KR100609967B1 - 탄성표면파 장치 - Google Patents
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- 부(負)의 주파수 온도 특성을 갖는 압전기판과,상기 압전기판상에 구성된 적어도 1개의 탄성표면파 필터와,상기 압전기판상에 구성되고 있으며, 상기 탄성표면파 필터에 직렬로 접속된 적어도 1개의 1단자쌍 탄성표면파 공진자를 구비하며,상기 압전기판상에 있어서, 상기 탄성표면파 필터가 구성되어 있는 영역을 제외하고, 적어도 1개의 상기 1단자쌍 탄성표면파 공진자를 피복하도록 형성된 정(正)의 주파수 온도 특성을 갖는 적어도 1개의 산화 규소막을 구비하는 탄성표면파 장치로,상기 1단자쌍 탄성표면파 공진자의 반공진 주파수가, 상기 탄성표면파 필터의 통과대역 고역측의 감쇠역에 존재하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 장치.
- 부(負)의 주파수 온도 특성을 갖는 압전기판과,상기 압전기판상에 구성된 적어도 1개의 탄성표면파 필터와,상기 압전기판상에 구성되고 있으며, 상기 탄성표면파 필터에 병렬로 접속된 적어도 1개의 1단자쌍 탄성표면파 공진자를 구비하며,상기 압전기판상에 있어서, 상기 탄성표면파 필터가 구성되어 있는 영역을 제외하고, 적어도 1개의 상기 1단자쌍 탄성표면파 공진자를 피복하도록 형성된 정(正)의 주파수 온도 특성을 갖는 적어도 1개의 산화 규소막을 구비하는 탄성표면파 장치로,상기 1단자쌍 탄성표면파 공진자의 공진주파수가, 상기 탄성표면파 필터의 통과대역 저역측의 감쇠역에 존재하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 장치.
- 부(負)의 주파수 온도 특성을 갖는 압전기판과,상기 압전기판상에 구성된 적어도 1개의 탄성표면파 필터와,상기 압전기판상에 구성되고 있으며, 상기 탄성표면파 필터에 직렬 또는 병렬로 접속된 적어도 1개의 1단자쌍 탄성표면파 공진자를 구비하며,상기 압전기판상에 있어서, 상기 탄성표면파 필터가 구성되어 있는 영역을 제외하고, 적어도 1개의 상기 1단자쌍 탄성표면파 공진자를 피복하도록 형성된 정(正)의 주파수 온도 특성을 갖는 적어도 1개의 산화 규소막을 구비하는 탄성표면파 장치로,상기 1단자쌍 탄성표면파 공진자 중에서, 상기 탄성표면파 필터에 직렬로 접속되는 적어도 1개의 1단자쌍 탄성표면파 공진자의 반공진 주파수는 상기 탄성표면파 필터의 통과대역 고역측의 감쇠역에 존재하도록 구성되어 있으며, 상기 탄성표면파 필터에 병렬로 접속되는 적어도 1개의 1단자쌍 탄성표면파 공진자의 공진 주파수는 상기 탄성 표면파 필터의 통과대역 저역측의 감쇠역에 존재하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 장치.
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- 압전기판과,상기 압전기판상에 구성된 적어도 1개의 탄성표면파 필터와,상기 압전기판상에 구성되고 있으며, 상기 탄성표면파 필터에 직렬로 접속된 적어도 1개의 1단자쌍 탄성표면파 공진자를 구비하고,상기 압전기판상에 있어서 상기 적어도 1개의 1단자쌍 탄성표면파 공진자를 피복하도록 형성된 적어도 1개의 제 1 정의 주파수 온도 특성을 갖는 산화 규소막과,상기 압전기판상에 있어서, 상기 탄성표면파 필터를 피복하도록 형성된 제 2 정의 주파수 온도 특성을 갖는 산화 규소막을 구비하고,상기 제 2 정의 주파수 온도 특성을 갖는 산화 규소막의 두께가, 상기 제 1 정의 주파수 온도 특성을 갖는 산화 규소막의 두께보다도 얇게 되어 있는 탄성표면파 장치에 있어서,상기 1단자쌍 탄성표면파 공진자의 반공진 주파수가, 상기 탄성표면파 필터의 통과대역 고역측의 감쇠역에 존재하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 장치.
- 압전기판과,상기 압전기판상에 구성된 적어도 1개의 탄성표면파 필터와,상기 압전기판상에 구성되고 있으며, 상기 탄성표면파 필터에 병렬로 접속된 적어도 1개의 1단자쌍 탄성표면파 공진자를 구비하고,상기 압전기판상에 있어서 상기 적어도 1개의 1단자쌍 탄성표면파 공진자를 피복하도록 형성된 적어도 1개의 제 1 정의 주파수 온도 특성을 갖는 산화 규소막과,상기 압전기판상에 있어서, 상기 탄성표면파 필터를 피복하도록 형성된 제 2 정의 주파수 온도 특성을 갖는 산화 규소막을 구비하고,상기 제 2 정의 주파수 온도 특성을 갖는 산화 규소막의 두께가, 상기 제 1 정의 주파수 온도 특성을 갖는 산화 규소막의 두께보다도 얇게 되어 있는 탄성표면파 장치에 있어서,상기 탄성표면파 필터에 병렬로 접속된 상기 1단자쌍 탄성표면파 공진자의 공진주파수가, 상기 탄성표면파 필터의 통과대역 저역측의 감쇠역에 존재하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 장치.
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- 삭제
- 제 2, 3, 4, 6, 7, 또는 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 산화 규소막은 SiO2막인 것을 특징으로 하는 탄성표면파 장치.
- 제 2, 3, 4, 6, 7, 또는 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압전기판은 36°∼44° Y컷트 X전파 LiTaO3 기판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 장치.
- 제 2, 3, 4, 6, 7, 또는 8 항 중 어느 한 항에 기재된 탄성표면파 장치의 주파수 조정 방법으로,상기 정의 주파수 온도 특성을 갖는 산화 규소막이 형성되어 있는 상기 1단자쌍 탄성표면파 공진자 중에서, 적어도 1개의 1단자쌍 탄성표면파 공진자에 있어서, 상기 정의 주파수 온도 특성을 갖는 산화 규소막을 에칭함으로써 주파수조정을 행하는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 장치의 주파수조정방법.
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