CN1161806C - 金属蒸镀薄膜、其制造方法及使用它的电容器 - Google Patents

金属蒸镀薄膜、其制造方法及使用它的电容器 Download PDF

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Abstract

本发明揭示了可用于制作在安全规格电容器中课以高的外加电压时也几乎没有边缘处的破坏、具有极高安全性的电容器的金属蒸镀薄膜，其制造方法，以及具有这样优良性能的电容器。本发明涉及金属蒸镀薄膜，其特征在于，在高分子薄膜的至少一个面上，具有：构成表面电阻1Ω/□～15Ω/□的电极的金属蒸镀膜部，和表面电阻1×1010以上的边缘部，以及该金属蒸镀膜部和该边缘部之间由该金属蒸镀膜部向该边缘部金属蒸镀膜厚连续减低的宽度为0.02～1mm的边界膜部。本发明还涉及将上述金属蒸镀薄膜回卷或叠层而构成的电容器。

Description

金属蒸镀薄膜、其制造 方法及使用它的电容器
本发明涉及电气、电子回路中所使用的金属蒸镀高分子薄膜电容器，特别是涉及电弧损耗线路等当中使用的电容器，其中也涉及适合于为不因雷击时突入的冲击电流发生破坏、着火等而规定的各种安全规格的电容器。本发明还涉及为得到这样的电容器适宜的金属蒸镀薄膜及其制造方法。
为了除去由线路进入各种家用电器或电子机器的噪音，或者防止机器中发生的噪音输入电源线，使用噪音滤波电容器。在雷击等情况下，所产生的大的突入电流进入到包括噪音滤波电容器的一般电容器中。为了不因这些突入电流而造成电容器破坏或着火，各国以噪音滤波电容器为主规定了对电容器课以严格试验的规格(安全规格)。例如有UL1414、CAS C22.2NO1、VDE0565-1、IEC384-14、SEV1055、JISC5151等，还有NEMKO、SEMKO、DEMKO、EI、BS等规格。
这些规格规定，假设有大的突入电流，在一定时间施加与额定电压相比极高的电压时，不发生异常或破坏。
为适合于这些规格，过去使用11～12μm厚度的聚酯薄膜，并且使用边缘幅度宽的铝蒸镀薄膜，但是由于为适合于规格其质量已达到极限，所以因制造工序中的质量波动造成不合格率增大，具体说在检验工序的耐电压试验中不合格发生率大。另一方面，人们对电容器的小型化有强烈期望，但为了小型化若使薄膜厚度减薄，当然不合格率会增大，这使得小型化在技术上有困难。
图1是表示本发明的金属蒸镀薄膜断面形状一例的概略图。
图2是表示本发明的金属蒸镀薄膜断面形状一例的概略图。
图3是表示本发明的金属蒸镀薄膜断面形状一例的概略图。
图4是表示为制作电容器而将本发明的金属蒸镀薄膜重叠的断面形状一例的概略图。
图5是表示为制作电容器而将本发明的金属蒸镀薄膜重叠的断面形状一例的概略图。
图6是表示本发明的金属蒸镀薄膜的蒸镀膜中Al及Zn含量比一例的概略图。
图7是制造本发明的金属蒸镀薄膜的一个装置的概略图。
图8是表示将本发明的金属蒸镀薄膜重叠、回卷制成的电容器断面形状一例的概略图。
符号的说明
1、本发明的金属蒸镀薄膜
2、高分子薄膜
3、边缘部
4、金属蒸镀膜部
5、边界膜部
6、复盖边缘部的油
7、真空蒸镀机
8、卷出辊
9、卷取辊
10、冷却滚筒
11、油蒸发喷嘴
12、Al蒸发源
13、Zn蒸发源
14、低温等离子处理装置
15、油蒸发器
16、压力计
17、控制系统
18、输出电源
19、排气用真空泵
20、金属喷镀部
21、电极引出部
本发明的目的在于，提供一种能够使检验工序中不合格率降低的、同时对于安全规格试验中课以的高的外加电压也能够防止破坏、特别是能够防止主要的易破坏位置即边缘和蒸镀金属膜边界的高分子薄膜电绝缘破坏的电容器，并且是小型的性能优良的电容器，以及用于这种电容器的金属蒸镀薄膜及其制造方法。
本发明人进行了锐意研究，结果通过具有以下构成的本发明而在工业上有利地达到了上述本发明的目的。
[1]金属蒸镀薄膜，其特征在于，在高分子薄膜的至少一个面上具有：构成表面电阻为1Ω/□～15Ω/□的电极的金属蒸镀膜部，和表面电阻1×1010Ω/□以上的边缘部，以及在该金属蒸镀膜部和该边缘部之间由该金属蒸镀膜部向该边缘部金属蒸镀膜厚连续减低的宽度为0.02～1mm的边界膜部。
[2]金属蒸镀薄膜的制造方法，具有在真空蒸镀机内将油蒸镀或涂布在高分子薄膜表面上，然后蒸镀金属制造高分子蒸镀薄膜的工序，其特征在于，通过控制蒸镀油量或涂布油量，将金属蒸镀膜部和边缘部之间的边界膜部的宽度调节在0.02～1mm的规定范围内。
[3]电容器，其特征在于，将在高分子薄膜的至少一个面上具有构成表面电阻为1Ω/□～15Ω/□的电极的金属蒸镀膜部，和表面电阻1×1010Ω/□以上的边缘部，以及在该金属蒸镀膜部和该边缘部之间由该金属蒸镀膜部向该边缘部金属蒸镀膜厚连续减低的宽度为0.02～1mm的边界膜部的金属蒸镀薄膜回卷或叠层而构成。
本发明的主要特征在于，在金属蒸镀薄膜中设置特定的边界膜部，即由金属蒸镀膜部向边缘部金属蒸镀膜厚连续减低的宽度为0.02～1mm的边界膜部，借此，在将金属蒸镀薄膜用于电容器时，防止边缘部和蒸镀金属膜边界的高分子薄膜的电绝缘破坏。
实施本发明的最佳方式
图1示出了本发明一个实施方式例的金属蒸镀薄膜的概略断面图。但本发明并不限定于本实施方式例。
图1中，1是本发明的金属蒸镀薄膜，2是高分子薄膜，3是边缘部，4是金属蒸镀部，5是边界膜部，L表示边界膜部的宽度。
本发明的高分子薄膜2是将天然、半合成、合成高分子树脂成型为薄膜状，其中合成高分子树脂构成的高分子薄膜由耐热性、机械特性、电气特性、物理化学特性方面考虑更佳。
优选的合成高分子树脂可举出聚烯烃树脂、聚酯树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺亚胺树脂、聚碳酸酯树脂、聚砜树脂、聚亚苯基树脂、聚芳酯树脂、氟树脂、聚苯乙烯树脂、聚丙炔树脂等。特别是聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚碳酸酯、聚苯乙烯由机械特性、电气特性方面考虑更佳。其中聚丙烯及聚对苯二甲酸乙二醇酯由于耐交流电压(耐AC电压)高，因而特佳。
金属蒸镀膜4的金属，只要是Al、Zn、Cu、Ag、Au、Sn、Ti、Co、Ni或它们的合金等有导电性的就不做特别限定，但优选Al、Zn、Cu、Sn等的电晕劣化性小的。其中Al-Zn合金在耐湿性、耐电晕劣化性及自身恢复特性方面更佳，而且在其中以下这样的由Al-Zn合金构成的蒸镀金属膜特佳：如果设蒸镀合金膜中的Al含量比例{(Al含量)/(Al含量+Zn含量)}在蒸镀膜表面为C1、蒸镀膜中央为C2、薄膜界面处为C3，则以C2＜C1≤C3或C2＜C3≤C1连续变化，并且蒸镀膜全体的Al含量比例为0.5～15％(重量)，更佳为8～12％(重量)。其中Al含量比例作成C2＜C1≤C3分布的Al-Zn合金自身恢复性的劣化少，因而更佳。蒸镀金属膜的膜电阻必须为1～15Ω/□。特别是2～12Ω/□为佳，而且为了提高与金属喷镀的密着性，如图2那样在金属喷镀的密着部加厚2～5mm厚程度的蒸镀膜，使所谓重边缘场合的电极部(有源部)的电阻成为4～12Ω/□，特别能使得耐压和tanδ特性提高。
而且为提高这些蒸镀金属膜的耐湿性，在该蒸镀金属膜表面上设置超薄层的油膜，或者硅或硅化合物更佳。
金属蒸镀薄膜在金属蒸镀膜部4和边缘部3之间具有边界膜部5是重要的。如图1，边界膜部表示由金属蒸镀膜部4向边缘部3蒸镀膜部的厚度连续减低的部分，指的是用光学显微镜观察时，如图1所示，由金属蒸镀膜部4的暗的部分向边缘部3的亮的部分以宽度(L)0.02～1mm，较佳L：0.02～0.5mm，更佳L：0.02～0.25mm，特佳L：0.05～0.2mm逐渐由暗的部分向亮的部分明显变化的区域。般认为，过去的电容器用金属蒸镀薄膜，如JIS C2319-1977(电容器用金属化聚酯薄膜)的4.3耳幅中规定的那样，在蒸镀金属膜的端部连续，没有不鲜明的位置。因此，在历来的形成边缘的方法中，有在蒸镀的高分子薄膜上贴上与构成屏蔽的边缘同宽的带子形成未蒸镀部(边缘)的带边缘法，由于形成使蒸镀膜和边缘界线清楚的边缘，所以可以优选利用。另外，其它的方法有在高分子薄膜上蒸镀边缘宽度的油，利用油部不附着蒸镀膜的油边缘法，但为了与带边缘法同样使得与边缘的界线清楚(不生成边界部5)，所以采用了如特公平3-59981号公报所说的那样，使用蒸镀金属更难以附着的氟油，或者采用了如特公昭63-57932号公报所说的那样，在使薄膜通过金属蒸镀源之前，或在通过时冷却薄膜的办法。但是，在何处都还没有象本发明那样为设置特定宽度的边界膜部而对其进行控制的技术思想。
本发明发现并完成了，通过设置特定宽度的边界膜部5，在安全规格电容器试验中对于课以的高的施加电压，也能够防止破坏，特别是防止主要的易破坏场所的边缘和蒸镀金属膜边界高分子薄膜的电绝缘破坏，在边缘和蒸镀金属膜边界发生电绝缘破坏时，电容器的金属喷镀部破坏的现象多有出现。
而且如图3那样，用复盖边缘部的油6复盖边缘部3更佳。因为油量少，所以不能定量化，但油的有无可用X射线电子光谱法(XPS，或者也称作ESCA)检测。另外如图4那样，在将本金属蒸镀薄膜回卷或叠层制作电容器时，上下2枚金属蒸镀薄膜之间的边缘部分应用油6充满，更佳是使得没有空气层。此时，由于油6与电容器的含浸油相溶，所以由该油和含浸油充满边缘部，以没有空气层为佳。总之，在边缘部存在油，并且用油充满，使得制做电容器时金属蒸镀薄膜之间的边缘部分没有空气层更佳。
当然，边缘部以电绝缘作为目的，其表面电阻为1010Ω/□以上，更佳为1012Ω/□以上。
图7是制造本发明金属蒸镀薄膜的一个装置的概略图。使用该图说明制造本发明金属蒸镀薄膜的方法的概略。但本发明并不限定于本实施方式例。
用真空泵19将真空蒸镀机7内减压至规定的压力(真空度)。即使达到规定的压力，在由卷送辊8送出的高分子薄膜2处也要测定内部的压力，通过控制在规定压力的油蒸发喷嘴11的按边缘部宽度(实际边缘部宽度的2倍)打开的开口部，使规定的油蒸发、附着。接着使构成Zn的核附着的Al由Al蒸镀源12定量蒸发，蒸镀在高分子薄膜2上，然后由Zn蒸发源蒸镀Zn，使金属蒸镀膜的表面电阻成为规定的电阻。接着按必要在低温等离子装置14中用含氧原子气体的等离子对该金属蒸镀膜、边界膜部及边缘部表面进行处理，再按必要测定内部压力，通过被控制的油蒸发器15的狭小开口部，将油蒸发、附着在金属蒸镀膜部、边界膜部及边缘部的表面上。将这样的由金属蒸镀膜和边缘形成的金属蒸镀薄膜卷取到卷取器9上，最终由真空蒸镀机7取出，再纵切成必要的窄的宽度，成为卷轴。
在本方法中，对油蒸发喷嘴10内部的压力进行测定、控制，对控制边界膜部的宽度是极重要的。具体用隔膜式等压力计(真空计)16测定油蒸发喷嘴10内的压力，将其输出信号输入控制系统17，如果油蒸发喷嘴10内的压力与设定压力之间有差，就反馈到热源—输出电源18，总是控制油蒸发喷嘴内的压力成为恒定，使得恒定地形成规定量的油蒸汽，使规定的油附着在高分子薄膜2的表面上。在附着油的边缘部，不同时附着核附着状态的Al、Zn，或者即使附着也是超微量的。
按照图3所示的复盖边缘部的油存在状态的样子，油并不是以均一的厚度存在于边缘部，而是以具有山型厚度分布的形态存在，在金属附着时，因其浓缩热使油端部的一部分蒸发，发生与油浓度成反比例的金属附着，因此推定为呈现连续的厚度减低的边界膜部。从而推定：由于复盖边缘部的油的存在量及油端部的蒸发的程度问题的关系，油的种类在边界膜部的形成上起到了重要的作用。
另外，用低温等离子进行处理能控制边界膜的宽度，与此同时，还对因薄膜层间密着差使外加电压时电容器发生噪音的现象进行改善这一方面更为有利。所谓低温等离子处理，就是由在低压气体中外加直流，或低频、中频、高频等交流，或者微波等高电压开始，将金属蒸镀薄膜暴露在因持续放电而生成的等离子中，对其表面进行改性。
将本发明的金属蒸镀薄膜回卷或叠层，经过作成电容器的通常的处理，可得到耐电压高的良好的电容器。特别是将与复盖边缘的油相溶并且电绝缘性高的油用作含浸油时，可得到耐电压更加高的电容器，因而更佳。
判断与油是否相溶的方法是，在100cc的试样瓶中分别加入用于复盖边缘部3的油和含浸油各30cc，盖紧并充分振动后，静置30分钟，此时不分离成二层或悬浊，而是呈透明态，则表明为相溶。作为更简易的方法，可举出以下的辨别方法：以JIS K6768-1971“乙烯及聚丙烯薄膜的润湿试验法”为基准，在用含有含浸油的棉棒由蒸镀薄膜的金属蒸镀膜表面向边缘部3涂布含浸油时，在边缘部含浸油的涂布宽度不缩短，具有相同宽度或延宽的含浸油为佳。
特别是复盖边缘的油为硅油，并且含浸剂也是硅油更佳，作为这样的硅油性能特别优良的是二甲基聚硅氧烷或者甲基苯基硅油。
本发明的金属蒸镀薄膜的边缘部3，不仅指的是图1所示的为确保金属蒸镀膜和金属喷镀部的绝缘而设置的边缘(独立边缘，或在JISC2319-1997中所称呼的耳幅)，而且也指特公平1-21613号公报、特开平4-225508号公报、特开平7-86088号公报、USP5057967等当中所提出的保安机构用边缘，或者分割电极的边缘。
在这种具有保安机构用边缘或分割电极用边缘的过去的电容器中，具有在金属蒸镀膜和边缘部的交界处易发生绝缘破坏，使容量降低的问题。在使用本发明金属蒸镀薄膜的电容器中，这样的问题得到显著改良。
形成这样的保安机构用边缘的方法，有特开昭63-114956号公报(USP4832983)的方法。但是，本发明的金属蒸镀薄膜在蒸镀后残留油6，复盖边缘部3，并且生成边界膜部5。
过去的电容器用蒸镀薄膜的边缘没有边界膜部，并且以在边缘部不残留油作为重要品质，但本发明与之相反，使得生成边界膜部并且在边缘部残留油，完成了耐电压极高的金属蒸镀薄膜的发明。
使用本发明金属蒸镀薄膜的电容器，是适于要求耐高电压用途的电容器。其中作为适合于要求耐高电压的安全规格的电容器性能优良。另外，本发明的金属蒸镀薄膜适于制取性能优良的小型电容器。
本发明的金属蒸镀薄膜与过去的金属蒸镀薄膜不同，边缘部复盖有油，因此有时必须变更如加压条件等过去的电容器制造条件，但是设定适合于各种金属蒸镀薄膜的最佳加工条件是本领域操作人员的公知技术。
在本发明中，物性值的测定如下所述。
(1)Al-Zn合金的组成分析
将金属蒸镀薄膜试样9cm2用稀硝酸溶解后定溶为20ml，将该定溶液用ICP发射光谱分析法对Al及Zn进行定量。ICP发射光谱分析装置使用セイコ-电子工业(株)制SPS1200VR型。
(2)Al及Zn的组成分布
使用JEOL制JAMP-10S型的俄歇电子光谱分析装置，由蒸镀层的表面一边进行Ar离子侵蚀一边对Al及Zn进行定量分析
Ar离子侵蚀条件
    加速电压：3KV
    试料电流：1×10-6A
    侵蚀速度：以SiO2换算190埃/min
测定条件
    加速电压：3KV
    缝隙No：5
试料电流：8×10-8A
    试料倾斜角度：72度
    射线直径：10μm
另外，所谓膜界面规定如下：由蒸镀膜中央到薄膜界面Al含量变多，达到最大后减少下去，将最大点的位置定作膜界面，将最大点的含量比例定作C3。
(3)边界部宽度
在光学显微镜下以50～100倍的倍率测定蒸镀膜和边缘的界面，读取至小数点第3位，将第3位四舍五入。测定用缝隙辊进行，金属蒸镀薄膜每50cm测定1个点，合计10个点，求出其最低值和最高值及平均值。
(4)边缘部有无油
用XPS(ESCA)观测边缘部，可确认油的有无。
装置：SSI社制SSX-100-206
激发X射线：monochromatized Al Kα1.2线(1486.6ev)
光电子脱出角度(θ)：35°
能量补正：将CIS主峰的结合能量值合到284.6eV
由于XPS灵敏度好，所以能检测出污染油，但在边缘部由油复盖时，检出的油的信号显著要高，可与污染油相区别。
(5)边缘部油的分子量分布测定
将蒸镀薄膜表面用异丙醇洗净，用凝胶浸透色谱仪GPC-244(WATERS)、检测器：示差折射率检测器R-401(WATERS)，测定该洗净液中所含的油，用聚苯乙烯进行分子量校正。
在有苯基的硅油的场合，使用柱TSK-gel-G 3000HXL(1)、G2500HXL(1)(东ソ(株))。
实施例
实施例1，2，3，4，比较例1，2，3，4
在实施例1，2，3，4，比较例1，2，3中，于厚度8μm的聚丙烯薄膜上，设置蒸镀膜宽度×2＝33mm的Al-Zn合金蒸镀膜和边缘宽度×2＝5mm的边缘部(未蒸镀部)。在比较例4中，设置同宽度的蒸镀膜和同宽度的边缘部。以蒸镀速度400m/min的条件由真空蒸镀机的卷出侧放出聚丙烯薄膜，对引入形成其边缘的油的管子进行加热，以比形成的边缘宽度(为实际2倍的宽度)仅短宽度方向热膨胀部分的宽度在该管子表面开大致矩形的孔，使该油由该孔蒸发，并使该油附着在该薄膜表面构成边缘部的部分。接着蒸镀Al，然后连续地蒸镀Zn，接着除比较例3外，对该蒸镀膜、该边界膜部、及该边缘部的全部面进行含氧气体的低温等离子处理，接着蒸发、附着与该边缘油同样的油，然后卷取到卷取辊上。在比较例3中，蒸镀Zn后就直接卷取到卷取辊上。
控制Al及Zn的蒸镀源的温度，使蒸镀膜膜全体的Al含量比例为2.4％(重量)，C1＝6.0％(重量)，C2＝0.1％(重量)，C3＝14.0％(重量)，以及膜电阻为4Ω/□。
在实施例1，2，3，4和比较例1，2中，边缘油使用MW＝520、MW/MN＝1.0的苯基甲基二甲基聚硅氧烷(东レ·ダウコ-ニング·シリコ—ン(株)社制SH702)，实施例1中，将边缘喷嘴内的压力控制在60Pa，在缝隙辊圆周方向以每50cm共测定10个点，边界膜宽度为0.02～0.04mm。同样实施例2将其控制为52Pa，调节边界膜宽度为0.05～0.07mm，实施例3控制为45Pa，调节边界膜宽度为0.2～0.4mm，实施例4控制为35Pa，调节边界膜宽度为0.8～1.0mm。比较例1控制为70Pa，使边界膜宽度不足0.01mm(通常的油边缘条件)，比较例2控制为25Pa，使边界膜宽度为1.3～1.5mm，一边测定边缘蒸发喷嘴内的压力一边控制边缘喷嘴温度，以控制油蒸发喷嘴内的压力。
比较例3中，使用全氟代聚醚油作为边缘油，将油蒸气压保持在40Pa，控制边缘喷嘴温度使边界膜宽度为不足0.01mm(通常油边缘条件)。
比较例4中，使用耐热薄膜，以蒸镀速度300m/min的条件，设置边缘宽度×2＝5mm的边缘部，用带边缘法蒸镀Al，使蒸镀膜电阻为4Ω/□。
用通常的方法沿蒸镀膜部的中央和边缘部的中央对蒸镀薄膜进行纵切，使各个蒸镀薄膜成为蒸镀膜宽＝16.5mm，边缘宽＝2.5mm的蒸镀薄膜卷轴(19mm宽)。
将该纵切过的蒸镀薄膜如图2那样用通常的方法重叠、回卷后，进行加压、金属喷镀、热处理、安装电极，作成图8那样的元件电容器。接着含浸二甲基聚硅氧烷油(粘度100cst)，然后用通常方法外装环氧树脂，作成0.15μF的电容器。
以UL1414的规格作基准，对这些电容器外加1分钟1500VAC(60Hz)的交流电压，调查其破坏状况。目视观察试验后电容器的破坏形态，再分解电容器，用光学显微镜确认破坏部的位置。
再用XPS观察蒸镀薄膜卷轴的边缘部，调查边缘部是否用油复盖。
如表1所示的结果，本发明品(实施例1-4)破坏少，显示出极优良的特性。
                                          表1
  油蒸气压(Pa)    边界膜宽度(mm)   XPS油分析结果   破坏个数/试验个数     破坏形态(破坏部位置)
  实施例1     60     0.02～0.04    油量多(Si的信号大)     3/100
  实施例2     52     0.05～0.07    油量多/(Si的信号大)     1/100
  实施例3     45     0.2～0.4    油量多(Si的信号大)     0/100
  实施例4     35     0.8～1.0    油量中(Si的信号中)     1/100
  比较例1     70     不足0.01    油量多(Si的信号大)     29/100 在金属喷镀部破坏(蒸镀膜的边界或稍靠蒸镀膜内侧)
  比较例2     25     1.3～1.5    油量中(Si的信号中)     18/100 在金属喷镀近傍破坏(蒸镀膜的边界或稍靠蒸镀膜内侧)
  比较例3     40     不足0.01    油量中(F的信号中)     56/100 在金属喷镀部破坏(蒸镀膜的边界或稍靠蒸镀膜内侧)
  比较例4     -     不足0.01带边缘    污染(有Si的微小信号)     100/100 在金属喷镀部破坏(蒸镀膜的边界或稍靠蒸镀膜内侧)
实施例5，比较例5、6、7、8
实施例5使用10μm、比较例5、6、7、8使用12μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜，其它条件如表2所示，制成蒸镀薄膜，接着按照实施例1相同的方法作成电容器。电容器的制做条件按照制作使用聚酯薄膜(金属蒸镀聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)的电容器的一般条件进行。采用与实施例1同样的方法对这些电容器进行试验。但外加电压取为1250VAC和1500VAC。将这些结果示于表2。
如表2所示，本发明的电容器(实施例5)尽管薄膜厚度比比较例薄2μm，但显示出优良的特性。
                        表2
  制作蒸镀薄膜的条件(蒸镀条件)     破坏个数/试验个数
    1250VAC     1500VAC
  实施例5     实施例2     0/30     0/30
  比较例5     比较例1     3/30     20/30
  比较例6     比较例2     2/30     16/30
  比较例7     比较例3     5/30     26/30
  比较例8     比较例4     7/30     30/30
本发明的金属蒸镀薄膜在金属蒸镀膜和边缘的交界面处，有边界膜部，并且边缘部用油复盖，因此，即使在安全规格电容器中对课以的高的外加电压，也不发生边缘处的破坏，可制作具有极高安全性的电容器。

Claims (23)

1、金属蒸镀薄膜，其特征在于，在高分子薄膜的至少1个面上具有：构成表面电阻1Ω/□～15Ω/□的电极的金属蒸镀膜部，和表面电阻1×1010Ω/□以上的边缘部，以及在该金属蒸镀膜部和该边缘部之间由该金属蒸镀膜部向该边缘部金属蒸镀膜厚连续减低的宽度为0.02～1mm的边界膜部。
2、权利要求1所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，边界膜部的宽度为0.02～0.5mm。
3、权利要求1所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，边界膜部的宽度为0.02～0.25mm。
4、权利要求1所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，边界膜部的宽度为0.05～0.2mm。
5、权利要求1所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，该边缘部用油复盖。
6、权利要求5所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，油是矿物油或硅油。
7、权利要求6所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，油是硅油。
8、权利要求7所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，硅油的重量平均分子量MW为300≤MW≤800，并且与数平均分子量MN之比为1.0≤MW/MN≤1.1。
9、权利要求7所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，硅油是二甲基聚硅氧烷油或甲基苯基硅油。
10、权利要求8所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，硅油是二甲基聚硅氧烷或者甲基苯基硅油。
11、权利要求9所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，硅油是甲基苯基硅油。
12、权利要求10所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，硅油是甲基苯基硅油。
13、权利要求1～12任一项所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，金属蒸镀膜由Al和Zn的合金构成，并且Al含量的比例，根据式Al含量/(Al含量+Zn含量)求值，规定蒸镀膜表面处的上述Al含量的比例为Cl、蒸镀膜厚的中间处的上述Al含量的比例为C2、蒸镀膜和高分子薄膜的界面处的上述Al含量的比例为C3时，呈C2＜C1≤C3或C2＜C3≤C1连续地变化，并且蒸镀膜全体的上述Al含量比例为0.5～15重量％。
14、权利要求13所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，Al的含量比例为8～12重量％。
15、权利要求14所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，Al的含量比例为C2＜C1≤C3。
16、权利要求1～12任一项所述的金属蒸镀薄膜，其特征在于，对金属蒸镀膜、边界膜部、边缘部进行低温等离子处理。
17、权利要求1～16任一项所述的金属蒸镀薄膜的制造方法，具有在真空蒸镀机内在高分子薄膜表面蒸镀油或涂布油，然后蒸镀金属以制造高分子蒸镀薄膜的工序，其特征在于，通过控制蒸镀油量或涂布油量，调节金属蒸镀膜部和边缘部之间的边界膜部的宽度在0.02以上～1mm以下的规定范围内。
18、权利要求17所述的金属蒸镀薄膜的制造方法，其特征在于，在蒸镀油或者涂布油时，测定、控制油蒸发器内的压力。
19、权利要求17所述的金属蒸镀薄膜的制造方法，其特征在于，在真空蒸镀机内蒸镀主要的金属后，以使用含氧原子气体的低温等离子对该金属蒸镀膜表面、该边界膜部、及该边缘部进行处理。
20、电容器，其特征在于，使用权利要求1～16任一项所述的金属蒸镀薄膜。
21、权利要求20所述的电容器，其特征在于，使用与复盖边缘的油相溶的油在电容器中作为含浸剂。
22、权利要求21所述的电容器，其特征在于，复盖边缘的油及含浸剂的油是硅油。
23、权利要求22所述的电容器，其特征在于，硅油是二甲基聚硅氧烷油或甲基苯基硅油。
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