JP2002337270A - 金属化フィルム - Google Patents
金属化フィルムInfo
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- JP2002337270A JP2002337270A JP2001150747A JP2001150747A JP2002337270A JP 2002337270 A JP2002337270 A JP 2002337270A JP 2001150747 A JP2001150747 A JP 2001150747A JP 2001150747 A JP2001150747 A JP 2001150747A JP 2002337270 A JP2002337270 A JP 2002337270A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、容量の低下が少なく、耐ハンダ性の
優れた金属化フイルムを提供せんとするものである。 【解決手段】本発明の金属化フイルムは、アルミニウム
を二軸延伸ポリフェニレンスルファイドフイルムに蒸着
した金属化フイルムであって、該蒸着膜が表層に５０オ
ングストローム以上の酸化層を有し、かつ、蒸着膜表面
が０.１〜１.０μｇ／ｃｍ2のオイル被覆されたもので
あり、かつ、２００℃での寸法変化が、ー０.５％以
上、０.２％未満であることを特徴とするものである。
優れた金属化フイルムを提供せんとするものである。 【解決手段】本発明の金属化フイルムは、アルミニウム
を二軸延伸ポリフェニレンスルファイドフイルムに蒸着
した金属化フイルムであって、該蒸着膜が表層に５０オ
ングストローム以上の酸化層を有し、かつ、蒸着膜表面
が０.１〜１.０μｇ／ｃｍ2のオイル被覆されたもので
あり、かつ、２００℃での寸法変化が、ー０.５％以
上、０.２％未満であることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属化フィルムに
関するものである。更に詳しくはコンデンサ用フイルム
に関するものである。
関するものである。更に詳しくはコンデンサ用フイルム
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ポリフェニレンスルファイドフイルムを
誘電層とし、その表面に形成された金属蒸着を電極とす
るコンデンサは広く用いられている。また耐熱性、耐湿
性等に優れたコンデンサを得ることが、特開平３−１４
３６２９号公報等によって提案されている。
誘電層とし、その表面に形成された金属蒸着を電極とす
るコンデンサは広く用いられている。また耐熱性、耐湿
性等に優れたコンデンサを得ることが、特開平３−１４
３６２９号公報等によって提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
アルミニウム金属を蒸着したポリフェニレンスルファイ
ドフイルムは、耐湿ライフが短いという欠点、すなわち
８５℃、８５％の高温高湿雰囲気下では、電極の金属変
化により、コンデンサの容量が低下する欠点があった。
アルミニウム金属を蒸着したポリフェニレンスルファイ
ドフイルムは、耐湿ライフが短いという欠点、すなわち
８５℃、８５％の高温高湿雰囲気下では、電極の金属変
化により、コンデンサの容量が低下する欠点があった。
【０００４】本発明は、かかる従来技術の背景に鑑み、
容量の低下が少なく、耐ハンダ性の優れた金属化フイル
ムを提供せんとするものである。
容量の低下が少なく、耐ハンダ性の優れた金属化フイル
ムを提供せんとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる課題を
解決するために、次のような手段を採用するものであ
る。すなわち、本発明の金属化フイルムは、アルミニウ
ムを二軸延伸ポリフェニレンスルファイドフイルムに蒸
着した金属化フイルムであって、該蒸着膜が表層に５０
オングストローム以上の酸化層を有し、かつ、蒸着膜表
面が０.１〜１.０μｇ／ｃｍ2 のオイル被覆されたもの
であり、かつ、２００℃での寸法変化が、ー０.５％以
上、０.２％未満であることを特徴とするものである。
解決するために、次のような手段を採用するものであ
る。すなわち、本発明の金属化フイルムは、アルミニウ
ムを二軸延伸ポリフェニレンスルファイドフイルムに蒸
着した金属化フイルムであって、該蒸着膜が表層に５０
オングストローム以上の酸化層を有し、かつ、蒸着膜表
面が０.１〜１.０μｇ／ｃｍ2 のオイル被覆されたもの
であり、かつ、２００℃での寸法変化が、ー０.５％以
上、０.２％未満であることを特徴とするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明は、前記課題、つまり容量
の低下が少なく、耐ハンダ性の優れた金属化フイルムに
ついて、鋭意検討し、アルミニウムを二軸延伸ポリフェ
ニレンスルファイドフイルムに蒸着した金属化フイルム
の蒸着膜を特定な膜にしてみたところ、かかる課題を一
挙に解決することを究明したものである。
の低下が少なく、耐ハンダ性の優れた金属化フイルムに
ついて、鋭意検討し、アルミニウムを二軸延伸ポリフェ
ニレンスルファイドフイルムに蒸着した金属化フイルム
の蒸着膜を特定な膜にしてみたところ、かかる課題を一
挙に解決することを究明したものである。
【０００７】本発明で用いるポリフェニレンスルファイ
ドフイルム（以下ＰＰＳと略す）とは、ポリーＰーフェ
ニレンスルファイドを主成分とする樹脂組成物の二軸延
伸フイルムである。さらに詳しくは本発明で用いるＰＰ
Ｓは、キシレン抽出量が０．４％以上１．５％未満のも
のが好ましく、より好ましくは０．４％以上１．２％未
満のものである。
ドフイルム（以下ＰＰＳと略す）とは、ポリーＰーフェ
ニレンスルファイドを主成分とする樹脂組成物の二軸延
伸フイルムである。さらに詳しくは本発明で用いるＰＰ
Ｓは、キシレン抽出量が０．４％以上１．５％未満のも
のが好ましく、より好ましくは０．４％以上１．２％未
満のものである。
【０００８】ここで、ポリフェニレンスルファイドを主
成分とする樹脂組成物（以下樹脂組成物と略す）とは、
ポリーＰーフェニレンスルファイドを７０重量％以上含
む組成物をいう。ポリーＰーフェニレンスルファイドの
含有率が７０重量％未満では、該組成物からなるフイル
ムの特徴である耐熱性、tanδの周波数特性を損なう。
ポリーＰーフェニレンスルファイドとは、繰り返し単位
の７０モル％以上より好ましくは８５モル％以上が 構
造式−（Ｃ6Ｈ4Ｓ）ｎ−で示される構成単位からなる重
合体を言う。この成分が７０モル％未満ではポリマーの
結晶性、熱転移温度等が低くなり、ＰＰＳを主成分とす
る樹脂組成物からなるフイルムの特徴である耐熱性、ta
nδの周波数特性を損なう。ＰＰＳの溶融粘度は、３０
０℃、せん断速度２００Ｓｅｃー1のもとで、８００〜１
５０００ポイズの範囲にあるものが好ましい。この値は
蒸着フイルムとなった後でも変わらない。
成分とする樹脂組成物（以下樹脂組成物と略す）とは、
ポリーＰーフェニレンスルファイドを７０重量％以上含
む組成物をいう。ポリーＰーフェニレンスルファイドの
含有率が７０重量％未満では、該組成物からなるフイル
ムの特徴である耐熱性、tanδの周波数特性を損なう。
ポリーＰーフェニレンスルファイドとは、繰り返し単位
の７０モル％以上より好ましくは８５モル％以上が 構
造式−（Ｃ6Ｈ4Ｓ）ｎ−で示される構成単位からなる重
合体を言う。この成分が７０モル％未満ではポリマーの
結晶性、熱転移温度等が低くなり、ＰＰＳを主成分とす
る樹脂組成物からなるフイルムの特徴である耐熱性、ta
nδの周波数特性を損なう。ＰＰＳの溶融粘度は、３０
０℃、せん断速度２００Ｓｅｃー1のもとで、８００〜１
５０００ポイズの範囲にあるものが好ましい。この値は
蒸着フイルムとなった後でも変わらない。
【０００９】本発明では、蒸着面が、０．１〜１.０μ
ｇ／ｃｍ2 、好ましくは０．３〜０.８μｇ／ｃｍ2 の
範囲のオイル層で被覆されていることが必須である。す
なわち、かかるオイル層が、０．１μｇ／ｃｍ2より被
覆厚みが薄い場合では、金属面の消失が生じ、耐湿性が
劣る。一方、１．０μｇ／ｃｍ2より多いと、コンデン
サ素子をプレスする際、プレス性が悪く、容量のバラツ
キを引き起こす。
ｇ／ｃｍ2 、好ましくは０．３〜０.８μｇ／ｃｍ2 の
範囲のオイル層で被覆されていることが必須である。す
なわち、かかるオイル層が、０．１μｇ／ｃｍ2より被
覆厚みが薄い場合では、金属面の消失が生じ、耐湿性が
劣る。一方、１．０μｇ／ｃｍ2より多いと、コンデン
サ素子をプレスする際、プレス性が悪く、容量のバラツ
キを引き起こす。
【００１０】かかる蒸着面の上に被覆するために用いる
オイル層としては、シリコーン系のオイルが好ましい。
シリコーン系のオイルとしては、ジメチルポリシロキサ
ン、メチルフェニルポリシロキサン、フェニルメチルジ
メチルポリシロキサン等のオイルが好ましい。
オイル層としては、シリコーン系のオイルが好ましい。
シリコーン系のオイルとしては、ジメチルポリシロキサ
ン、メチルフェニルポリシロキサン、フェニルメチルジ
メチルポリシロキサン等のオイルが好ましい。
【００１１】本発明で用いるＰＰＳフイルムの２００℃
での寸法変化は、ー０．５％以上０．５％以未満である
ことが重要である。寸法変化がー０．５％未満では、コ
ンデンサ素子のプレス加工において、フイルムの歪みが
大きく、絶縁破壊電圧が劣る。０．５％を越えると、フ
イルムの収縮が大きくなりコンデンサ素子の容量バラツ
キが生じる。
での寸法変化は、ー０．５％以上０．５％以未満である
ことが重要である。寸法変化がー０．５％未満では、コ
ンデンサ素子のプレス加工において、フイルムの歪みが
大きく、絶縁破壊電圧が劣る。０．５％を越えると、フ
イルムの収縮が大きくなりコンデンサ素子の容量バラツ
キが生じる。
【００１２】本発明の蒸着膜のアルミニウム金属の一部
は酸化されており、この酸化膜層の厚みは、好ましくは
５０オングストローム以上、より好ましくは７５〜９０
ストローム以上である。酸化膜層の厚みが５０オングス
トローム未満では、高温高湿環境下で蒸着金属が消失
し、コンデンサの容量が低下する。なお、酸化膜層の厚
みは９０オングストローム以下であるのが好ましく、こ
れを越える厚みになると、プレス性が阻害されフイルム
層間の密着性が劣る。かかる蒸着膜層の電気抵抗は好ま
しくは１〜８Ω／口、より好ましくは１．５〜４Ω／口
である。かかる膜の電気抵抗が１Ω／口未満であると、
コンデンサでのクリアリング性が劣り、絶縁破壊電圧が
低下する。一方８Ω／口を越えると、金属膜が薄くなり
すぎ、高温高湿環境下で蒸着金属が消失し、耐湿性を損
なうことになる。
は酸化されており、この酸化膜層の厚みは、好ましくは
５０オングストローム以上、より好ましくは７５〜９０
ストローム以上である。酸化膜層の厚みが５０オングス
トローム未満では、高温高湿環境下で蒸着金属が消失
し、コンデンサの容量が低下する。なお、酸化膜層の厚
みは９０オングストローム以下であるのが好ましく、こ
れを越える厚みになると、プレス性が阻害されフイルム
層間の密着性が劣る。かかる蒸着膜層の電気抵抗は好ま
しくは１〜８Ω／口、より好ましくは１．５〜４Ω／口
である。かかる膜の電気抵抗が１Ω／口未満であると、
コンデンサでのクリアリング性が劣り、絶縁破壊電圧が
低下する。一方８Ω／口を越えると、金属膜が薄くなり
すぎ、高温高湿環境下で蒸着金属が消失し、耐湿性を損
なうことになる。
【００１３】本発明の金属化フイルムは、ＰＰＳフイル
ムの上にアルミニウムを蒸着したものであるが、蒸着す
る前に、蒸着側の表面にあらかじめコロナ処理、プラズ
マ処理等の放電を施すこともできる。
ムの上にアルミニウムを蒸着したものであるが、蒸着す
る前に、蒸着側の表面にあらかじめコロナ処理、プラズ
マ処理等の放電を施すこともできる。
【００１４】本発明の金属化フイルムは、アルミニウム
が真空蒸着されいていることが必要であるが、ここでア
ルミニウムとは、金属アルミニウムを主成分とする金属
組成物のことで、純度が９９．９％以上が好ましい。フ
イルムとの密着性や耐湿性を改善する目的でＣｕ、Ａ
ｇ、Ｎｉ等の金属が含まれていても勿論問題はない。
が真空蒸着されいていることが必要であるが、ここでア
ルミニウムとは、金属アルミニウムを主成分とする金属
組成物のことで、純度が９９．９％以上が好ましい。フ
イルムとの密着性や耐湿性を改善する目的でＣｕ、Ａ
ｇ、Ｎｉ等の金属が含まれていても勿論問題はない。
【００１５】次に本発明の金属化フイルムを用いたコン
デンサの製造方法について説明するが、これに限定され
るものではない。
デンサの製造方法について説明するが、これに限定され
るものではない。
【００１６】溶融粘度３１００ポイズのＰＰＳポリマー
を１００℃のジフェニルエーテルで洗浄、抽出し低分子
量分、及び不純物成分を除去した。該組成物に、平均粒
子径０．７μｍの炭酸カルシウム微粉末０．５ｗｔ％を
添加し、３００〜３３０℃に加熱された押出機に供給
し、Ｔダイから押し出し、表面が２５〜３５℃の金属ド
ラム上にキャストして冷却固化し、厚さ約２０μｍの未
延伸フイルムを得た。
を１００℃のジフェニルエーテルで洗浄、抽出し低分子
量分、及び不純物成分を除去した。該組成物に、平均粒
子径０．７μｍの炭酸カルシウム微粉末０．５ｗｔ％を
添加し、３００〜３３０℃に加熱された押出機に供給
し、Ｔダイから押し出し、表面が２５〜３５℃の金属ド
ラム上にキャストして冷却固化し、厚さ約２０μｍの未
延伸フイルムを得た。
【００１７】このフイルムを９５〜１０５℃に加熱され
たロール群からなる縦延伸装置で３．６〜３．９倍延伸
する。続いてテンターを用いて、温度１００〜１１５℃
で３．４〜３．６倍延伸し、温度２７０〜２７５℃で約
１０秒間緊張下で熱処理した、厚さ２μｍのＰＰＳフイ
ルムを得た。
たロール群からなる縦延伸装置で３．６〜３．９倍延伸
する。続いてテンターを用いて、温度１００〜１１５℃
で３．４〜３．６倍延伸し、温度２７０〜２７５℃で約
１０秒間緊張下で熱処理した、厚さ２μｍのＰＰＳフイ
ルムを得た。
【００１８】本発明のコンデンサを製造するには、二軸
延伸されたＰＰＳフィルムを２５０〜６００ｍｍに裁断
し、長さ３０００〜１５０００ｍの製品ロールを得る。
次いで該製品ロールを、真空下で、フイルム表面にＡｌ
金属を１．５〜５．０Ω／口の膜抵抗になるよう蒸着し
た。蒸着後、同真空蒸着装置内に設置された細かく幅方
向にスリットされた温度が１１５〜１２５℃に加熱され
たノズルよりシリコーン系のオイルを０．１〜１.０μ
ｇ／ｃｍ2蒸着面に噴霧した。
延伸されたＰＰＳフィルムを２５０〜６００ｍｍに裁断
し、長さ３０００〜１５０００ｍの製品ロールを得る。
次いで該製品ロールを、真空下で、フイルム表面にＡｌ
金属を１．５〜５．０Ω／口の膜抵抗になるよう蒸着し
た。蒸着後、同真空蒸着装置内に設置された細かく幅方
向にスリットされた温度が１１５〜１２５℃に加熱され
たノズルよりシリコーン系のオイルを０．１〜１.０μ
ｇ／ｃｍ2蒸着面に噴霧した。
【００１９】この蒸着フイルムは長手方向にマージン
（非蒸着部）を形成し、蒸着幅４．０ｍｍ、マージン幅
０．４ｍｍの蒸着製品を得た。該蒸着品を５０〜８０℃
の温度で４８時間エージング処理を行った。右マージン
と左マージンを有する全幅４．４ｍｍの蒸着品を重ね合
わせ巻回し、容量０．１μＦの巻回型のコンデンサとし
た。
（非蒸着部）を形成し、蒸着幅４．０ｍｍ、マージン幅
０．４ｍｍの蒸着製品を得た。該蒸着品を５０〜８０℃
の温度で４８時間エージング処理を行った。右マージン
と左マージンを有する全幅４．４ｍｍの蒸着品を重ね合
わせ巻回し、容量０．１μＦの巻回型のコンデンサとし
た。
【００２０】また、積層型フイルムコンデンサは、帯状
になった前述の金属化フイルムをプレスにてヒートプレ
スした後、短冊状の積層体をカッターにてチップ状に切
断し、両端にメタリコン等の電極を形成する工程を経て
製造する。積層型コンデンサは一般的には小型化に有効
であるが、プレス工程での熱や切断時の端面のギザギザ
等の影響で絶縁抵抗の低下や絶縁破壊電圧がバラツクこ
とが多々見られるが、ベースフイルムの熱収縮率の低下
させることや切断時のカッターの回転の最適化により、
安定したコンデンサを得ることができる。
になった前述の金属化フイルムをプレスにてヒートプレ
スした後、短冊状の積層体をカッターにてチップ状に切
断し、両端にメタリコン等の電極を形成する工程を経て
製造する。積層型コンデンサは一般的には小型化に有効
であるが、プレス工程での熱や切断時の端面のギザギザ
等の影響で絶縁抵抗の低下や絶縁破壊電圧がバラツクこ
とが多々見られるが、ベースフイルムの熱収縮率の低下
させることや切断時のカッターの回転の最適化により、
安定したコンデンサを得ることができる。
【００２１】該コンデンサは安定した電気特性を有し、
耐湿性に優れ、小型化対応もあり、自動車用や通信機器
用への展開が広がっている。
耐湿性に優れ、小型化対応もあり、自動車用や通信機器
用への展開が広がっている。
【００２２】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて、さらに詳
細に説明する。
細に説明する。
【００２３】[物性の測定方法ならびに効果の評価方法] （１）オイル量 理学電機工業（株）製の自動蛍光Ｘ線分析装置（ＲＩＸ
３０００）を用いて試料板の上にフイルムをのせ、３
０ｍｍφの測定面積でＳｉ元素の強度を求め、検量線よ
り、そのＳｉ成分量をオイル量とした。
３０００）を用いて試料板の上にフイルムをのせ、３
０ｍｍφの測定面積でＳｉ元素の強度を求め、検量線よ
り、そのＳｉ成分量をオイル量とした。
【００２４】（２）寸法変化 パーキンエルマー社製ＴＭＡーＳＥＭを用いて、幅２ｍ
ｍ×試長１０ｍｍにサンプリングを行い、荷重１００ｍ
Ｎにセットする。５℃／ｍｉｎで昇温しながら温度３０
０℃まで測定する。測定された温度依存での寸法変化チ
ャートより、温度２００℃における寸法変化を求める。
ｍ×試長１０ｍｍにサンプリングを行い、荷重１００ｍ
Ｎにセットする。５℃／ｍｉｎで昇温しながら温度３０
０℃まで測定する。測定された温度依存での寸法変化チ
ャートより、温度２００℃における寸法変化を求める。
【００２５】（３）酸化層厚み Ｘ線光電子分光法にて、米国ＳＳＩ社製 ＳＳＸ−１０
０を用いて、超高真空で試料表面に単結晶で分光した収
束（１５０〜１０００μｍ）軟Ｘ線を照射し、表面（数
ｎｍ）からでた光電子をアナライザーで検出する。この
方法で試料の表面から厚み方向に測定を行った。酸化層
の厚みは、蒸着層の表面よりアルゴンイオンにより、下
記の条件でエッチングを行いながら、深さ方向のデプス
プロファイル図１を得た。エッチング速度はＳｉＯ2 を
同条件で処理して、形状測定機でエッチング量を測定す
ることで、Ａｌ金属層の酸化層厚みとした。厚み方向で
えられたＯ、Ａｌ元素の曲線（図１）よりＡｌ金属層の
酸化層厚みとした。 装置 ：米国 ＳＳＩ社製 ＳＳＸー１００ Ｘ線源 ：単結晶分光ＡｌＫα線 Ｘ線スポット ：３００μｍ×５００μｍの楕円形 分解能 ：１．５ｅＶ アナライザーモード：１５０ｅＶ 真空度 ：１×１０ー9Torr ジオメトリー ：θ＝３５°（試料表面に対する検出器の傾き） イオンエッチング ：Ａｒ iｏn ３ｋｖ １０ｍＡ １×１０ー7Torr エッチング速度 ：４．８ｎｍ／ｍｉｎ （４）耐湿特性 厚み２μ、蒸着幅４ｍｍでマージン０．４ｍｍ形成され
た蒸着フイルムを２枚重ね合わせ、１．５ｍ巻回し、
０．１μＦのコンデンサ素子を作成する。
０を用いて、超高真空で試料表面に単結晶で分光した収
束（１５０〜１０００μｍ）軟Ｘ線を照射し、表面（数
ｎｍ）からでた光電子をアナライザーで検出する。この
方法で試料の表面から厚み方向に測定を行った。酸化層
の厚みは、蒸着層の表面よりアルゴンイオンにより、下
記の条件でエッチングを行いながら、深さ方向のデプス
プロファイル図１を得た。エッチング速度はＳｉＯ2 を
同条件で処理して、形状測定機でエッチング量を測定す
ることで、Ａｌ金属層の酸化層厚みとした。厚み方向で
えられたＯ、Ａｌ元素の曲線（図１）よりＡｌ金属層の
酸化層厚みとした。 装置 ：米国 ＳＳＩ社製 ＳＳＸー１００ Ｘ線源 ：単結晶分光ＡｌＫα線 Ｘ線スポット ：３００μｍ×５００μｍの楕円形 分解能 ：１．５ｅＶ アナライザーモード：１５０ｅＶ 真空度 ：１×１０ー9Torr ジオメトリー ：θ＝３５°（試料表面に対する検出器の傾き） イオンエッチング ：Ａｒ iｏn ３ｋｖ １０ｍＡ １×１０ー7Torr エッチング速度 ：４．８ｎｍ／ｍｉｎ （４）耐湿特性 厚み２μ、蒸着幅４ｍｍでマージン０．４ｍｍ形成され
た蒸着フイルムを２枚重ね合わせ、１．５ｍ巻回し、
０．１μＦのコンデンサ素子を作成する。
【００２６】該素子を温度１７５℃で圧力５０ｋｇ／ｃ
ｍ2、３時間放置の条件で素子をプレして扁平なコンデ
ンサ素子とする。該素子の両端を金属溶射する。
ｍ2、３時間放置の条件で素子をプレして扁平なコンデ
ンサ素子とする。該素子の両端を金属溶射する。
【００２７】該素子２０個の初期の容量を測定する。こ
の容量をＣ0とする。さらに８５℃ ×８５％の恒温恒
湿槽に４００時間放置した素子の容量を測定する。この
容量をＣ1とする。容量変化率を下記計算式により求
め、△Ｃ値が２％以上を不合格とする。
の容量をＣ0とする。さらに８５℃ ×８５％の恒温恒
湿槽に４００時間放置した素子の容量を測定する。この
容量をＣ1とする。容量変化率を下記計算式により求
め、△Ｃ値が２％以上を不合格とする。
【００２８】△Ｃ＝（ＣーＣ0）／Ｃ0×１００ 式中、Ｃ0 ：初期のコンデンサ容量 Ｃ：４００時間経過後の容量 耐湿特性は下記にて判定し、基準○以上を合格とした。
【００２９】 ◎：２０個中すべての素子が合格し、合格率は１００％ ○：２０個中１８〜１９個の素子が合格し、合格率は
９０％以上 △：２０個中１０〜１７個の素子が合格し、合格率は５
０％以上９０％未満 ×：２０個中合格は９個以下
で、合格率は５０％以下 （５）容量バラツキ ０．１μＦのコンデンサを１００個作成し、総研（株）
のシェーリングブリッジを用いて、周波数６０Ｈｚで電
圧５０ｖで容量を測定した。それらの平均値Ｃおよび標
準偏差σを算出し、（σ／Ｃ）×１００を容量のバラツ
キと定義した。このバラツキが小さいほど優れているこ
とは言うまでもなく、３％以下を実用に値するものとし
た。
９０％以上 △：２０個中１０〜１７個の素子が合格し、合格率は５
０％以上９０％未満 ×：２０個中合格は９個以下
で、合格率は５０％以下 （５）容量バラツキ ０．１μＦのコンデンサを１００個作成し、総研（株）
のシェーリングブリッジを用いて、周波数６０Ｈｚで電
圧５０ｖで容量を測定した。それらの平均値Ｃおよび標
準偏差σを算出し、（σ／Ｃ）×１００を容量のバラツ
キと定義した。このバラツキが小さいほど優れているこ
とは言うまでもなく、３％以下を実用に値するものとし
た。
【００３０】実施例１ 溶融粘度３０００ポイズのＰＰＳポリマーを１００℃の
ジフェニルエーテルで洗浄、抽出し低分子量分、及び不
純物成分を除去した。該組成物に、平均粒子径０．７μ
ｍの炭酸カルシウム微粉末０．５ｗｔ％を添加し、３１
０℃に加熱された押出機に供給し、Ｔダイから押し出
し、表面が２５℃の金属ドラム上にキャストして冷却固
化し、厚さ約２５μｍの未延伸フイルムを得た。このフ
イルムを９８℃に加熱されたロール群からなる縦延伸装
置で３．５倍延伸する。続いてテンターを用いて、温度
１０５℃で３．４倍延伸し、温度２７０℃で約１０秒間
緊張下で熱処理した、厚さ２μｍのＰＰＳフイルムを得
た。
ジフェニルエーテルで洗浄、抽出し低分子量分、及び不
純物成分を除去した。該組成物に、平均粒子径０．７μ
ｍの炭酸カルシウム微粉末０．５ｗｔ％を添加し、３１
０℃に加熱された押出機に供給し、Ｔダイから押し出
し、表面が２５℃の金属ドラム上にキャストして冷却固
化し、厚さ約２５μｍの未延伸フイルムを得た。このフ
イルムを９８℃に加熱されたロール群からなる縦延伸装
置で３．５倍延伸する。続いてテンターを用いて、温度
１０５℃で３．４倍延伸し、温度２７０℃で約１０秒間
緊張下で熱処理した、厚さ２μｍのＰＰＳフイルムを得
た。
【００３１】二軸延伸された厚さ２μｍのＰＰＳフィル
ムを５４０ｍｍに裁断し、長さ１２０００ｍの製品ロー
ルを得る。次いで該製品ロールを真空下でフイルム表面
にＡｌ金属を２．０Ω／口の膜抵抗になるよう蒸着し
た。蒸着後同真空蒸着装置内に設置された細かく幅方向
にスリットされた温度が１１７℃に加熱されたノズルよ
り東レシリコーンＳＨ７０２のオイルを０．５μｇ／ｃ
ｍ2蒸着面に噴霧した。この蒸着フイルムは長手方向に
マージン（非蒸着部）を形成し、蒸着幅４．０ｍｍ、マ
ージン幅０．４ｍｍの蒸着製品を得た。該蒸着製品を７
５℃で４８時間エージング処理した。右マージンと左マ
ージンを有する全幅４．４ｍｍの該蒸着品を重ね合わせ
巻回し、容量０．１μＦのコンデンサを得た。
ムを５４０ｍｍに裁断し、長さ１２０００ｍの製品ロー
ルを得る。次いで該製品ロールを真空下でフイルム表面
にＡｌ金属を２．０Ω／口の膜抵抗になるよう蒸着し
た。蒸着後同真空蒸着装置内に設置された細かく幅方向
にスリットされた温度が１１７℃に加熱されたノズルよ
り東レシリコーンＳＨ７０２のオイルを０．５μｇ／ｃ
ｍ2蒸着面に噴霧した。この蒸着フイルムは長手方向に
マージン（非蒸着部）を形成し、蒸着幅４．０ｍｍ、マ
ージン幅０．４ｍｍの蒸着製品を得た。該蒸着製品を７
５℃で４８時間エージング処理した。右マージンと左マ
ージンを有する全幅４．４ｍｍの該蒸着品を重ね合わせ
巻回し、容量０．１μＦのコンデンサを得た。
【００３２】該コンデンサは安定した電気特性を有し、
８５℃、８５％雰囲気下での耐湿性に優れ、４００時間
経過後の耐湿性は合格率１００％と高品質のコンデンサ
であった。
８５℃、８５％雰囲気下での耐湿性に優れ、４００時間
経過後の耐湿性は合格率１００％と高品質のコンデンサ
であった。
【００３３】実施例２ 蒸着面のオイル量を０．３μｇ／ｃｍ2と少なくした以
外は実施例１と同様の条件にした。
外は実施例１と同様の条件にした。
【００３４】結果は表１に示す通り、耐湿性に優れた高
品質のフイルムであった。
品質のフイルムであった。
【００３５】実施例３ 蒸着膜の抵抗が３．８Ω／口と高くした以外は実施例１
と同様の条件にした。
と同様の条件にした。
【００３６】結果は表１に示す通り、耐湿性に優れた高
品質のフイルムであった。
品質のフイルムであった。
【００３７】実施例４ エージング条件を５０℃で４８時間処理した以外は実施
例１と同様の条件にした。
例１と同様の条件にした。
【００３８】結果は表１に示す通り、耐湿性に優れた高
品質のフイルムであった。
品質のフイルムであった。
【００３９】比較例１ 蒸着面のオイル量を１．５μｇ／ｃｍ2と多くした以外
は実施例１と同様の条件にした。
は実施例１と同様の条件にした。
【００４０】結果は表１に示す通り、素子のプレス性が
劣り、満足した耐湿性を得ることができない。
劣り、満足した耐湿性を得ることができない。
【００４１】比較例２ 横延伸後の熱処理を温度２５０℃で約１０秒間緊張した
実施例１と同様の条件にした。
実施例１と同様の条件にした。
【００４２】結果は表１に示す通り、寸法変化が大き
く、容量バラツキが大きく、満足したコンデンサを得る
ことができない。
く、容量バラツキが大きく、満足したコンデンサを得る
ことができない。
【００４３】比較例３ エージング処理をなくした以外は実施例１と同様の条件
にした。
にした。
【００４４】結果は表１に示す通り、蒸着面の酸化層厚
みが薄く、満足した耐湿性を得ることができない。
みが薄く、満足した耐湿性を得ることができない。
【００４５】比較例４ 蒸着膜の抵抗を１０．５Ω／口とした以外は実施例１と
同様の条件にした。
同様の条件にした。
【００４６】結果は表１に示す通り、蒸着膜厚が薄く、
満足した耐湿性を得ることができない。
満足した耐湿性を得ることができない。
【００４７】
【表１】
【００４８】
【発明の効果】本発明のコンデンサ用フィルムは耐湿性
に優れ、電気特性の優れたコンデンサを得ることができ
た。本発明によって製品を小型化することが可能とな
り、工業的価値は極めて高い。
に優れ、電気特性の優れたコンデンサを得ることができ
た。本発明によって製品を小型化することが可能とな
り、工業的価値は極めて高い。
【図１】この図は、 Ｘ線光電子分光法にて得られた厚
み方向のＯ、Ａｌ元素の曲線を示す。
み方向のＯ、Ａｌ元素の曲線を示す。
１：表面の酸素組成比 ２：界面の酸素組成比 ３：表面酸化層の境界 ４：界面酸化層の境界 ５：ベースフィルムと金属化層の境界 ６：金属化層の中間面
フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F100 AA19C AB10A AK57B BA03 BA07 BA10A BA10C EH66A EH66C EJ38B GB41 JA02 JG04A YY00C 5E082 AB03 AB04 PP02 PP09
Claims (3)
- 【請求項１】アルミニウムを二軸延伸ポリフェニレンス
ルファイドフイルムに蒸着した金属化フイルムであっ
て、該蒸着膜が表層に５０オングストローム以上の酸化
層を有し、かつ、蒸着膜表面が０.１〜１.０μｇ／ｃｍ
2 のオイル被覆されたものであり、かつ、２００℃での
寸法変化が、ー０.５％以上、０.２％未満であることを
特徴とする金属化フィルム。 - 【請求項２】該蒸着膜の電気抵抗が１〜８Ω／口である
ことを特徴とする請求項１記載の金属化フィルム。 - 【請求項３】該金属化フィルムが、コンデンサ用である
請求項１又は２記載の金属化フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001150747A JP2002337270A (ja) | 2001-05-21 | 2001-05-21 | 金属化フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001150747A JP2002337270A (ja) | 2001-05-21 | 2001-05-21 | 金属化フィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002337270A true JP2002337270A (ja) | 2002-11-27 |
Family
ID=18995709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001150747A Pending JP2002337270A (ja) | 2001-05-21 | 2001-05-21 | 金属化フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002337270A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013207158A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Hitachi Aic Inc | 金属化フィルムコンデンサ |
-
2001
- 2001-05-21 JP JP2001150747A patent/JP2002337270A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013207158A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Hitachi Aic Inc | 金属化フィルムコンデンサ |
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