KR100593941B1 - 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법 - Google Patents

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서효원
김민호
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삼성전기주식회사
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개선된 외부 광자 효율을 갖는 3족 질화물 발광 소자를 높은 수율로 제조할 수 있는 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법은, 기판 상에 n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층으로 이루어진 발광 구조물을 형성하는 단계와; 광 출사면 상에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계를 포함한다.
갈륨 질화물, 발광 소자, LED, 외부 광자 효율

Description

3족 질화물 발광 소자의 제조 방법{Method for Manufacturing Ⅲ-Nitride Light Emitting Device}
도 1 내지 도 4는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 7 내지 도 10은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 11 내지 도 13은 본 발명의 제4 실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 14 및 도 15는 본 발명의 제5 실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
101: GaN 기판 103, 205: n형 클래드층
105, 207: 활성층 107, 209: p형 클래드층
150, 250, 260, 270: 나노 구조물 201: 이종 기판
203: GaN층
본 발명은 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 개선된 광 추출 효율을 갖는 수직구조 3족 질화물 발광 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
GaN 등의 3족 질화물 반도체를 포함하는 발광 다이오드(Light Emitting Diode; LED)가 개발된 후, LCD 백라이트(LCD backlight), 휴대폰의 키패드 및 조명용 광원 등 다양한 분야에서 LED가 광원으로 사용되고 있다. 3족 질화물 LED를 개발하는 데에 있어서, LED의 발광 효율이 중요한 문제로 대두되고 있다. LED의 발광 효율은 빛의 생성효율과 빛의 외부 광자 효율에 의해 결정되는데, 그 중에서 가장 큰 문제는 외부 광자 효율, 즉 활성층(active layer)에서 생성된 빛이 외부로 추출되는 효율이 낮다는 것이다.
3족 질화물 LED의 외부 광자 효율을 저감시키는 결정적인 요인은, LED 소자의 경계면에서의 반사 특성, 특히 내부 전반사(total internal reflection) 현상이다. 즉, LED 소자 경계면에서 큰 굴절율 차이로 인해, 생성된 빛의 일부만이 소자 경계면 밖으로 추출되고, 계면을 빠져나가지 못한 빛은 계면에서 전반사하여 소자 내부를 진행(traveling)하다가 열로 감쇠되어 버린다. 결과적으로 LED 소자 경계면에서의 내부 전반사에 의해 LED 소자의 발열량은 증가되고 소자의 외부 추출 효율 은 감소된다.
이러한 문제를 해결하고자 여러가지 외부 광자 효율 개선 방법이 제안되어 왔다. 예를 들어, 표면에 도달한 광자가 랜덤하게 산란되도록 LED 소자의 표면에 표면 패턴 또는 표면 텍스쳐(texture)를 형성하는 방법이 있다. 예를 들어, 한국특허공개공보 제2005-0003671호에는, LED 소자의 발광부 가장자리에 요철 패턴 또는 표면 텍스쳐를 형성하는 기술이 개시되어 있다. 또한, Daisuke Morita et al.의 Japanese Journal of Applied Physics, Vol.43, No. 9A, 2004, pp. 5945-5950에는, 전자빔 리소그래피와 건식 식각을 이용하여 LED 소자의 발광부 상면에 요철 패턴을 형성하는 공정이 개시되어 있다. 이러한 요철 패턴들은 빛의 외부 추출 확률을 증가시켜, LED 소자의 외부 광자 효율을 높이는 역할을 한다. 그러나, 종래의 방법에 따르면, GaN계 반도체층의 평탄한 상면을 습식식각 또는 건식식각함으로써 GaN계 반도체층 상면에 요철 패턴을 형성하기 때문에, 요철 패턴에 의한 표면 거칠기가 균일하지 못하며, 활성층에 손상을 줄 수 있다. 이에 따라, 광추출 효율의 증대에 제한을 받게 되며, LED 소자의 제조 수율이 낮아질 수 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 높은 광추출 효율을 갖는 3족 질화물 발광 소자를 보다 높은 수율로 제조할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법은, 기판 상에 n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층으로 이루어진 발광 구조물을 형성하는 단계와; 광 출사면 상에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물(nano-structures)을 성장시키는 단계를 포함한다. 광 출사면 상에 표면 텍스쳐를 제공하는 나노 구조물을 형성함으로써, 균일한 표면 거칠기를 갖는 광 출사면을 용이하게 얻을 수 있게 된다. 광 출사면 상에 균일하게 분포된 나노 구조물은 내부 전반사를 저감시켜 LED 소자의 외부 광자 효율을 더욱 더 향상시키게 된다.
본 발명의 제1 측면에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법은, GaN 기판 상에 n형 클래드층, 활성층, p형 클래드층을 순차적으로 형성하는 단계와; 상기 p형 클래드층 상에 또는 상기 GaN 기판 하면에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 제2 측면에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법은, 이종 기판(hetero-substrate) 상에 GaN층을 성장시키는 단계와; 상기 GaN층 상에 n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층을 순차적으로 형성하는 단계와; 상기 p형 클래드층 상에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 제3 측면에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법은, 이종 기판 상에 GaN층을 성장시키는 단계와; 상기 GaN층 상에 n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층을 순차적으로 형성하는 단계와; GaN층으로부터 상기 이종 기판을 분리 또는 제거하는 단계와; 상기 p형 클래드층 상에 또는 상기 GaN층의 하면에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 제2 및 제3 측면에 따르면, 상기 이종 기판은 사파이어 기판, SiC 기판 또는 Si 기판과 같이 GaN와 다른 물질로 이루어진 기판일 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 나노 구조물은 AlxGayIn(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) 또는 ZnO로 이루어질 수 있다. 상기 AlxGayIn(1-x-y)N로 이루어진 나노 구조물에는, Cd, Mg, Sn, Ti, Cu 및 Hf 중 적어도 하나가 도핑될 수 있다. 또한, 상기 ZnO 나노 구조물에는 Ga, In, Cd, Mg, Al, Sn, Ti, Cu 및 Hf 중 적어도 하나가 도핑될 수 있다. 상기 복수의 나노 구조물은 나노 로드(noano rods), 나노 와이어(nano wires), 나노 파티클(noano particles) 또는 나노 블레이드(nano blades)의 형상을 갖도록 성장될 수 있다.
AlxGayIn(1-x-y)N로 이루어진 나노 구조물을 성장시킬 경우, 상기 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계는, 열분해(pyrolysis), 화학 기상 증착(CVD), 물리 기상 증착(PVD) 또는 졸-겔(Sol-Gel)법에 의해 실시될 수 있다.
ZnO로 이루어진 나노 구조물을 성장시킬 경우, 상기 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계는, 열분해, 화학 기상 증착 또는 물리 기상 증착에 의해 실시될 수 있다.
본 발명에 따르면, 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계 후에, 상기 성장된 나노 구조물을 습식식각에 의해 콘(corn) 형상으로 만드는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 명세서에서, '3족 질화물'이란, AlxGayIn(1-x-y)N(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)로 표현되는 2성분계(bianary), 3성분계(ternary) 또는 4성분계(quaternary) 화합물 반도체를 의미한다. 또한, '3족 질화물 발광 소자'란, 발광 구조물을 구성하는 n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층이 3족 질화물로 되어 있다는 것을 의미한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면 상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다. 이 실시형태에서는, 발광 구조물 성장을 위한 기판으로서 GaN 기판을 사용한다. 따라서, 별도의 기판 분리 공정이 불필요하다.
먼저, 도 1과 도 2를 참조하면, GaN 기판(101)을 준비한 후, 상기 GaN 기판(101) 상에 n형 클래드층(103), 활성층(105) 및 p형 클래드층(107)을 순차적으로 에피택셜 성장시킨다. 이들 클래드층(103, 107)과 활성층(105)은 LED 소자의 발광 구조물을 구성한다.
다음으로, 도 3에 도시된 바와 같이, p형 클래드층(107) 상에 복수의 나노 구조물(150)을 성장시킨다. 이 때, 광 출사면은 p형 클래드층(107)의 상면이다. 따라서, 광 출사 방향(화살표 A 참조)은 상방향이 된다. 이와 같이, p형 클래드층(107) 상에 복수의 나노 구조물(150)을 성장시킴으로써, 광 출사면 상에 표면 거칠기를 제공하는 표면 텍스쳐가 형성된다. 이러한 표면 텍스쳐는 광을 산란시킴으로써 LED 소자의 외부 광자 효율을 증가시키는 역할을 한다.
특히, 복수의 나노 구조물(150)은 매우 균일한 분포로 크기(또는 직경) 및 밀도가 조절되어 성장되기 때문에, 광 출사면의 표면 거칠기가 균일하게 된다. 이에 따라, LED 소자의 외부 광자 효율은 더욱 향상될 수 있다.
상기 복수의 나노 구조물(150)은 AlxGayIn(1-x-y)N(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) 또는 ZnO로 이루어질 수 있다. 나노 구조물(150)이 AlxGayIn(1-x-y)N로 이루어진 경우, 상기 나노 구조물(150)에는 Cd, Mg, Sn, Ti, Cu 및 Hf 중 적어도 하나가 도핑될 수 있다. 또한, 나노 구조물(150)이 ZnO로 이루어진 경우, 상기 나노 구조물(150)에는 Ga, In, Cd, Mg, Al, Sn, Cu 및 Hf 중 적어도 하나가 도핑될 수 있다. 또한, 나노 구조물(150)은 나노 로드(noano rods), 나노 와이어(nano wires), 나노 파티클(noano particles) 또는 나노 블레이드(nano blades)등 다양한 형상으로 성장될 수 있다.
특히, AlxGayIn(1-x-y)N로 이루어진 나노 구조물을 성장시킬 경우, 상기 복수의 나노 구조물은, 스퍼터링(sputtering), 펄스 레이저 증착(Pulsed Laser Deposition; PLD), 분자선 에피택시(MBE) 등의 물리 기상 증착(PVD) 공정, 열분해(pyrolysis), 화학 기상 증착(CVD) 공정 또는 졸-겔(Sol-Gel)법에 의해 성장될 수 있다. 예를 들어, 페로센(ferrocene)을 촉매로 사용하여 갈륨 디메틸아미드(Gallium dimethylamide)를 900 내지 1000℃에서 열분해시킴으로써 p형 클래드층 (107) 상에 GaN 나노로드를 성장시킬 수 있다.
다른 예로서, 680℃의 온도에서 1.0 sccm의 유량의 N2 및 1×10-7 Torr의 Ga 플럭스를 공급하여 분자선 에피택시에 의해 p형 클래드층(107) 상에 GaN 나노로드를 성장시킬 수 있다.
또한, ZnO로 이루어진 나노 구조물을 성장시킬 경우, 상기 복수의 나노 구조물은, 스퍼터링, 펄스 레이저 증착, 분자선 에피택시 등의 물리 기상 증착 공정, 열분해 또는 화학 기상 증착 공정에 의해 성장될 수 있다. 예를 들어, 10 sccm의 유량과 10 mTorr의 산소 압력을 갖는 산소 분위기에서, ArF 엑시머 레이저(193 nm의 파장, 10 Hz의 반복율(repetition rate))와 세라믹 ZnO 타겟(순도: 99.999%)을 이용하여, 10J/cm2의 레이저 입사 에너지로 펄스 레이저 증착을 실시함으로써 p형 클래드층(107) 상에 ZnO 나노로드를 성장시킬 수 있다.
이와 같이 성장된 나노 구조물(150)을 표면 텍스쳐로서 그대로 이용할 수도 있지만, 별도의 습식처리를 통해 나노 구조물(150)을 콘(corn) 형상 또는 피라미드(pyramid) 형상의 나노 구조물(151)으로 만들어 줄 수도 있다. 성장된 나노 구조물(150)을 콘 형상의 나노 구조물(151)으로 만들어 줌으로써, LED 소자의 외부 광자 효율은 더 개선된다. 도 4에는 습식식각에 의해 콘 형상으로 변형된 나노 구조물 (151)이 나타나 있다.
성장된 나노 구조물(150)이 AlxGayIn(1-x-y)N로 이루어진 경우, 상기 콘 형상을 위한 습식식각은 OH기를 포함하는 염기성 식각액을 사용하여 실시될 수 있다. 또한, 성장된 구조물이 ZnO로 이루어진 경우, 상기 콘 형상을 위한 습식식각은 BOE(Buffered Oxide Etchant), HCl, NNO3, H2PO4, HNO3와 H2PO4 혼합물, CH3COOH 또는 NaOH을 포함하는 식각액을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 제1 실시형태에 따르면, 균일한 표면 거칠기를 갖는 표면 텍스쳐를 얻게 되어 외부 광자 효율을 더욱 향상시킬 수 있다. 뿐만 아니라, 종래와 달리 "요철 패턴 형성을 위한 발광 구조물의 습식식각 공정"을 사용하지 않기 때문에, 활성층에 대한 손상이 없다.
이하, 도 5 및 도 6을 참조하여 본 발명의 제2 실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법을 설명한다. 먼저, 도 1 및 도 2를 참조하여 이미 설명한 바와 같이, GaN 기판(101) 상에 n형 클래드층(103), 활성층(105) 및 p형 클래드층(107)을 순차적으로 성장시킨다.
다음으로, 도 5에 도시된 바와 같이, GaN 기판(101) 하면에 전술한 나노 구 조물(160)을 성장시킨다. 본 실시형태에서는, GaN 기판(101)의 하면을 광 출사면으로 사용한다. 따라서, 광 출사 방향은 아래 방향(화살표 B 참조)이 된다.
선택적으로, 도 6에 도시된 바와 같이 나노 구조물(160)을 습식 식각하여 콘 형상의 나노 구조물(161)로 만들 수도 있다. 이 습식 식각 공정은 선택적인 것이므로 반드시 거쳐야 하는 것은 아니다. 전술한 제1 실시형태와 마찬가지로, 제2 실시형태에서도 균일한 표면 거칠기에 의한 외부 광자 효율의 증대 효과와 활성층의 손상 방지 효과를 얻을 수 있다. 상기 제1 실시형태와 제2 실시형태에서는 기판으로서 GaN 기판을 사용하기 때문에, 제1 및 제2 실시형태의 제조 방법은 수직 구조를 갖는 3족 질화물 LED 소자를 제조하는 데에 적합하다.
이하, 도 7 내지 도 10을 참조하여, 본 발명의 제3 실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법을 설명한다.
먼저, 도 7에 도시된 바와 같이 이종 기판(hetero-substrate)(201) 상에 GaN층(203)을 에피택셜 성장시킨다. 이종 기판(201)은 3족 질화물 이외의 다른 물질로 된 기판을 의미하는 것으로, 그 위에 형성된 3족 질화물과는 이종 접합을 이룬다. 예를 들어, 사파이어 기판, SiC 기판 또는 Si 기판 등을 이종 기판(201)으로 사용할 수 있다.
다음으로, 도 8에 도시된 바와 같이, GaN층(203) 상에 n형 클래드층(205), 활성층(207) 및 p형 클래드층(209)을 순차적으로 성장시켜 발광 구조물을 형성한다. 그 후, 도 9에 도시된 바와 같이, 광 출사면을 이루는 p형 클래드층 상면에 전술한 나노 구조물(250)을 성장시킨다. 그 후, 선택적으로, 도 10에 도시된 바와 같이, 나노 구조물(250)을 습식식각하여 콘 형상(251)으로 만들 수 있다. 제 3 실시형태의 제조 방법은, 사파이어 기판 등의 이종 기판(201)을 그대로 남겨두기 때문에, 수평 구조의 3족 질화물 LED 소자를 제조하는 데에 적합하다.
도 11 내지 도 13은 본 발명의 제4 실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 먼저, 도 7 및 도 8을 참조하여 이미 설명한 바와 같이, 이종 기판(201) 상에 GaN층(203)을 에피택셜 성장시킨 후, GaN층(203) 상에 n형 클래드층(205), 활성층(207) 및 p형 클래드층(207)으로 이루어진 발광 구조물을 형성한다.
그 후, 도 11에 도시된 바와 같이, 이종 기판(201)을 GaN층(203)으로부터 분리 또는 제거한다. 이종 기판(201)는 예를 들어, 레이저 리프트 오프(laser-lift off; LLO)법을 이용하거나 식각에 의해 분리 또는 제거될 수 있다. 특히, LLO법에 따르면, 이종 기판(201)에 레이저빔을 조사함으로써, 열팽창 계수의 차이에 의해 이종 기판(201)을 GaN층(203)으로부터 용이하게 분리할 수 있다.
다음으로, 도 12에 도시된 바와 같이, p형 클래드층(260) 상에 전술한 나노 구조물(260)을 성장시킨다. 이 경우, 광 출사면은 p형 클래드층(209)의 상면이 되며, 광 출사 방향은 상방향(화살표 C 참조)이 된다. 그 후, 선택적으로, 상기 성장된 나노 구조물(260)을 습식식각함으로써 콘 형상의 나노 구조물(261)로 만들어 줄 수 있다.
도 14 및 도 15는 본 발명의 제5 실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 제5 실시형태의 제조 방법은, 나노 구조물을 p형 클래드층 상면 대신 GaN층 하면에 성장시킨다는 점에서, 제4 실시형태의 제조 방법과 구별된다. 먼저, 도 7 및 도 8을 참조하여 이미 설명한 바와 같이, 이종 기판(201) 상에 GaN층(203)을 에피택셜 성장시킨 후, GaN층(203) 상에 n형 클래드층(205), 활성층(207) 및 p형 클래드층(207)을 순차적으로 형성한다. 그 후, 도 11을 참조하여 이미 설명한 바와 같이, 이종 기판(201)을 GaN층(203)으로부터 분리 또는 제거한다.
그 후, 도 14에 도시된 바와 같이, 이종 기판(201)의 분리 또는 제거에 의해 노출된 GaN층(203)의 하면에 전술한 나노 구조물(270)을 성장시킨다. 이 경우, 광 출사면은 GaN층(203)의 하면이 되며, 광 출사 방향은 아래 방향(화살표 D 참조)이 된다. 그 후, 선택적으로, 상기 나노 구조물(270)을 습식식각함으로써, 콘 형상의 나노 구조물(271)로 만들어 줄 수 있다.
전술한 제4 및 제 5실시형태에 따른 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법은, 이종 기판(201)이 분리 또는 제거되기 때문에, 수직 구조의 3족 질화물 발광 소자를 제조하는 데에 적합하다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 또한, 본 발명은 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 광 출사면쪽에 복수의 나노 구조물을 성장시킴으로써, 균일한 거칠기를 갖는 표면 텍스쳐를 얻을 수 있다. 이에 따라, 광 산란 확률을 높이고 내부 전반사 현상을 억제하여 LED 소자의 외부 광자 효율을 더욱 개선시킬 수 있게 된다. 또한, 종래와 달리 발광 구조물을 식각하지 않기 때문에, 활성층에 대한 손상을 방지할 수 있고, 이에 따라 제품 수율을 증가시킬 수 있게 된다.

Claims (15)

  1. 기판 상에 n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층으로 이루어진 발광 구조물을 형성하는 단계; 및
    광 출사면 상에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 발광 구조물을 형성하는 단계는, GaN 기판 상에 n형 클래드층, 활성층, p형 클래드층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 나노 구조물을 성장시키는 단계는, 상기 p형 클래드층 상에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 발광 구조물을 형성하는 단계는, GaN 기판 상에 n형 클래드층, 활성층, p형 클래드층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 나노 구조물을 성장시키는 단계는, 상기 GaN 기판 하면에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 발광 구조물을 형성하는 단계는, 이종 기판 상에 GaN층을 성장시키는 단계와, 상기 GaN층 상에 n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 나노 구조물을 성장시키는 단계는, 상기 p형 클래드층 상에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 발광 구조물을 형성하는 단계는, 이종 기판 상에 GaN층을 성장시키는 단계와; 상기 GaN층 상에 n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 p형 클래드층을 형성한 후에, 상기 GaN층으로부터 상기 이종 기판을 분리 또는 제거하는 단계를 더 포함하고,
    상기 나노 구조물을 성장시키는 단계는, 상기 p형 클래드층 상에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 발광 구조물을 형성하는 단계는, 이종 기판 상에 GaN층을 성장시키는 단계와; 상기 GaN층 상에 n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 p형 클래드층을 형성한 후에, 상기 GaN층으로부터 상기 이종 기판을 분리 또는 제거하는 단계를 더 포함하고,
    상기 나노 구조물을 성장시키는 단계는, 상기 GaN 하면에 표면 텍스쳐를 제공하는 복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  7. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이종 기판은 사파이어 기판, SiC 기판 또는 Si 기판인 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 나노 구조물은 AlxGayIn(1-x-y)N(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)로 이루어진 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 나노 구조물은, 열분해, 화학 기상 증착, 물리 기상 증착 또는 졸-겔법 에 의해 성장되는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 AlxGayIn(1-x-y)N로 이루어진 나노 구조물에는 Cd, Mg, Sn, Ti, Cu 및 Hf 중 적어도 하나가 도핑되는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 나노 구조물은 ZnO로 이루어진 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 ZnO로 이루어진 나노 구조물에는 Ga, In, Cd, Mg, Al, Sn, Ti, Cu 및 Hf 중 적어도 하나가 도핑되는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 나노 구조물은 열분해, 화학 기상 증착 또는 물리 기상 증착에 의해 성장되는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 나노 구조물은 나노 로드, 나노 와이어, 나노 파티클 또는 나노 블레이드의 형상을 갖도록 성장되는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
  15. 제1항에 있어서,
    복수의 나노 구조물을 성장시키는 단계 후에, 상기 성장된 나노 구조물을 습식식각에 의해 콘 형상으로 만드는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3족 질화물 발광 소자의 제조 방법.
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