JPH09153755A - 弾性表面波フィルタ素子 - Google Patents
弾性表面波フィルタ素子Info
- Publication number
- JPH09153755A JPH09153755A JP31094895A JP31094895A JPH09153755A JP H09153755 A JPH09153755 A JP H09153755A JP 31094895 A JP31094895 A JP 31094895A JP 31094895 A JP31094895 A JP 31094895A JP H09153755 A JPH09153755 A JP H09153755A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave filter
- filter element
- signal connection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 弾性表面波フィルタ素子に異物等の付着があ
った場合でも、電極等のショートの防止し、またその素
子の大きさを小さくすること。 【解決手段】 ＳＡＷ共振器５，６，７、信号接続線１
１，１２及び、入出力用電極８，９と接地用電極１０
は、例えば、Ａｌなどで形成されている。さらに、前記
したパターンの上層に入出力用電極８，９と接地用電極
１０の全部あるいは一部を除いたＳＡＷ素子全体あるい
は一部に、絶縁膜１３が形成されている。この絶縁膜１
３は、例えばＳｉＯ2 膜などである。
った場合でも、電極等のショートの防止し、またその素
子の大きさを小さくすること。 【解決手段】 ＳＡＷ共振器５，６，７、信号接続線１
１，１２及び、入出力用電極８，９と接地用電極１０
は、例えば、Ａｌなどで形成されている。さらに、前記
したパターンの上層に入出力用電極８，９と接地用電極
１０の全部あるいは一部を除いたＳＡＷ素子全体あるい
は一部に、絶縁膜１３が形成されている。この絶縁膜１
３は、例えばＳｉＯ2 膜などである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波フィル
タ素子に関するものである。
タ素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば、以下に示すようなものがあった。弾性表面波フ
ィルタ素子を弾性表面波共振器を用いて構成する場合に
は、図４に示すように、梯子型になるよう直列と並列に
弾性表面波共振器を配置して構成される。この時、構造
は圧電基板１上に、櫛形電極３と反射電極４，４′から
なる弾性表面波共振器５，６，７を、梯子型になるよう
に信号接続線１１、１２を介して配置する。
例えば、以下に示すようなものがあった。弾性表面波フ
ィルタ素子を弾性表面波共振器を用いて構成する場合に
は、図４に示すように、梯子型になるよう直列と並列に
弾性表面波共振器を配置して構成される。この時、構造
は圧電基板１上に、櫛形電極３と反射電極４，４′から
なる弾性表面波共振器５，６，７を、梯子型になるよう
に信号接続線１１、１２を介して配置する。
【０００３】さらに、信号の入出力部分及びグランドに
接地する部分には、それぞれワイヤボンディング等で接
続させるための電極パターン８，９，１０を設けてい
る。これらの電極パターン８，９，１０はＡｌ等の金属
膜で構成されている。
接地する部分には、それぞれワイヤボンディング等で接
続させるための電極パターン８，９，１０を設けてい
る。これらの電極パターン８，９，１０はＡｌ等の金属
膜で構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな膜構成であると、弾性表面波フィルタ素子の形成過
程において、その素子（チップ）に異物等の付着があっ
た場合、電極等のショートが起こり、所望のフィルタ特
性が得られない。また、チップの大きさは所望するフィ
ルタ特性を得るために設定された弾性表面波共振器の電
極の本数や、これらの組み合わせ数（段数）によって決
まるため、チップの大きさを小さくすることが困難であ
った。
うな膜構成であると、弾性表面波フィルタ素子の形成過
程において、その素子（チップ）に異物等の付着があっ
た場合、電極等のショートが起こり、所望のフィルタ特
性が得られない。また、チップの大きさは所望するフィ
ルタ特性を得るために設定された弾性表面波共振器の電
極の本数や、これらの組み合わせ数（段数）によって決
まるため、チップの大きさを小さくすることが困難であ
った。
【０００５】本発明は、上記問題点を除去し、弾性表面
波フィルタ素子に異物等の付着があった場合でも、電極
等のショートの防止及びチップの大きさを小さくするこ
とがことができる弾性表面波フィルタ素子を提供するこ
とを目的とする。
波フィルタ素子に異物等の付着があった場合でも、電極
等のショートの防止及びチップの大きさを小さくするこ
とがことができる弾性表面波フィルタ素子を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 （１）圧電基板上に弾性表面波共振器を複数個設け、こ
の弾性表面波共振器を梯子型に接続して通過帯域フィル
タを形成する弾性表面波フィルタ素子において、入出力
用電極及び接地用電極を除いて、弾性表面波共振器ある
いは信号接続線の表面全体に絶縁層を形成するようにし
たものである。
成するために、 （１）圧電基板上に弾性表面波共振器を複数個設け、こ
の弾性表面波共振器を梯子型に接続して通過帯域フィル
タを形成する弾性表面波フィルタ素子において、入出力
用電極及び接地用電極を除いて、弾性表面波共振器ある
いは信号接続線の表面全体に絶縁層を形成するようにし
たものである。
【０００７】したがって、異物等の付着によりＳＡＷ共
振器の櫛形電極がショートするようなことがなくなり、
所望の通過帯域特性を得ることができる。また、入出力
用電極と接地用電極とのショート等も防ぐことが可能で
あり、これにより、弾性表面波フィルタ素子の不良を防
ぐことができる。 （２）上記（１）記載の弾性表面波フィルタ素子におい
て、前記信号接続線の一部を、前記絶縁層上に配置する
上層信号接続線を具備するようにしたものである。
振器の櫛形電極がショートするようなことがなくなり、
所望の通過帯域特性を得ることができる。また、入出力
用電極と接地用電極とのショート等も防ぐことが可能で
あり、これにより、弾性表面波フィルタ素子の不良を防
ぐことができる。 （２）上記（１）記載の弾性表面波フィルタ素子におい
て、前記信号接続線の一部を、前記絶縁層上に配置する
上層信号接続線を具備するようにしたものである。
【０００８】したがって、弾性表面波フィルタ素子の面
積を小さくすることができる。
積を小さくすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の第１
実施例を示す弾性表面波フィルタ素子の構成図である。
この図に示すように、例えばＬｉＴａＯ3 などからなる
圧電基板１上に櫛形電極３と反射電極４、４′からなる
各弾性表面波共振器（ＳＡＷ共振器）５，６，７が複数
設けられている。
面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の第１
実施例を示す弾性表面波フィルタ素子の構成図である。
この図に示すように、例えばＬｉＴａＯ3 などからなる
圧電基板１上に櫛形電極３と反射電極４、４′からなる
各弾性表面波共振器（ＳＡＷ共振器）５，６，７が複数
設けられている。
【００１０】すなわち、同様の構成を有する第１のＳＡ
Ｗ共振器５と、第２のＳＡＷ共振器６、第３のＳＡＷ共
振器７を具備し、信号接続線１１により、第１のＳＡＷ
共振器５と第２のＳＡＷ共振器６は直列に接続され、信
号接続線１２により、第３のＳＡＷ共振器７が並列に接
続されている。すなわち、各ＳＡＷ共振器５，６，７は
信号接続線１１，１２を介して梯子型に接続されてい
る。
Ｗ共振器５と、第２のＳＡＷ共振器６、第３のＳＡＷ共
振器７を具備し、信号接続線１１により、第１のＳＡＷ
共振器５と第２のＳＡＷ共振器６は直列に接続され、信
号接続線１２により、第３のＳＡＷ共振器７が並列に接
続されている。すなわち、各ＳＡＷ共振器５，６，７は
信号接続線１１，１２を介して梯子型に接続されてい
る。
【００１１】また、素子の入出力用電極８，９が設けら
れており、グランドへ接地するため接地用電極１０が設
けられている。入出力用電極８，９と接地用電極１０
は、例えばワイヤボンディングなどを介して外部と接続
される。上記した、ＳＡＷ共振器５，６，７、信号接続
線１１，１２及び、入出力用電極８，９と接地用電極１
０は、例えば、Ａｌなどで形成されている。
れており、グランドへ接地するため接地用電極１０が設
けられている。入出力用電極８，９と接地用電極１０
は、例えばワイヤボンディングなどを介して外部と接続
される。上記した、ＳＡＷ共振器５，６，７、信号接続
線１１，１２及び、入出力用電極８，９と接地用電極１
０は、例えば、Ａｌなどで形成されている。
【００１２】さらに、前記したパターンの上層に入出力
用電極８，９と接地用電極１０の全部あるいは一部を除
いたＳＡＷ素子全体あるいは一部に、絶縁膜１３が形成
されている。この絶縁膜１３は、例えばＳｉＯ2 膜など
である。以下、本発明の第１実施例を示す弾性表面波フ
ィルタ素子の動作について説明する。
用電極８，９と接地用電極１０の全部あるいは一部を除
いたＳＡＷ素子全体あるいは一部に、絶縁膜１３が形成
されている。この絶縁膜１３は、例えばＳｉＯ2 膜など
である。以下、本発明の第１実施例を示す弾性表面波フ
ィルタ素子の動作について説明する。
【００１３】図１に示したＳＡＷ共振器を梯子型回路に
置き換えると、図２に示すようになる。すなわち、図１
に示した第１〜第３のＳＡＷ共振器５，６，７は、図２
において、それぞれ共振器２１，２２，２３で示されて
いる。ここで、直列腕共振器２１，２２の個々の周波数
特性は、図３（ａ）に示すようになる。また、並列腕共
振器２３の個々の周波数特性は、図３（ｂ）のようにな
る。この時、共振器２１，２２，２３の周波数特性は、
図１の第１〜第３のＳＡＷ共振器５，６，７における電
極の繰り返し間隔本数の長さによって設定できる。
置き換えると、図２に示すようになる。すなわち、図１
に示した第１〜第３のＳＡＷ共振器５，６，７は、図２
において、それぞれ共振器２１，２２，２３で示されて
いる。ここで、直列腕共振器２１，２２の個々の周波数
特性は、図３（ａ）に示すようになる。また、並列腕共
振器２３の個々の周波数特性は、図３（ｂ）のようにな
る。この時、共振器２１，２２，２３の周波数特性は、
図１の第１〜第３のＳＡＷ共振器５，６，７における電
極の繰り返し間隔本数の長さによって設定できる。
【００１４】図３に示す周波数特性において、ｆ4 ＜ｆ
2 、ｆ3 ＜ｆ1 の時、図３（ｃ）に示す通過帯域フィル
タの周波数特性を得ることができる。なお、図３におい
て、縦軸は挿入損失〔ｄＢ〕、横軸は周波数を示してい
る。以下、本発明の第２実施例を示す弾性表面波フィル
タ素子について説明する。図５は本発明の第２実施例を
示す弾性表面波フィルタ素子の構成図、図６は図５のＡ
−Ａ′線断面図である。
2 、ｆ3 ＜ｆ1 の時、図３（ｃ）に示す通過帯域フィル
タの周波数特性を得ることができる。なお、図３におい
て、縦軸は挿入損失〔ｄＢ〕、横軸は周波数を示してい
る。以下、本発明の第２実施例を示す弾性表面波フィル
タ素子について説明する。図５は本発明の第２実施例を
示す弾性表面波フィルタ素子の構成図、図６は図５のＡ
−Ａ′線断面図である。
【００１５】この実施例では、第１実施例で示したよう
に、圧電基板３１上に櫛形電極３３と反射電極３４，３
４′からなる第１のＳＡＷ共振器３５、第２のＳＡＷ共
振器３６、第３のＳＡＷ共振器３７、入出力用電極３
８，３９及び接地用電極４０を形成し、表面に絶縁膜４
３を設けた後、第１のＳＡＷ共振器３５と第２のＳＡＷ
共振器３６とを結ぶために、信号接続線４１の第１の電
極４４と第２の電極４５を接続するに際して、絶縁膜４
３上に接続される上層信号接続線４６を配置する。な
お、４２は信号接続線である。
に、圧電基板３１上に櫛形電極３３と反射電極３４，３
４′からなる第１のＳＡＷ共振器３５、第２のＳＡＷ共
振器３６、第３のＳＡＷ共振器３７、入出力用電極３
８，３９及び接地用電極４０を形成し、表面に絶縁膜４
３を設けた後、第１のＳＡＷ共振器３５と第２のＳＡＷ
共振器３６とを結ぶために、信号接続線４１の第１の電
極４４と第２の電極４５を接続するに際して、絶縁膜４
３上に接続される上層信号接続線４６を配置する。な
お、４２は信号接続線である。
【００１６】すなわち、この実施例では、ＳＡＷ共振器
３５，３６を結ぶ上層信号接続線４６を絶縁膜４３の上
層に配置するようにしている。つまり、図６に示すよう
に、圧電基板３１上に配置した信号接続線４１には電極
４４，４５を設け、これらの電極４４と４５上には絶縁
膜４３を形成しないようにして、電極４４，４５間を絶
縁膜４３を介した上層信号接続線４６として構成してい
る。
３５，３６を結ぶ上層信号接続線４６を絶縁膜４３の上
層に配置するようにしている。つまり、図６に示すよう
に、圧電基板３１上に配置した信号接続線４１には電極
４４，４５を設け、これらの電極４４と４５上には絶縁
膜４３を形成しないようにして、電極４４，４５間を絶
縁膜４３を介した上層信号接続線４６として構成してい
る。
【００１７】このように構成することにより、上層信号
接続線４６の下部には、ＳＡＷ共振器の反射電極３４を
配置することができ、その分、集積度を高めて、素子の
面積の低減を図ることができる。図７は本発明の第２実
施例の変形例を示す弾性表面波フィルタ素子の構成図で
ある。
接続線４６の下部には、ＳＡＷ共振器の反射電極３４を
配置することができ、その分、集積度を高めて、素子の
面積の低減を図ることができる。図７は本発明の第２実
施例の変形例を示す弾性表面波フィルタ素子の構成図で
ある。
【００１８】この実施例では、弾性表面波フィルタ素子
の面積、特に、素子の幅を更に低減するようにしてい
る。すなわち、第１のＳＡＷ共振器３５と第２のＳＡＷ
共振器３６の間に第３のＳＡＷ共振器３７′を配置する
ことができるように、信号接続線４１′，４２′を配置
するようにしている。つまり、信号接続線４２′を略中
央に配線し、信号接続線４１′を左に寄せて、第１の電
極４４′と第２の電極４５′間は、図６と同様に上層信
号接続線４６′を配置するように構成する。
の面積、特に、素子の幅を更に低減するようにしてい
る。すなわち、第１のＳＡＷ共振器３５と第２のＳＡＷ
共振器３６の間に第３のＳＡＷ共振器３７′を配置する
ことができるように、信号接続線４１′，４２′を配置
するようにしている。つまり、信号接続線４２′を略中
央に配線し、信号接続線４１′を左に寄せて、第１の電
極４４′と第２の電極４５′間は、図６と同様に上層信
号接続線４６′を配置するように構成する。
【００１９】なお、図７において、３８，３９は入出力
用電極、４０は接地用電極である。このように構成する
ことにより、更に、集積度を高めて、素子の面積の低減
を図ることができる。なお、本発明は上記実施例に限定
されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変
形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するも
のではない。
用電極、４０は接地用電極である。このように構成する
ことにより、更に、集積度を高めて、素子の面積の低減
を図ることができる。なお、本発明は上記実施例に限定
されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変
形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するも
のではない。
【００２０】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、素子の表面に入出
力電極及び接地電極を除いて、絶縁膜を形成するように
したので、異物等の付着により、ＳＡＷ共振器の櫛形電
極がショートするようなことはなくなり、所望の通過帯
域特性を得ることができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、素子の表面に入出
力電極及び接地電極を除いて、絶縁膜を形成するように
したので、異物等の付着により、ＳＡＷ共振器の櫛形電
極がショートするようなことはなくなり、所望の通過帯
域特性を得ることができる。
【００２１】また、入出力用電極と接地用電極とのショ
ート等も防ぐことが可能であり、これにより、弾性表面
波フィルタ素子の不良を防ぐことができる。 （２）請求項２記載の発明によれば、前記信号接続線の
一部を前記絶縁膜上に配置する上層信号接続線を設ける
ようにしたので、弾性表面波フィルタ素子の面積を小さ
くすることができる。
ート等も防ぐことが可能であり、これにより、弾性表面
波フィルタ素子の不良を防ぐことができる。 （２）請求項２記載の発明によれば、前記信号接続線の
一部を前記絶縁膜上に配置する上層信号接続線を設ける
ようにしたので、弾性表面波フィルタ素子の面積を小さ
くすることができる。
【図１】本発明の第１実施例を示す弾性表面波フィルタ
素子の構成図である。
素子の構成図である。
【図２】本発明の第１実施例を示す弾性表面波フィルタ
素子の等価回路図である。
素子の等価回路図である。
【図３】本発明の第１実施例を示す弾性表面波フィルタ
素子の周波数特性を示す図である。
素子の周波数特性を示す図である。
【図４】従来の弾性表面波フィルタ素子の構成図であ
る。
る。
【図５】本発明の第２実施例を示す弾性表面波フィルタ
素子の構成図である。
素子の構成図である。
【図６】図５のＡ−Ａ′線断面図である。
【図７】本発明の第２実施例の変形例を示す弾性表面波
フィルタ素子の構成図である。
フィルタ素子の構成図である。
１，３１ 圧電基板 ３，３３ 櫛形電極 ４，４′，３４，３４′ 反射電極 ５，３５ 第１の弾性表面波共振器（第１のＳＡＷ共
振器） ６，３６ 第２の弾性表面波共振器（第２のＳＡＷ共
振器） ７，３７，３７′ 第３の弾性表面波共振器（第３の
ＳＡＷ共振器） ８，９，３８，３９ 入出力用電極 １０，４０ 接地用電極 １１，１２，４１，４１′，４２，４２′ 信号接続
線 １３，４３ 絶縁膜 ２１，２２，２３ 共振器 ４４，４４′ 第１の電極 ４５，４５′ 第２の電極 ４６，４６′ 上層信号接続線
振器） ６，３６ 第２の弾性表面波共振器（第２のＳＡＷ共
振器） ７，３７，３７′ 第３の弾性表面波共振器（第３の
ＳＡＷ共振器） ８，９，３８，３９ 入出力用電極 １０，４０ 接地用電極 １１，１２，４１，４１′，４２，４２′ 信号接続
線 １３，４３ 絶縁膜 ２１，２２，２３ 共振器 ４４，４４′ 第１の電極 ４５，４５′ 第２の電極 ４６，４６′ 上層信号接続線
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板上に弾性表面波共振器を複数個
設け、該弾性表面波共振器を梯子型に接続して通過帯域
フィルタを形成する弾性表面波フィルタ素子において、 入出力用電極及び接地用電極を除いて、弾性表面波共振
器あるいは信号接続線の表面全体に絶縁層を形成するこ
とを特徴とする弾性表面波フィルタ素子。 - 【請求項２】 請求項１記載の弾性表面波フィルタ素子
において、前記信号接続線の一部を前記絶縁層上に配置
する上層信号接続線を具備することを特徴とする弾性表
面波フィルタ素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31094895A JPH09153755A (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | 弾性表面波フィルタ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31094895A JPH09153755A (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | 弾性表面波フィルタ素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09153755A true JPH09153755A (ja) | 1997-06-10 |
Family
ID=18011326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31094895A Withdrawn JPH09153755A (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | 弾性表面波フィルタ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09153755A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6937114B2 (en) | 2001-12-28 | 2005-08-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device, electronic component using the device, and composite module |
| KR100609967B1 (ko) * | 2001-06-06 | 2006-08-04 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성표면파 장치 |
-
1995
- 1995-11-29 JP JP31094895A patent/JPH09153755A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100609967B1 (ko) * | 2001-06-06 | 2006-08-04 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성표면파 장치 |
| US6937114B2 (en) | 2001-12-28 | 2005-08-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device, electronic component using the device, and composite module |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6150904A (en) | Surface acoustic wave filter having reference potential package electrode lands which are electrically isolated | |
| KR100312001B1 (ko) | 탄성표면파장치 | |
| CA2183281C (en) | Surface acoustic wave filter | |
| JP2020123819A (ja) | 弾性波フィルタ | |
| US6127769A (en) | Surface acoustic wave device | |
| JP3001350B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH0559609B1 (ja) | ||
| JPH03293808A (ja) | 弾性表面波素子の製造方法 | |
| JPH07283682A (ja) | 弾性表面波共振子フィルタ | |
| JPH11220353A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH05167387A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| JPH02295211A (ja) | エネルギー閉じ込め型弾性表面波素子 | |
| JP2002232264A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH09153755A (ja) | 弾性表面波フィルタ素子 | |
| JPH0918270A (ja) | 端面反射型表面波装置の製造方法 | |
| JPH08265099A (ja) | 共振器型弾性表面波フィルタ | |
| JPH027613A (ja) | 多重モード共振器型表面弾性波フィルタとその帯域通過特性調整方法 | |
| JP3398631B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ用圧電体ウエハおよび弾性表面波フィルタの製造方法 | |
| JPH09294049A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH0491508A (ja) | 弾性表面波デバイスとその製造方法 | |
| JPH10335965A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3137081B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP4055651B2 (ja) | 表面波装置 | |
| JPH0567937A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPH04249907A (ja) | 弾性表面波フィルタ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030204 |