 포함하는 영역에 형성된 복수의 화소 영역과, 상기 화소 영역마다 마련되고, 상기 반사막이 형성되어 있지 않은 투과 개구부와, 해당 투과 개구부와 평면적으로 겹치는 위치에 배치되고, 또한, 인접하는 상기 화소 영역 사이에 상기 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 인접하는 화소 영역 사이에서 하지 개구부가 서로 연속하고 있는 것에 의해, 이 인접하는 화소 영역 사이에는 하지 개구부 사이에 배치되는 브릿지 형상의 하지층 부분이 존재하지 않게 되기 때문에, 하지층이 박리되기 어려워지기 때문에, 불량의 발생을 억제할 수 있게 된다.
여기서, 인접하는 화소 영역 사이에서 하지 개구부가 서로 연속하고 있다는 것은, 적어도 인접하는 2개의 화소 영역마다 하나의 하지 개구부가 일체로 구성되어 있는 경우를 포함한다. 따라서, 3 이상의 화소 영역에 걸쳐 하나의 하지 개구부가 일체로 구성되어 있는 경우를 포함하지만 이것에 한정되지 않는다.
본 발명에 있어서, 상기 하지 개구부는, 상기 화소 영역의 소정의 배열 방향을 따라 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 하지 개구부가 소정의 배열 방향을 따라 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있는 것에 의해, 하지 개구부의 개구 가장자리를 간이한 형상으로 구성할 수 있기 때문에, 하지층이 당해 개구 가장자리로부터 박리하기가 더 어려워진다.
이 경우에, 하지 개구부의 개구 가장자리는 상기 소정의 배열 방향으로 직선 형상으로 형성되어 있는 것이, 하지층의 박리를 더 곤란하게 하는 점에서 보다 바람직하다. 또한, 전기 광학 장치용 기판 상에 있어 상기 소정의 배열 방향으로 배열되어 있는 모든 화소 영역에 걸쳐 상기 슬릿 형상의 투과 개구부 및 하지 개구부가 일체로(연속하여) 형성되어 있는 것이 하지층의 패턴 형상을 보다 간이한 것으로 하는 데에 있어서 바람직하다.
본 발명에 있어서, 각각의 상기 화소 영역은 직사각형 형상을 갖고, 그 긴쪽 방향을 소정 방향으로 가지런히 하여 배열되고, 상기 슬릿 형상의 하지 개구부의 상기 소정의 배열 방향은 상기 화소 영역의 긴쪽 방향과 교차하는 방향인 것이 바람직하다. 이에 따르면, 하지 개구부가 화소 영역의 긴쪽 방향과는 다른 방향에 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있는 것에 의해, 인접하는 화소열의 다른 하지 개구부와의 사이의 간격을 넓게 확보할 수 있게 되기 때문에, 하지층의 박리를 더 저감할 수 있다.
여기서, 상기 소정의 배열 방향은 화소 영역의 긴쪽 방향과 직교하는 방향인 것이 바람직하다. 이에 따라, 화소 영역을 통과하는 하지 개구부의 위치가 기본적으로 화소 영역 사이에서 동일 위치로 되기 때문에, 하지 개구부와 평면적으로 겹치도록 형성되는 투과 개구부의 위치의 편차에 기인하는 표시 품질에의 영향을 저감할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 하지층은 표면 요철 형상을 갖고, 상기 반사막은 상기 표면 요철 형상을 반영한 광 산란성의 반사면을 갖는 것이 바람직하다. 이에 따라, 반사막에 광 산란성의 반사면을 용이하게 형성할 수 있고, 또한, 광 산란성의 반사면에 의해 시인성이 우수한 반사형 표시의 형태를 실현할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 하지층에서의 상기 하지 개구부의 개구 가장자리 부분에는 상기 표면 요철 형상이 형성되어 있지 않은 것이 바람직하다. 이에 따르면, 하지층의 개구 가장자리 부분에 표면 요철 형상이 형성되어 있지 않은 것에 의해, 하지층의 개구 가장자리 부분의 밀착성이나 강도를 확보할 수가 있기 때문에, 하지층을 더 박리하기 어렵게 구성할 수 있다.
또, 반사막은, 상기 하지층에서의 상기 하지 개구부에 면하는 개구 가장자리 부분의 측면 상에도 형성되어 있는 것에 의해, 하지층의 측면이 반사막에 의해 덮이기 때문에, 반사막의 형성 후에 있어서의 하지층이나 반사막의 박리 불량을 저감할 수 있다는 효과가 얻어진다.
다음에, 본 발명의 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법은, 기판 상에 서로 적층 배치된 반사막 및 하지층이 형성되어, 상기 반사막 및 상기 하지층의 일부를 포함하는 복수의 화소 영역이 배열되어 이루어지는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법으로서, 상기 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부가 화소 영역마다 존재하고, 또한, 인접하는 상기 화소 영역 사이에서 상기 하지 개구부가 연속하도록 상기 하지층을 형성하는 공정과, 상기 반사막이 형성되어 있지 않은 투과 개구부가 상기 하지 개구부와 평면적으로 겹치는 위치에 존재하도록 상기 반사막을 형성하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 하지층을 형성하는 공정에서는, 감광성 수지를 소정 의 마스크를 이용하여 노광하고, 현상함으로써 상기 표면 요철 형상을 갖는 상기 하지층을 형성하는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 노광 강도나 노광 패턴에 따라 표면 요철 형상을 용이하게 형성할 수가 있고, 또한, 노광 강도나 노광 패턴에 따라 하지 개구부를 동시에 형성할 수 있다.
이 경우에, 반사막을, 하지층에서의 하지 개구부의 개구 가장자리 부분의 측면 상에도 형성하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 하지층의 측면이 반사막에 의해 덮이기 때문에, 반사막의 형성 후에 있어서의 하지층이나 반사막의 박리 불량을 저감할 수 있다.
다음에, 본 발명의 전기 광학 장치는, 전기 광학층과, 상기 전기 광학층에 대향하여 배치된 반사막과, 상기 반사막의 상기 전기 광학층과는 반대측에 배치된 하지층과, 상기 전기 광학층 및 상기 반사막을 포함하는 영역에 형성된 복수의 화소 영역과, 상기 화소 영역마다 마련되고, 상기 반사막이 형성되어 있지 않은 투과 개구부와, 해당 투과 개구부와 평면적으로 겹치는 위치에 배치되고, 또한, 인접하는 상기 화소 영역 사이에 상기 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 인접하는 화소 영역 사이에서 하지 개구부가 서로 연속하고 있는 것에 의해, 이 인접하는 화소 영역 사이에는 하지 개구부 사이에 배치되는 브릿지 형상의 하지층의 부분이 존재하지 않게 되기 때문에, 하지층이 박리되기 어려워지기 때문에, 불량의 발생을 억제할 수 있게 된다. 따라서, 전기 광학 장치의 제품 비율이 향상하여, 보다 저 비용으로 높은 신뢰성을 갖는 전기 광학 장치를 제 조할 수 있게 된다.
본 발명에 있어서, 상기 하지 개구부는, 상기 화소 영역의 소정의 배열 방향을 따라 서로 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 화소 영역은 직사각형 형상을 갖고, 그 긴쪽 방향을 소정 방향으로 가지런히 한 자세로 배열되고, 상기 소정의 배열 방향은 상기 화소 영역의 긴쪽 방향과 교차하는 방향인 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 하지층은 표면 요철 형상을 갖고, 상기 반사막은 상기 표면 요철 형상을 반영한 광 산란성의 반사면을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 하지층에서의 상기 개구부의 개구 가장자리 부분에는, 상기 표면 요철 형상이 형성되어 있지 않은 것이 바람직하다.
다음에, 본 발명의 전기 광학 장치의 제조 방법은, 전기 광학층과, 해당 전기 광학층의 배후에 배치된 반사막과, 해당 반사막의 상기 전기 광학층과는 반대측에 인접 배치된 하지층을 갖고, 상기 전기 광학층 및 상기 반사막을 포함하는 복수의 화소 영역이 배열되어 이루어지는 전기 광학 장치의 제조 방법으로서, 상기 화소 영역마다 존재하고, 또한, 인접하는 상기 화소 영역마다 연속하는 하지 개구를 갖는, 표면 요철 형상을 구비한 하지층을 형성하는 공정과, 상기 하지 개구와 평면적으로 겹치는 위치에 투과 개구부를 갖고, 상기 하지층의 표면 상에 상기 표면 요철 형상을 반영한 광 산란성의 반사면을 구비하는 상기 반사막을 형성하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 하지층을 형성하는 공정에서는, 감광성 수지를 소정 의 마스크를 이용하여 노광하고, 현상함으로써 상기 표면 요철 형상을 갖는 상기 하지층을 형성하는 것이 바람직하다.
다음에, 본 발명의 전자기기는, 상기 어느 한 항에 기재된 전기 광학 장치와, 해당 전기 광학 장치의 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 한다. 전자기기로서는, 특히, 휴대전화, 휴대형 정보단말, 전자시계 등의 휴대형 전자기기나, 텔레비전, 컴퓨터, 탁상시계 등의 민생용 전자기기 등을 들 수 있다.
다음에, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예에 대해서 상세히 설명한다. 또, 이하에 설명하는 각 실시예는 어디까지나 본 발명의 구성예를 나타내는 것에 불과한 것이며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 여러 가지 변경을 가할 수 있는 것은 물론이다.
(실시예 1)
도 12는 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 실시예 1의 액정 표시 장치(200)의 패널 구조를 나타내는 개략 사시도, 도 13은 동일 패널 구조를 모식적으로 나타내는 개략 종단면도, 도 1은 동 액정 표시 장치(200)의 도 13과 직교하는 단면을 보다 상세히 나타내는 확대 부분 종단면도이다.
도 12에 나타내는 바와 같이, 액정 표시 장치(200)는, 유리판이나 합성 수지판 등으로 이루어지는 투명한 제 1 기판(211)을 기체(基體)로 하는 전기 광학 장치용 기판(210)과, 이것에 대향하는 마찬가지의 제 2 기판(221)을 기체로 하는 대향 기판(220)이 밀봉재(230)를 거쳐 접합되고, 밀봉재(230)의 내측에 주입구(230a)로부터 액정(232)이 주입된 후, 봉지재(封止材)(231)에 의해 봉지되어 셀 구조가 구성된다.
전기 광학 장치용 기판(210)에 있어서는, 제 1 기판(211)의 내면(제 2 기판(221)에 대향하는 표면) 상에 복수 병렬한 스트라이프 형상의 투명 전극(216)이 스퍼터링법 등에 의해 형성되고, 대향 기판(220)에 있어서는 제 2 기판(221)의 내면 상에 복수 병렬한 스트라이프 형상의 투명 전극(222)이 마찬가지 방법으로 형성되어 있다. 또한, 상기 투명 전극(216)은 배선(218A)에 도전 접속되고, 상기 투명 전극(222)은 배선(228)에 도전 접속되어 있다. 투명 전극(216)과 투명 전극(222)은 서로 직교하고, 그 교차 영역은 매트릭스 형상으로 배열된 다수의 화소를 구성하며, 이들의 화소 배열이 액정 표시 영역 A를 구성하고 있다.
제 1 기판(211)은 제 2 기판(221)의 외형보다도 외측으로 돌출하여 이루어지는 기판 돌출부(210T)를 갖고, 이 기판 돌출부(210T) 상에는, 상기 배선(218A), 상기 배선(228)에 대하여 밀봉재(230)의 일부로 구성되는 상하 도통부를 거쳐 도전 접속된 배선(218B) 및 독립하여 형성된 복수의 배선 패턴으로 이루어지는 입력 단자부(219)가 형성되어 있다. 또한, 기판 돌출부(210T) 상에는, 이들 배선(218A, 218B) 및 입력 단자부(219)에 대하여 도전 접속되도록, 액정 구동 회로 등을 내장한 반도체 IC(261)가 실장된다. 또한, 기판 돌출부(210T)의 단부에는, 상기 입력 단자부(219)에 도전 접속되도록, 가요성 배선 기판(263)이 설치된다.
이 액정 표시 장치(200)에 있어서, 도 13 및 도 1에 나타내는 바와 같이, 제 1 기판(211)의 외면에는 위상차판(1/4 파장판)(240) 및 편광판(241)이 배치되고, 제 2 기판(221)의 외면에는 위상차판(1/4 파장판)(250) 및 편광판(251)이 배치된다.
도 13 및 도 1에 나타내는 바와 같이, 전기 광학 장치용 기판(210)에 있어서는, 제 1 기판(211)의 표면에 투명한 하지층(212)이 형성된다. 화소 영역에는, 상기 하지층(212)이 형성되어 있지 않은 하지 개구부(212a)가 마련되어 있다. 또한, 이 하지층(212) 상에 반사막(213)이 형성되어 있다. 여기서, 상기 화소 영역마다 반사막(213)이 형성되어 있지 않은 투과 개구부(213a)가 마련된다. 이 투과 개구부(213a)는, 상기 하지 개구부(212a)와 평면적으로 겹치는 영역에 형성되어 있다.
반사막(213) 상에는 착색층(214)이 형성되고, 그 위에, 투명 수지 등으로 이루어지는 표면 보호층(오버코팅층)(215)이 더 형성된다. 이 착색층(214)과 표면 보호층(215)에 의해 컬러 필터가 구성된다. 이 표면 보호층(215)은, 컬러 필터의 표면을 평탄화하고, 또한, 착색층(214)으로부터 유기 물질이 액정에 침입하여 액정을 열화시키는 것을 방지하기 위해서 마련된다.
착색층(214)은, 보통, 투명 수지 중에 안료나 염료 등의 착색재를 분산시켜 소정의 색조를 나타내는 것으로 된다. 착색층의 색조의 일례로서는 원색계 필터로서 R(빨강), G(초록), B(파랑)의 3색의 조합으로 이루어지는 것이 있지만, 이것에 한정되는 것이 아니라, 보색계 그 밖의 여러 가지의 색조로 형성할 수 있다. 보통, 기판 표면 상에 안료나 염료 등의 착색재를 포함하는 감광성 수지로 이루어지는 착색 레지스트를 도포하고, 포토리소그래피법에 의해 불필요 부분을 제거함으로 써, 소정의 컬러 패턴을 갖는 착색층을 형성할 수 있다.
여기서, 복수의 색조의 착색층을 형성하는 경우에는 상기 공정이 반복된다.
또, 착색층의 배열 패턴으로서, 본 실시예에서는 스트라이프 배열을 채용하고 있지만, 이 스트라이프 배열 이외에, 델타 배열이나 경사진 모자이크 배열 등의 여러 가지의 패턴 형상을 채용할 수 있다. 또한, 상기 RGB의 각 착색층의 주위에는, 착색층의 일부로서, 화소간 영역의 차광을 하기 위한 차광막(214) BM(블랙 매트릭스 또는 블랙 마스크)을 형성할 수 있다.
표면 보호층(215) 상에는, ITO(인듐 주석 산화물) 등의 투명 도전체로 이루어지는 투명 전극(216)이 스퍼터링법 등으로 형성된다. 투명 전극(216)은 도 13의 지면과 직교하는 방향(도 1의 지면과 평행한 방향)으로 연장되는 띠 형상으로 형성되고, 복수의 투명 전극(216)이 서로 병렬하여 스트라이프 형상으로 구성되어 있다. 투명 전극(216) 상에는 폴리이미드 수지 등으로 이루어지는 배향막(217)이 형성된다.
한편, 상기 액정 표시 장치(200)에 있어서, 상기 전기 광학 장치용 기판(210)과 대향하는 대향 기판(220)에는, 유리 등으로 이루어지는 제 2 기판(221) 상에, 상기와 마찬가지의 투명 전극(222)이 형성되고, 그 위에, SiO2나 TiO2 등으로 이루어지는 경질 보호막(223)이 형성된다. 또한 그 위에는 상기와 마찬가지의 배향막(224)이 적층된다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 액정 표시 장치(200)에는 백라이트(270)가 사용 된다. 이 백라이트(270)는, 도시하지 않는 광원(예컨대, 발광 다이오드 등)과, 이 광원으로부터 발생하는 광을 도입하여 내부에 전파시켜 한쪽 표면으로부터 출사하는 도광판(272)과, 도광판(272)의 배후에 배치되는 반사 시트(273)를 갖는다. 또한, 백라이트(270)와 상기 패널 구조 사이에는 확산판(281)이 배치된다.
또, 본 실시예에서는, 전기 광학 장치용 기판(210) 내에 컬러 필터를 구성하고 있지만, 컬러 필터를 대향 기판(220)에 형성하더라도 상관없다. 또한, 컬러 필터를 구성하는 각 착색층(214)은, 각 화소 영역에서 투과 개구부(213a) 상에 있는 부분과, 반사막(213) 상에 있는 부분이 따로따로 구성되어 있더라도 좋고, 또한, 착색층(214)이 반사막(213) 상의 일부에 형성되어 있지 않더라도 좋다.
도 2는 상기 전기 광학 장치용 기판(210)의 반사막(213)의 평면도이다. 여기서, 착색층(214)은 일점 쇄선으로 나타내고, 또한, 하지층(212)은 반사층(213)으로부터 일부 밀려나온 형태로 나타내고 있다. 본 실시예에서는, 하지층(212)과 반사막(213)은 거의 같은 평면 형상으로 구성되어 서로 거의 일치한 형태로 적층되어 있다. 또한, 상기 컬러 필터의 착색층(214R, 214G, 214B)에 의해 각각 하나의 화소 영역 D가 구성되어 있고, 도시예에서는, 3색의 착색층(214R, 214G, 214B)이 배치된 화소 영역 D가 인접하여 하나의 픽셀 P를 구성하고 있다.
화소 영역 D에서는, 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)가 화소 영역 D를 횡단하도록 구성되고, 인접하는 화소 영역 D 사이에서 서로 연속하도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)는, 화소 영역 D의 단변 방향(도면의 좌우 방향)으로 배열되는 복수의 화소 영역 D에 걸쳐 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있다. 또한, 하지층(212) 및 반사막(213)의 개구 가장자리부는 직선 형상으로 구성되어 있다. 이에 따라, 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)는 긴쪽 방향과 같은 폭을 갖는 띠 형상으로 형성되어 있다.
도 3은 본 실시예의 하나의 픽셀 P 내의 구조를 확대하여 나타내는 확대 부분 평면도이다. 하지 개구부(212a)는 복수의 화소 영역 D에 걸쳐 연속하도록 구성되어 있기 때문에, 화소 영역 D 사이(즉 화소 영역 DR과 DG, DG와 DB , DB와 DR)에는, 종래 존재한 개구부에 끼워진 브릿지 형상 부분이 형성되어 있지 않다. 여기서, 본 발명에 있어서 투과 개구부(213a)는 인접하는 화소 영역 D 사이에서 연속하고 있어도, 연속하고 있지 않아도 좋지만, 본 실시예에서는, 투과 개구부(213a)는 하지 개구부(212a)와 평면적으로 거의 일치한 형상을 갖도록 구성되어 있다.
(제조 방법)
다음에, 도 10 및 도 11을 참조하여, 상기 액정 표시 장치의 전기 광학 장치용 기판(210)의 제조 방법에 대해서 설명한다.
처음에, 도 10(a)에 나타내는 바와 같이, 유리나 플라스틱 등으로 구성되는 기판(211)의 표면에, 스핀코팅법이나 롤 코팅법 등에 의해 감광성 수지(212A)를 도포한다. 본 실시예에 있어서는, 감광성 수지(212A)는 광용해형 등의 포지티브형 감광성 수지이며, 예컨대, 아크릴계 수지인 것이 바람직하다. 다만, 광경화형 등의 네거티브형 감광성 수지를 써도 상관없다.
다음에, 도 10(b)에 나타내는 바와 같이, 상기 감광성 수지(212A)는 마스크(102)를 이용하여 노광된다. 여기서, 마스크(102)는, 유리 등의 투명 기판(102A)의 표면에 Cr 등의 박막 등으로 구성되는 차광층(102B)을 형성한 것이다. 이 마스크(102)에 있어서, 차광층(102B)에 덮여 있지 않은 부분은 광투과부(102x)로 되고, 차광층(102B)에 덮인 부분은 광차폐부(102y)로 된다. 광투과부(102x)를 투과한 광은 감광성 수지(212A)에 조사된다. 이 때, 마스크(102)와 감광성 수지(212A) 사이에 30∼250㎛ 정도의 노광갭 G를 설정하는 프록시미티 노광(proximity exposure)을 실시하는 것에 의해, 마스크(102)의 패턴을 통과한 광이 적절히 회절하여, 감광성 수지(212A)에 대한 노광 강도를 평면적으로 매끄럽게 증감하는 형태로 할 수 있다. 또, 이 노광 공정은, 스테퍼 노광기를 이용한 스테퍼 노광으로도 행할 수 있다.
다음에, 상기 감광성 수지(212A)를 소정의 현상액에 의해 현상하는 것에 의해, 도 10(c)에 나타내는 바와 같이, 상기 마스크(102)의 광투과부(102x)에 대응하는 영역과, 광차폐부(102y)에 대응하는 영역 사이에 요철 형상의 단차가 형성된다. 그리고, 현상 공정에서는, 그 노광 강도 분포에 따른 양의 수지가 감광성 수지(212A)의 표면으로부터 제거된다. 이에 따라, 도시한 바와 같이 비교적 매끄러운 표면 요철 형상(212s)을 갖는 하지층(212)이 얻어진다.
다음에, 상기한 바와 같이 구성된 하지층(212)의 표면 상에 알루미늄, 은, 은 합금(APC 합금 등), 크롬 등의 금속의 박막을 형성하여, 반사막(213)으로 한다. 반사막(213)은, 그 하지면으로 되는 하지층(212)의 표면에 표면 요철 형상(212s)이 형성되어 있는 것에 의해, 그 표면 요철 형상(212s)을 반영한 요철 형상을 갖는 광 산란성의 반사면(213s)을 구비한 것으로 이루어진다.
다음에, 도 11(a)에 나타내는 바와 같이, 반사막(213)의 표면 상에, 보통의 포토리소그래피법에 의해 레지스트 등으로 구성되는 마스크(213A)를 형성한다. 마스크(213A)는, 반사막(213)이 불필요한 영역에 개구(213Ax)가 마련된 것이다. 그리고, 이 마스크(213A)를 이동하여 에칭을 행하는 것에 의해, 도 11(b)에 나타내는 바와 같이, 투과 개구부(213a)를 구비한 반사막(213)을 형성한다. 그리고, 마스크(213A)를 이용하여, 또는, 반사막(213)을 마스크로 하여, 하지층(212)의 일부를 노광하고, 현상함으로써 제거하여, 도 11(c)에 나타내는 바와 같이, 하지 개구부(212a)를 더 형성한다. 이와 같이 하면, 하지층(212)에 하지 개구부(212a)가 형성되어 있는 것에 의해, 반사막(213)의 투과 개구부(213a)를 통과하는 투과광이 하지층(212)을 통과하지 않기 때문에, 하지층(212)의 약간의 착색이나, 하지층(212)의 표면 요철 형상(212s)에 의한 산란 작용 또는 굴절 작용에 의한 투과광으로의 영향을 회피할 수 있다. 그 후, 컬러 필터나 투명 전극 등을 형성함으로써, 상술한 전기 광학 장치용 기판(210)을 형성할 수 있다.
또, 상기 공정 대신에, 도 11(d)에 나타내는 바와 같이, 반사막(213)을 형성하기 전에 하지층(212)에 하지 개구부(212a)를 형성하더라도 좋다. 즉, 도 10(b)에 나타내는 노광 공정에서, 하지 개구부(212a)로 되는 영역을 강하게 노광함으로써, 현상시에 있어서 표면 요철 형상(212s)과 함께 하지 개구부(212a)를 형성한다. 그리고, 그 후에, 도 11(e)에 나타내는 바와 같이 반사층(213)의 성막을 행하고, 또한 에칭 등에 의해 투과 개구부(213a)를 형성하는 것에 의해, 상기와 마찬가지로 전기 광학 장치용 기판(210)을 완성할 수 있다.
본 실시예에서는, 하지층(212)에 하지 개구부(212a)를 형성하는 현상시에 있어서, 종래 문제로 되고 있었던 하지층(212)이 제 1 기판(211) 상에서 박리되는 것을 방지할 수 있다. 이것은, 도 3에 나타내는 바와 같이, 인접하는 화소 영역 D 사이에서 하지 개구부(212a)가 연속하고 있는 것에 의해, 종래와 같이 개구부 사이에 브릿지 형상의 수지 부분이 형성되는 일이 없게 되었기 때문이다. 즉, 현상액에 의해 용해하는 부분의 폭이 작게 되면, 현상액이 하지층(212)과 제 1 기판(211) 사이에 들어가는 것에 의해 당해 부분의 제 1 기판(211)에의 밀착력이 없어지기 쉬워져, 박리가 발생하기 쉬워진다. 이 박리가 발생하면, 당해 부분이 제 1 기판(211)에 재부착되더라도, 하지층(212)은 물론, 반사막(213) 등의 상층에도 형상불량이 발생한다. 이와 같이, 본 실시예에서는, 하지층(212)에 좁은 폭을 갖는 브릿지 형상 부분이 형성되지 않기 때문에, 하지층(212)의 박리도 발생하기 어려워지고, 따라서 제품의 불량율도 저감할 수 있기 때문에, 저 비용으로 높은 신뢰성을 갖는 전기 광학 장치를 구성할 수 있다.
본 실시예에서는, 직사각형 형상으로 구성된 화소 영역 D의 긴쪽 방향(장변 방향)과 직교하는 단변 방향으로 하지 개구부(212a)가 연속하여 슬릿 형상으로 구성되어 있기 때문에, 하지 개구부(212a)의 형상이 간이한 것으로 되므로, 하지층(212)의 박리를 보다 저감할 수 있다. 특히, 하지층(212)에 있어서의 하지 개구부(212a)의 개구 가장자리 부분이 직선 형상으로 구성되어 있기 때문에, 하지 개구부(212a)의 윤곽선을 짧게 구성할 수 있으므로, 하지층(212)의 박리의 발생 확률이 더 저감된다.
또, 각 화소 영역 D에서의 개구율(투과 개구부의 면적비)은, 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)의 폭(도면의 상하폭)을 조절함으로써 적당히 설정할 수 있다.
(실시예 2)
다음에, 도 4를 참조하여, 본 발명에 따른 실시예 2에 대해서 설명한다. 본 실시예에 있어서, 도시하는 하지층(212), 하지 개구부(212a), 반사막(213), 투과 개구부(213a)의 평면 형상 이외는 상기 실시예 1과 완전히 같기 때문에, 이것들의 설명은 생략한다.
본 실시예에서는, 하지층(212) 및 반사막(213)이 화소 영역 D의 한쪽의 가장자리(도면의 아래쪽 가장자리)로부터 떨어져 형성되고, 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)가 화소 영역 D의 상기 한쪽의 가장자리를 따라 형성되어 있다. 이에 따라, 하지층(212) 및 반사막(213)을 화소 영역 D의 한 열에 하나 형성하는 것만으로 충분하기 때문에, 이것들의 형성 패턴을 간이한 것으로 할 수 있다.
또, 하지 개구부(212a)가 인접하는 화소 영역 D 사이에서 연속하고 있는 것과, 화소 영역 D의 단변 방향으로 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있는 것과, 하지층(212)의 하지 개구부(212a)의 개구 가장자리 부분이 직선 형상으로 구성되어 있는 것은 상기 실시예 1과 마찬가지다.
(실시예 3)
다음에, 도 5를 참조하여, 본 발명에 따른 실시예 3에 대해서 설명한다. 본 실시예에 있어서, 도시된 하지층(212), 하지 개구부(212a), 반사막(213), 투과 개구부(213a)의 평면 형상 이외는 상기 실시예 1과 완전히 같기 때문에, 이것들의 설명은 생략한다.
본 실시예에서는, 하지층(212) 및 반사막(213)이 화소 영역 D의 서로 대향하는 한 쌍의 가장자리(도면의 상하의 가장자리)로부터 떨어져 형성되고, 한 쌍의 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)가 화소 영역 D의 상기 한 쌍의 가장자리를 따라 형성되어 있다. 이에 의해서도, 하지층(212) 및 반사막(213)을 화소 영역 D의 한 열에 하나 형성하는 것만으로 충분하기 때문에, 이것들의 형성 패턴을 간이한 것으로 할 수 있다.
또, 하지 개구부(212a)가 인접하는 화소 영역 D 사이에서 연속하고 있는 것과, 화소 영역 D의 단변 방향으로 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있는 것과, 하지층(212)의 하지 개구부(212a)의 개구 가장자리 부분이 직선 형상으로 구성되어 있는 것은 상기 실시예 1과 마찬가지다.
(실시예 4)
다음에, 도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 실시예 4에 대해서 설명한다. 본 실시예에 있어서, 도시하는 하지층(212), 하지 개구부(212a), 반사막(213), 투과 개구부(213a)의 평면 형상 이외는 상기 실시예 1과 완전히 같기 때문에, 이것들의 설명은 생략한다.
본 실시예에서는, 실시예 3과 마찬가지로, 하지층(212) 및 반사막(213)이 화소 영역 D의 서로 대응하는 한 쌍의 가장자리(도면의 상하의 가장자리)로부터 떨어져 형성되고, 한 쌍의 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)가 화소 영역 D의 상기 한 쌍의 가장자리를 따라 형성되어 있다.
단, 본 실시예의 경우에는, 화소 영역 DR, DG, DB에서 투과 개구부(213a)의 개구율이 서로 다른 결과, 투과 개구부(213a)의 개구 가장자리가 화소 영역 사이에서 화소 영역의 긴쪽 방향(도면의 상하 방향)에 어긋나도록 구성되어 있기 때문에, 하지 개구부(212a)의 개구 가장자리도 화소 영역 사이에서 단차 형상으로 어긋나도록 구성되어 있다. 이것은, 컬러 필터를 구성했을 때에 다른 색상을 갖는 착색층의 필터 소재를 바꾸지 않고, 표시색의 최적화 또는 투과형 표시와 반사형 표시의 균형을 최적화하기 위해서는, 화소 영역 사이에서 투과 개구부(213a)의 개구율을 변경해야 하기 때문이다.
또, 본 실시예에서는, 투과 개구부(213a)의 개구율을 변경하기 위해서, 인접하는 화소 영역 사이에서 하지 개구부(212a)의 개구 가장자리가 단차 형상으로 어긋나도록 구성하고 있지만, 개구 가장자리를 곡선 형상으로 구성하는 것에 의해, 인접하는 화소 영역 사이에서 개구 가장자리가 부드럽게 연결되도록 구성할 수 있다.
(실시예 5)
다음에, 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 실시예 5에 대해서 설명한다. 본 실시예에 있어서, 도시하는 하지층(212), 하지 개구부(212a), 반사막(213), 투과 개구부(213a)의 평면 형상 이외는 상기 실시예 1과 완전히 같기 때문에, 이것들의 설명은 생략한다.
본 실시예에서는, 도면의 좌우 방향(화소 영역의 단변 방향)으로 인접하는 화소 영역 DR과 DG, DB와 DR과 연속하는 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)가 형성되어 있다. 이 때 하지 개구부(212a)는 2개의 화소 영역에만 걸치도록 구성되어 있다. 이와 같이, 3개 이상의 화소 영역에 걸쳐 하지 개구부(212a)가 연속하지 않아도, 인접하는 화소 영역 사이에 종래와 같은 좁은 폭의 브릿지 형상의 하지층 부분이 남지 않기 때문에, 상기와 마찬가지로 하지층(212)의 박리를 방지할 수 있다. 단, 이 경우에, 인접하는 하지 개구부(212a)의 거리가 되도록이면 커지도록 개구 패턴을 구성하는 것이 바람직하다.
(실시예 6)
다음에, 도 8을 참조하여, 본 발명에 따른 실시예 6에 대해서 설명한다. 본 실시예에 있어서, 도시하는 하지층(212), 하지 개구부(212a), 반사막(213), 투과 개구부(213a)의 평면 형상 이외는 상기 실시예 1과 완전히 같기 때문에, 이것들의 설명은 생략한다.
본 실시예에서는, 도면의 좌우 방향(화소 영역의 단변 방향)으로 인접하는 2개의 화소 영역 사이에만 걸치는 하나의 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)가 마련되어 있는 점에서는 실시예 5와 마찬가지지만, 각 화소 영역에는 다른 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)가 마련되어 있는 점에서 다르다. 또한, 당해 다른 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)는, 상기 하나의 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)가 연속하는 화소 영역과는 별도의 화소 영역에 연속하도록 구성되어 있다.
(실시예 7)
다음에, 도 9를 참조하여, 본 발명에 따른 실시예 2에 대해서 설명한다. 본 실시예에 있어서, 도시하는 하지층(212), 하지 개구부(212a), 반사막(213), 투과 개구부(213a)의 평면 형상 이외는 상기 실시예 1과 완전히 같기 때문에, 이것들의 설명은 생략한다.
본 실시예는, 하지층(212), 반사막(213), 하지 개구부(212a) 및 투과 개구부(213a)의 각각의 패턴 형상에 대해서는 기본적으로 실시예 1과 마찬가지다. 단, 본 실시예에서는, 하지층(212)에 있어서의 하지 개구부(212a)의 개구 가장자리 부분(212b)에는, 다른 부분에는 형성되어 있는 표면 요철 형상이 형성되어 있지 않고, 개구 가장자리 부분(212b)이 거의 평탄한 표면을 갖는 점에서 실시예 1과 다르다. 따라서, 그 위에 형성되어 있는 반사막(213)에 대해서도, 그 투과 개구부(213a)의 개구 가장자리 부분(213b)의 반사면은 광 산란성이 아니라, 거의 경면 상 태로 되어 있다.
이와 같이 하면, 하지층(212)의 패터닝시(예컨대 상술한 제조 방법이면 현상시)에 있어서 개구 가장자리 부분(212b)에의 패터닝 작용이 작게 되기 때문에, 현상액 등의 처리액이 하지층(212)과 제 1 기판(211) 사이에 스며들기 어려워지는 등의 이유에 의해, 개구 가장자리 부분(212b)의 밀착성의 저하나 강도의 열화 등도 방지되기 때문에, 하지층(212)이 박리하기가 더 어려워진다.
또한, 도 9(c)에 나타내는 바와 같이, 하지 개구부(212a)를 형성한 후에 반사막(213)을 성막함으로써(예컨대, 도 11(d) 및 (e)에 나타내는 공정을 하는 것에 의해), 하지층(212)의 하지 개구부(212a)에 면하는 측면(212c)을 반사막(213)의 일부(213c)가 피복하도록 구성할 수 있다. 이와 같이 하면, 각종 처리액 등이 제 1 기판(211)과 하지층(212) 사이, 또는, 하지층(212)과 반사막(213) 사이에 들어가기 어려워지는 것에 의해, 하지층(212)의 제 1 기판(211)에 대한 밀착력, 또는, 반사막(213)의 하지층(212)에 대한 밀착력이 저하하기 어려워지기 때문에, 반사막(213)의 형성 후의 공정에서의 하지층(212)이나 반사막(213)의 박리를 방지할 수 있다.
또, 본 실시예에 기술된 구성은, 먼저 설명한 실시예 2 내지 실시예 6에도 마찬가지로 적용할 수 있다.
(실시예 8: 전기 광학 장치)
다음에, 상기와는 다른 구조를 갖는 별도의 전기 광학 장치의 구조에 대해서 도 14 및 도 15를 참조하여 설명한다. 본 실시예의 전기 광학 장치는, 전기 광학 장치용 기판(310)을 구비한 액티브 매트릭스형의 액정 표시 장치(300)이다. 이 액정 표시 장치(300)는, 전기 광학 장치용 기판(310)과, 이것에 대향하는 대향 기판(320)이 밀봉재(330)에 의해 접합되고, 양 기판의 사이에 액정(332)이 봉입되어 되는 것이다. 본 실시예에서는, 컬러 필터는 전기 광학 장치용 기판(310) 상이 아니라, 대향 기판(320) 상에 형성되어 있는 점에서도 상기 실시예 1과는 다르다.
전기 광학 장치용 기판(310)에 있어서, 기판(311)의 내면 상에는, 도 14에 나타내는 바와 같이, 상술한 하지층과 마찬가지로 표면 요철 형상을 구비한 하지층(312) 및 그 위에 반사막을 겸하는 화소 전극(315)이 형성되고, 그 위에 배향막(316)이 형성되어 있다. 또한, 전기 광학 장치용 기판(310)의 내면 상에는, 도 15에 점선으로 나타내는 주사선(313)과, 도 14 및 도 15에 단면을 나타내는 데이터선(314)이 서로 교차(직교)하는 방향으로 연장되는 형태로 각각 복수 형성되어 있다.
화소 전극(315)의 하층에는, 도 15에 나타내는 바와 같이 TFT(박막 트랜지스터)(310T)가 구성되어 있다. 이 TFT(310T)에서는, 채널 영역(310c), 소스 영역(310s) 및 드레인 영역(310d)을 구비한 반도체층이 형성되고, 채널 영역(310c)은 절연막을 거쳐 상기 주사선(313)에 도전 접속된 게이트 전극(310g)에 대향 배치되고, 소스 영역(310s)은 상기 데이터선(314)에 도전 접속되며, 드레인 영역(310d)은 상기 화소 전극(315)에 도전 접속되어 있다. 또, TFT(310T)는, 역 스태거 구조(reverse stagger structure)를 갖는 도시의 구성에 한정되는 일없이, 게이트 전극이 채널층 상에 배치된 구조를 구비하고 있더라도 좋고, 또한, 공지의 LDD(Light Doped Drain) 구조를 채용한 것이더라도 좋다.
도 14에 나타내는 바와 같이, 대향 기판(320)에 있어서는, 기판(321)의 내면 상에 ITO 등의 투명 도전체로 구성된 대향 전극(322)이 형성되고, 그 위에, 적당한 착색층(323)을 소정의 배열 형태로 되도록 형성한 실시예 1과 같은 컬러 필터가 구성되고, 그 위에는 배향막(324)이 더 형성되어 있다.
도 15에 나타내는 바와 같이, 각 화소 영역에는, 화소 전극(315)이 형성되어 있지 않은 화소간 영역이 마련되고, 이 화소간 영역에는 하지층(312)도 형성되어 있지 않다. 또한, 화소 영역에는 하지 개구부(312a)가 마련되고, 이 하지 개구부(312a)는 도면의 지면과 직교하는 방향으로 연장하는 슬릿 형상으로 구성되어 있다. 본 실시예의 경우, 인접하는 화소 영역 사이에서 하지층(312)이 형성되어 있지 않은 하지 개구부(312a)가 연속하도록 구성되어 있다. 즉, 도면의 지면과 직교하는 방향으로 인접하는 화소 영역 사이에서 하지 개구부(312a)가 연속하도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 하지 개구부(312a)는 도 15(a)의 지면과 직교하는 방향(도 15(b)의 상하 방향)으로 화소 전극(315)을 횡단하도록 구성되어 있다. 또한, 하지 개구부(312a)와 평면적으로 겹치는 위치에는, 반사막(315)이 형성되어 있지 않은 투과 개구부(315a)가 형성되어 있다. 따라서, 본 실시예에 있어서도, 상기 각 실시예와 마찬가지로 하지층(312)의 박리를 방지할 수 있다. 단, 투과 개구부(315a)는 화소 전극(315)을 완전히 횡단하지 않고, 화소 전극(315)은 화소 연락부(315b)에 의해 일체로 접속된 상태로 되어 있다.
이와 같이 구성된 액정 표시 장치(300)에 있어서는, 주사선(313)에 의해 선택된 화소에 있어서 데이터선(314)에 의해 공급된 전위가 화소 전극(315)에 공급되 고, 이 화소 전극(315)과, 대향 전극(322) 사이에 형성되는 전계에 따라 액정(332)의 배향 상태가 변화되어, 소망의 화상이 형성된다.
단, 액티브 매트릭스형의 액정 표시 장치로서는, 상기한 바와 같이 TFT를 스위칭 소자로서 이용하는 것에 한정되지 않고, TFD(박막 다이오드)를 스위칭 소자로서 이용하는 것에도 본 발명을 마찬가지로 적용할 수 있다.
또, 본 발명의 상기 전기 광학 장치는, 도시예와 같은 액정 표시 장치뿐만 아니라, 전계 발광 장치, 유기 전계 발광 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 전기 영동 디스플레이 장치, 전자 방출 소자를 이용한 장치(Field Emission Display 및 Surface-Conduction Electron-Emitter Display 등) 등의 각종의 전기 광학 장치에 있어서도 본 발명을 마찬가지로 적용하는 것이 가능하다.
(실시예 9 : 전자기기)
마지막으로, 도 16 및 도 17을 참조하여, 본 발명에 따른 전자기기의 실시예에 대해서 설명한다. 본 실시예에서는, 상기 전기 광학 장치(액정 표시 장치(200))를 표시 수단으로서 구비한 전자기기에 대해서 설명한다. 도 16은 본 실시예의 전자기기에 있어서의 액정 표시 장치(200)에 대한 제어계(표시 제어계)의 전체 구성을 나타내는 개략 구성도이다. 여기에 나타내는 전자기기는, 표시 정보 출력원(291)과, 표시 정보 처리 회로(292)와, 전원 회로(293)와, 타이밍 생성기(294)와, 광원 제어 회로(295)를 포함하는 표시 제어 회로(290)를 갖는다. 또한, 상기와 같은 액정 표시 장치(200)에는, 상술한 구성을 갖는 액정 패널(220P)을 구동하 는 구동 회로(220D)가 마련되어 있다. 이 구동 회로(220D)는, 상기한 바와 같이 액정 패널(220P)에 직접 실장되어 있는 전자부품(반도체 IC(261))으로 구성된다. 단, 구동 회로(220D)는, 상기와 같은 형태 이외에, 패널 표면 상에 형성된 회로 패턴, 또는, 액정 패널에 도전 접속된 회로 기판에 실장된 반도체 IC칩 또는 회로 패턴 등에 의해서도 구성할 수 있다.
표시 정보 출력원(291)은, ROM(Read Only Memory)이나 RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 메모리와, 자기 기록 디스크나 광 기록 디스크 등으로 이루어지는 저장 유닛과, 디지털 화상 신호를 동조 출력하는 동조 회로를 구비하여, 타이밍 생성기(294)에 의해 생성된 각종의 클럭 신호에 근거해서, 소정 포맷의 화상 신호 등의 형태로 표시 정보를 표시 정보 처리 회로(292)에 공급하도록 구성되어 있다.
표시 정보 처리 회로(292)는 직렬-병렬 변환 회로, 증폭·반전 회로, 로테이션 회로, 감마 보정 회로, 클램프 회로 등의 주지의 각종 회로를 구비하고, 입력된 표시 정보의 처리를 실행하여, 그 화상 정보를 클럭 신호 CLK와 함께 구동 회로(220D)에 공급한다. 구동 회로(220D)는 주사선 구동 회로, 신호선 구동 회로 및 검사 회로를 포함한다. 또한, 전원 회로(293)는 상술한 각 구성 요소에 각각 소정의 전압을 공급한다.
광원 제어 회로(295)는, 외부로부터 도입되는 제어 신호에 근거하여, 전원 회로(293)로부터 공급되는 전력을 조명 장치(100)의 광원부(110)에 공급한다. 광원부(110)로부터 방출된 광은 도광판(120)에 입사하여 도광판(120)으로부터 액정 패널(220P)에 조사된다. 이 광원 제어 회로(295)는, 상기 제어 신호에 따라 광원부(110)의 각 광원의 점등/비점등을 제어한다. 또한, 각 광원의 휘도를 제어하는 것도 가능하다.
도 17은 본 발명에 따른 전자기기의 일 실시예인 휴대전화의 외관을 나타낸다. 이 전자기기(2000)는 조작부(2001)와, 표시부(2002)를 갖고, 표시부(2002)의 내부에 회로 기판(2100)이 배치되어 있다. 회로 기판(2100) 상에는 상기 액정 표시 장치(200)가 실장되어 있다. 그리고, 표시부(2002)의 표면에서 상기 액정 패널(220P)을 시인할 수 있도록 구성되어 있다.
본 발명의 전기 광학 장치용 기판 또는 전기 광학 장치에 의하면, 하지층의 패턴 형상을 변경하는 것에 의해 하지층이 박리되기 어려워지도록 구성하여, 이에 따라 반사막의 불량의 발생을 억제하여 제품의 제조 비율을 향상시킬 수 있다.

Claims (15)

  1. 기판 상에 상호 적층 배치된 반사막 및 하지층이 형성되고, 상기 반사막 및 상기 하지층을 포함하는 복수의 화소 영역이 배열되어 이루어지는 전기 광학 장치용 기판으로서,
    상기 화소 영역마다 상기 반사막이 형성되어 있지 않은 투과부가 마련되고,
    상기 투과부와 겹치는 위치에 상기 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부가 마련되고,
    인접하는 상기 화소 영역 사이에서 상기 하지 개구부가 상호 연속하고 있으며,
    복수의 상기 화소 영역의 배열 방향과 교차하는 방향에서, 인접하는 상기 화소 영역끼리에 있어서의 각각의 상기 하지 개구부의 가장자리가 서로 어긋나 있는
    것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 하지 개구부는 상기 배열 방향을 따라 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 화소 영역은 장방형 형상을 갖고, 상기 배열 방향은 상기 화소 영역의 긴쪽 방향과 교차하는 방향인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하지층은 표면에 요철 형상을 갖고, 상기 반사막은 상기 요철 형상을 반영한 광 산란성의 반사면을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 하지층에서의 상기 하지 개구부의 가장자리 부분의 표면에는 상기 요철 형상이 형성되어 있지 않은 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  6. 기판 상에 상호 적층 배치된 반사막 및 하지층이 형성되고, 상기 반사막 및 상기 하지층을 포함하는 복수의 화소 영역이 배열되어 이루어지는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법으로서,
    복수의 상기 화소 영역마다 상기 하지층을 형성하고, 또한, 인접하는 상기 화소 영역 사이에서 연속하도록 상기 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부를 형성하는 하지층 형성 공정과,
    복수의 상기 화소 영역에 상기 반사막을 형성하고, 또한 상기 하지 개구부와 겹치는 위치에 상기 반사막이 형성되어 있지 않은 투과부를 형성하는 반사막 형성 공정
    을 갖고,
    상기 하지층 형성 공정에서는, 복수의 상기 화소 영역의 배열 방향과 교차하는 방향에서, 인접하는 상기 화소 영역 끼리에 있어서의 각각의 상기 하지 개구부의 가장자리가 서로 어긋나도록, 상기 하지층을 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 하지층 형성 공정에서는, 감광성 수지를 소정의 마스크를 이용하여 노광하고, 현상함으로써 상기 하지층의 표면에 요철 형상을 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
  8. 전기 광학층과, 해당 전기 광학층과 겹치는 위치에 배치된 반사막과, 해당 반사막의 상기 전기 광학층은 반대쪽에 인접 배치된 하지층을 갖고, 상기 반사막 및 상기 하지층을 포함하는 복수의 화소 영역이 배열되어 이루어지는 전기 광학 장치로서,
    상기 화소 영역마다, 상기 반사막이 형성되어 있지 않은 개구부가 마련되고,
    상기 투과부와 겹치는 위치에, 상기 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부가 마련되고,
    인접하는 상기 화소 영역 사이에서 상기 하지 개구부가 상호 연속하고 있으며,
    복수의 상기 화소 영역의 배열 방향과 교차하는 방향에서, 인접하는 상기 화소 영역에서의 각각의 상기 하지 개구부의 가장자리가 서로 어긋나 있는
    것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 하지 개구부는 상기 배열 방향을 따라 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 화소 영역은 직사각형 형상을 갖고, 상기 배열 방향은 상기 화소 영역의 긴쪽 방향과 교차하는 방향인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  11. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하지층은 표면에 요철 형상을 갖고, 상기 반사막은 상기 요철 형상을 반영한 광 산란성의 반사면을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 하지층에서의 상기 하지 개구부의 가장자리 부분의 표면에는, 상기 요철 형상이 형성되어 있지 않은 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  13. 전기 광학층과, 그 전기 광학층과 겹치는 위치에 배치된 반사막과, 해당 반사막의 상기 전기 광학층과는 반대 쪽에 인접 배치된 하지층을 갖고, 상기 반사막 및 상기 하지층을 포함하는 복수의 화소 영역이 배열되어 이루어지는 전기 광학 장치의 제조 방법으로서,
    복수의 상기 화소 영역마다 상기 하지층을 형성하고, 또한, 인접하는 상기 화소 영역마다 연속하도록 상기 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부를 형성하며, 또한, 상기 하지층의 표면에 요철 형상을 형성하는 하지층 형성 공정과,
    상기 하지층의 표면 상에 상기 요철 형상을 반영한 광산란성의 반사면을 구비하는 상기 반사막을 형성하고, 또한, 상기 하지 개구부와 겹치는 위치에 상기 반사막이 형성되어 있지 않은 투과부를 형성하는 반사층 형성 공정
    을 갖고,
    상기 하지층 형성 공정에서는, 복수의 상기 화소 영역의 배열 방향과 교차하는 방향에서, 인접하는 상기 화소 영역끼리에 있어서의 각각의 상기 하지 개구부의 가장자리가 서로 어긋나도록, 상기 하지층을 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 하지층 형성 공정에서는, 감광성 수지를 소정의 마스크를 이용하여 노광하고, 현상함으로써 상기 요철 형상을 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
  15. 청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 기재된 전기 광학 장치와, 해당 전기 광학 장치의 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 전자기기.
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