KR20050022350A - 전기 광학 장치용 기판, 전기 광학 장치용 기판의 제조방법, 전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법 및전자기기 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 전기 광학 장치용 기판으로서,기판 상에 배치된 하지층과,상기 하지층 상에 적층 배치된 반사막과,상기 반사막 및 상기 하지층을 포함하는 영역에 형성된 복수의 화소 영역과,상기 화소 영역마다 마련되고, 상기 반사막이 형성되어 있지 않은 투과 개구부와,해당 투과 개구부와 평면적으로 겹치는 위치에 배치되고, 또한, 인접하는 상기 화소 영역 사이에 상기 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 하지 개구부는, 상기 화소 영역의 소정의 배열 방향을 따라 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 제 2 항에 있어서,각각의 상기 화소 영역은 직사각형 형상을 갖고, 그 긴쪽 방향을 소정 방향으로 맞추어 배열되고, 상기 슬릿 형상의 하지 개구부의 상기 소정의 배열 방향은 상기 화소 영역의 긴쪽 방향과 교차하는 방향인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 하지층은 표면 요철 형상을 갖고, 상기 반사막은 상기 표면 요철 형상을 반영한 광 산란성의 반사면을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 제 4 항에 있어서,상기 하지층에서의 상기 하지 개구부의 개구 가장자리 부분에는 상기 표면 요철 형상이 형성되어 있지 않은 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 기판 상에 서로 적층 배치된 반사막 및 하지층이 형성되어, 상기 반사막 및 상기 하지층을 포함하는 복수의 화소 영역이 배열되어 이루어지는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법으로서,상기 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부가 화소 영역마다 존재하고, 또한, 인접하는 상기 화소 영역 사이에 상기 하지 개구부가 연속하도록 상기 하지층을 형성하는 공정과,상기 반사막이 형성되어 있지 않은 투과 개구부가 상기 하지 개구부와 평면적으로 겹치는 위치에 존재하도록 상기 반사막을 형성하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 하지층을 형성하는 공정에서는, 감광성 수지를 소정의 마스크를 이용하여 노광하고, 현상함으로써 상기 표면 요철 형상을 갖는 상기 하지층을 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
- 전기 광학 장치로서,전기 광학층과,상기 전기 광학층에 대향하여 배치된 반사막과,상기 반사막의 상기 전기 광학층과는 반대측에 배치된 하지층과,상기 전기 광학층 및 상기 반사막을 포함하는 영역에 형성된 복수의 화소 영역과,상기 화소 영역마다 마련되고, 상기 반사막이 형성되어 있지 않은 투과 개구부와,해당 투과 개구부와 평면적으로 겹치는 위치에 배치되고, 또한, 인접하는 상기 화소 영역 사이에 상기 하지층이 형성되어 있지 않은 하지 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 하지 개구부는, 상기 화소 영역의 소정의 배열 방향을 따라 서로 연속하는 슬릿 형상으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
- 제 9 항에 있어서,각각의 상기 화소 영역은 직사각형 형상을 갖고, 그 긴쪽 방향을 소정 방향으로 맞추어 배열되고, 상기 슬릿 형상의 하지 개구부의 상기 소정의 배열 방향은 상기 화소 영역의 긴쪽 방향과 교차하는 방향인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 하지층은 표면 요철 형상을 갖고, 상기 반사막은 상기 표면 요철 형상을 반영한 광 산란성의 반사면을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 하지층에서의 상기 개구부의 개구 가장자리 부분에는, 상기 표면 요철 형상이 형성되어 있지 않은 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
- 전기 광학층과, 해당 전기 광학층에 대향하여 배치된 반사막과, 해당 반사막의 상기 전기 광학층과는 반대측에 인접 배치된 하지층을 갖고, 상기 전기 광학층 및 상기 반사막을 포함하는 복수의 화소 영역이 배열되어 이루어지는 전기 광학 장치의 제조 방법으로서,상기 화소 영역마다 존재하고, 또한, 인접하는 상기 화소 영역마다 연속하는 하지 개구를 갖는, 표면 요철 형상을 구비한 하지층을 형성하는 공정과,상기 하지 개구와 평면적으로 겹치는 위치에 투과 개구부를 갖고, 상기 하지층의 표면 상에 상기 표면 요철 형상을 반영한 광 산란성의 반사면을 구비하는 상기 반사막을 형성하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 하지층을 형성하는 공정에서는, 감광성 수지를 소정의 마스크를 이용하여 노광하고, 현상함으로써 상기 표면 요철 형상을 갖는 상기 하지층을 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
- 청구항 8 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 기재된 전기 광학 장치와, 해당 전기 광학 장치의 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 전자기기.
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