KR100541998B1 - 소자 개별화 장치 - Google Patents

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KR100541998B1
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박세표
배효대
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 상에 형성된 소자들의 소자 분리 공정시 기판의 흔들림이 발생되지 않아 정확하게 단위 소자로 개별화시킬 수 있으며 또한 소자들에 대한 손상을 방지할 수 있는 소자 개별화 장치를 제공한다. 본 발명에 따른, 다수의 소자들이 행렬 상태로 배열된 기판을 절단하여 다수의 소자가 일렬로 배열된 기판(스틱)으로 분리 또는 다수의 소자들이 일렬로 배열되어 있는 기판(스틱)을 절단하여 개별 소자로 분리하는 소자 개별화 장치는 기판(또는 스틱들)이 놓여지는 테이블; 테이블 하부에 설치되며, 테이블 상에서 기판(또는 스틱들)을 수직 이송시키는 수직 이송 수단; 수직 이송 수단을 수평으로 왕복 이송시키는 수평 이송 수단; 테이블 선단부의 상부에 수직 왕복 이동 가능하게 설치되어 테이블 상에 놓여진 기판(또는 스틱)의 일부분을 눌러 흔들림 없이 유지시키는 지지 부재; 및 테이블 전방 상부에 수직 왕복 이동 가능하게 설치되어 테이블 외측으로 노출된 기판(또는 스틱)의 일부분을 가압하여 굽힘력을 발생시키는 가압 부재를 포함한다. 테이블은 그 상부 부재에 그 길이 방향으로 소정의 폭을 갖는 다수의 절개부가 구성되며, 상기 수직 이송 수단은 길이 방향으로 소정의 폭을 갖는 다수의 수직 연장편이 형성된 플레이트를 포함한다. 따라서, 수직 이송 수단에 의한 플레이트의 상향 이동시 각 수직 연장편은 대응하는 절개부를 통하여 상승하며, 상승하는 각 수직 연장편은 기판(또는 스틱)을 테이블 표면 위로 들어올린다. 결과적으로, 기판(또는 스틱)은 이동시 테이블 표면과의 접촉이 이루어지지 않는다.
소자 개별화 장치

Description

소자 개별화 장치{Apparatus for dividing devices formed on a substrate into a plurality of individual devices}
도 1은 기판 상에서 형성된 소자들의 배열 상태를 도시한 개략적인 평면도.
도 2a, 도 2b 및 도 2c는 도 1에 도시된 기판을 절단하여 소자들을 개별화시키는 과정을 개략적으로 도시한 평면도.
도 3은 기판 상에 형성된 소자들을 개별화시키는 일반적인 공정을 개략적으로 도시한 정면도.
도 4는 본 발명에 따른 소자 개별화 장치의 개략적인 부분 측면도.
도 5는 도 4의 선 A-A를 따라 절취한 상태의, 기판을 다수의 소자가 일렬로 배열된 소자 열(스틱)로 분리하는 상태를 도시한 단면도로서, 도 5a는 기판이 테이블 상에 놓여진 상태를, 도 5b는 기판이 소정 높이 들어 올려진 상태를 도시한 도면.
도 6은 도 4의 선 A-A를 따라 절취한 상태의, 다수의 소자가 일렬로 배열된 소자 열(스틱)들을 절단하여 개별 소자로 분리하는 상태를 도시한 단면도로서, 도 6a는 다수의 스틱들이 테이블 상에 놓여진 상태를, 도 6b는 다수의 스틱들이 소정 높이 들어 올려진 상태를 도시한 도면.
본 발명은 소자 개별화 장치에 관한 것으로서, 기판 상에 형성된 다수의 소자들에 대한 손상을 발생시키지 않고 정확하게 단위 소자로 개별화시킬 수 있는 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 플라즈마 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 소자 등과 같은 소자들은 단일의 기판 상에서 여러 단계들의 제조 공정을 거쳐 제조되며, 최종 제품화를 위하여 기판을 절단함으로서 개별 소자로 분리된다.
도 1은 제조 공정이 종료된 후 기판 상에서의 소자의 배열 상태를 도시한 개략적인 평면도로서, 제조 완료된 다수의 소자들(D)이 기판(B) 상에서 다수의 행들과 열들 형태로 배열되어 있음을 도시하고 있다. 이와 같이 다수의 소자들(D)이 행렬 형태로 배열되어 있는 기판(B)을 절단하여 개별 소자로 분리하는 순서를 도 1, 도 2a, 도 2b 및 도 2c를 통하여 설명한다.
도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 기판(B) 상에 행렬 상태로 배열되어 있는 소자들(D)의 외곽에는 공정 여유를 갖기 위하여 형성된 더미 라인(L; dummy line)이 위치하고 있다. 소자의 개별화 공정에 앞서 먼저 이 더미 라인(L)을 제거하는 과정을 수행하며, 더미 라인(L)을 제거한 상태의 기판(B)이 도 2에 도시되어 있다.
기판(B) 외곽부의 더미 라인(도 1의 L)을 제거한 후에 기판(B)을 절단하여 다수의 열들로 분리한다(이하에서는, 분리된 각 기판 열을 스틱(stick)으로 칭함). 도 2b는 기판(B)을 다수의 스틱(S)으로 분리한 상태를 개념적으로 도시한 평면도로 서, 각 스틱(S)으로 분리된 기판 상에는 다수의 소자들(D)이 일렬로 배열되어 있다.
이후, 각 스틱(S)에 대하여 절단 공정을 진행하여 각 스틱(S)에 일렬로 배열된 소자들(D)을 낱개로 개별화시킨다. 도 2c도는 개별화된 소자를 개념적으로 도시한 평면도로서, 개별화된 소자들(D)은 저장 트레이(tray)로 이송되어 보관된다.
도 3은 기판 상에 형성된 소자들을 개별화시키는 일반적인 공정을 개략적으로 도시한 정면도로서, 편의상 기판(B) 상에 형성된 소자들은 도시하지 않았다.
먼저 기판(B)의 절단 예정 부위에 폭 방향(또는 길이 방향)으로 소정 깊이의 노치(notch) 라인(N)을 형성한다. 형성된 노치 라인(N)을 기준으로 기판(B)의 일 부분(B1)을 지지 테이블(T1)에, 분리될 부분(B2)을 회전 테이블(T2)에 각각 위치시킨다.
지지 테이블(T1)과 회전 테이블(T2) 각각의 표면에는 흡입 라인(도시되지 않음)의 단부가 노출되어 있으며, 외부의 공기 흡입기(도시되지 않음)에서 발생된 흡입력이 각 테이블(T1, T2) 표면에 작용한다. 따라서, 각 테이블(T1, T2) 상에 놓여진 기판(B)의 각 부분들(B1, B2)은 이 흡입력에 의하여 테이블(T1, T2) 상에서 흔들림 없는 상태를 유지한다.
이러한 상태에서, 일단부에 설치된 축(A)을 중심으로 회전 테이블(T2)을 도 3에 지시된 화살표 방향으로 회전시키면, 회전 테이블(T2) 상에 놓여진 기판 부분(B2) 역시 회전하게 되며, 결국 노치 라인(N)을 중심으로 기판(B)은 분리된다. 이와 같은 분리 공정은 도 2a에 도시된 더미 라인(L)이 제거된 상태의 기판(B) 및 도 2b에 도시된 다수의 스틱(S)에 대해서 반복적으로 진행된다.
그러나, 이와 같은 방식으로 작동하는 테이블을 이용하여 기판 상에 형성된 다수의 소자를 개별화시키는 과정에서는 다음과 같은 문제점이 생길 수 있다.
지지 테이블(T1) 및 회전 테이블(T2) 상에 기판(B)의 각 부분들(B1, B2)이 각각 놓여진 상태에서 회전 테이블(T2)이 회전하면, 비록, 각 테이블(T1, T2)을 통하여 공급된 흡입력이 기판(B)의 각 부분(B1, B2)에 작용하지만, 기판(B)의 각 부분(B1, B2)은 각 테이블(T1, T2) 상에서 흔들릴 수 밖에 없다. 특히, 노치 라인(N)에 굽힘력이 작용할 경우 기판(B)의 흔들림은 더욱 크게 발생한다.
이와 같이 기판(B)이 초기 위치로부터 벗어난 상태, 즉 움직인 상태에서 회전 테이블(T2)이 최대 위치로 회전하여도 기판(B) 표면에 형성된 노치 라인(L)이 지지 테이블(T1)과 회전 테이블(T2)의 경계선 상에서 벗어나 있기 때문에 노치 라인(N)이 아닌 기판(B)의 다른 부위에 굽힘력이 작용하게 된다. 따라서, 기판(B)의 설정된 위치(즉, 노치 라인(N))에서의 절단이 일어나지 않음은 물론 굽힘력이 작용한 부위에 위치한 소자에 굽힘력이 가해지기 때문에 소자의 변형 등과 같은 문제점이 발생한다.
한편, 위에서 설명한 회전 테이블 및 지지 테이블을 이용한 장치를 이용하여 비교적 넓은 면적의 기판을 절단, 분리하는 공정을 진행할 수 있지만, 절단 공정이 진행될 수록 지지 테이블에 놓여지는 기판의 면적이 줄어들게 되며, 따라서 좁은 면적의 기판에 충분한 흡입력을 제공하기 어렵게 된다. 결국, 기판에 형성된 모든 소자들에 대한 개별화 공정을 효과적으로 진행할 수 없다.
본 발명은 기판 상에 형성된 소자들의 개별화 공정에서 발생되는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 소자 분리 공정시 기판의 흔들림이 발생되지 않아 정확하게 단위 소자로 개별화시킬 수 있으며 또한 소자들에 대한 손상을 방지할 수 있는 소자 개별화 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 장치에 의하면, 기판 또는 기판에서 절단 분리된 소자 열(스틱)들의 일부분이 테이블 상에서 눌려진 상태에서 또다른 부분이 굽힘력을 받게 되며, 따라서 기판 또는 스틱의 흔들림 없이 분리 공정을 진행할 수 있다.
또한, 기판 또는 기판에서 분리된 스틱들이 플레이트에 의하여 들어 올려진 상태에서 테이블 상에서 이동하기 때문에 기판 또는 스틱과 테이블 표면과의 접촉이 일어나지 않으며, 따라서 기판 또는 소자에 스크래치 등과 같은 결함이 생성되지 않는다.
본 발명에 따른, 다수의 소자들이 행렬 상태로 배열된 기판을 절단하여 다수의 소자가 일렬로 배열된 기판(스틱)으로 분리 또는 다수의 소자들이 일렬로 배열되어 있는 기판(스틱)을 절단하여 개별 소자로 분리하는 소자 개별화 장치는 기판(또는 스틱들)이 놓여지는 테이블; 테이블 하부에 설치되며, 테이블 상에서 기판(또는 스틱들)을 수직 이송시키는 수직 이송 수단; 수직 이송 수단을 수평으로 왕복 이송시키는 수평 이송 수단; 테이블 선단부의 상부에 수직 왕복 이동 가능하게 설치되어 테이블 상에 놓여진 기판(또는 스틱)의 일부분을 눌러 흔들림 없이 유지시키는 지지 부재; 및 테이블 전방 상부에 수직 왕복 이동 가능하게 설치되어 테이블 외측으로 노출된 기판(또는 스틱)의 일부분을 가압하여 굽힘력을 발생시키는 가압 부재를 포함한다.
테이블은 그 상부 부재에 그 길이 방향으로 소정의 폭을 갖는 다수의 절개부가 구성되며, 상기 수직 이송 수단은 길이 방향으로 소정의 폭을 갖는 다수의 수직 연장편이 형성된 플레이트를 포함한다. 따라서, 수직 이송 수단에 의한 플레이트의 상향 이동시 각 수직 연장편이 대응하는 절개부를 통하여 상승함으로서 기판(또는 스틱)은 테이블 표면 위로 들어올려진다. 이 상태에서 수평 이송 수단에 의하여 기판(또는 스틱)이 이송될 때, 기판(또는 스틱) 저면과 테이블 표면과의 마찰은 발생하지 않는다.
이하, 본 발명을 첨부한 도면을 참고하여 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 소자 개별화 장치의 개략적인 부분 측면도, 도 5는 도 4의 선 A-A를 따라 절취한 상태의 단면도로서, 도 5a는 기판이 테이블 상에 놓여진 상태를, 도 5b는 기판이 테이블 표면에서 소정 높이 들어 올려진 상태를 각각 도시한다. 한편, 단면도인 도 5a 및 도 5b에서는 각 구성 부재를 구별하기 위하여 일부분만을 단면 처리하였다.
본 발명에 따른 소자 개별화 장치는 크게 테이블(10), 수평 및 수직 이송 수단(20 및 30), 지지 부재(40) 및 가압 부재(50)로 이루어진다.
장치를 구성하는 한 부재인 테이블(10)은 수평 상태로 설치되며, 그 표면 상에 (도 2a에 도시된 바와 같은 더미 라인이 제거된) 기판(B)이 놓여진다. 테이블 (10) 하부에는 수평 및 수직 이송 수단(20 및 30)이 설치된다. 한편, 테이블(10)의 상부 부재에는 그 길이 방향으로 소정 길이 및 폭을 갖는 절개부(11)가 다수 형성되어 있다.
수직 이송 수단(30)은 테이블(10) 상에서 기판(B)을 상하로 이동시키며, 수평 이동 수단(20)은 수직 이동 수단(30)을 수평 왕복 이송시킨다. 수직 이송 수단(30)은 테이블(10) 하부에 장착된, 예를 들어 에어 실린더이다. 에어 실린더(30)의 작동 로드의 상단에는 소정 면적의 플레이트(31)가 고정되어 있다. 플레이트(31) 상부면에는 다수의 수직 연장편들(32)이 형성되어 있다.
플레이트(31)의 각 수직 연장편(32)은 플레이트(31)의 길이 방향으로 소정의 길이를 가지며 또한 소정의 폭 및 높이를 갖는다. 다수의 수직 연장편(32)은 테이블(10)에 형성된 다수의 절개부(11)와 일대일(1:1) 상태로 각각 대응한다. 여기서, 플레이트(31)의 각 수직 연장편(32)의 길이는 대응하는 절개부(11)의 길이보다 작으며, 따라서 플레이트(31) 즉, 각 수직 연장편(32)은 절개부(11) 내에서 왕복 이송이 가능하다. 또한 각 수직 연장편(32)의 폭은 각 절개부(11)의 폭보다 작다.
도 5에서 박스 형태로 도시된 수평 이송 수단(20)은 수직 이송 수단(30)을 소정 거리 수평 왕복 이송시키는 부재로서, 수평 이송 수단(20)은 수직 이송 수단(30)이 고정된 컨베이어 벨트 또는 수평으로 이동하는 작동 로드 선단에 수직 이송 수단(30)이 고정된 에어 실린더일 수 있다.
테이블(10) 선단부의 상부에는 지지 부재(40)가 위치하며, 이 지지 부재(40)는 구동 수단(도시되지 않음)에 의하여 상하 수직 이동 가능한 상태로 설치된다. 테이블(10)의 전방에는 가압 부재(50)가 위치하며, 이 가압 부재(50) 역시 구동 수단(도시되지 않음)에 의하여 상하 수직 이동 가능한 상태로 설치되어 있다.
이상과 같이 구성된 본 발명에 따른 장치의 작동 및 기능을 각 도면을 참고하여 설명한다.
먼저, 도 2a에 도시된, 더미 라인이 제거된 기판(B)이 테이블(10) 표면 상에 놓여진다. 이때, 기판(B)에는 행렬 상태로 배열되어 있는 각 소자를 열로 구분하는 노치 라인(N)이 형성되어 있다.
이후, 수직 이동 수단(30)인 에어 실린더가 작동하여 작동 로드가 소정 높이 상승하며, 따라서 작동 로드 상단에 고정된 플레이트(31) 역시 소정 높이 상승한다. 플레이트(31)에 형성된 각 수직 연장편(32)은 테이블(10)에 형성된 대응하는 절개부(11)를 통과하여 테이블(10) 표면 위로 돌출되며, 따라서 기판(B)은 각 수직 연장편(32)에 의하여 일정 높이 상승한다 (도 5b의 상태).
플레이트(31)의 상승에 의하여 기판(B)이 상승한 상태에서, 수평 이송 수단(20)이 작동하면, 수직 이동 수단(30), 즉 플레이트(31)의 각 수직 연장편(32)은 대응하는 절개부(11) 내에서 테이블(10)의 전방으로 이동하며, 따라서 수직 연장편(32) 상에 놓여진 기판 역시 테이블(10)의 전방을 향하여 소정 거리 이동한다. 기판(B)을 소정 거리 이동시킨 후 수평 이송 수단(20)의 구동이 종료된다. 여기서, 기판(B) 상의 노치 라인(N) 사이의 간격(도 2a의 t)과 동일한 거리로 기판(B)을 이송시키도록 수평 이송 수단(20)의 구동은 제어된다.
수평 이송 수단(20)의 작동이 종료된 후, 수직 이송 수단(30)이 최초 위치로 복귀하며, 따라서 플레이트(31)의 각 수직 연장편(32)은 각 절개부(11)를 통하여 하향 이동하여 테이블(10) 표면 아래에 위치하게 된다. 그 결과, 기판(B)은 테이블 (10) 표면 상에 놓여진 상태가 되고, 그 선단의 제 1 열 소자들(S1)은 테이블(10) 선단 외측으로 노출된다 (도 4 및 도 5a의 상태).
이러한 상태에서, 테이블(10) 선단 상부에 장착된 지지 부재(40)가 구동부의 작동에 의하여 하향 이송되어 테이블(10) 선단 외측으로 노출된 제 1 소자 열(S1)의 후방에 위치한 제 2 소자 열(S2)에 대응된다.(미설명 부호 D는 각 소자 열을 구성하는 개별 소자를 나타냄). 이후, 테이블(10) 전방에 설치된 가압 부재(50)가 하향 이동되어 테이블(10) 선단 외측으로 노출된 제 1 소자 열(S1)의 모든 소자들(D)을 하향 가압한다.
지지 부재(40)가 테이블(10) 상에 놓여진 제 2 소자 열(S2)을 누르고 있는 상태에서 가압 부재(50)에 의하여 제공된 압력이 제 1 소자 열(S1)에 작용함으로서 제 1 소자 열(S1)과 제 2 소자 열(S2)을 구분하는 노치 라인(N)에 굽힘력이 가해지며, 따라서 제 1 소자 열(S1)은 기판(B)으로부터 분리되어 테이블(10) 하부로 떨어진다. 기판(B)으로부터 분리된 제 1 소자 열(즉, 도 2b에 도시된 스틱)은 이동 수단(예를 들어, 컨베이어 벨트)에 의하여 적재 트레이로 이송된다.
여기서, 기판(B) 상에 형성된 각 소자(D)의 상부면(캡)에는 가압하는 지지 부재(40)와 가압 부재(50)에 의하여 스크래치(scratch)가 발생될 수 있다. 따라서 지지 부재(40)와 가압 부재(50)의 하단에 우레탄과 같은 탄성 부재(41, 51)를 각각 부착시키는 하는 것이 바람직하다.
위와 같은 제 1 소자 열(S1)의 분리 공정이 종료된 후, 지지 부재(40) 및 가압 부재(50)가 상향 이동하여 최초 위치로 복귀하며, 수평 이송 수단(20)의 구동에 의하여 수직 이송 수단(30), 즉 플레이트(31)는 테이블(10) 후방으로 이송된다. 이후, 상기 공정이 반복하여 진행됨으로서 제 2 소자 열(S2), 제 3 소자 열(S3) ㆍㆍㆍ 제 n 소자 열의 기판(B)으로부터의 분리 공정이 계속적으로 이루어진다.
이상의 설명에서는 본 발명에 따른 장치가 다수의 소자들이 행렬 상태로 배열된 기판(도 2a의 상태)을 다수의 소자들이 일렬로 배열된 소자 열(도 2b의 상태로서, 이하에서는 "스틱"으로 칭함)로 분리하는 과정을 설명하였지만, 기판으로부터 분리된 각 스틱에 대한 분리 공정을 진행하여 각 소자(도 2c의 상태)로 분리하는 공정에 적용할 수 있다.
도 6은 도 4의 선 A-A를 따라 절취한 상태의, 다수의 소자가 일렬로 배열된 스틱을 절단하여 개별 소자로 분리하는 상태를 도시한 단면도로서, 도 6a는 다수의 스틱들이 테이블 상에 놓여진 상태를, 도 6b는 다수의 스틱들이 소정 높이 들어 올려진 상태를 도시한 도면이다.
도 2b에 도시된 바와 같이 다수의 소자들이 일렬로 배열되어 있는 스틱(S)을 절단하여 각각의 소자(D)로 분리하기 위하여 본 발명에 따른 장치를 이용할 수 있다.
전술한 바와 같이, 수직 이송 수단(30)의 한 부재인 플레이트(31)에는 일정 길이 및 폭을 갖는 다수의 수직 연장편(32)이 형성되어 있고, 테이블(10)에는 수직 연장편들(32)과 각각 대응하는 다수의 절개부들(11)이 형성되어 있다. 테이블(10) 의 절개부(11)의 폭을 스틱(S)의 폭보다 작게 형성함으로서 기판(B)으로부터 분리된 각 스틱(S)은 테이블(10)의 각 절개부(11)의 양측 연변에 지지될 수 있다.
각 스틱이 테이블(10)의 각 절개부(11)의 양측 연변에 지지된 상태로 다수의 스틱들(S1 내지 Sn)이 테이블(10) 상에 놓여지면, 수직 이송 수단(30)인 에어 실린더가 작동하여 작동 로드가 소정 높이 상승하며, 따라서 작동 로드 상단에 고정된 플레이트(31) 역시 소정 높이 상승한다. 플레이트(31)의 표면에 형성된 각 수직 연장편(32)은 테이블(10)에 형성된 대응하는 각 절개부(11)를 통과하여 테이블(10) 표면 위로 돌출되며, 따라서 각 스틱(S1 내지 Sn)은 각 수직 연장편(11)에 안착된 상태로 일정 높이 상승한다 (도 6b의 상태).
플레이트(31)의 상승에 의하여 다수의 스틱들(S1 내지 Sn)이 상승한 상태에서, 수평 이송 수단(20)이 작동하면, 수직 이동 수단(30), 즉 플레이트(31)에 놓여진 스틱들(S1 내지 Sn)은 테이블(10)의 전방을 향하여 소정 거리 이동한다. 스틱들(S1 내지 Sn)을 소정 거리 이동시킨 후 수평 이송 수단(20)의 구동이 종료된다. 여기서, 각 스틱에 형성된 노치 라인 사이의 간격(도 2a의 t로서, 소자의 폭)과 동일한 거리로 스틱들을(S1 내지 Sn) 이송시키도록 수평 이송 수단(20)의 구동은 제어된다.
수평 이송 수단(20)의 작동이 종료된 후, 수직 이송 수단(30)이 최초 위치로 복귀하며, 따라서 플레이트(31)의 각 수직 연장편(32)은 각 절개부(11) 내에서 하향 이동하여 테이블(10) 표면 아래에 위치하게 된다. 그 결과, 각 스틱(S1 내지 Sn)은 테이블(10) 상에 놓여진 상태가 되고, 각 스틱(S1 내지 Sn)의 선단에 위치한 제 1 소자들은 테이블(10) 선단 외측으로 노출된다.
이러한 상태는 대상물이 기판과 스틱인 점을 제외하고는 도 4에 도시된 상태와 동일하며, 따라서 이후의 과정을 도 4 및 도 6을 참고하여 설명한다.
테이블(10) 선단 상부에 장착된 지지 부재(40)가 구동부의 작동에 의하여 하향 이송되어 테이블(10) 선단 외측으로 노출된 제 1 소자 후방의 제 2 소자에 대응된다. 이후, 테이블(10) 전방에 설치된 가압 부재(50)가 하향 이동되어 테이블(10) 선단 외측으로 노출된 모든 제 1 소자들을 하향 가압한다. 지지 부재(40)가 테이블 (10) 상에 놓여진 제 2 소자들을 누르고 있는 상태에서 가압 부재(50)에 의하여 제공된 압력이 제 1 소자들에 제공됨으로서 각 스틱(S1 내지 Sn) 선단의 제 1 소자와 그 후방의 제 2 소자를 구분하는 노치 라인이 절단되며, 따라서 제 1 소자는 각 스틱(S1 내지 Sn)으로부터 분리되어 테이블(10) 하부로 떨어진다. 각 스틱(S1 내지 Sn)으로부터 분리된 제 1 소자는 이동 수단(예를 들어, 컨베이어 벨트)에 의하여 적재 트레이로 이송된다.
이상과 같은 본 발명은 기판 (또는 기판에서 절단 분리된 소자 열(스틱)들)의 일부분이 테이블 상에서 눌려진 상태에서 또다른 부분이 굽힘력을 받게 되며, 따라서 기판 (또는 스틱)의 흔들림 없이 분리 공정을 진행할 수 있다.
또한, 기판 (또는 기판에서 분리된 스틱들)이 플레이트에 의하여 들어 올려진 상태에서 테이블 상에서 이동하기 때문에 기판(또는 스틱)과 테이블 표면과의 접촉이 일어나지 않으며, 따라서 기판(소자)에 스크래치 등과 같은 결함 발생이 방 지될 수 있다.
위에서 설명한 본 발명은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이다. 따라서, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

Claims (4)

  1. 다수의 소자들이 행렬 상태로 배열된 기판을 절단하여 다수의 소자가 일렬로 배열된 기판(스틱)으로 분리 또는 다수의 소자들이 일렬로 배열되어 있는 기판(스틱)을 절단하여 개별 소자로 분리하는 소자 개별화 장치에 있어서,
    기판(또는 스틱들)이 놓여지는 테이블;
    테이블 하부에 설치되며, 테이블 상에서 기판(또는 스틱들)을 수직 이송시키는 수직 이송 수단;
    수직 이송 수단을 수평으로 왕복 이송시키는 수평 이송 수단;
    테이블 선단부의 상부에 수직 왕복 이동 가능하게 설치되어 테이블 상에 놓여진 기판(또는 스틱)의 일부분을 눌러 흔들림 없이 유지시키는 지지 부재; 및
    테이블 전방 상부에 수직 왕복 이동 가능하게 설치되어 테이블 외측으로 노출된 기판(또는 스틱)의 일부분을 가압하여 굽힘력을 발생시키는 가압 부재를 포함하는 소자 개별화 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 테이블은 그 상부 부재에 그 길이 방향으로 소정의 폭을 갖는 다수의 절개부가 구성되고, 상기 수직 이송 수단은 길이 방향으로 소정의 폭을 갖는 다수의 수직 연장편이 형성된 플레이트를 포함하며, 이로 인하여 수직 이송 수단에 의한 플레이트의 상향 이동시 각 수직 연장편이 대응하는 절개부를 통하여 상승하여 기판(또는 스틱)을 테이블 표면 위로 들어올리는 소자 개별화 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 수직 이송 수단 및 수평 이송 수단은 에어 실린더인 소자 개별화 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 지지 부재와 가압 부재는 그 하단에 탄성 부재가 각각 고정되어 있는 소자 개별화 장치.
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