KR100515445B1 - 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법 및 복구장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 발생하였을 경우에 별도의 로봇 제어장치를 사용하지 않고 에러를 복구시킬 수 있는 조치 사항을 표시하여 일반 작업자들도 간단히 에러를 복구시킬 수 있도록 하는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법 및 그 복구장치에 관한 것이다.

본 발명에서는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 복구 정보 메모리에 각각의 에러 코드에 대하여 에러를 복구시킬 수 있는 복구 정보를 미리 저장하여 두고, 또한 에러 코드 및 복구 정보를 표시하는 표시부와 해당 에러에 대한 복구를 명령하는 키보드부를 구비함을 특징으로 한다. 따라서, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇이 웨이퍼 카세트를 운반하면서 에러가 발생할 경우에 그 운반동작을 중단하고 발생된 에러의 코드를 표시부에 표시함과 아울러 복구 정보가 저장된 메모리에서 해당 에러의 복구 정보를 리드하여 표시부에 표시함으로써, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 발생하였을 경우에 일반 작업자들이 표시부에 표시되는 복구 정보에 따라 소정의 조치를 취하여 간단히 에러를 복구할 수 있도록 한다.

Description

웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법 및 복구장치

본 발명은 웨이퍼 카세트를 운반하는 CCMR(Compact Clean Mobile Robot) 등의 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 발생하였을 경우에 이를 간단히 복구시키는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법 및 복구장치에 관한 것이다.

보다 상세하게는, 반도체를 제조할 경우에 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 적재대로부터 반도체 제조 설비로 운반하고, 반도체 제조 설비에서 소정의 작업이 완료된 후 웨이퍼 카세트를 다시 적재대로 운반하는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 발생하였을 경우에 이러한 에러를 간단히 복구시키기 위한 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법 및 복구장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체를 생산함에 있어서, 증착 또는 식각등의 여러 단위 공정이 수행되어질 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 카세트 운반용 로봇를 이 용하여 반도에 제조 설비로 운반하도록 함으로써 작업 인력을 줄이고 있다. 즉, 소정의 단위 공정을 수행할 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 작업자가 적재대에 적재할 경우, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇이 메인 제어 시스템과 무선으로 데이터 통신을 수행하면서 상기 적재대에 적재된 웨이퍼 카세트를 해당 단위 공정을 수행할 반도체 제조 설비로 운반하게 된다. 그리고 반도체 제조 설비에서 소정의 단위 공정이 완료된 후에는 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 적재한 뒤, 상기 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 의해 다시 적재대로 운반되도록 하고 있다. 따라서, 작업자는 소정의 단위 공정이 수행되어질 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 적재대에 적재하고, 소정의 단위 공정이 완료된 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 적재대로부터 단순히 인출하는 방식을 취하므로 작업 인력을 줄일 수 있다.

그러나, 이러한 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에는 웨이퍼 카세트를 운반하는 도중에 에러가 발생하는 경우가 많다. 예를 들면, 반도체 제조 설비의 설치 위치가 변경되거나 소정의 단위 공정이 완료된 웨이퍼 카세트가 정확한 위치에 안착되지 못할 경우에 웨이퍼 카세트 운반용 로봇이 웨이퍼 카세트를 정확하게 운반하지 못하게 되는 에러가 발생하게 된다. 뿐만 아니라, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇이 작업자 등과 충돌될 경우에 웨이퍼 카세트 운반용 로봇이 이동 좌표를 잃게 되어 에러가 발생되기도 하며, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇이 웨이퍼 카세트를 이동시키는 도중에 자체적으로 에러가 발생하는 경우도 있다.

이처럼 에러가 발생하였을 경우에 웨이퍼 카세트 운반용 로봇은 동작을 정지하고, 발생된 에러를 복구시킨 후 다시 웨이퍼 카세트를 운반하게 된다.

종래에는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 발생된 에러를 복구시키기 위하여 TP(Teaching Pendant) 등의 로봇 조작장치를 사용하였다.

상기 TP 로봇 조작장치를 간략히 살펴보면, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 발생하였을 경우에 케이블을 통해 상기 로봇 조작장치를 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 연결한다. 그리고 나서, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 표시부에 표시되는 에러 코드를 통해 에러의 종류를 판단한 뒤, 로봇 조작장치를 조작하여 에러를 복구할 수 있는 메뉴로 이동한 후 정해진 에러의 복구 방식에 따라 로봇 조작장치를 조작함으로써 에러를 복구한다. 그리고, 에러의 복구가 완료되었을 경우에는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇으로부터 로봇 조작장치를 분리시키고, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 복구되었음을 알리는 키스위치를 조작하여 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러의 복구를 확인한 뒤, 소정의 공정을 다시 수행하게 된다.

그러나 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 발생된 에러를 나타내는 에러 코드의 종류는 대략 900여 가지로 매우 많고, 이처럼 다양한 에러 코드에 따라 에러를 복구하는 방식이 모두 상이하였다. 따라서, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 발생하였을 경우에는 이러한 로봇 조작장치의 사용 방법과 에러 코드에 대한 복구 방법을 모두 알고 있어야 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러를 복구시킬 수 있게 된다. 그러므로 에러 복구에 숙달되지 못한 일반 작업자들은 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러를 복구시킬 수 없어 별도로 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러를 복구시키는 전문적인 교육을 받은 전문 엔지니어를 항상 대기시켜 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 발생된 에러를 복구시켜야 하는 번거로운 문제점이 있었다.

따라서 본 발명의 목적은, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 발생하였을 경우에 별도의 로봇 조작장치를 사용하지 않고 에러를 복구시킬 수 있도록 하는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법 및 복구장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 발생하였을 경우에 에러 복구를 위한 구체적인 조치 사항을 표시하여 에러 복구에 대한 전문 교육을 받지 않은 일반 작업자들도 손쉽게 에러를 복구시킬 수 있도록 하는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법 및 복구장치를 제공하는 데 있다.

상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법 및 복구장치에 따르면, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 복구 정보 메모리를 구비하여 각각의 에러 코드에 대한 구체적인 복구 정보를 미리 저장하여 두고, 또한 에러 코드 및 복구 정보를 표시하는 표시부와 해당 에러에 대한 복구를 명령하는 키보드부를 구비함을 특징으로 한다.

따라서, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇이 웨이퍼 카세트를 운반하면서 에러가 발생할 경우에 로봇의 동작을 정지시킴과 동시에 에러의 코드를 표시부에 표시함과 아울러 복구 정보 메모리에서 해당 에러를 복구할 수 있도록 하는 구체적인 복구 정보를 리드하여 표시부에 표시한다. 그 결과, 에러 복구에 대한 전문적인 교육을 받지 않은 일반 작업자들도 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 발생하였을 경우에 상기 표시부에 표시되는 복구 정보에 따라 소정의 조치를 취함으로써 손쉽게 에러를 복구할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법 및 복구장치를 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 구현된 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구장치에 대한 블록 구성도이다.

도 1을 참조하면, 상기 에러 복구장치는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 운반 동작을 제어하고 에러가 발생하였을 경우에 에러 코드 및 상기 에러 코드에 따른 복구 정보의 표시를 제어하는등 에러 복구를 위한 전반적인 제어를 담당하는 중앙 처리 장치(10)와, 상기 중앙 처리 장치(10)의 제어에 따라 구동되어 웨이퍼 카세트를 운반하는 로봇 구동부(11)와, 상기 로봇 구동부(11)의 동작 정보를 상기 중앙 처리 장치(10)의 제어에 따라 저장 및 출력하는 동작 정보 메모리(12)와, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 동작에 에러가 발생하는지를 검출하여 상기 중앙 처리 장치(10)에 그 결과를 입력시키는 에러 검출부(13)와, 상기 중앙 처리 장치(10)의 제어에 따라 메인 제어 시스템(도면에 도시되지 않음)과 데이터 통신을 수행하는 통신부(14)와, 로봇 조작장치(도면에 도시되지 않음)가 연결되어 상호간에 데이터를 인터페이스하는 입력/출력 인터페이스부(15)와, 다양한 종류의 에러 발생에 대해 각각의 구체적인 복구 정보가 미리 저장되어 있으며, 실제 에러가 발생하였을 경우에는 에러 복구를 위한 상기 구체적인 에러 복구 정보를 출력하는 복구 정보 메모리(16)와, 에러가 발생할 경우에 상기 중앙 처리 장치(10)의 제어에 따라 에러 코드및 상기 에러 코드에 대한 구체적인 복구 정보를 표시하는 표시부(17)와, 사용자의 조작에 따른 동작 명령을 상기 중앙 처리 장치(10)에 입력시키기 위한 키보드부(18)로 구성된다.

상기와 같은 구성에 의하면, 상기 중앙 처리 장치(10)에서는 상기 통신부(14)를 통해 메인 제어 시스템과 통신을 수행하고, 상기 통신부(14)로부터 전송되는 소정의 동작 정보를 상기 동작 정보 메모리(12)에 저장한다. 그리고, 상기 동작 정보 메모리(12)에 저장되어 있는 동작 정보에 따라 중앙 처리 장치(10)가 로봇 구동부(11)를 제어함으로써 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 운반하게 된다.

그리고 웨이퍼 카세트 운반용 로봇이 상기 입력/출력 인터페이스부(15)를 통해 로봇 조작장치와 연결되었을 경우, 상기 중앙 처리 장치(10)는 로봇의 동작을 정지시킨다. 그리고, 상기 로봇 조작장치를 이용하여 상기 입력/출력 인터페이스부(15)를 통해 입력되는 제어신호에 따라 로봇의 동작을 제어한다.

이러한 상태에서 상기 에러 검출부(13)를 통해 에러를 검출되거나 중앙 처리 장치(10)가 소정의 동작을 수행하는 과정에서 에러가 발생되었음이 판단될 경우에 상기 중앙 처리 장치(10)는 로봇의 동작을 정지시킨다. 그리고, 발생된 에러의 종류를 판단하여 표시부(17)에 표시함과 아울러 발생된 에러를 복구할 수 있는 구체적인 복구 정보를 상기 복구 정보 메모리(16)로부터 리드(read)하여 표시부(17)에 표시한다. 여기서, 상기 표시부(17)는 에컨대, LCD등으로 제작할 수 있다.

계속해서, 작업자는 상기 표시부(17)에 표시된 에러 코드 및 상기 에러 코드에 따른 구체적인 복구 정보에 따라 키보드부(18)를 조작하게 되고, 중앙 처리 장치(10)에서는 상기 키보드부(18)를 통해 입력되는 키신호에 따라 에러를 복구한 뒤, 로봇을 다시 정상적으로 동작시키게 된다.

한편, 도 2에는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 구현된 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구장치에 의한 에러 복구방법이 도시되어 있다.

도 2를 참조하면, 단계(S10)에서는 중앙 처리 장치(10)가 로봇 작동을 위한 초기화 동작을 수행하고, 단계(S11)에서는 상기 중앙 처리 장치(10)에 의해 제어되는 통신부(14)가 메인 제어 시스템과 데이터 통신을 수행한다. 단계(S12)에서는 상기 중앙 처리 장치(10)가 통신부(14)를 통해 메인 제어 시스템과 통신하면서 메인 제어 시스템으로부터 전송되는 소정의 동작 정보를 동작 정보 메모리(12)에 저장하고, 단계(S13)에서는 상기 동작 정보 메모리(12)에 저장되어 있는 동작 정보에 따라 로봇 구동부(11)를 제어하여 웨이퍼 카세트의 운반 동작을 수행한다.

계속해서, 단계(S14)에서는 입력/출력 인터페이스부(15)를 통해 웨이퍼 카세트를 운반하는 로봇에 로봇 조작장치가 연결되어 있는지를 판단한다. 판단 결과 로봇 조작장치가 연결되어 있을 경우에 상기 중앙 처리 장치(10)는 단계(S15)로 진행하여 로봇 조작장치의 신호에 따라 로봇 구동부(11)를 제어함으로써 해당 로봇의 동작을 수행한다.

한편, 상기 단계(S14)에서 로봇 조작장치가 연결되어 있지 않을 경우에는 단계(S16)로 진행되어 에러 검출부(13)를 통해 에러 신호가 입력되는 지를 판단한다. 판단 결과, 에러 신호가 입력되지 않은 경우에는 단계(S17)로 진행되어 중앙 처리 장치(10)가 소정의 동작을 수행하는 도중에 에러가 발생되었는지를 판단한다.

상기 단계(S17)에서 에러가 발생하지 않았을 경우에는 상기 단계(S11)로 되돌아가 웨이퍼 카세트 운반을 위한 로봇 동작의 초기화 단계를 수행한다. 그러나, 상기 단계(S16) 및 단계(S17)에서 에러가 발생하였을 경우에는 단계(S18)로 진행되어 로봇의 동작을 정지시킨다. 이어서, 단계(S19)에서는 발생된 에러의 종류를 판단하고, 단계(S20)에서는 상기 단계(S19)에서 확인된 에러에 해당되는 코드를 표시부(17)에 표시함과 아울러 발생된 에러의 종류에 따른 복구 정보를 복구정보 메모리(16)로부터 리드하여 표시부(17)에 표시한다.

이어서, 단계(S21)에서는 키보드부(18)로부터 에러 복구를 위한 키신호가 입력되는지를 판단하고, 키신호가 입력될 경우에 단계(S22)로 진행되어 상기 단계(S21)에서 입력된 키신호가 에러 복구에 적합한 조치에 대한 키신호인지를 판단한다. 여기서, 상기 키보드부(18)를 통해 입력되는 키신호는 상기 복구정보 메모리(16)로부터 리드한 에러 복구 정보이다.

판단 결과, 상기 단계(S21)에서 입력된 키신호가 에러 복구에 적합한 조치를 취할 수 있도록 하는 키신호가 아닐 경우에는 중앙 처리 장치(10)에 의해 상기 단계(S20)로 복귀하여 계속해서 에러 코드 및 상기 에러 코드에 대한 복구 정보를 표시부(17)에 표시되도록 한다.

한편, 상기 단계(S22)에서의 판단 결과, 상기 단계(S21)에서 입력된 키신호가 에러 복구에 적합한 조치를 취할 수 있도록 하는 키신호일 경우에는 단계(S23)로 진행디어 상기 입력된 키신호에 따라 에러를 복구한다. 그리고 나서, 단계(S24)에서는 에러가 복구된 로봇이 다시 웨이퍼 카세트를 운반할 수 있도록 재가동시킨다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 웨이퍼 카세트 운반용 로봇에 에러가 발생하였을 경우에 표시부를 통해 로봇에 발생된 에러를 복구시킬 수 있는 구체적인 복구 조치를 표시한다. 그로 인해, 에러 복구에 대한 전문적인 교육을 받지 않은 일반 작업자들도 발생된 에러를 쉽게 복구시킬 수 있도록 함으로써 로봇의 에러 복구를 위한 별도의 전문 엔지니어를 항시 대기시켜야 하는 번거로운 종래의 문제점을 해소할 수 있다.

또한, 표시부를 통해 나타나는 구체적인 에러 복구 조치를 수행하여 발생된 에러를 신속하고 정확하게 복구시킴으로써 에러 복구에 소요되는 시간을 최소화할 수 있게 줄일 수 있게 되고, 이로 인하여 제품의 생산성을 보다 향상시키는데 일조할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 구현된 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구장치에 대한 블록 구성도이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 구현된 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구장치에 의한 에러 복구방법을 나타내는 플로우 챠트이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 중앙 처리 장치 11 : 로봇 구동부

12 : 동작 정보 메모리 13 : 에러 검출부

14 : 통신부 15 : 입력/출력 인터페이스부

16 : 복구 정보 메모리 17 : 표시부

18 : 키보드부

Claims (3)

1. 동작 정보 메모리부에 저장되어 있는 동작 정보에 따라 로봇을 구동시키고, 입력/출력 인터페이스부를 통해 웨이퍼 카세트를 운반하는 로봇에 로봇 조작 장치가 연결되어 있는지를 판단하는 판단하는 제 1 과정;

   상기 제 1 과정에서 로봇 조작장치가 연결되었을 경우, 상기 입력/출력 인터페이스부를 통해 입력되는 로봇 조작장치의 신호에 따라 로봇 구동부의 동작을 제어하는 제 2 과정;

   상기 제 1 과정에서 로봇 조작장치가 연결되지 않았을 경우, 에러 검출부를 통해 에러 신호가 입력되었는지를 판단하는 제 3 과정;

   상기 제 3 과정에서 에러 신호가 입력되었을 경우, 웨이퍼 카세트 운반을 위한 로봇의 동작을 정지시키고, 발생된 에러의 코드 및 복구 정보 메모리로부터 리드한 상기 에러 코드에 따른 복구 정보를 표시부에 표시하는 제 4 과정;

   키보드부를 통하여 상기 에러 복구 정보에 따른 키신호가 입력되는지를 확인하고, 상기 입력된 키신호가 에러 복구에 적합한 조치에 대한 키신호인지를 판단하는 제 5 과정; 및

   상기 제 5 과정에서 상기 에러 복구를 위한 에러 복구 정보가 적합하다고 판단될 경우, 상기 에러 복구 정보에 의해 에러를 복구하고 웨이퍼 카세트 운반을 위한 로봇을 다시 동작시키는 제 6 과정으로 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 입력되는 키신호가 발생된 에러를 복구시킬 수 있는 키신호인지를 판단하여 에러를 복구시킬 수 있는 키신호일 경우에 에러를 복구시키고, 에러를 복구시킬 수 있는 키신호가 아닐 경우에 키신호의 입력을 무시하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구방법.
3. 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 운반 동작을 제어하고, 로봇 동작에 에러가 발생하였을 경우에 발생된 에러의 코드 및 복구 정보 메모리로부터 리드한 상기 에러 코드에 해당되는 에러 복구 정보를 표시부를 통해 디스플레이하도록 제어하는 중앙 처리 장치;

   상기 중앙 처리 장치의 제어에 따라 구동되어 웨이퍼 카세트를 운반하는 로봇 구동부;

   상기 로봇 구동부의 동작 정보를 상기 중앙 처리 장치의 제어에 따라 저장 및 출력하는 동작 정보 메모리;

   웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 동작에 에러가 발생하는 지를 검출하여 상기 중앙 처리 장치에 입력시키는 에러 검출부;

   상기 중앙 처리 장치의 제어에 따라 메인 제어 시스템과 데이터 통신을 수행하는 통신부;

   로봇 조작장치와 연결되어 상호간에 로봇 동작 및 로봇 동작 에러에 관한 데이터를 인터페이스하는 입력/출력 인터페이스부;

   발생된 에러의 복구할 수 있는 에러 복구 정보가 에러 코드에 따라 미리 저장되어 있으며, 실제 에러 발생시 에러 코드에 따른 구체적인 에러 복구 정보를 출력하는 복구 정보 메모리;

   에러가 발생되었을 경우에 상기 중앙 처리 장치의 제어에 따라 에러 코드 및 상기 에러 코드에 따른 에러 복구 정보를 표시하는 표시부; 및

   사용자의 조작에 따른 동작 명령을 키신호를 통해 상기 중앙 처리 장치에 입력할 수 있도록 하는 키보드부로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 운반용 로봇의 에러 복구장치.