KR100473378B1 - 자외선감응접착테이프가부착된테이프배선기판 - Google Patents

Abstract

본 발명은 자외선 감응 접착 테이프가 부착된 테이프 배선 기판에 관한 것이다. 반도체 칩 패키지의 제조에 사용되는 테이프 배선 기판은 패키지 제조 시 그 강도를 보완해 주기 위하여 임시로 캐리어에 접착되어지는데, 이 때 사용되는 종래의 양면 접착 테이프는 열적 특성 및 접착성 때문에 열경화성 접착층을 포함하고 있다. 그런데 열경화성 접착층은 패키지 제조 후 캐리어와의 분리가 용이하지 않으며, 그에 따른 불량 가능성이 높다는 문제점을 안고 있다. 따라서, 본 발명은 분리가 용이한 자외선 감응 접착 테이프를 포함하는 테이프 배선 기판을 제공한다. 자외선 감응 접착 테이프는 폴리이미드 기본층과 그 상하부면에 각각 형성된 자외선 감응 접착층을 포함하며, 패키지 제조 후에 자외선의 영향을 받게 되면 원래의 접착성을 잃어버려 쉽게 캐리어와 테이프 배선 기판으로부터 분리된다. 또한, 패키지의 제조 공정이 단순화되고 신뢰성이 향상되며, 별도의 재생 과정 없이 캐리어를 재사용할 수 있는 이점이 있다.

Description

자외선 감응 접착 테이프가 부착된 테이프 배선 기판{Tape wiring board having ultraviolet sensitive tape}

본 발명은 자외선 감응 접착 테이프가 부착된 테이프 배선 기판에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 반도체 칩 패키지의 제조에 사용되는 테이프 배선 기판이 자외선 감응 접착 테이프에 의하여 캐리어에 접착됨으로써 패키지 제조 후의 테이프 배선 기판과 캐리어 간의 분리가 용이해지는 자외선 감응 접착 테이프가 부착된 테이프 배선 기판에 관한 것이다.

반도체 칩의 집적도 및 입출력 핀 수의 지속적인 증가 추세에 반하여, 반도체 칩을 보호하고 외부 회로와의 전기적 접속 관계를 매개하는 반도체 칩 패키지는 소형화의 요구에 직면하고 있다. 이러한 요구에 부응하여 근래에 연구되고 개발되는 반도체 칩 패키지 중의 하나가 칩 크기의 패키지(chip size package; CSP)이다.

칩 크기의 패키지(CSP)는 반도체 칩과 외부 회로와의 전기적 접속을 매개하는 수단으로서 리드 프레임(lead frame)을 이용하는 전형적인 플라스틱 반도체 칩 패키지와는 달리, 리드 프레임, 인쇄 회로 기판(printed circuit board; PCB), 테이프 배선 기판(tape wiring board, 또는 flexible circuit tape) 등의 다양한 매개 수단을 사용한다. 특히, 테이프 배선 기판은 유연성이 있어서 좁은 공간에의 배치가 가능할 뿐만 아니라, 그 두께가 얇고, 미세한 폭과 간격을 갖는 회로배선의 형성이 가능하다는 장점이 있어서 그 사용이 증가하는 추세에 있다.

전형적인 테이프 배선 기판은 전기적으로 절연성을 갖는 폴리이미드 테이프(polyimide tape)에 소정의 회로배선이 형성된 구조를 갖는다. 회로배선은 폴리이미드 테이프의 한면 또는 양면에 형성될 수 있으며, 얇은 구리판(copper foil)을 폴리이미드 테이프에 적층시킨 후, 선택적으로 식각함으로써 소정의 패턴으로 형성된다.

테이프 배선 기판에는 위치정렬 구멍(align hole), 이송유도 구멍(guide hole) 등이 형성되기도 한다. 위치정렬 구멍은 테이프 배선 기판을 이용하여 패키지를 제조할 때 제조 공정에 사용되는 여러 장치 또는 기구와의 위치를 맞추어 주기 위한 구멍이며, 이송유도 구멍은 테이프 배선 기판의 제조시 일정한 간격으로 이송하면서 제조하기 위해 필요한 것이다.

한편, 테이프 배선 기판은 릴(reel) 형태로 제조되지만, 유연성이 있기 때문에 패키지 제조에 투입되기 위해서는 어느 정도의 기계적 강도를 갖는 별도의 캐리어(carrier)에 접착되어져야 한다. 테이프 배선 기판과 캐리어 간의 접착에는 양면 접착 테이프가 이용되는데, 이 양면 접착 테이프는 패키지 제조 공정 중의 고온 조건을 견딜 수 있어야 하며, 접착성이 양호해야 한다. 그래서 종래의 양면 접착 테이프는 주로 열적 특성이 우수한 폴리이미드를 기본층으로 하고, 그 상하부에 역시 고온 공정에 적합한 열경화성 접착층을 형성하여 사용되고 있다.

그러나, 양면 접착 테이프의 접착층을 형성하는 열경화성 접착수지의 특성상 패키지 제조 후 캐리어와의 분리가 용이하지 않으며, 그에 따른 불량 가능성이 높다는 문제점이 있다. 즉, 완성된 패키지 제품에 손상을 입히지 않으면서 양면 접착 테이프를 분리해 내기가 용이하지 않다. 게다가, 한번 사용되고 나서 테이프를 분리해 낸 캐리어를 다시 재사용하기 위해서는 별도의 재생 과정이 필요하기 때문에 그만큼 공정이 복잡해지는 단점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 열적 특성이 우수하고 접착성이 양호할 뿐만 아니라 분리시키기에도 용이한 회로 배선 테이프를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 회로 배선 테이프를 사용한 반도체 칩 패키지의 제조 공정을 단순화시키고 그 신뢰성을 향상시키기 위한 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 자외선 감응 접착 테이프가 부착된 테이프 배선 기판을 제공한다. 특히, 본 발명의 테이프 배선 기판은 반도체 칩 패키지의 제조에 사용되는 것으로서, 전기 절연성의 테이프와, 테이프의 한면 또는 양면에 형성되는 회로배선을 포함하며, 테이프의 가장자리에는 테이프의 강도 보강을 위한 캐리어에 테이프를 고정시키기 위한 자외선 감응 접착 테이프가 부착된 것을 특징으로 한다.

자외선 감응 접착 테이프는 폴리이미드 기본층과, 기본층의 상하부면에 각각 형성된 자외선 감응 접착층을 포함하는 것이 바람직하며, 이 경우, 상부 접착층은 테이프 배선 기판의 테이프에 접착되고, 하부 접착층은 다른 장치 또는 기구와의 접착을 위하여 노출된다.

본 발명에 따른 테이프 배선 기판의 테이프에는 하나 이상의 위치정렬 구멍 또는 이송유도 구멍이 형성될 수 있다. 테이프 배선 기판의 전기 절연성 테이프는 폴리이미드로, 회로배선은 구리 또는 금으로 이루어지는 것이 바람직하다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면 전반을 통틀어 동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 가리킨다.

도 1은 본 발명에 따른 자외선 감응 접착 테이프(15; ultraviolet sensitive adhesive tape)가 부착된 테이프 배선 기판(10)을 개략적으로 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1의 II-II선을 따라 절단한 단면도이다. 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 테이프 배선 기판(10)은 전기적으로 절연성을 갖는 폴리이미드 테이프(11; polyimide tape)에 소정의 회로배선(12)이 형성된 구조를 갖는다. 회로배선(12)은 패키지의 종류 및 형태에 따라 다양하게 형성될 수 있기 때문에, 본 도면에서는 간략하게 도시하였다. 또한 회로배선(12)은 폴리이미드 테이프(11)의 한면 또는 양면에 형성될 수 있으나, 본 도면에서는 한면에 형성된 경우만을 도시하였다. 회로배선(12)은 전술한 바와 같이 얇은 구리판(copper foil)을 폴리이미드 테이프(11)에 적층시킨 후, 선택적으로 식각함으로써 소정의 패턴을 갖도록 형성할 수 있다. 구리(Cu) 이외에 금(Au)과 같은 다른 금속도 회로배선의 재질로 사용될 수 있으며, 필요한 경우 도금처리를 할 수도 있다.

테이프 배선 기판(10)에는 전술한 바와 같이 위치정렬 구멍(13; align hole), 이송유도 구멍(14; guide hole) 등이 형성되기도 한다. 위치정렬 구멍(13)은 테이프 배선 기판(10)을 이용하여 패키지를 제조할 때, 제조 공정에 사용되는 여러 장치 또는 기구, 예를 들어 도 3에 도시된 캐리어(20; carrier)와의 위치를 맞추어 주기 위한 구멍이다. 이송유도 구멍(14)은 테이프 배선 기판(10)의 제조시 일정한 간격으로 이송하면서 제조하기 위해 필요한 것이며, 패키지 제조시에도 소정의 역할을 할 수 있다.

한편, 테이프 배선 기판(10)은 패키지 제조에 투입되기 위해서 별도의 캐리어에 임시로 접착된다고 전술한 바 있다. 그리고 이 때 사용되는 양면 접착 테이프는 패키지 제조 공정 중의 고온 조건을 견딜 수 있어야 하며, 접착성이 양호해야 한다고 앞서 언급했었다. 이와 같은 특성을 가지면서, 동시에 종래의 문제점인 접착 테이프의 분리 문제를 해결할 수 있는 것이 바로 자외선 감응 접착 테이프(15)이다. 이 자외선 감응 접착 테이프(15)는 평소에는 종래의 양면 접착 테이프와 동일한 열적 특성과 접착성을 가지다가, 자외선의 영향을 받게 되면 접착성을 잃어버려 쉽게 분리되는 특징을 가진다.

자외선 감응 접착 테이프(15)는 폴리이미드 기본층(16)과 그 상하부면에 각각 형성된 자외선 감응 접착층(17)을 포함하며, 테이프 배선 기판(10)의 하부면 가장자리에 부착된다. 자외선 감응 접착 테이프(15)의 상부 접착층(17)은 테이프 배선 기판(10)의 전기 절연 테이프(11)에 접착되며, 캐리어와 같은 다른 장치 또는 기구에 접착될 부분인 하부 접착층(17)은 노출되어 있다. 자외선 감응 접착 테이프(15)는 패키지 제조에 투입되기 전에 테이프 배선 기판(10)에 부착되는데, 종래의 양면 접착 테이프와 달리 별도의 열 압착 공정이 필요 없다.

자외선 감응 접착 테이프(25)가 부착된 테이프 배선 기판(20)을 캐리어(30)에 접착한 상태가 도 5에 도시되어 있다. 도 5를 참조하면, 테이프 배선 기판(10)의 위치정렬 구멍(13)과 캐리어(20)의 위치정렬 구멍(21)을 동일한 위치로 맞춘 후, 테이프 배선 기판(10)을 캐리어(20)에 접착시킨다. 캐리어(20)는 패키지의 각 제조 공정 진행 중에, 또는 제조 공정간 이동시에, 테이프 배선 기판(10)의 강도를 보완해 주기 위한 것이다. 따라서, 캐리어(20)는 소정의 강도를 갖는 재질, 예를 들어 금속 등으로 제조될 수 있다. 캐리어(20)의 구석 일부에 형성된 이송유도 구멍(22)은 테이프 배선 기판(10)을 각 제조 공정으로 이송시킬 때 이송 핀(도시되지 않음)이 삽입되는 구멍이며, 타원형의 위치지시 구멍(23)은 테이프 배선 기판(10)이 접착된 캐리어(20)의 전후좌우를 분간하기 위한 구멍이다.

이와 같이 캐리어(20)를 사용하여 패키지를 제조한 후 자외선 감응 접착 테이프(15)에 자외선을 조사하게 되면, 자외선 감응 접착층(17)의 성질이 변하게 되어 원래 가지고 있던 접착성을 잃어버린다. 따라서, 자외선 감응 접착 테이프(15)는 캐리어(20) 뿐만 아니라 테이프 배선 기판(10)으로부터도 쉽게 분리가 된다.

지금까지 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 테이프 배선 기판의 자외선 감응 접착 테이프는 열적 특성이 우수하고, 접착성이 양호할 뿐만 아니라, 쉽게 분리시킬 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 발명의 자외선 감응 접착 테이프가 부착된 테이프 배선 기판을 반도체 칩 패키지의 제조에 사용하게 되면, 테이프 배선 기판을 캐리어에 쉽게 접착시킬 수 있을 뿐만 아니라, 분리시키기도 용이해지기 때문에, 패키지의 제조 공정이 단순화되고 신뢰성이 향상된다.

게다가, 캐리어로부터 자외선 감응 접착 테이프를 쉽게 그리고 깨끗하게 분리해 낼 수 있기 때문에, 별도의 재생 과정을 거치지 않고 바로 캐리어를 재사용할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 자외선 감응 접착 테이프가 부착된 테이프 배선 기판을 개략적으로 나타내는 평면도,

도 2는 도 1의 II-II선을 따라 절단한 단면도,

도 3은 본 발명에 따른 자외선 감응 접착 테이프가 부착된 테이프 배선 기판을 캐리어에 접착한 상태를 나타내는 평면도이다.

〈 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 〉

10 : 테이프 배선 기판 11 : 폴리이미드(polyimide) 테이프

12 : 회로배선 13 : 위치정렬 구멍(align hole)

14 : 이송유도 구멍(guide hole) 15 : 자외선 감응 접착 테이프

16 : 기본층 17 : 접착층

20 : 캐리어(carrier) 21 : 위치정렬 구멍

22 : 이송유도 구멍 23 : 위치지시 구멍

Claims (7)

1. 반도체 칩 패키지의 제조에 사용되는 테이프 배선 기판에 있어서, 상기 테이프 배선 기판은 전기 절연성의 테이프와, 상기 테이프의 한면 또는 양면에 형성되는 회로배선을 포함하며, 상기 테이프의 가장자리에는 상기 테이프의 강도 보강을 위한 캐리어에 고정시키기 위한 자외선 감응 접착 테이프가 부착된 것을 특징으로 하는 테이프 배선 기판.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 자외선 감응 접착 테이프는 폴리이미드 기본층과, 상기 폴리이미드 기본층의 상하부면에 각각 형성된 자외선 감응 접착층을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 배선 기판.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 폴리이미드 기본층의 상하부면에 각각 형성된 상기 자외선 감응 접착층은, 상기 테이프 배선 기판의 상기 테이프에 접착된 상부 접착층과, 다른 장치 또는 기구와의 접착을 위하여 외부로 노출된 하부 접착층을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 배선 기판.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 테이프 배선 기판은 상기 테이프에 형성된 하나 이상의 위치정렬 구멍을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 배선 기판.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 테이프 배선 기판은 상기 테이프에 형성된 하나 이상의 이송유도 구멍을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 배선 기판.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 전기 절연성의 테이프는 폴리이미드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테이프 배선 기판.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 회로배선은 구리 또는 금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테이프 배선 기판.

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