KR100557751B1 - 금속증착필름,그제조방법및그것을사용한콘덴서 - Google Patents

금속증착필름,그제조방법및그것을사용한콘덴서 Download PDF

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Abstract

안전규격 콘덴서에 부과되어지는 고전압 인가에 대해서도 마진 부근에서의 파괴가 거의 발생되지 않아, 극히 높은 안전성을 보유한 콘덴서를 제조할 수 있는 금속증착필름, 그 제조방법 및 이러한 성능의 우수한 콘덴서가 명시되어 있다.
본 발명은 고분자필름의 적어도 한쪽 면에 표면저항 1Ω/□~15Ω/□의 전극으로 되는 금속증착막부와 표면저항 1×1010Ω/□ 이상의 마진부 및 상기 금속증착부와 상기 마진부의 사이로 상기 금속증착막부에서 상기 마진부에 걸쳐 금속증착막 두께가 연속적으로 저감하는 폭 0.02~1㎜의 경계막부를 보유하는 것을 특징으로 하는 금속증착필름에 관한 것이다.
본 발명은 이러한 금속증착필름을 권회 또는 적층하여 이루어지는 콘덴서에 관한 것이다.

Description

금속증착필름, 그 제조방법 및 그것을 사용한 콘덴서
본 발명은 전기·전자회로에 사용되는 금속증착고분자필름 콘덴서, 특히 어크로스라인 콘덴서(across-the-line capacitor)에 관한 것이고, 그 중에서도 낙뢰시 등에 돌입하는 서지전류에 의하여 콘덴서가 파괴, 발화 등을 일으키는 일이 없도록 규정된 각종의 안전규격에 적합한 안전규격 콘덴서에 관한 것이다. 본 발명은 또 이러한 콘덴서를 취득하는데 적합한 금속증착필름 및 그 제조방법에 관한 것이다.
각종 가정용 전기기기, 혹은 전자기기에는 라인으로부터 들어가는 노이즈를 제거, 혹은 기기에서 발생하는 노이즈가 전원라인으로 들어오는 것을 방지하기 위하여 노이즈필터 콘덴서가 사용되고 있다. 노이즈필터 콘덴서를 포함하여도 일반적으로는 콘덴서에 낙뢰시 등에 발생하는 큰 돌입전류가 들어오는 경우가 있다. 이들 돌입전류에 의하여 콘덴서가 파괴, 혹은 발화하지 않도록, 노이즈필터 콘덴서를 주로 하여 콘덴서에 엄격한 시험을 부과하는 규격(안전규격)이 각국에서 규정되어 있다. 예컨대 UL 1414, CAS C22.2 NO1, VDE 0565-1, IEC 384-14, SEV 1055, JIS C5151 등이고, 또한 NEMKO, SEMKO, DEMKO, EI, BS 등의 규격이 있다.
이들은 큰 돌입전류를 상정하며, 정격전압에 비하여 극히 높은 전압을 일정시간 가하여, 이상 상태가 되거나 혹은 파괴하지 않는 것을 규정하고 있다.
이들의 규격에 적합하기 위하여, 종래는 11~12㎛의 두꺼운 폴리에스테르필름을 사용하며, 또한 마진폭이 넓은 알루미늄 증착필름이 사용되어 왔지만, 허용한계가 매우 작은 수준에서 규격을 만족하고 있어, 제조공정에서의 품질분산에 의한 불량률이 큰 것, 구체적으로는 검사공정의 내전압테스트에 있어서 불량이 발생하는 비율이 큰 것이 문제였다. 한편, 콘덴서의 소형화에 대한 강한 요망이 있지만, 소형화 때문에 필름 두께를 얇게 하면 당연히 불량률이 증대되고, 소형화하는데 기술적으로 어렵다.
본 발명의 목적은 검사공정에서의 불량률을 적게 함과 아울러, 안전규격의 테스트로 부과되는 높은 인가전압에 대해서도 파괴, 특히 주된 파괴장소인 마진과 증착금속막 경계에 있어서의 고분자필름의 전기절연파괴를 방지할 수 있는 콘덴서, 또한 소형으로 성능이 우수한 콘덴서, 및 그것에 사용되는 금속증착필름 및 그 제조방법을 제공하려고 하는 것이다.
본 발명자 등이 예의 검토한 결과, 이러한 본 발명의 목적은 하기의 구성을 보유하는 본 발명에 의하여 공업적으로 유리하게 달성되었다.
[1] 고분자필름의 적어도 한쪽 면에 표면저항 1Ω/□~15Ω/□의 전극으로 되는 금속증착막부와 표면저항 1×1010Ω/□ 이상의 마진부, 및 상기 금속증착막부와 상기 마진부의 사이에 상기 금속증착막부에서 상기 마진부로 걸쳐 금속증착막 두께가 연속적으로 감소하는 폭 0.02~1㎜의 경계막부를 보유하는 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
[2] 진공증착기내에서 고분자필름 표면에 오일증착, 또는 오일을 도포한 후, 금속을 증착하여 고분자증착필름을 제조하는 공정에 있어서, 증착오일량, 또는 도포오일량을 제어함으로써, 금속증착막부와 마진부의 사이의 경계막부의 폭을 0.02~1㎜ 규정 범위로 조절하는 것을 특징으로 하는 금속증착필름의 제조방법.
[3] 고분자필름의 적어도 한쪽면에 표면저항 1Ω/□~15Ω/□의 전극으로 되는 금속증착막부와 표면저항 1×1010Ω/□ 이상의 마진부, 및 상기 금속증착막부와 상기 마진부의 사이에 상기 금속증착막부에서 상기 마진부에 걸쳐 금속증착막 두께가 연속적으로 감소하는 폭 0.02~1㎜의 경계막부를 보유하는 금속증착필름을 권회, 또는 적층하여 이루어진 콘덴서.
본 발명의 최대의 특징은 금속증착필름에 있어서, 특정의 경계막부, 즉 금속증착막부에서 마진부에 걸쳐 금속증착막 두께가 연속적으로 저감하는 폭 0.02~1㎜의 경계막부를 설치한 점에 있고, 이것에 의하여, 금속증착필름을 콘덴서용으로 사용한 경우, 마진부와 증착금속막 경계에 있어서의 고분자필름의 전기절연파괴를 방지하는 점에 있다.
본 발명의 일 실시예의 금속증착필름의 개략 단면도를 도 1에 표시한다. 또한, 본 발명은 본 실시예로 한정되는 것은 아니다.
도 1에 있어서, 참조부호 1은 본 발명의 금속증착필름이고, 참조부호 2는 고분자필름, 참조부호 3은 마진부, 참조부호 4는 금속증착부, 참조부호 5는 경계막부이고, 참조부호 L은 경계막부의 폭을 나타낸다.
본 발명에서 말하는 고분자필름(2)이란 천연, 반합성, 합성고분자수지를 필름형상으로 성형한 것이고, 그 중에서도 합성고분자수지로 된 고분자필름이 내열성, 기계특성, 전기특성, 물리화학적 특성인 점에서 보다 바람직하다.
바람직한 합성고분자수지로서 폴리올레핀수지, 폴리에스테르수지, 폴리아미드수지, 폴리이미드수지, 폴리아미도이미드수지, 폴리카보네이트수지, 폴리술폰수지, 폴리페닐렌수지, 폴리아릴레이트수지, 불소수지, 폴리스티렌수지, 폴리아릴렌수지 등을 열거할 수 있다. 특히 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리페닐렌설파이드, 폴리카보네이트, 폴리스티렌이 기계특성, 전기특성의 점에서 보다 바람직하다. 그 중에서도 폴리프로필렌 및 폴리에틸렌테레프탈레이트가 교류내전압(AC내전압)이 높은 점에서 특히 바람직하다.
금속증착막(4)의 금속은 Al, Zn, Cu, Ag, Au, Sn, Ti, Co, Ni 혹은 이들의 합금 등 도전성을 보유하는 것이라면 특히 한정되는 것이 없지만, Al, Zn, Cu, Sn 등이 내코로나 열화성이 적어서 바람직하다. 그 중에서도 Al-Zn의 합금이 내습성, 내코로나 열화성 및 자기회복특성의 점에서 보다 바람직하며, 그 중에서도 증착합금막 중의 Al함유량비{(Al함유량×100)/(Al함유량＋Zn함유량)}가 증착막표면(C1), 증착막중앙(C2), 필름경계면에서 C3으로 하면, C2＜C1≤C3 또는 C2＜C3≤C1로 연속적으로 변화되고, 또한 증착막 전체의 Al함유량비가 0.5~15wt%, 보다 바람직하게는 8~12wt%로 되는 Al-Zn의 합금으로 된 증착금속막이 특히 바람직하다. 그 중에서도 Al의 함유량비가 C2＜C1≤C3로 되는 분포인 Al-Zn의 합금이 자기회복성의 열화가 적어서 보다 바람직하다. 증착금속막의 막저항은 1~15Ω/□이 필요하다. 특히 2~12Ω/□가 바람직하다. 또한, 메탈리콘과의 밀착성을 향상시키기 위하여, 도 2와 같이 메탈리콘의 밀착부 2~5㎜ 정도의 증착막을 두껍게, 소위 헤비엣지로 한 경우의, 전극부(능동부)의 저항을 4~12Ω/□로 함으로써, 특히 내압과 tanδ특성을 향상시킨다.
더욱 이들 증착금속막의 내습성을 높이기 위하여, 그 증착금속막 표면에 매우 얇은 층의 오일막 또는 규소, 혹은 규소화합물을 설치하는 것이 바람직하다.
금속증착필름은 금속증착막부(4)와 마진부(3) 사이로 경계막부(5)를 보유하는 것이 중요하다. 경계막부란 도 1과 같이 금속증착막부(4)에서 마진부(3)에 걸쳐 증착막부의 증착막의 두께가 마진부(3)에 연속적으로 감소해가는 부분을 표시하고, 광학현미경에서 관찰한 경우, 도 1과 같이 금속증착막부(4)의 어두운 부분으로부터 마진부(3)의 밝은 부분에 걸쳐 폭(L)이 0.02~1㎜, 바람직하게는 L:0.02~0.5㎜ 정도, 보다 바람직하게는 L: 0.02~0.25㎜, 특히 바람직하게는 L:0.05~0.2㎜에 걸쳐 서서히 어두운 부분에서 밝은 부분으로 밝기가 변화하는 영역을 가리킨다. 종래의 콘덴서용 금속증착필름에 대해서는 JIS C2319-1977(콘덴서용 금속화 폴리에스테르 필름)의 4·3 마진 폭(margin width)으로 규정되어 있는 바와 같이 증착금속막의 선단으로 연속하여 불선명한 곳이 있어서는 안된다고 되어 있다. 이 때문에 종래부터 마진을 형성하는 방법에는 증착되는 고분자필름상에 마스크로 되는 마진과 동일폭인 테이프를 합쳐서 미증착부(마진)를 형성하는 테이프마진법이 있고, 증착막과 마진의 경계가 명확하게 된 마진이 형성되는 점에서 바람직하게 이용되어 왔다. 또 다른 방법으로서는 증착막에 고분자필름상으로 마진의 폭으로 오일을 증착하며, 오일부에 증착막이 부착하지 않는 것을 이용한 오일마진법이 있지만, 테이프마진과 마찬가지로 마진과의 경계를 명확하게 하기 위하여(경계부(5)를 발생시키지 않으므로), 특공평3-59981호 공보와 같이, 증착금속이 보다 부착하기 어려운 불소계 오일을 사용하거나, 혹은 특공소63-57932호 공보와 같이, 필름이 금속증착원상을 통과하기 전에, 또는 통과할 때에 필름을 냉각한다고 하는 고안이 이루어져 있다. 그러나, 본 발명과 같이 특정한 폭의 경계막부를 설치하여 그것을 제어하는 기술은 어떤 곳에도 없다.
본 발명은 특정한 폭의 경계막부(5)를 설치함으로써, 안전규격 콘덴서의 테스트에서 부과되는 높은 전압의 인가에 대해서도 파괴, 특히 주된 파괴장소인 마진과 증착금속막 경계에 있어서의 고분자필름의 전기절연파괴를 방지할 수 있는 것을 찾아내어 이루어진 것이다. 또한, 마진과 증착금속막 경계에서 전기절연파괴가 발생하면, 콘덴서의 메탈리콘부가 파괴하는 현상으로서 나타내는 일이 많다.
더욱이, 도 3과 같이 마진부(3)가 마진부를 도포하는 오일(6)로 도포되어 있는 것이 보다 바람직하다. 오일의 양은 근소하므로 정량화할 수 없지만, 오일의 유무는 X선 전자분광법(XPS, 혹은 ESCA라고도 칭함)으로 검지할 수 있다. 또한 도 4와 같이, 본 금속증착필름을 권회 또는 적층하여 콘덴서를 형성시켰을 때의 상하 2장의 금속증착필름 사이의 마진부분이 오일(6)로 채워지는 것, 보다 바람직하게는 공기층이 없도록 되는 것이다. 이 경우 오일(6)이 콘덴서의 함침오일과 상용함으로써 오일과 함침오일에 의하여 마진부가 채워지며, 공기층이 없어지는 것이라도 좋다. 결국 마진부에 오일이 존재하고, 콘덴서를 형성시켰을 때의 금속증착필름 사이의 마진부분이 공기층이 없도록 오일로 채워지는 것이 보다 바람직하다.
당연히, 마진부는 전기절연을 목적으로 하고 있으며, 그 표면저항은 1010Ω/□ 이상, 보다 바람직하게는 1012Ω/□ 이상이다.
도 7은 본 발명의 금속증착필름을 제조하기 위한 하나의 장치의 개략도이다. 그 도면을 사용하여 본 발명의 금속증착필름을 제조하는 방법에 대하여, 그 개략을 설명한다. 또한 본 발명은 본 실시예로 한정되는 것은 아니다.
진공증착기(7)내를 진공펌프(19)로 소정의 압력(진공도)으로 감압한다. 규정된 압력에 도달했을 때, 풀림로울(8)로 송출된 고분자필름(2)에, 내부의 압력을 측정하고, 규정된 압력으로 제어된 오일증발노즐(11)의 마진부 폭(실제로는 마진부 폭의 2배)으로 열려진 개구부를 통하여, 소정의 오일을 증발, 부착시킨다. 계속해서 Al증발원(12)에서 Zn의 핵으로써 기능하는 Al을 정량 증발시켜, 고분자필름(2)에 증착하고, 계속해서 Zn증발원(13)에서 Zn을 금속증착막의 표면저항이 규정된 저항으로 되도록 증착한다. 계속하여, 필요에 따라 저온플라스마장치(14)에 의하여 상기 금속증착막, 경계막부 및 마진부 표면을 산소원자를 함유하는 가스의 플라스마에 의하여 처리하고, 또한 필요에 따라서 내부의 압력을 측정, 제어된 오일증발기(15)의 좁은 개구부를 통하여, 금속증착막부, 경계막부 및 마진부의 표면에 오일을 증발, 부착시킨다. 이렇게 하여 금속증착막과 마진이 형성된 금속증착필름은 권취로울(9)로 감겨지고, 최종적으로는 진공증착기(7)로부터 꺼내지며, 필요한 작은 폭으로 슬릿되어 릴(reel)로 된다.
본 방법에 있어서, 오일증발노즐(11) 내부의 압력을 측정, 제어하는 것은 경계막부의 폭을 제어하는 데에 극히 중요하다. 구체적으로는 오일증발노즐(11)내의 압력을 격막식 등의 압력계(진공계)(16)에 의하여 측정하며, 그 출력신호를 제어계(17)에 입력하고, 오일증발노즐(11)내의 압력이 설정압력과 차가 있으면 히터출력전원(18)에 피이드백되고, 항상 오일증발노즐 내의 압력을 일정하게 되도록 제어하고, 항상 소정량의 오일증기를 형성하도록 하여, 소정의 오일을 고분자필름(2)의 표면에 부착시킨다. 또한, 오일이 부착된 마진부에는 핵으로서 기능하는 Al 및 Zn이 모두 부착되지 않거나, 초미량으로 부착된다.
도 3에 표시된 마진부를 도포하는 오일의 존재상태와 같이 오일은 마진부에 균일한 두께로 존재하는 것은 아니고, 산 모양의 두께분포를 지닌 모양으로 존재하고, 금속이 부착할 때 그 응축열로 오일선단부의 일부분이 증발하여 오일농도와 반비례된 금속부착이 발생하므로, 연속적으로 두께가 감소하는 경계막부가 발현한다고 추정하고 있다. 따라서, 마진부를 도포하는 오일의 존재량과 오일단부의 증발의 정도의 관계에서 오일의 종류가 경계막부의 형성상 중요한 역할을 완수한다고 추정된다.
또, 저온플라스마에서 처리하는 것은 경계막 폭의 제어와 함께, 필름층 사이의 밀착이 불량한 경우 전압을 인가했을 때 콘덴서가 소음을 발생하는 현상을 개선하는데 보다 바람직하다. 저온플라스마처리란 저압의 가스 중에 직류 또는 저주파, 중주파, 고주파 등의 교류, 혹은 마이크로파 등의 고전압을 인가함으로써, 개시, 유지하는 방전에 의하여 생성하는 플라스마에 금속증착필름을 노출시켜, 그 표면 질을 개선하는 것이다.
본 발명의 금속증착필름을 권회, 또는 적층하고, 콘덴서를 제조하는 보통의 처리를 함으로써 내전압이 높은 양호한 콘덴서가 제조된다. 특히 마진부(3)를 도포하고 있는 오일과 상용하며, 또한 전기절연성이 높은 오일을 함침오일로서 사용하면 더욱 내전압이 높은 콘덴서가 제조되며, 보다 바람직하다.
오일과 상용하는지의 여부는 100㏄의 샘플병에 마진부(3)를 도포하는데 사용되고 있는 오일과 함침오일을 각각 30㏄씩 넣고, 마개를 하고 잘 흔든 뒤에, 30분간 정치할 때, 2개층으로 분리하거나 현탁되지 않고, 투명하게 상용하는 것으로 판단한다. 보다 쉬운 방법으로서는 JIS K6768-1971「에틸렌 및 폴리프로필렌필름의 습식 시험법」에 준하여 함침오일을 함유한 면봉으로 증착필름의 금속증착막 표면에서 마진부(3)로 함침오일을 도포했을 때, 마진부에서 함침오일의 도포 폭이 좁아지지 않으며, 동등하거나 확대될 경우의 함침오일이 바람직한 것이라고 판단하는 방법을 들 수 있다.
특히 마진을 도포하고 있는 오일이 실리콘오일이고, 또한 함침제도 실리콘오일인 것이 보다 바람직하며, 이들의 실리콘오일로서는 특히 디메틸폴리실록산, 혹은 메틸페닐실리콘오일이 우수하다.
본 발명의 금속증착필름의 마진부(3)란 도 1과 같이 금속증착막과 메탈리콘부와의 절연을 확보하기 위하여 설치되는 마진(프리마진, 또는 JIS C2319-1997로 호칭되어 있는 마진폭)뿐만 아니라 특공평1-21613호 공보, 특개평4-225508호 공보, 특개평7-86088호 공보, USP 5057967 등으로 제안되어 있는 보안기구용 마진, 혹은 전극을 분할하기 위한 마진까지도 가리키는 것이다.
이와 같은 보안기구용 마진이나 분할전극용 마진을 보유하는 종래의 콘덴서에서 금속증착막과 마진부의 경계에서 절연파괴를 일으키며, 용량을 저하시키는 문제가 있었지만, 본 발명의 금속증착필름을 사용한 콘덴서에서는 이와 같은 문제가 현저하게 개량된다.
이와 같은 보안기구용 마진을 형성하는 방법으로서는, 특개소63-114956호 공보(USP 4832983)의 방법이 있다. 단, 본 발명의 금속증착필름은 증착 후 오일(6)이 남아, 마진부(3)를 도포하며, 또한 경계막부(5)가 형성되는 것이다.
종래의 콘덴서용 증착필름의 마진은 경계막부가 없고, 또한 마진부에 오일이 남지 않는 것이 품질상 중요했지만, 본 발명은 역으로 경계막부를 형성시키고, 마진부에 오일이 남게 됨으로써, 극히 높은 내전압의 금속증착필름을 발명하는데 도달한 것이다.
본 발명의 금속증착필름을 사용한 콘덴서는 높은 내전압을 요구하는 용도의 콘덴서에 적합하다. 그 중에서도 높은 내전압을 요구하는 안전규격에 적합한 콘덴서로서 우수하다. 또한 본 발명의 금속증착필름은 성능이 우수한 소형의 콘덴서를 취득하는데 적합하다.
또한 본 발명의 금속증착필름은 종래의 금속증착필름과 달리, 마진부가 오일로 도포되어 있으므로, 프레스조건 등 종래의 콘덴서 제조조건을 변경하는 것이 필요하게 되는 경우가 있지만, 각각의 금속증착필름에 적당한 최적한 가공조건을 설정하는 것은 당업자로서는 당연한 것이다.
본 발명에 있어서, 물성치의 측정은 하기에 따른다.
(1) Al-Zn 합금의 조성분석
금속증착필름 샘플 9㎠를 희석된 질산으로 용해한 후 20㎖ 부피로 하고, 이 용액을 ICP 발광분광분석법에 의하여 Al 및 Zn을 정량하였다. ICP 발광분광분석장치는 세이코전자공업(주)제 SPS1200VR형을 사용하였다.
(2) Al 및 Zn의 조성분포
JEOL제 JAMP-10S형의 오제전자분광분석장치에 의하여, 증착층의 표면을 Ar 이온으로 에칭하면서 Al 및 Zn의 정량분석을 실시하였다.
Ar 이온에칭조건
가속전압 : 3㎸
시료전류 : 1×10-6 A
에칭속도 : SiO2 환산으로 190 Å/min
측정조건
가속전압 : 3㎸
슬릿 No. : 5
시료전류 : 8×10-8 A
시료경사각도 : 72도
빔지름 : 10㎛
또한, 필름계면(film interface)이란 증착막 중앙에서 필름계면에 걸쳐 Al함유량이 많아지고, 최대로 된 후 감소해가는 범위에서 Al의 함유량의 최대점의 위치를 의미하고, 최대점의 함유량비를 C3으로 한다.
(3) 경계막부폭
증착막과 마진의 계면을 광학현미경 하에서 50~100배의 배율로 측정하고, 소수점 제3자릿수까지를 읽고, 제3자릿수를 반올림한다. 측정은 슬릿로울(slit roll)로 실시하고, 금속증착필름 50㎝마다 1포인트합계 10포인트 측정하며, 그 최저치와 최고치 및 평균치를 산출한다.
(4) 마진부 오일의 유무
XPS(ESCA)에 의하여 마진부를 관측함으로써, 오일의 유무를 확인할 수 있다.
장치 : SSI사제 SSX-100-206
여기X선 : monochromatized Al Kα1.2선(1486.6ev)
광전자탈출각도(θ) : 35°
에너지보정 : CIS 메인피이크의 결합에너지값을 284.6ev와 합치시켰다.
또한, XPS는 감도가 양호하므로 오염에 의한 오일을 검출하는 경우가 있지만, 마진부가 오일로 도포되어 있는 경우는 검출된 오일로부터의 신호가 현저하게 높고, 오염된 오일과는 구별할 수 있다.
(5) 마진부의 오일의 분자량 분포측정
증착필름 표면을 이소프로필알콜로 세정하고, 그 세정액 중에 함유되는 오일을 겔 투과 크로마토그래프 GPC-244(WATERS), 검출기: 시차굴절률 검출기 R-401 (WATERS)을 사용하여 측정하고, 분자량 교정은 폴리스티렌으로 실시하였다.
또한 페닐기를 보유하는 실리콘오일의 경우는 칼럼은 TSK-gel-G3000HXL(1), G2500HXL(1)(동소(주))를 사용하였다.
실시예
실시예 1, 2, 3, 4, 및 비교예1, 2, 3, 4
두께 8㎛의 폴리프로필렌필름에 실시예 1, 2, 3, 4, 및 비교예 1, 2, 3에서는 증착막폭×2＝33㎜의 Al-Zn 합금증착막과 마진폭×2＝5㎜의 마진부(미증착부)를 설치하였다. 비교예 4에서는 같은 폭의 Al증착막과 같은 폭의 마진부를 설치하였다.
실시예 1, 2, 3, 4, 및 비교예 1, 2, 3에서는, 증착속도 400m/min의 조건에서, 진공증착기의 권출 측에서 풀어내어진 폴리프로필렌필름의 마진을 형성하는, 오일을 넣은 금속파이프(마진노즐)를 가열하여, 상기 파이프의 표면에 형성된 마진의 폭(실제로는 2배의 폭)보다, 폭방향의 열팽창분만큼 짧은 폭으로 열려진 거의 직사각형의 구멍에서 그 오일을 증발시키고, 상기 필름의 표면에 마진부로 되는 부분에 상기 오일을 부착시켰다. 계속하여 Al을 증착하고, 계속해서 Zn을 연속적으로 증착하며, 계속하여 비교예 3을 제거하여 상기 증착막, 상기 경계막부, 및 상기 마진부 전면을 산소가스의 저온플라스마처리하며, 계속하여 상기 마진오일과 동일한 오일을 증발, 부착시킨 후 권취로울에 권취하였다. 비교예3에서는 Zn 증착후 그대로 권취로울에 권취하였다.
증착막이 막전체의 Al함유량비 2.4wt%, C1＝6.0wt%, C2＝0.1wt%, C3＝14.0wt%, 및 막저항 4Ω/□으로 되도록 Al 및 Zn의 증착원의 온도를 제어하였다.
마진오일은 실시예 1, 2, 3, 4, 비교예 1, 2에서는 MW＝520, MW/MN＝1.0의 페닐·메틸·디메틸폴리실록산(도레이·다우코닝·실리콘(주)사제 SH702)을 사용하여, 실시예 1에서는 마진노즐내의 압력을 60Pa로 제어하고, 슬릿로울 원주방향 50㎝마다 10포인트의 측정에서 경계막폭은 0.02~0.04㎜였다. 마찬가지로 실시예 2는 52㎩로 제어하고, 경계막폭이 0.05~0.07㎜로 되도록, 실시예 3에서는 45㎩로 제어하고, 경계막폭을 0.2~0.4㎜로 되도록, 실시예 4에서는 35㎩로 제어하고, 경계막폭이 0.8~1.0㎜로 되도록 조절하였다. 비교예 1에서는 70㎩로 제어하며, 경계막폭이 0.01㎜미만(보통의 오일마진조건), 비교예 2에서는 25㎩로 제어하고, 경계막폭이 1.3~1.5㎜로 되도록, 마진증발노즐내의 압력을 측정하면서 마진노즐온도를 제어하고, 오일증발노즐내의 압력을 제어하였다.
비교예 3에서는 마진오일로서 과플루오로폴리에테르오일을 사용하고, 오일증기압을 40㎩로 유지하며 경계막폭이 0.01㎜ 미만으로 되도록 마진노즐온도를 제어하였다(보통의 오일마진조건).
비교예 4에서는 내열필름을 사용하여, 증착속도 300m/min의 조건에서, 마진폭×2＝5㎜의 마진부를 설치하며, 테이프마진법에 의하여 Al을 증착막저항 4Ω/□으로 되도록 증착하였다.
각각의 증착필름을 증착막폭＝16.5㎜, 마진폭＝2.5㎜의 증착필름릴(19㎜폭)로 되도록 보통의 방법으로 증착필름을 증착막부의 중앙과 마진부의 중앙을 슬릿하였다.
그 슬릿된 증착필름을 도 2와 같이 보통의 방법으로 겹치고, 권회한 후, 프레스, 메탈리콘, 열처리하여 전극을 설치하여, 도 8과 같은 소자콘덴서를 작성하였다. 계속하여 디메틸폴리실록산오일(점도 100cst)을 함침한 후, 에폭시를 외장하는 보통의 방법으로 0.15㎌의 콘덴서를 제작하였다.
이들의 콘덴서에 UL1414의 규격에 준거하며, 1500VAC(60㎐)의 교류전압을 1분간 인가하며, 파괴의 상황을 조사하였다. 또한, 파괴형태는 테스트후의 콘덴서를 육안으로 관찰하고, 콘덴서를 더 분해하여 파괴부의 위치를 광학현미경으로 확인하였다.
또한 증착필름릴의 마진부를 XPS로 관찰하고, 마진부가 오일로 도포되어 있는지를 조사하였다.
표 1에 표시하는 결과와 같이, 본 발명품(실시예1~4)은 파괴가 적고, 극히 우수한 특성을 표시하였다.
[표 1]
실시예 5 및 비교예 5, 6, 7, 8
실시예 5에서는 10㎛, 비교예 5, 6, 7, 8은 12㎛의 폴리에틸렌테레프탈레이트필름을 사용하고, 다른 조건은 표 2의 조건으로 증착필름을 제조하고, 계속하여 실시예1과 동일하게 하여 콘덴서를 제조하였다. 또한 콘덴서 제조조건은 금속증착폴리에스테르필름(금속증착폴리에틸렌테레프탈레이트필름)을 사용하여 콘덴서를 제조하는 일반적인 조건에서 실시하였다. 이들의 콘덴서를 실시예1과 동일한 방법으로 테스트하였다. 단 인가전압은 1250VAC와 1500VAC로 하였다. 이들의 결과를 표 2에 표시한다.
표 2와 같이, 본 발명의 콘덴서(실시예 5)는 필름두께가 비교예에 비하여 2㎛ 얇은데도 불구하고 우수한 특성을 표시하였다.
[표 2]
본 발명의 금속증착필름은 금속증착막과 마진과의 경계면에 있어서, 경계막부를 보유하고 있고, 또한 마진부가 오일로 도포되어 있으므로, 안전규격 콘덴서에 부과되어지는 고전압 인가에 대해서도 마진 부근에서의 파괴가 거의 발생되지 않아, 매우 높은 안전성을 보유한 콘덴서를 제조할 수 있다.
도 1은 본 발명의 금속증착필름의 단면형상의 일례를 표시한 개략도.
도 2는 본 발명의 금속증착필름의 단면형상의 일례를 표시한 개략도.
도 3은 본 발명의 금속증착필름의 단면형상의 일례를 표시한 개략도.
도 4는 본 발명의 금속증착필름을 콘덴서를 만들기 위하여 겹쳐 놓은 단면형상의 일례를 표시한 개략도.
도 5는 본 발명의 금속증착필름을 콘덴서를 만들기 위하여 겹쳐 놓은 단면형상의 일례를 표시한 개략도.
도 6은 본 발명의 금속증착필름의 증착막 중의 Al 및 Zn의 함유량비의 일례를 표시한 개략도.
도 7은 본 발명의 금속증착필름을 제조하기 위한 하나의 장치의 개략도.
도 8은 본 발명의 금속증착필름을 겹쳐 놓고, 권회하여 작성된 콘덴서의 단면모양의 일례를 표시한 개략도.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -
1 : 본 발명의 금속증착필름 2 : 고분자필름
3 : 마진부 4 : 금속증착막부
5 : 경계막부 6 : 마진부를 도포하는 오일
7 : 진공증착기 8 : 풀림로울
9 : 권취로울 10 : 냉각드럼
11 : 오일증착노즐 12 : Al증발원
13 : Zn증발원 14 : 저온플라즈마처리장치
15 : 오일증발기 16 : 압력계
17 : 제어계 18 : 출력전원
19 : 배기용 진공펌프 20 : 메탈리콘부
21 : 전극인출부

Claims (21)

  1. 고분자필름의 적어도 한쪽 면에 표면저항 1Ω/□~15Ω/□의 전극으로 이루어지는 금속증착막부와 표면저항 1×1010Ω/□ 이상의 마진부, 및 상기 금속증착막부와 상기 마진부의 사이에 상기 금속증착막부에서 상기 마진부에 걸쳐서 금속증착막 두께가 연속적으로 감소하는 폭 0.02~1㎜의 경계막부를 보유하는 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  2. 제1항에 있어서, 경계막부의 폭이 0.02~0.5㎜인 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  3. 제1항에 있어서, 경계막부의 폭이 0.02~0.25㎜인 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  4. 제1항에 있어서, 경계막부의 폭이 0.05~0.2㎜인 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  5. 제1항에 있어서, 상기 마진부가 오일로 도포되어 있는 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  6. 제5항에 있어서, 오일이 광물성 오일 또는 실리콘 오일인 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  7. 제6항에 있어서, 실리콘오일의 중량평균분자량(MW)이 300≤MW≤800이고, 또한 수평균분자량(MN)과의 비가 1.0≤MW/MN≤1.1인 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  8. 제6항에 있어서, 실리콘오일이 디메틸폴리실록산오일 또는 메틸페닐실리콘오일인 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  9. 제1항 내지 제6항, 제7항 또는 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 금속증착막이 Al과 Zn의 합금으로 되고, 또한 Al의 함유량비는 식 (Al함유량×100/(Al함유량＋Zn함유량))으로 구하는 값으로 하고, 증착막 표면에서 상기 Al의 함유량비를 C1, 증착막 두께의 중간에서 상기 Al의 함유량비를 C2, 증착막과 고분자필름의 경계면에서 상기 Al의 함유량비를 C3라 했을 때, C2＜C1≤C3 또는 C2＜C3≤C1로 연속적으로 변화하며, 또한 증착막 전체의 상기 Al의 함유량비가 0.5~15wt%인 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  10. 제9항에 있어서, Al의 함유량비가 8~12wt%인 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  11. 제10항에 있어서, Al의 함유량비가 C2＜C1≤C3인 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  12. 제1항 내지 제6항, 제7항 또는 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 금속증착막, 경계막부, 마진부가 저온플라스마처리된 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
  13. 진공증착기내에서 고분자필름 표면에 오일을 증착, 또는 오일을 도포한 후, 금속을 증착하여 고분자증착필름을 제조하는 공정에 있어서, 증착오일량 또는 도포오일량을 제어함으로써, 금속증착막부와 마진부 사이의 경계막부의 폭을 0.02 이상~1㎜ 이하의 규정 범위로 조절하는 것을 특징으로 하는 제1항 내지 제6항, 제7항 또는 제8항 중 어느 한 항에 기재된 금속증착필름의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서, 오일을 증착 또는 도포할 때, 오일증발기내의 압력을 측정, 제어하는 것을 특징으로 하는 금속증착필름의 제조방법.
  15. 진공증착기내에서 주된 금속을 증착후, 산소원자를 함유하는 가스를 사용한 저온플라스마에 의하여 그 금속증착막 표면, 그 경계막부 및 그 마진부를 처리하는 것을 특징으로 하는 제12항에 기재된 금속증착필름의 제조방법.
  16. 고분자필름의 적어도 한쪽 면에 표면저항 1Ω/□~15Ω/□의 전극으로 되는 금속증착막부와 표면저항 1×1010Ω/□ 이상의 마진부, 및 상기 금속증착막부와 상기 마진부의 사이에 상기 금속증착막부에서 상기 마진부에 걸쳐서 금속증착막 두께가 연속적으로 감소하는 폭 0.02~1㎜의 경계막부를 보유하는 금속증착필름을 권회 또는 적층하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 콘덴서.
  17. 제16항에 있어서, 제1항 내지 제6항, 제7항 또는 제8항에 기재된 금속증착필름을 사용한 것을 특징으로 하는 콘덴서.
  18. 제16항에 있어서, 콘덴서에 있어서 함침제로서, 마진을 도포하고 있는 오일과 상용하는 오일을 사용한 것을 특징으로 하는 콘덴서.
  19. 제18항에 있어서, 마진을 도포하고 있는 오일 및 함침제의 오일이 실리콘오일인 것을 특징으로 하는 콘덴서.
  20. 제19항에 있어서, 실리콘오일이 디메틸폴리실록산오일 또는 메틸페닐실리콘오일인 것을 특징으로 하는 콘덴서.
  21. 제7항에 있어서, 실리콘오일이 디메틸폴리실록산오일 또는 메틸페닐실리콘오일인 것을 특징으로 하는 금속증착필름.
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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19639877C2 (de) * 1996-09-27 1998-10-15 Siemens Matsushita Components Regenerierfähiger elektrischer Kondensator
CN100433212C (zh) * 2001-08-10 2008-11-12 蔡文俊 薄膜制作工艺的双供料堆叠机
EP1306862A1 (de) * 2001-10-23 2003-05-02 Abb Research Ltd. Folie für einen Folienkondensator und Folienkondensator
US6788182B2 (en) * 2002-09-03 2004-09-07 Dupont Teijin Films U.S. Limited Partnership Metalized polyester film with heat-seal layer on opposite side for flyback transformer application
CN100491584C (zh) * 2005-09-22 2009-05-27 中国科学院半导体研究所 不同折射率膜层的制备方法
US20100177456A1 (en) * 2006-01-13 2010-07-15 Ryo Miyamoto Metallized film for capacitor and capacitor using the same
US7862856B1 (en) * 2006-03-10 2011-01-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Method for making high temperature polymer dielectric compositions incorporating diamond-like hydrocarbon units for capactive energy storage applications
KR100803356B1 (ko) 2006-06-02 2008-02-18 승우전자(주) 대전류용 필름 콘덴서의 제조 방법 및 그 방법으로 제조한 대전류용 필름 콘덴서
US20080151471A1 (en) * 2006-12-22 2008-06-26 Maxwell Technologies, Inc. High voltage capacitor and method for manufacturing same
WO2011055517A1 (ja) * 2009-11-04 2011-05-12 パナソニック株式会社 金属化フィルムコンデンサ及びこれを用いたケースモールド型コンデンサ
JP2012191020A (ja) * 2011-03-11 2012-10-04 Okaya Electric Ind Co Ltd 金属化フィルムコンデンサ
JP2012222127A (ja) * 2011-04-08 2012-11-12 Okaya Electric Ind Co Ltd 金属化フィルムコンデンサ
JP2012227401A (ja) * 2011-04-21 2012-11-15 Okaya Electric Ind Co Ltd 金属化フィルム及び金属化フィルムコンデンサ
CN102290232A (zh) * 2011-06-03 2011-12-21 南通江海电容器股份有限公司 一种薄膜电容器用金属化薄膜及其制作方法
CN102877037A (zh) * 2012-09-18 2013-01-16 铜陵其利电子材料有限公司 金属化薄膜镀膜机用固定卡键
JP2014103174A (ja) * 2012-11-16 2014-06-05 Okaya Electric Ind Co Ltd 金属化フィルムコンデンサ
US20150376768A1 (en) 2014-06-30 2015-12-31 Palo Alto Research Center Incorporated Systems and methods for implementing digital vapor phase patterning using variable data digital lithographic printing techniques
CN104319099B (zh) * 2014-10-31 2017-09-29 东丽薄膜加工（中山）有限公司 金属化薄膜及其制造方法、制造装置和电容器
CN104916439A (zh) * 2015-05-10 2015-09-16 长兴华强电子有限公司 耐高温微型高压电容器
KR20170010244A (ko) 2015-07-17 2017-01-26 성호전자(주) 금속증착필름의 진공증착장치
KR20170010243A (ko) 2015-07-17 2017-01-26 성호전자(주) 금속노즐핀을 이용한 진공증착장치
CN108140483B (zh) * 2015-10-21 2020-08-04 松下知识产权经营株式会社 金属化膜的制造方法
CN106252075A (zh) * 2016-08-11 2016-12-21 苏州柯创电子材料有限公司 金属化薄膜电容的制造工艺
KR102363326B1 (ko) * 2018-02-05 2022-02-15 시즈키 일렉트릭 컴퍼니 인코포레이티드 필름 콘덴서
JP7193070B2 (ja) * 2018-02-05 2022-12-20 株式会社指月電機製作所 フィルムコンデンサ
EP3531431B1 (en) * 2018-02-22 2020-09-16 ABB Power Grids Switzerland AG Bushing electrode with edges having field grading properties and method for manufacturing such a bushing
CN111763913A (zh) * 2020-07-07 2020-10-13 江苏伟业铝材有限公司 一种门窗用铝型材表面喷涂方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05304046A (ja) * 1992-04-27 1993-11-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 乾式高圧進相コンデンサ
JPH06290990A (ja) * 1993-04-05 1994-10-18 Toray Ind Inc コンデンサ用金属化ポリプロピレンフイルム
KR19980066056A (ko) * 1997-01-18 1998-10-15 이광식 스프레이면을 강화한 콘덴서용 알루미늄 금속 증착필름과 그 제조방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1704766C3 (de) * 1967-09-04 1975-02-06 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Polyesterfolie hoher Festigkeit mit geringem elektrischen Oberflächenwiderstand
DE2826481A1 (de) * 1977-01-28 1980-01-03 Siemens Ag Regenerierfaehiger elektrischer kondensator
US4339303A (en) * 1981-01-12 1982-07-13 Kollmorgen Technologies Corporation Radiation stress relieving of sulfone polymer articles
EP0088137B1 (de) * 1982-03-06 1986-10-15 Steiner KG Selbstheilender elektrischer Kondensator
US5563424A (en) * 1994-03-24 1996-10-08 Uniax Corporation Polymer grid triodes
US5612107A (en) * 1995-02-24 1997-03-18 Avery Dennison Corporation Mottle prevention film or coating

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05304046A (ja) * 1992-04-27 1993-11-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 乾式高圧進相コンデンサ
JPH06290990A (ja) * 1993-04-05 1994-10-18 Toray Ind Inc コンデンサ用金属化ポリプロピレンフイルム
KR19980066056A (ko) * 1997-01-18 1998-10-15 이광식 스프레이면을 강화한 콘덴서용 알루미늄 금속 증착필름과 그 제조방법

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Publication number Publication date
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US6018454A (en) 2000-01-25
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SG75839A1 (en) 2000-10-24
EP0880153B1 (en) 2000-07-05
JP3885280B2 (ja) 2007-02-21
CN1161806C (zh) 2004-08-11
DE69800198T2 (de) 2000-12-14
MY118617A (en) 2004-12-31
TW422888B (en) 2001-02-21
EP0880153A1 (en) 1998-11-25
JPH10303056A (ja) 1998-11-13

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