KR100493610B1 - 세공가공용 방전가공장치 - Google Patents

세공가공용 방전가공장치 Download PDF

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미쓰비시덴키 가부시키가이샤
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Abstract

세공가공용 전극(1)을 보존하는 전극 홀더(6)와, 전극 홀더(6) 및 세공가공용 전극(1)을 그 길이방향으로 구동하는 구동장치와, 세공가공용 전극(1)을 안내하는 세공을 설치한 세공 가이드(10)와, 세공가공용 전극(1)과 피가공물(2)과의 극간에 가공전력을 공급하는 가공용 전원장치를 구비한 세공가공용 방전가공장치에서, 세공가공용 전극(1)을 전극 홀더(6)와 세공 가이드(10)와의 사이에서 2점에서 지지하는 상부 가이드(11a) 및 하부 가이드(11b) 및 이들 가이드의 각각에 개폐가능한 척을 구비한 중간 가이드(11)와, 중간 가이드(11)를 세공가공용 전극(1)의 길이방향으로 구동하는 제1의 구동장치와, 중간 가이드(11)의 각 가이드의 척을 개폐하는 제2의 구동장치와, 중간 가이드(11)의 상부 가이드(11a) 및 하부 가이드(11b)간의 세공가공용 전극(1)의 길이방향의 거리 L을 가변으로 하는 제3의 구동장치를 구비하였다. 고정밀도이고 또 자동화에 적합한 세공가공용 방전가공장치를 얻을 수가 있다.

Description

세공가공용 방전가공장치{ELECTRIC DISCHAGE MACHINE FOR MAKING THIN HOLE}
본 발명은 세공(細孔)가공용 전극과 피가공물과의 극간에 가공전력을 공급해서 방전을 발생시켜 방전 에너지에 의해 피가공물에 세공을 형성하는 세공가공용 방전가공장치의 개량에 관한 것이다.
세공가공용 방전가공장치는 예를 들면 레이저에 의한 세공가공과 비교해서 진원도(眞圓度) 및 구멍경의 균일성이 높은 것 등으로, 특히 고정밀도 용도에 이용되고 있다. 또, 세공가공은 피가공물에 다수의 세공(예를 들면 직경 0.1㎜, 1만개 정도)을 형성하기 위해 신뢰성이 높은 자동화가 요구되고 있다.
세공가공용 방전가공장치에 사용되는 세공가공용 전극으로는 동 또는 텅스텐 등의 세선이 사용되나, 가공에 의한 소모가 대단하고, 생산성의 저하를 방지하기 위해서는 길이가 긴 세공가공용 전극을 사용할 필요가 있다(예를 들면 직경이 0.1㎜이고, 길이가 200㎜정도). 이와 같이 세공가공용 전극은 대단히 가늘고 길기 때문에 잘 휘어지게 되어 취급이 곤란하고, 이 세공가공용 전극을 사용한 피가공물의 세공가공에서 가공정밀도 및 신뢰성이 저하한다는 문제점이 있었다.
또, 세공가공용 전극은 슬러지의 배출 등에 의한 가공의 안정화 및 진원도의 향상 등을 위해 예를 들면 1000rpm정도의 속도로 회전한 상태에서 사용되므로, 특히 가공중에는 세공가공용 전극의 휘어짐이 생기기 쉽다. 이같은 세공가공용 전극의 휘어짐이 생긴 상태에서 가공을 하게 되면, 세공가공용 전극의 소모에 따른 전극 이송을 적절히 실시할 수가 없는 등 소기의 가공정밀도가 얻어지지 않는다는 문제점이 있었다.
도 6은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 된 것으로, 일본국 특개소 66-108234호 공보에 개시된 종래의 세공가공용 방전가공장치의 구성을 표시하는 설명도이고, 도면에서, 1은 세공가공용 전극, 2는 피가공물, 3은 테이블, 4는 주축, 5는 척, 6은 세공가공용 전극(1)을 보존하는 전극 홀더, 6a는 지지암, 7은 세공가공용 전극(1)을 안내하는 세공을 설치한 세공 가이드, 8은 중간 가이드이다. 또, 세공가공용 전극(1)과 피가공물(2)과의 극간에는 도시하지 않은 가공액이 개재되어 있고, 세공가공용 전극(1)과 피가공물(2)과의 극간에 도시하지 않은 가공용 전원장치에서 가공전력이 공급되고, 방전 에너지에 의해 피가공물(2)에 세공이 형성된다.
세공가공용 전극(1)의 중간부를 중간 가이드(8)에 의해 가이드하고, 이 중간 가이드(8)를 지지암(6a)에 의해 구동하고, 중간 가이드(8)를 주축(4)의 승강에 동조해서 이동시키도록 해서(도면중 화살표 E), 세공가공용 전극(1)의 가공중의 휘어짐을 억제하는 것이나, 지지암(6a)에 의해 중간 가이드(8)를 구동하는 구성 등으로 세공가공용 전극(1)의 자동교환이 곤란하다는 문제점이 있었다. 또, 이같은 중간 가이드(8)에서는 근년의 더욱 더한 고정밀도화에 대한 요구에 따라가지 못하는 것이었다.
도 7은 일본국 특개평 8-229747호 공보에 개시된 종래의 세공가공용 방전가공장치의 구성 및 동작 설명도이고, 도면에서, 1은 세공가공용 전극, 2는 피가공물, 3은 테이블, 4는 주축, 5는 척, 6은 세공가공용 전극(1)을 보존하는 전극 홀더, 7은 세공 가이드, 9는 유도 가이드이다. 또, 세공가공용 전극(1)과 피가공물 (2)과의 극간에는 도시하지 않은 가공액이 개재되어 있다.
이 세공가공용 방전가공장치는 세공가공용 전극의 자동교환을 가능하게 하는 것을 목적으로 하는 것이고, 그 동작의 개요는 아래의 (1) 내지 (4)와 같다. (1) 주축(4)을 상승시켜 세공가공용 전극(1)을 홀더(6)와 함께 자동 교환한 후, 유도 가이드(9)를 세공가공용 전극(1)의 상부로 상승시켜 세공가공용 전극(1)을 느슨하게 잡는다(도 7의 (a)). (2) 세공가공용 전극(1)을 느슨하게 잡은 채로 유도 가이드(9)를 세공가공용 전극(1)의 하부에 하강시킨다(도 7의 (b)). (3) 주축(4)을 하강시켜 세공가공용 전극(1)을 세공 가이드(7)의 세공에 삽입한다(도 7의 (c)). (4) 유도 가이드(9)를 피가공물(2)의 가공영역외로 퇴피시킨다(도 7의 (d)). 이같은 구성의 세공가공용 방전가공장치에서는 세공가공용 전극의 자동교환은 가능하나, 가공중의 세공가공용 전극(1)의 휘어짐을 억제할 수가 없으므로 고정밀도의 용도에는 적용할 수 없다는 문제점이 있었다.
(발명의 개시)
근년의 과학기술의 급속한 진보 및 산업경쟁력의 강화 등 때문에 세공가공용 방전가공장치에 대해서도 고정밀도화 및 생산성 및 신뢰성의 향상의 요구가 급속히 높아지고 있다. 본 발명은 상기 과제를 해결하고, 또 고정밀도이고 자동화에 적합한 상기 고정밀도 및 생산성 및 신뢰성의 향상의 요구에 답할 수 있는 세공가공용 방전가공장치를 얻는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 세공가공용 방전가공장치는 세공가공용 전극을 보존하는 전극 홀더와, 상기 전극 홀더 및 세공가공용 전극을 그 길이방향으로 구동하는 구동장치와, 상기 세공가공용 전극을 안내하는 세공이 설치되고 피가공물의 근방에 배치된 세공 가이드와, 상기 세공가공용 전극과 상기 피가공물과의 극간에 가공전력을 공급하는 가공용 전원장치를 구비하고, 방전 에너지에 의해 상기 피가공물에 세공을 형성하는 세공가공용 방전가공장치에서, 상기 세공가공용 전극을 상기 전극 홀더와 상기 세공 가이드와의 사이에서 지지하는 동시에 개폐가능한 척을 구비한 적어도 2개의 가이드로 된 중간 가이드와, 상기 중간 가이드를 상기 세공가공용 전극의 길이방향으로 구동하는 제1의 구동장치와, 상기 중간 가이드의 각 가이드의 척을 개폐하는 제2의 구동장치와, 상기 중간 가이드의 각 가이드간의 상기 세공가공용 전극의 길이방향의 거리를 가변으로 하는 제3의 구동장치를 구비한 것이다.
또, 본 발명에 관한 세공가공용 방전가공장치는 세공가공용 전극을 보존하는 전극 홀더와, 상기 전극 홀더 및 세공가공용 전극을 그 길이방향으로 구동하는 구동장치와, 상기 세공가공용 전극을 안내하는 세공이 설치되고 피가공물의 근방에 배치된 세공 가이드와, 상기 세공가공용 전극과 상기 피가공물과의 극간에 가공전력을 공급하는 가공용 전원장치를 구비하고, 방전 에너지에 의해 상기 피가공물에 세공을 형성하는 세공가공용 방전가공장치에서, 상기 세공가공용 전극을 상기 세공 가이드 근방에서 지지하는 제1의 가이드 및 상기 전극 홀더와 상기 세공 가이드의 사이에서 지지하는 제2의 가이드를 구비하고, 상기 제2의 가이드에는 개폐가능한 척을 구비해서 된 중간 가이드와, 상기 중간 가이드를 상기 세공가공용 전극의 길이방향으로 구동하는 제1의 구동장치와, 상기 중간 가이드의 제2의 가이드의 척을 개폐하는 제2의 구동장치와, 상기 중간 가이드의 제1의 가이드 및 제2의 가이드간의 상기 세공가공용 전극의 길이방향의 거리를 가변으로 하는 제3의 구동장치를 구비한 것이다.
또, 본 발명에 관한 세공가공용 방전가공장치는 세공가공용 전극을 보존하는 전극 홀더와, 상기 전극 홀더 및 세공가공용 전극을 그 길이방향으로 구동하는 구동장치와, 상기 세공가공용 전극을 안내하는 세공이 설치되고 피가공물의 근방에 배치된 세공 가이드와, 상기 세공가공용 전극과 상기 피가공물과의 극간에 가공전력을 공급하는 가공용 전원장치를 구비하고, 방전 에너지에 의해 상기 피가공물에 세공을 형성하는 세공가공용 방전가공장치에서, 상기 세공가공용 전극을 상기 세공 가이드의 근방에서 지지하는 제1의 가이드 및 상기 전극 홀더와 상기 세공 가이드의 사이에서 지지하는 제1의 가이드 이외의 다수의 가이드를 구비하고, 상기 제1의 가이드 이외의 다수의 가이드에는 개폐가능한 척을 구비한 중간 가이드와, 상기 중간 가이드를 상기 세공가공용 전극의 길이방향으로 구동하는 제1의 구동장치와, 상기 중간 가이드의 척을 개폐하는 제2의 구동장치와, 상기 중간 가이드의 제1의 가이드 및 제1의 가이드 이외 다수의 가이드 각각의 사이의 상기 세공가공용 전극의 길이방향의 거리를 가변으로 하는 제3의 구동장치를 구비한 것이다.
또, 본 발명에 관한 세공가공용 방전가공장치는 상기 세공 가이드를 상기 세공가공용 전극의 길이방향으로 구동하는 제4의 구동장치를 구비한 것이다.
또, 본 발명에 관한 세공가공용 방전가공장치는 상기 중간 가이드의 제1의 가이드에 개폐가능한 척을 구비한 것이다.
본 발명에 관한 세공가공용 방전가공장치는 이상과 같이 구성되어 있으므로 세공가공용 전극(1)의 가공중의 휘어짐을 확실하게 억제할 수 있는 동시에 세공가공용 전극(1)의 자동교환을 확실하게 할 수가 있고, 고정밀도화 및 생산성 및 신뢰성의 향상을 도모할 수가 있다는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 세공가공용 방전가공장치의 구성을 표시하는 설명도,
도 2는 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 세공가공용 방전가공장치의 중간 가이드의 동작 설명도,
도 3은 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 세공가공용 방전가공장치에서, 세공가공용 전극의 대부분이 소모한 경우의 중간 가이드의 동작 설명도,
도 4는 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 세공가공용 방전가공장치에서의 세공가공용 전극의 자동교환 동작의 설명도,
도 5는 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 세공가공용 방전가공장치의 동작 설명도,
도 6은 종래의 세공가공용 방전가공장치의 구성을 표시하는 설명도,
도 7은 종래의 세공가공용 방전가공장치의 구성 및 동작 설명도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 세공가공용 전극, 2 : 피가공물,
3 : 테이블, 4 : 주축,
5 : 척, 6 : 전극 홀더,
10 : 세공 가이드, 11 : 중간 가이드,
11a : 상부 가이드, 11b : 하부 가이드,
11c, 11d : 척.
(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)
실시의 형태 1.
도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 세공가공용 방전가공장치의 구성을 표시하는 설명도이고, 도면에서, 1은 세공가공용 전극, 2는 피가공물, 3은 테이블, 4는 주축, 5는 척, 6은 세공가공용 전극(1)을 보존하는 전극 홀더, 10은 세공가공용 전극(1)을 안내하는 세공을 설치한 세공 가이드, 11은 중간 가이드, 11a는 상부 가이드, 11b는 하부 가이드이다. 또, 세공가공용 전극(1)과 피가공물(2)과의 극간에는 도시하지 않은 가공액이 개재되어 있고, 세공가공용 전극(1)과 피가공물(2)과의 극간에 도시하지 않은 가공용 전원장치에서 가공전력이 공급되고, 방전 에너지에 의해 피가공물(2)에 세공이 형성된다.
주축(4)은 도시하지 않은 구동장치에 의해 세공가공용 전극(1)의 길이방향으로 구동되고(도면중 화살표 Z), 예를 들면 세공가공용 전극(1)의 소모에 따라 하강한다. 또, 세공 가이드(10)는 피가공물(2)의 두께에 대응해서 도시하지 않은 구동장치에 의해 세공가공용 전극(1)의 길이방향으로 구동된다(도면중 화살표 A). 또, 중간 가이드(11)는 가공중 및 세공가공용 전극(1)의 자동교환시에 세공가공용 전극 (1)을 가이드하도록 도시하지 않은 구동장치에 의해 세공가공용 전극(1)의 길이방향으로 구동된다(도면중 화살표 B).
주축(4), 세공 가이드(10) 및 중간 가이드(11)의 각각 Z방향, A방향 및 B방향의 구동은 서보 모터의 출력을 볼나사에 의해 직동(直動)으로 변환하는 구동제어장치 또는 리니어 모터에 의한 구동장치 등을 사용할 수 있다. 또, 각각의 구동장치에 의해서 직동의 지지는 리니어 가이드 등의 직선 안내기구를 사용할 수가 있다.
이상의 구성에서, 중간 가이드(11)의 구동장치는 세공 가이드(10)의 구동장치상에 구성해도 세공 가이드(10)의 구동장치와 독립해서 구성해도 된다. 중간 가이드(11)의 구동장치를 세공 가이드(10)의 구동장치상에 구성한 경우에는 특히 세공가공용 전극(1)의 자동교환시에 중간 가이드(11)를 전극 홀더(6)의 근방까지 상승시켜서 세공가공용 전극의 상부를 보존하는 경우에 세공 가이드(10)의 A방향의 스트로크를 이용할 수 있으므로 중간 가이드(11)의 B방향의 스트로크를 단축할 수가 있다.
도 2는 중간 가이드(11)의 동작 설명도이고, 상부 가이드(11a) 및 하부 가이드(11b)간의 거리 L은 도시하지 않은 구동장치에 의해 변경할 수 있고, 예를 들면 도 2의 (b)와 같이 상부 가이드(11a) 및 하부 가이드(11b)간의 거리를 좁히는 것이 가능하다(도면중 화살표 C). 또, 도 2의 (c) 및 (d)와 같이 상부 가이드(11a) 및 하부 가이드(11b)의 척 11c 및 11d는 도시하지 않은 구동장치에 의해 개폐가능하게 구성되어 있다(도면중 화살표 D).
중간 가이드(11)의 상부 가이드(11a)와 하부 가이드(11b)와의 거리 L을 가변으로 하기 위한 구동(C방향 또는 C방향과 반대방향)은 서보 모터의 출력을 볼나사에 의해 직동으로 변환하는 구동장치, 리니어 모터에 의한 구동장치 또는 에어 실린더에 의한 구동장치 등을 사용할 수가 있고, 중간 가이드(11)의 척 11c 및 11d의 개폐를 위한 D방향의 구동은 에어 실린더에 의한 구동장치 등을 사용할 수가 있다. 또, 각각의 구동장치에서의 직동의 지지는 리니어 가이드 등의 직선 안내기구를 사용할 수가 있다.
중간 가이드(11)는 예를 들면 도 1과 같은 세공가공중에서, 상하에 거리 L을 띠어 놓은 상부 가이드(11a) 및 하부 가이드(11b)에 의해 세공가공용 전극(1)을 그 중간부를 2점으로 지지하므로 휘어짐이 생기기 되어 취급이 어려운 세공가공용 전극(1)의 휘어짐을 확실하게 억제할 수 있는 기능을 갖는 것이다.
또, 세공가공용 전극(1)이 소모되어서 주축(4), 척(5) 및 전극 홀더(6)가 하강했을 때에도 예를 들면 도 3에 표시한 바와 같이 중간 가이드(11)를 상부 가이드 (11a) 및 하부 가이드(11b)의 간격을 좁혀서 세공 가이드(10)의 근방에 배치함으로서, 상기 전극 홀더(6)와 간섭하지 않으므로 세공가공용 전극(1)을 불필요하게 하지 않고 효율적으로 사용할 수가 있다.
도 4는 세공가공용 전극(1)의 자동교환 동작의 설명도이고, 그 동작의 개요는 아래의 (1) 내지 (3) 대로이다. (1) 전극 홀더(6) 및 세공가공용 전극(1)을 도시하지 않은 자동교환용 암에서 척(5)에서 제거한 후, 중간 가이드(11)를 상승시켜 (전극 홀더(6)가 장착되어 있는 경우의 전극 홀더(6)의 근방까지), 중간 가이드 (11)의 척(예를 들면 도 2 의 11c 및 11d)이 개방된 상태로 도시하지 않은 자동교환용 암에서, 세공가공용 전극(1)을 전극 홀더(6)와 함께 척(5)에 장착한 후, 중간 가이드(11)의 척을 폐쇄해서 세공가공용 전극(1)을 느슨하게 잡는다(도 4의 (a)). (2) 세공가공용 전극(1)을 느슨하게 잡은 채로 중간 가이드(1)를 세공가공용 전극(1)의 하부에 하강시킨다(도 4의 (b)). (3) 주축(4)을 하강시켜 세공가공용 전극(1)을 세공 가이드(10)의 세공에 삽입한다(도 4의 (c)). 상기 (1)과 같이 중간 가이드(11)를 상승시켜 중간 가이드(11)의 척이 열린 상태에서 세공가공용 전극(1)의 장착을 하고, 이 세공가공용 전극(1)의 가능한 한 상부를 중간 가이드(11)의 척에 넣은 후 중간 가이드(11)의 척을 닫기 위해 휘어짐이 생기게 되어 취급이 어려운 세공가공용 전극(1)을 가능한 한 상부에서 확실하게 보존할 수가 있고, 상기 (2) 및 (3)과 같이 세공가공용 전극(1)을 가이드해서 세공 가이드(10)의 세공에 확실하게 삽입할 수가 있으므로 자동화의 신뢰성을 향상할 수가 있다.
이와 같이 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 세공가공용 방전가공장치는 세공가공용 전극(1)의 가공중의 휘어짐을 확실하게 억제할 수가 있는 동시에 세공가공용 전극(1)의 자동교환을 확실하게 실시할 수가 있고, 고정밀도화 및 생산성 및 신뢰성의 향상을 도모할 수가 있다.
실시의 형태 2.
도 5는 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 세공가공용 방전가공장치의 동작 설명도이고, 세공가공용 방전가공장치의 구성은 실시의 형태 1의 도 1과 같다.
실시의 형태 1과 같이 세공가공용 전극(1)의 중간부를 중간 가이드(11)에 의해 2점 지지하는 경우에도 예를 들면 도 5 (a)와 같이 중간 가이드(11)의 하부 가이드(11b)와 세공 가이드(10)와의 거리가 떨어져 있는 경우에는 세공 가이드(10)를 통과 후의 세공가공용 전극(1)의 선단이 경사져 가공정밀도가 떨어지는 경우가 있다. 이런 경우에는 도 5의 (b)와 같이 하부 가이드(11b)를 세공 가이드(10)의 근방에 배치함으로서, 세공 가이드(10)를 통과 후의 세공가공용 전극(1)의 선단의 경사를 억제할 수가 있다. 이 경우에도 중간 가이드(11)의 상부 가이드(11a)는 세공가공용 전극(1)의 중간부를 지지하도록 하면, 세공가공용 전극(1)의 휘어짐을 억제할 수가 있다.
이와 같이 중간 가이드(11)의 하부 가이드(11b)를 세공 가이드(10)의 근방에 배치하는 동시에 중간 가이드(11)의 상부 가이드(11a)를 세공가공용 전극(1)의 중간부를 지지하도록 배치함으로서, 더욱 고정밀도화를 실현할 수가 있다.
이상의 설명에서는 중간 가이드(11)를 상부 가이드(11a) 및 하부 가이드 (11b)의 2개의 가이드로 구성해서 상부 가이드(11a) 및 하부 가이드(11b)간의 거리를 가변으로 하는 경우를 표시하였으나, 중간 가이드(11)를 3개 이상의 가이드로 구성하고, 각 가이드간의 거리를 가변으로 할 수 있도록 해도 된다. 이와 같이 세공가공용 전극(1)의 지지점을 증가시킴으로서, 휘어짐이 생기게 되어 취급이 어려운 세공가공용 전극(1)의 휘어짐을 보다 확실하게 억제할 수가 있다.
이상과 같이 본 발명에 관한 세공가공용 방전가공장치는 특히 고정밀도 세공 가공작업에 사용되는데 적합하다.

Claims (5)

  1. 세공가공용 전극을 보존하는 전극 홀더와, 상기 전극 홀더 및 세공가공용 전극을 그 길이방향으로 구동하는 구동장치와, 상기 세공가공용 전극을 안내하는 세공이 설치되고 피가공물의 근방에 배치된 세공 가이드와, 상기 세공가공용 전극과 상기 피가공물과의 극간에 가공전력을 공급하는 가공용 전원장치를 구비하고, 방전 에너지에 의해 상기 피가공물에 세공을 형성하는 세공가공용 방전가공장치에 있어서,
    상기 세공가공용 전극을 상기 전극 홀더와 상기 세공 가이드의 사이에서 지지하는 동시에 개폐가능한 척을 구비한 적어도 2개의 가이드로 이루어진 중간 가이드와,
    상기 중간 가이드를 상기 세공가공용 전극의 길이방향으로 구동하는 제1의 구동장치와,
    상기 중간 가이드의 각 가이드의 척을 개폐하는 제2의 구동장치와,
    상기 중간 가이드의 각 가이드간의 상기 세공가공용 전극의 길이방향의 거리를 가변으로 하는 제3의 구동장치를 구비한 세공가공용 방전가공장치.
  2. 세공가공용 전극을 보존하는 전극 홀더와, 상기 전극 홀더 및 세공가공용 전극을 그 길이방향으로 구동하는 구동장치와, 상기 세공가공용 전극을 안내하는 세공이 설치되고 피가공물의 근방에 배치된 세공 가이드와, 상기 세공가공용 전극과 상기 피가공물과의 극간에 가공전력을 공급하는 가공용 전원장치를 구비하고, 방전 에너지에 의해 상기 피가공물에 세공을 형성하는 세공가공용 방전가공장치에 있어서,
    상기 세공가공용 전극을 상기 세공 가이드의 근방에서 지지하는 제1의 가이드 및 상기 전극 홀더와 상기 세공 가이드 사이에서 지지하는 제2의 가이드를 구비하고, 상기 제2의 가이드에는 개폐가능한 척을 구비해서 이루어지는 중간 가이드와,
    상기 중간 가이드를 상기 세공가공용 전극의 길이방향으로 구동하는 제1의 구동장치와,
    상기 중간 가이드의 제2의 가이드의 척을 개폐하는 제2의 구동장치와,
    상기 중간 가이드의 제1의 가이드 및 제2의 가이드간의 상기 세공가공용 전극의 길이방향의 거리를 가변하는 제3의 구동장치를 구비한 세공가공용 방전가공장치.
  3. 세공가공용 전극을 보존하는 전극 홀더와, 상기 전극 홀더 및 세공가공용 전극을 그 길이방향으로 구동하는 구동장치와, 상기 세공가공용 전극을 안내하는 세공이 설치되고 피가공물의 근방에 배치된 세공 가이드와, 상기 세공가공용 전극과 상기 피가공물과의 극간에 가공전력을 공급하는 가공용 전원장치를 구비하고, 방전 에너지에 의해 상기 피가공물에 세공을 형성하는 세공가공용 방전가공장치에 있어서,
    상기 세공가공용 전극을 상기 세공 가이드의 근방에서 지지하는 제1의 가이드 및 상기 전극 홀더와 상기 가이드의 사이에서 지지하는 제1의 가이드 이외의 복수의 가이드를 구비하고, 상기 제1의 가이드 이외의 복수의 가이드에는 개폐가능한 척을 구비한 중간 가이드와,
    상기 중간 가이드를 상기 세공가공용 전극의 길이방향으로 구동하는 제1의 구동장치와,
    상기 중간 가이드의 제1의 가이드 이외의 다수의 가이드의 척을 개폐하는 제2의 구동장치와,
    상기 중간 가이드의 제1의 가이드 및 제1의 가이드 이외의 다수의 가이드의 각각의 사이의 상기 세공가공용 전극의 길이방향의 거리를 가변으로 하는 제3의 구동장치를 구비한 세공가공용 방전가공장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 세공 가이드를 상기 세공가공용 전극의 길이방향으로 구동하는 제4의 구동장치를 구비한 세공가공용 방전가공장치.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 중간 가이드의 제1의 가이드에 개폐가능한 척을 구비한 세공가공용 방전가공장치.
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