KR102322346B1 - 기판분리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체층을 포함하는 기판을 지지하는 기판지지부; 상기 기판의 일면(一面)에 접촉하는 제1접촉면을 갖는 제1접촉부; 및 상기 기판의 타면(他面)에 접촉하는 제2접촉면을 갖는 제2접촉부를 포함하는 기판분리장치에 관한 것이다.

Description

기판분리장치{Apparatus for Splitting Substrate}
본 발명은 태양전지 등을 제조하는데 이용되는 기판분리장치에 관한 것이다.
태양전지는 반도체의 성질을 이용하여 빛 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 장치이다.
태양전지는 P(positive)형 반도체와 N(negative)형 반도체를 접합시킨 PN접합 구조를 하고 있으며, 이러한 구조의 태양전지에 태양광이 입사되면, 입사된 태양광이 가지고 있는 에너지에 의해 상기 반도체 내에서 정공(hole) 및 전자(electron)가 발생하고, 이때, PN접합에서 발생한 전기장에 의해서 상기 정공(+)은 P형 반도체쪽으로 이동하고 상기 전자(-)는 N형 반도체쪽으로 이동하게 되어 전위가 발생하게 됨으로써 전력을 생산할 수 있게 된다.
이와 같은 태양전지는 일반적으로 기판형 태양전지와 박막형 태양전지로 구분할 수 있다.
상기 기판형 태양전지는 실리콘 웨이퍼와 같은 반도체물질 자체를 기판으로 이용하여 태양전지를 제조한 것이고, 상기 박막형 태양전지는 유리 등과 같은 기판 상에 박막의 형태로 반도체를 형성하여 태양전지를 제조한 것이다.
상기 기판형 태양전지는 상기 박막형 태양전지에 비하여 효율이 우수한 장점이 있고, 상기 박막형 태양전지는 상기 기판형 태양전지에 비하여 제조비용이 감소되는 장점이 있다.
이러한 태양전지를 제조하기 위해서 기판을 복수개의 조각으로 분리하기 위한 기판분리장치가 이용된다. 상기 기판분리장치는 상기 기판에 외력을 가함으로써, 상기 기판을 복수개의 조각으로 분리시킬 수 있다.
여기서, 종래 기술에 따른 기판분리장치는 상기 기판을 복수개의 조각으로 분리시키는 분리작업이 개별적으로 이루어지도록 구현되었다. 예컨대, 상기 기판을 5개의 조각으로 분리시키고자 할 경우, 종래 기술에 따른 기판분리장치는 4번의 분리공정을 수반하도록 구현된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판분리장치는 상기 기판에 대한 분리작업의 신속성을 저하시킴으로써, 분리작업이 완료된 조각들에 대한 양산성을 감소시키는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 기판에 대한 분리작업의 신속성을 향상시켜 줄 수 있는 기판분리장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판분리장치는 반도체층을 포함하는 기판을 지지하는 기판지지부; 상기 기판의 일면(一面)에 접촉하는 제1접촉면을 갖는 제1접촉부; 및 상기 기판의 타면(他面)에 접촉하는 제2접촉면을 갖는 제2접촉부를 포함할 수 있다. 상기 제1접촉면은 곡면으로 형성되어서 상기 기판의 일면에 접촉할 수 있다. 상기 제2접촉면과 상기 제1접촉면은 서로 접촉됨에 따라 상기 기판을 적어도 2조각 이상으로 동시에 분리시킬 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명에 따른 기판분리장치는 기판을 적어도 2개 이상으로 동시에 분리시키도록 구현됨으로써, 기판에 대한 분리작업의 신속성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 태양전지 제조장치에 대한 개략적인 정면도
도 2는 본 발명에 기판분리장치에 대한 개략적인 정면도
도 3(a)는 본 발명에 따른 기판분리장치의 제2접촉부 및 지지부에 대한 개략적인 정면도
도 3(b)는 본 발명에 따른 기판분리장치의 제2접촉부 및 지지부에 대한 개략적인 평면도
도 4(a)는 본 발명에 따른 기판분리장치의 기판지지부 및 이송부에 대한 개략적인 정면도
도 4(b)는 본 발명에 따른 기판분리장치의 기판지지부 및 이송부에 대한 개략적인 평면도
도 4(c)는 본 발명에 따른 기판분리장치의 기판지지부 및 이송부에 대한 개략적인 저면도
도 5는 본 발명에 따른 태양전지 제조장치에 대한 개략적인 평면도
도 6a 내지 도 6d는 본 발명에 따른 기판분리장치가 기판을 분리시키는 분리작업을 개략적으로 도시한 정면도
도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 기판분리장치가 기판을 분리시키는 분리작업의 다른 실시예를 개략적으로 도시한 정면도
도 8은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판분리장치에 대한 개략적인 정면도
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급한 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.
제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판분리장치(1)의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 태양전지를 제조하기 위한 태양전지 제조장치(100, 도 1에 도시됨)에 이용될 수 있다. 본 발명에 따른 기판분리장치(1)를 설명하기에 앞서, 상기 태양전지 제조장치(100)에 관한 일례를 살펴보면 다음과 같다. 또한, 본 명세서의 도면에 도시된 해칭은 구성의 단면을 도시한 것이 아니라 구성의 구분을 위해 도시한 것이다.
상기 태양전지 제조장치(100)는 기판형 태양전지 및 박막형 태양전지를 제조하기 위한 것이다. 도 1을 참고하면, 상기 태양전지 제조장치(100)는 로딩장치(110), 및 언로딩장치(120)를 포함할 수 있다.
상기 로딩장치(110)는 기판(10)을 본 발명에 따른 기판분리장치(1)에 로딩(Loading)하기 위한 것이다. 상기 로딩장치(110)는 복수개의 로딩롤(111)을 회전시킴으로써, 상기 기판(10)을 본 발명에 따른 기판분리장치(1)에 이송시킬 수 있다. 상기 기판(10)은 소정의 전기전도 극성을 가질 수 있다. 상기 기판(10)은 N형 실리콘 웨이퍼 또는 P형 실리콘 웨이퍼로 이루어질 수 있다.
상기 언로딩장치(120)는 상기 기판(10)을 본 발명에 따른 기판분리장치(1)로부터 언로딩(Unloading)하기 위한 것이다. 상기 언로딩장치(120)는 복수개의 언로딩롤(121)을 회전시킴으로써, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)를 통해 상기 기판(10)으로부터 분리된 복수개의 단위기판(10a, 도 6d에 도시됨)을 이송시킬 수 있다.
도 1을 참고하면, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 기판(10)을 복수개의 단위기판(10a)으로 분리시키기 위한 것이다. 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 로딩장치(110)와 상기 언로딩장치(120) 사이에 위치할 수 있다.
도 1 내지 도 7b를 참고하면, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 반도체층을 포함하는 상기 기판(10)을 지지하는 기판지지부(2), 상기 기판(10)의 일면(一面)에 접촉하는 제1접촉면(31)을 갖는 제1접촉부(3), 및 상기 기판(10)의 타면(他面)에 접촉하는 제2접촉면(41)을 갖는 제2접촉부(4)를 포함한다. 상기 제1접촉면(31)은 곡면으로 형성되어서 상기 기판(10)의 일면에 접촉한다. 상기 제2접촉면(41)과 상기 제1접촉면(31)은 서로 접촉됨에 따라 상기 기판(10)을 적어도 2조각 이상으로 동시에 분리시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 기판(10)을 개별적으로 복수개의 조각으로 분리시키는 종래 기술과 대비하여 볼 때, 상기 기판(10)에 대한 분리작업의 신속성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 분리작업이 완료된 조각들의 양산성을 증대시킬 수 있다.
이하에서는 상기 기판지지부(2), 상기 제1접촉부(3), 및 상기 제2접촉부(4)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 한편, 본 명세서에서 기재되고 있는 “일측” 및 “타측”이라는 용어는 각 구성들을 구별하기 위한 것으로, 특정 방향을 지칭하는 것이 아님은 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도 1 내지 도 7b를 참고하면, 상기 기판지지부(2)는 상기 기판(10)을 지지한다. 상기 기판지지부(2)는 상측방향(UD 화살표 방향)으로 상기 기판(10)을 지지할 수 있다. 상기 상측방향(UD 화살표 방향)은 상기 기판(10)이 상기 로딩장치(110)에서 상기 언로딩장치(120)로 이송되는 이송방향에 대해 수직한 방향에 해당함과 아울러, 상기 기판지지부(2)에서 상기 제2접촉부(4)를 향하는 방향일 수 있다. 상기 기판지지부(2)는 상기 기판(10)의 일면을 지지할 수 있다. 상기 기판의 일면은 하측방향(DD 화살표 방향)을 향하는 상기 기판(10)의 하면(下面)일 수 있다. 상기 하측방향(DD 화살표 방향)은 상기 상측방향(UD 화살표 방향)과 반대방향일 수 있다. 상기 기판지지부(2)는 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4) 사이에 위치할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(10)은 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4) 사이에서 상기 기판지지부(2)에 지지될 수 있다.
상기 기판지지부(2)가 지지하는 상기 기판(10)은 적어도 하나 이상의 반도체층을 포함할 수 있다. 이하에서는 상기 기판(10)이 3개의 반도체층을 포함하는 일 실시예에 대해 설명한다. 이해의 편의를 위해, 상기 기판(10)이 갖는 기판본체(미도시) 상에 제1박막층, 제2박막층, 및 제3박막층이 순차적으로 적층된 것을 기준으로 설명한다.
상기 제1박막층은 상기 기판(10)과 함께 PN접합을 형성할 수 있다. 따라서, 상기 기판(10)이 N형 실리콘 웨이퍼로 이루어진 경우 상기 제1박막층은 P형 반도체층으로 이루어질 수 있다. 상기 제1박막층은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 공정 등을 이용하여 형성될 수 있다. 상기 제1박막층은 P형 반도체 물질, I형 반도체 물질 및 N형 반도체 물질이 순서대로 적층된 PIN구조로 형성할 수 있다. 이와 같이 상기 제1박막층을 PIN구조로 형성하게 되면, I형 반도체 물질이 P형 반도체 물질과 N형 반도체 물질에 의해 공핍(Depletion)이 되어 내부에 전기장이 발생하게 되고, 태양광에 의해 생성되는 정공 및 전자가 전기장에 의해 드리프트(Drift)되어 각각 P형 반도체 물질 및 N형 반도체 물질에서 수집되게 된다. 한편, 상기 제1박막층을 PIN구조로 형성할 경우에는, 상기 제1박막층 상부에 P형 반도체 물질을 형성하고, 이어서 I형 반도체 물질 및 N형 반도체 물질을 형성하는 것이 바람직하다. 그 이유는 일반적으로 정공의 드리프트 이동도(Drift Mobility)가 전자의 드리프트 이동도에 비해 낮기 때문에 입사광에 의한 수집효율을 극대화하기 위해서 P형 반도체 물질을 수광면에 가깝게 형성하기 위함이다. 한편, 본 발명에 따른 태양전지 제조방법은 상기 제1박막층이 적층형 구조를 갖도록 형성할 수도 있다. 예컨대, 본 발명에 따른 태양전지 제조방법은 상기 제1박막층이 텐덤[Tandem(PIN/PIN)]형 또는 트리플[Triple(PIN/PIN/PIN)]형태의 적층형 구조를 갖도록 형성할 수 있다. 상기 제1박막층은 상기 기판(10)의 일면, 타면, 및 측면(側面) 중에서 적어도 어느 하나에 형성되거나, 상기 기판(10)의 일면, 타면, 및 측면 각각에 형성될 수도 있다. 상기 기판(10)의 타면은 상기 상측방향(UD 화살표 방향)을 향하는 상기 기판(10)의 상면(上面)일 수 있다. 상기 기판(10)의 측면은 상기 기판(10)의 일면과 상기 기판(10)의 타면 각각에 연결된 면일 수 있다. 이하에서는 “일면”과 ”타면” 각각이 상기 하측방향(DD 화살표 방향)과 상기 상측방향(UD 화살표 방향)을 향하는 특정 구성들의 면인 것을 기준으로 하여 설명하나 이는 예시적인 것이며, “일면”과 ”타면” 각각은 상기 상측방향(UD 화살표 방향)과 상기 하측방향(DD 화살표 방향)을 향하는 특정 구성들의 면일 수도 있다.
상기 제2박막층은 투명 도전층일 수 있다. 예컨대, 상기 제2박막층은 TCO(Transparent Conductive Oxide)층일 수 있다. 상기 제2박막층은 상기 제1박막층을 보호함과 아울러 상기 기판(10)에서 생성된 캐리어, 예컨대 정공(+)을 수집하고 상기 수집한 캐리어를 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 제2박막층은 ITO(Indium Tin Oxide), ZnOH, ZnO:B, ZnO:Al, SnO2, SnO2:F 등과 같은 투명한 도전물질로 이루어질 수 있다. 상기 제2박막층은 ZnO, ZnO:B, ZnO:Al, Ag와 같은 투명한 도전물질을 스퍼터링(Sputtering)법 또는 MOCVD법 등을 이용하여 형성할 수 있다. 상기 제2박막층은 태양광을 산란시켜 다양한 각으로 진행하도록 함으로써, 상기 제1박막층으로 재입사되는 광의 비율을 증가시키는 기능을 갖는다.
상기 제3박막층은 투명 도전층으로 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 복수개의 박막층들은 플라즈마 강화 화학적 기상 증착법(PECVD, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), 및 스퍼터링법(Sputtering)을 이용하여 형성될 수 있다.
상기 기판지지부(2)는 상기 제1접촉면(31)이 접촉됨에 따라 상기 제1접촉면(31)과 동일한 방향으로 휘어진 곡면을 갖도록 굽힘성(Pliability)을 갖는 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 기판지지부(2)는 고무 등과 같은 재질로 형성될 수 있다.
도 4(a) 내지 도 4(c)를 참고하면, 상기 기판지지부(2)는 지지면(2A), 및 통과공(2B)을 포함할 수 있다.
상기 지지면(2A)은 상기 기판(10)을 지지하기 위한 것이다. 상기 지지면(2A)은 상기 기판(10)에 대해 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 위치하여서 상기 기판(10)의 일면을 지지할 수 있다. 상기 지지면(2A)은 상기 기판(10)을 향하는 상기 기판지지부(2)의 일부일 수 있다. 상기 지지면(2A)은 상기 이송방향을 기준으로 하여 평면을 갖도록 형성될 수 있다. 상기 지지면(2A)은 대략적으로 직사각형 형태로 형성될 수 있다.
상기 통과공(2B)은 상기 제1접촉부(3)가 통과하기 위한 것이다. 상기 통과공(2B)은 상기 제1접촉부(3)가 상기 지지면(2A)에 접촉하도록 상기 제1접촉부(3)를 통과시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 제1접촉부(3)가 상기 기판(10)의 일면에 접촉하는 과정에서 상기 기판지지부(2)를 회피할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 기판(10)에 접촉하는 작업에 대한 용이성을 향상시킬 수 있다. 상기 통과공(2B)은 상기 지지면(2A)에 대해 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 위치할 수 있다. 상기 통과공(2B)은 전체적으로 직사각형 형태로 형성될 수 있다.
도 2, 및 도 6a 내지 도 7b를 참고하면, 상기 제1접촉부(3)는 상기 기판(10)의 일면에 접촉할 수 있다. 상기 제1접촉부(3)는 상기 지지면(2A)에 접촉하여서 상기 기판(10)의 일면에 접촉할 수 있다. 상기 제1접촉부(3)는 상기 기판(10)에 대해 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 위치할 수 있다. 상기 제1접촉부(3)는 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 및 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동할 수 있다. 상기 제1접촉부(3)는 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽으로 이동함에 따라 상기 기판(10)의 일면에 접촉할 수 있다. 상기 제1접촉부(3)는 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동함에 따라 상기 기판(10)으로부터 이격될 수 있다.
도 2를 참고하면, 상기 제1접촉부(3)는 상기 제1접촉면(31)을 포함할 수 있다.
상기 제1접촉면(31)은 상기 기판(10)에 일면에 접촉하는 것이다. 상기 제1접촉면(31)은 상기 지지면(2A)에 접촉되어서 상기 기판(10)의 일면에 접촉할 수 있다. 상기 제1접촉면(31)은 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이동하여서 상기 기판(10)의 일면에 접촉할 수 있다. 상기 제1접촉면(31)은 곡면으로 형성되어 상기 기판(10)에 굽힘력(Bending Force)을 제공할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 기판(10)을 복수개의 단위기판(10a)으로 분리시키기 위한 분리력을 구현할 수 있다. 예컨대, 상기 제1접촉면(31)은 상기 기판(10) 쪽으로 휘어진 곡면을 갖도록 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1접촉면(31)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽으로 휘어진 곡면을 갖도록 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 제1접촉면(31)의 곡률중심(Center of Curvature)은 상기 제1접촉부(3)에 대해 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 형성될 수 있다.
도 2, 도 3, 도 5, 도 6a 내지 도 7b를 참고하면, 상기 제2접촉부(4)는 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다. 상기 제2접촉부(4)는 상기 기판(10)에 대해 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽에 위치할 수 있다. 상기 제2접촉부(4)는 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 및 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동할 수 있다. 상기 제2접촉부(4)는 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽으로 이동함에 따라 상기 기판(10)으로부터 이격될 수 있다. 상기 제2접촉부(4)는 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동함에 따라 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다.
도 3(a)를 참고하면, 상기 제2접촉부(4)는 상기 제2접촉면(41)을 포함할 수 있다.
상기 제2접촉면(41)은 상기 기판(10)의 타면에 접촉하는 것이다. 상기 제2접촉면(41)과 상기 제1접촉면(31)은 서로 접촉됨에 따라 상기 기판을 적어도 2조각 이상으로 동시에 분리시킬 수 있다. 즉, 상기 제2접촉면(41)과 상기 제1접촉면(31)은 상기 기판(10)을 사이에 두고 서로 접촉함에 따라 굽힘력을 통해 상기 기판(10)을 적어도 2개 이상의 단위기판(10a)으로 분리시킬 수 있다. 상기 제2접촉면(41)은 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동함에 따라 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다.
상기 제2접촉면(41)과 상기 제1접촉면(31)이 서로 접촉됨에 따라 상기 제2접촉부(4)는 상기 제1접촉면(31)과 동일한 방향으로 휘어진 곡면을 갖도록 굽힘성을 갖는 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 제1접촉면(31)이 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽으로 휘어진 곡면을 갖도록 형성되어서 상기 제1접촉면(31)과 상기 제2접촉면(41)이 서로 접촉되면, 상기 제2접촉부(4)는 전체적으로 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽으로 휘어진 곡면을 갖도록 형성될 수 있다. 상기 제2접촉부(4)는 고무 등과 같은 재질로 형성될 수 있다.
도 3(b), 및 도 5를 참고하면, 상기 제2접촉부(4)는 복수개의 접촉부재(42)를 포함할 수 있다.
상기 접촉부재(42)들은 상기 기판(10)의 타면에 접촉하는 것이다. 상기 접촉부재(42)들은 상기 이송방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 상기 접촉부재(42)들은 상기 기판(10)에 형성된 복수개의 분리부(20)가 이격된 간격과 동일한 간격으로 이격될 수 있다. 예컨대, 상기 접촉부재(42)들은 상기 이송방향을 따라 서로 동일한 간격으로 이격될 수 있다. 상기 분리부(20)들은 상기 기판(10)을 복수개의 조각으로 분리시키기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(10)을 5개의 단위기판(10a)으로 분리시키고자 할 경우, 상기 기판(10)에는 도 5에 도시된 바와 같이 4개의 분리부(20)가 형성될 수 있다. 도 5에 도시된 점선은 상기 분리부(20)들을 개략적으로 도시한 것이다. 상기 분리부(20)들은 상기 기판(10) 으로부터 소정 깊이 홈을 가공하는 스크라이빙 공정을 통해 형성될 수 있다. 상기 접촉부재(42)들이 서로 이격된 부분에는 이격공(미도시)이 형성될 수 있다.
도 2, 도 4 내지 도 7b를 참고하면, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 이송부(5)를 포함할 수 있다.
상기 이송부(5)는 상기 기판(10)을 이송하기 위한 것이다. 상기 이송부(5)는 상기 기판(10)을 상기 이송방향으로 이송시킬 수 있다. 상기 이송부(5)는 상기 기판(10)이 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4) 사이에 위치한 상태에서, 상기 기판(10)을 상기 언로딩장치(120) 쪽으로 이송시킬 수 있다. 상기 이송부(5)는 전동모터를 이용한 방식으로 상기 기판(10)을 이송시킬 수 있다. 상기 이송부(5)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 방식으로 상기 기판(10)을 이송시킬 수도 있다.
상기 이송부(5)는 제1이송롤(51), 및 제2이송롤(52)을 포함할 수 있다.
상기 제1이송롤(51)은 상기 기판(10)을 이송시키기 위한 것이다. 상기 제1이송롤(51)에는 상기 기판지지부(2)가 결합될 수 있다. 상기 제1이송롤(51)에는 상기 기판지지부(2)가 감겨져서 결합될 수 있다. 상기 제1이송롤(51)은 전체적으로 원기둥 형태로 형성될 수 있다.
상기 제2이송롤(52)은 상기 제1이송롤(51)로부터 이격된 위치에 위치한 것이다. 상기 제2이송롤(52)에는 상기 기판지지부(2)가 결합될 수 있다. 상기 제2이송롤(52)에는 상기 기판지지부(2)가 감겨져서 결합될 수 있다. 상기 제2이송롤(52)은 전체적으로 원기둥 형태로 형성될 수 있다.
상기 제2이송롤(52)과 상기 제1이송롤(51)은 서로 동일한 방향으로 회전함에 따라 상기 기판(10)으로부터 분리된 단위기판(10a)들을 상기 언로딩장치(120) 쪽으로 이송시킬 수 있다. 예컨대, 상기 제2이송롤(52)과 상기 제1이송롤(51)은 도 2를 기준으로 하여 시계방향으로 회전함에 따라 상기 기판(10)으로부터 분리된 단위기판(10a)들을 상기 언로딩장치(120) 쪽으로 이송시킬 수 있다. 상기 제2이송롤(52)과 상기 제1이송롤(51)에는 상기 기판지지부(2)가 갖는 기판권취부재들(21, 22)이 감겨질 수 있다. 상기 이송롤들(51, 52)은 상기 기판권취부재들(21, 22)을 회전시킴에 따라 상기 지지면(2A)에 지지된 상기 단위기판(10a)들을 이송시킬 수 있다. 제1기판권취부재(21)는 상기 이송부(5)를 기준으로 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽에 위치하여서 상기 지지면(2A)을 사이에 두고 2개가 상기 제1이송롤(51)과 상기 제2이송롤(52)에 감겨질 수 있다. 제2기판권취부재(22)는 상기 이송부(5)를 기준으로 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 위치하여서 상기 통과공(2B)을 사이에 두고 2개가 상기 제1이송롤(51)과 상기 제2이송롤(52)에 감겨질 수 있다. 상기 제1기판권취부재(21)와 상기 제2기판권취부재(22)는 서로 연결될 수 있다. 상기 제1기판권취부재(21), 상기 제2기판권취부재(22), 및 상기 지지면(2A)은 일체로 형성될 수 있다.
도 2, 도 3, 도 5 내지 도 7b를 참고하면, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 지지부(6)를 더 포함할 수 있다.
상기 지지부(6)는 상기 제2접촉부(4)를 지지하는 것이다. 상기 지지부(6)는 상기 제2접촉부(4)에 대해 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 지지부(6)는 상기 제2접촉부(4)의 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에서 상기 제2접촉부(4)를 지지할 수 있다. 상기 지지부(6)는 상기 기판지지부(2)로부터 이격된 위치에 배치될 수 있다. 상기 지지부(6)는 상기 기판지지부(2)로부터 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽으로 이격된 위치에 배치될 수 있다.
도 3(a), 및 도 3(b)를 참고하면, 상기 지지부(6)는 제1지지롤(61), 및 제2지지롤(62)을 포함할 수 있다.
상기 제1지지롤(61)은 상기 제2접촉부(4)의 일측을 지지한다. 상기 제1지지롤(61)은 전체적으로 원기둥 형태로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 제1지지롤(61)에 모서리가 형성된 비교예와 대비하여 볼 때, 상기 모서리에 상기 제2접촉부(4)가 지지됨에 따른 상기 제2접촉부(4)의 손상 내지 파손 가능성을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 제2접촉부(4)의 사용주기를 증대시킬 수 있다. 상기 제1지지롤(61)에는 상기 제2접촉부(4)가 결합될 수 있다. 상기 제1지지롤(61)에는 상기 제2접촉부(4)의 접촉권취부재(40)들이 감겨질 수 있다. 상기 접촉권취부재(40)들은 상기 접촉부재(42)들을 사이에 두고 상기 접촉부재(42)들에 결합될 수 있다. 상기 접촉권취부재(40)들, 및 상기 접촉부재(42)들은 일체로 형성될 수 있다. 도 3(b)는 2개의 상기 접촉권취부재(40)들이 상기 제1지지롤(61)과 상기 제2지지롤(62)에 결합된 것을 개략적으로 도시한 것이다.
상기 제2지지롤(62)은 상기 제2접촉부(4)의 타측을 지지한다. 상기 제2지지롤(62)은 상기 제1지지롤(61)로부터 이격된 위치에 배치될 수 있다. 상기 제2지지롤(62)은 전체적으로 원기둥 형태로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 제2지지롤(62)에 모서리가 형성된 비교예와 대비하여 볼 때, 상기 모서리에 상기 제2접촉부(4)가 지지됨에 따른 상기 제2접촉부(4)의 손상 내지 파손 가능성을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 제2접촉부(4)의 사용주기를 증대시킬 수 있다. 상기 제2지지롤(62)에는 상기 제2접촉부(4)가 결합될 수 있다. 상기 제2지지롤(62)에서는 상기 접촉권취부재(40)들이 감겨질 수 있다.
도 2, 및 도 5 내지 도 7b를 참고하면, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 이동부(7)를 더 포함할 수 있다.
상기 이동부(7)는 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4)를 이동시키기 위한 것이다. 상기 이동부(7)는 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4) 중에서 적어도 하나를 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 이동부(7)는 상기 제1접촉부(3)만을 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽으로 이동시켜서 상기 제2접촉부(4)에 접촉시킬 수 있다. 상기 이동부(7)는 상기 제2접촉부(4)만을 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동시켜서 상기 제1접촉부(3)에 접촉시킬 수도 있다. 상기 이동부(7)는 상기 제1접촉부(3)를 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽으로 이동시킴과 아울러 상기 제2접촉부(4)를 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽을 이동시켜서 상기 제1접촉면(31)과 상기 제2접촉면(41)을 서로 접촉시킬 수 있다. 상기 이동부(7)는 전동모터를 이용한 방식으로 상기 제1접촉부(3) 및 상기 제2접촉부(4)를 이동시킬 수 있다. 상기 이동부(7)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 방식으로 상기 제1접촉부(3) 및 상기 제2접촉부(4)를 이송시킬 수도 있다.
도 2, 및 도 5 내지 도 7b를 참고하면, 상기 이동부(7)는 제1이동기구(71), 및 제2이동기구(72)를 포함할 수 있다.
상기 제1이동기구(71)는 상기 제1접촉부(3)를 이동시키는 것이다. 상기 제1이동기구(71)는 상기 기판(10)의 일면 쪽에서 상기 제1접촉부(3)를 이동시킬 수 있다. 상기 제1이동기구(71)는 상기 제1접촉부(3)를 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 및 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동시킬 수 있다.
상기 제2이동기구(72)는 상기 제2접촉부(4)를 이동시키는 것이다. 상기 제2이동기구(72)는 상기 기판(10)의 타면 쪽에서 상기 제2접촉부(4)를 이동시킬 수 있다. 상기 제2이동기구(72)는 상기 제2접촉부(4)를 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 및 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동시킬 수 있다.
도 5를 참고하면, 상기 제2이동기구(72)는 제1이동롤(721), 및 제2이동롤(722)을 포함할 수 있다.
상기 제1이동롤(721)은 상기 제2접촉부(4)의 일측에 배치된 것이다. 상기 제1이동롤(721)은 상기 제2접촉부(4)에 대해 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 제1이동롤(721)은 전체적으로 원기둥 형태로 형성될 수 있다.
상기 제2이동롤(722)은 상기 제1이동롤(721)로부터 이격된 위치에서, 상기 제2접촉부(4)의 타측에 배치된 것이다. 상기 제2이동롤(722)은 상기 제2접촉부(4)에 대해 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 제1이동롤(721)은 전체적으로 원기둥 형태로 형성될 수 있다.
상기 제2이동롤(722)과 상기 제1이동롤(721)은 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동함에 따라 상기 제2접촉부(4)를 상기 기판(10) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 상기 제2이동롤(722)과 상기 제1이동롤(721)은 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동하여서 상기 제2접촉부(4)를 상기 기판(10) 쪽으로 이동시킴에 따라 상기 제2접촉부(4)의 장력(Tension)을 증가시킬 수 있다. 상기 제2이동롤(722)과 상기 제1이동롤(721)은 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이동함에 따라 상기 제2접촉부(4)를 상기 기판(10)으로부터 이격시킬 수 있다. 즉, 상기 제2이동롤(722)과 상기 제1이동롤(721)은 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이동하여서 상기 제2접촉부(4)를 상기 기판(10)으로부터 이격시킴에 따라 상기 제2접촉부(4)의 장력을 감소시킬 수 있다.
이하에서는 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4)를 이동시켜서 상기 기판(10)을 분리시키는 실시예에 대해 첨부된 도면을 참고하여 설명한다.
우선, 도 6a에 도시된 바와 같이 상기 로딩장치(110)가 상기 기판(10)을 본 발명에 따른 기판분리장치(1)로 이송시킨다. 이에 따라, 상기 기판(10)은 상기 기판지지부(2)의 지지면(2A)에 지지될 수 있다.
다음, 도 6b에 도시된 바와 같이 상기 기판(10)이 상기 기판지지부(2)에 지지된 상태에서 상기 제2이동기구(72)는 상기 제2접촉부(4)를 상기 기판(10) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2접촉면(41)은 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동하여서 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다. 상기 제2접촉면(41)은 상기 기판(10)의 타면에 접촉되어서 상기 기판(10)을 고정시킬 수 있다.
다음, 도 6c에 도시된 바와 같이 상기 기판(10)이 상기 제2접촉면(41)에 고정된 상태에서 상기 제1이동기구(71)는 상기 제1접촉부(3)를 상기 기판(10) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1접촉부(3)는 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이동하여 상기 지지면(2A)에 접촉됨에 따라 상기 기판(10)의 일면에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1접촉면(31)과 상기 제2접촉면(41)은 서로 접촉될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 기판(10)을 적어도 2개의 단위기판(10a)으로 분리시킬 수 있다. 도 6c는 본 발명에 따른 기판분리장치(1)가 상기 기판(10)을 5개의 단위기판(10a)으로 분리한 것을 모식적으로 도시한 것이다. 상술한 것은 상기 제2접촉부(4)가 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동한 뒤에 상기 제1접촉부(3)가 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이동한 것을 기준으로 설명하였으나 이는 예시적인 것이며, 상기 제1접촉면(31)과 상기 제2접촉면(41)이 접촉될 수 있는 한 상기 제1접촉부(3)가 먼저 이동할 수 있고 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4)가 동시에 이동할 수도 있다.
다음, 도 6d에 도시된 바와 같이 상기 제1이동기구(71)와 상기 제2이동기구(72) 각각은 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4)를 이동시켜서 상기 제1접촉면(31)과 상기 제2접촉면(41)을 상기 단위기판(10a)으로부터 이격시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1이송롤(51)과 상기 제2이송롤(52)은 회전함에 따라 상기 단위기판(10a)들을 상기 언로딩장치(120)로 이송시킬 수 있다.
상술한 것은 상기 이동부(7)가 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4) 각각을 이동시켜서 상기 기판(10)을 분리시키는 실시예를 살펴보았으나, 상기 이동부(7)는 상기 제2접촉부(4)만을 이동시켜서 상기 기판(10)을 분리시킬 수도 있다. 이를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 7a에 도시된 바와 같이 상기 로딩장치(110)가 상기 기판(10)을 본 발명에 따른 기판분리장치(1)로 이송시킨다. 이에 따라, 상기 기판(10)은 상기 기판지지부(2)의 지지면(2A)에 지지될 수 있다.
다음, 상기 기판(10)이 상기 기판지지부(2)에 지지된 상태에서 상기 제2이동기구(72)는 상기 제2접촉부(4)를 상기 기판(10) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제2접촉면(41)은 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동하여 상기 기판(10)의 타면에 접촉될 수 있다. 이 경우, 상기 제2접촉면(41)은 상기 기판(10)의 타면에 접촉되어서 상기 기판(10)을 고정시킬 수 있다.
다음, 도 7b에 도시된 바와 같이 상기 기판(10)이 상기 제2접촉면(41)에 고정된 상태에서 상기 제2이동기구(72)는 상기 제2접촉부(4)를 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 더 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 기판(10)은 상기 제2접촉부(4)가 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동함에 따라 함께 이동하여서 상기 제1접촉부(3)에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1접촉면(31)과 상기 제2접촉면(41)은 서로 접촉될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판분리장치(1)는 상기 기판(10)을 적어도 2개의 조각으로 분리시킬 수 있다. 도 7b는 본 발명에 따른 기판분리장치(1)가 상기 기판(10)을 5개의 단위기판(10a)으로 분리한 것을 모식적으로 도시한 것이다. 이러한 실시예에서, 상기 제1접촉부(3)는 접촉지지부(8, 도 7a 및 도 7b에 도시됨)를 통해 지지될 수 있다. 상기 접촉지지부(8)는 상기 제1접촉부(3)에 결합되어서 상기 제1접촉부(3)를 고정적으로 지지할 수 있다. 상기 접촉지지부(8)는 상기 제1접촉부(3)에 대해 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다.
다음, 상기 제2이동기구(72)는 상기 제2접촉부(4)를 이동시켜서 상기 제2접촉면(41)을 상기 제1접촉면(31)으로부터 이격시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1이송롤(51)과 상기 제2이송롤(52)은 회전함에 따라 상기 단위기판(10a)들을 상기 언로딩장치(120)로 이송시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판분리장치(1)를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 8을 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판분리장치(1)는 상기 기판(10)의 일면을 지지하는 기판지지부(2), 상기 기판(10)의 타면에 접촉하는 제1접촉면(31)을 갖는 제1접촉부(3), 및 상기 제1접촉부(3)와 동일한 방향 쪽에 배치되어서 상기 기판(10)의 타면에 접촉하는 제2접촉면(41)을 갖는 제2접촉부(4)를 포함한다. 상기 제1접촉면(31)은 곡면으로 형성되어서 상기 기판(10)의 타면에 접촉한다. 상기 제2접촉면(41)과 상기 제1접촉면(31)은 상기 기판지지부(2)에 접촉됨에 따라 상기 기판(10)을 적어도 2조각 이상으로 동시에 분리시킨다. 이하에서는 상술한 본 발명에 따른 기판분리장치(1)와 중복된 설명은 제외하고 차이점을 위주로 설명한다.
상기 제1접촉부(3)는 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다. 상기 제1접촉부(3)는 상기 기판(10)에 대해 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽에 위치할 수 있다. 상기 제1접촉부(3)는 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동함에 따라 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다. 상기 제1접촉부(3)는 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽으로 이동함에 따라 상기 기판(10)으로부터 이격될 수 있다.
상기 제1접촉면(31)은 상기 기판(10)의 타면에 접촉한다. 상기 제1접촉면(31)은 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동하여서 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다. 상기 제1접촉면(31)은 상기 제2접촉면(41)에 접촉되어서 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다. 상기 제1접촉면(31)은 곡면으로 형성되어서 상기 기판(10)에 굽힘력을 제공할 수 있다.
상기 제2접촉부(4)는 상기 제1접촉부(3)와 동일한 방향 쪽에 배치되어서 상기 기판(10)의 타면에 접촉될 수 있다. 예컨대, 상기 제2접촉부(4)와 상기 제1접촉부(3)는 상기 기판(10)에 대해 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽에 위치할 수 있다.
상기 제2접촉면(41)은 상기 기판(10)의 타면에 접촉한다. 상기 제2접촉면(41)과 상기 제1접촉면(31)은 상기 기판(10)에 대해 같은 방향 쪽에 배치되어서 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다. 상기 제2접촉면(41)은 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동함에 따라 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다.
상기 제2접촉면(41)과 상기 제1접촉면(31)이 서로 접촉됨에 따라 상기 제2접촉부(4)는 상기 제1접촉면(31)과 동일한 방향으로 휘어진 곡면을 갖도록 굽힘성을 갖는 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 제1접촉면(31)이 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 휘어진 곡면을 갖도록 형성되어서 상기 제2접촉면(41)에 접촉되면 상기 제2접촉부(4)는 전체적으로 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 휘어진 곡면을 갖도록 형성될 수 있다.
상기 제1이동기구(71)는 상기 기판(10)의 타면 쪽에서 상기 제1접촉부(3)를 이동시킬 수 있다. 상기 제1이동기구(71)는 상기 제1접촉부(3)를 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 및 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동시킬 수 있다.
상기 제2이동기구(72)는 상기 기판(10)의 타면 쪽에서 상기 제2접촉부(4)를 이동시킬 수 있다. 상기 제2이동기구(72)는 상기 제2접촉부(4)를 상기 상측방향(UD 화살표 방향) 및 상기 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽으로 이동시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판분리장치(1)에 있어서 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4)를 이동시켜서 상기 기판(10)을 분리시키는 예를 설명한다.
우선, 상기 로딩장치(110)가 상기 기판(10)을 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판분리장치(1)로 이송시킨다. 이에 따라, 상기 기판(10)은 상기 기판지지부(2)의 지지면(2A)에 지지될 수 있다.
다음, 상기 기판(10)이 상기 기판지지부(2)에 지지된 상태에서 상기 제2이동기구(72)는 상기 제2접촉부(4)를 상기 기판(10) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2접촉면(41)은 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동하여서 상기 기판(10)의 타면에 접촉할 수 있다. 상기 제2접촉면(41)은 상기 기판(10)의 타면에 접촉되어서 상기 기판(10)을 고정시킬 수 있다.
다음, 상기 기판(10)이 상기 제2접촉면(41)에 고정된 상태에서 상기 제1이동기구(71)는 상기 제1접촉부(3)를 상기 기판(10) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1접촉부(3)는 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동하여서 상기 제2접촉부(4)에 접촉됨에 따라 상기 기판(10)의 타면에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1접촉면(31)과 상기 제2접촉면(41)은 서로 접촉될 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기판분리장치(1)는 상기 기판(10)을 적어도 2개의 단위기판(10a)으로 분리시킬 수 있다. 상술한 것은 상기 제2접촉부(4)가 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동한 뒤에 상기 제1접촉부(3)가 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동한 것을 기준으로 설명하였으나 이는 예시적인 것이며, 상기 제1접촉면(31)과 상기 제2접촉면(41)이 접촉될 수 있는 한 상기 제1접촉부(3)가 먼저 이동할 수 있고 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4)가 동시에 이동할 수도 있다.
다음, 상기 제1이동기구(71)와 상기 제2이동기구(72) 각각은 상기 제1접촉부(3)와 상기 제2접촉부(4)를 이동시켜서 상기 제1접촉면(31)과 상기 제2접촉면(41)을 상기 단위기판(10a)으로부터 이격시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1이송롤(51)과 상기 제2이송롤(52)은 회전함에 따라 상기 단위기판(10a)들을 상기 언로딩장치(120)로 이송시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 기판분리장치 2 : 기판지지부
3 : 제1접촉부 4 : 제2접촉부
5 : 이송부 6 : 지지부
7 : 이동부 8 : 접촉지지부
2A : 지지면 2B : 통과공
31 : 제1접촉면 32 : 제2접촉면

Claims (13)

  1. 반도체층을 포함하는 기판을 지지하는 기판지지부;
    상기 기판의 일면(一面)에 접촉하는 제1접촉면을 갖는 제1접촉부; 및
    상기 기판의 타면(他面)에 접촉하는 제2접촉면을 갖는 제2접촉부를 포함하고,
    상기 제1접촉면은 곡면으로 형성되어서 상기 기판의 일면에 접촉하며,
    상기 제2접촉면과 상기 제1접촉면은 서로 접촉됨에 따라 상기 기판을 적어도 2조각 이상으로 동시에 분리시키고,
    상기 기판지지부로부터 이격된 위치에 배치되어서 상기 제2접촉부를 지지하는 지지부를 더 포함하며,
    상기 지지부는 상기 제2접촉부의 일측과 타측 각각을 지지하는 제1지지롤과 제2지지롤을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판분리장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2접촉부는 상기 제2접촉면과 상기 제1접촉면이 서로 접촉됨에 따라 상기 제1접촉면과 동일한 방향으로 휘어진 곡면을 갖도록 굽힘성(Pliability)을 갖는 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 기판분리장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2접촉부는 서로 이격되도록 배치되어서 상기 기판의 타면에 접촉하는 복수개의 접촉부재를 포함하고,
    상기 접촉부재들은 상기 기판에 형성된 복수개의 분리부가 서로 이격된 간격과 동일한 간격으로 이격된 것을 특징으로 하는 기판분리장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1접촉부와 상기 제2접촉부를 이동시키기 위한 이동부를 더 포함하고,
    상기 이동부는 상기 제1접촉부와 상기 제2접촉부 중에서 적어도 하나를 이동시켜서 상기 제1접촉면과 상기 제2접촉면을 서로 접촉시키는 것을 특징으로 하는 기판분리장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 이동부는 상기 기판의 일면 쪽에서 상기 제1접촉부를 이동시키기 위한 제1이동기구, 및 상기 기판의 타면 쪽에서 상기 제2접촉부를 이동시키기 위한 제2이동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판분리장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2이동기구는 상기 제2접촉면이 상기 기판을 지지하도록 상기 제2접촉부를 상기 기판 쪽으로 이동시키며,
    상기 제1이동기구는 상기 제1접촉면이 상기 제2접촉면에 접촉되도록 상기 제1접촉부를 상기 기판 쪽으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판분리장치.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 제1접촉부에 결합되어서 상기 제1접촉부를 지지하기 위한 접촉지지부를 더 포함하고,
    상기 제1접촉부는 상기 기판의 일면을 지지하고,
    상기 이동부는 상기 제2접촉부만을 상기 기판 쪽으로 이동시켜서 상기 제2접촉면을 상기 제1접촉면에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 기판분리장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 제2이동기구는 상기 제2접촉부의 일측과 타측 각각에 배치된 제1이동롤과 제2이동롤을 포함하고,
    상기 제1이동롤과 상기 제2이동롤은 상기 제2접촉부를 상기 기판 쪽으로 이동시킴에 따라 상기 제2접촉부의 장력(Tension)을 증가시키는 것을 특징으로 하는 기판분리장치.
  13. 반도체층을 포함하는 기판의 일면(一面)을 지지하는 기판지지부;
    상기 기판의 타면(他面)에 접촉하는 제1접촉면을 갖는 제1접촉부; 및
    상기 제1접촉부와 동일한 방향 쪽에 배치되어서 상기 기판의 타면에 접촉하는 제2접촉면을 갖는 제2접촉부를 포함하고,
    상기 제1접촉면은 곡면으로 형성되어서 상기 기판의 타면에 접촉하며,
    상기 제2접촉면과 상기 제1접촉면은 상기 기판지지부에 접촉됨에 따라 상기 기판을 적어도 2조각 이상으로 동시에 분리시키고,
    상기 기판지지부로부터 이격된 위치에 배치되어서 상기 제2접촉부를 지지하는 지지부를 더 포함하며,
    상기 지지부는 상기 제2접촉부의 일측과 타측 각각을 지지하는 제1지지롤과 제2지지롤을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판분리장치.
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