KR100469984B1 - 웨이퍼 번인 시스템의 경보 발생 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 번인 시스템의 설계 비용을 고려해 종래의 경보발생 장치에 대한 하드웨어 변경을 최소화하여 웨이퍼 번인 공정에서 발생되는 다양한 에러 상태를 보다 더 정확히 검출하고, 검출된 에러 상태를 메시지 형태로 디스플레이할 수 있는 동시에 경보발생 조건을 운영자가 임의로 설정할 수 있는 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 메인 테스트 장치와 연결되어 소정의 데이터 신호를 송수신하는 통신부; 각기 다른 색상을 갖는 다수의 램프로 구성된 표시부; 소정의 경보음을 발생하는 부저; 구동 제어신호에 의거하여 표시부의 각 램프 및 부저를 선택적으로 구동하는 구동 제어부; 웨이퍼 번인 공정의 에러 상태에 따라 표시부에 구비된 각 램프의 선택적 점등 및 부저를 통해 출력되는 경보음의 종류 및 시간을 각기 달리 지정하기 위한 경보발생 조건을 저장하는 메모리 수단; 통신부를 통해 경보발생 조건을 수신하여 메모리부에 저장하고, 통신부를 통해 메인 테스트 장치로부터 발생된 테스트 결과 신호가 수신되면 내부에 기저장된 에러검출 기준신호와 비교하여 웨이퍼의 에러 상태를 판별하며, 판별된 에러 상태에 대응하는 경보발생 조건을 메모리부로부터 검색하여 그에 상응하는 구동 제어신호를 구동 제어부에 인가하는 마이컴을 포함하여 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치를 구현한다.

Description

웨이퍼 번인 시스템의 경보 발생 장치{ALARM APPARATUS OF WAFER BURN-IN SYSTEM}
본 발명은 웨이퍼 번인(Burn-In) 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 번인 공정을 수행함에 있어서 웨이퍼의 에러 상태를 보다 상세히 검출할 수 있는 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 번인 공정은 반도체 소자를 웨이퍼 상태에서 최종 소비자에게 공급하기 이전에 제품이 사용될 조건보다 더 악화된 고온(약 125℃)의 환경에서 통상의 사용전압(5.0V)보다 높은 전압을 인가하여 칩(chip)의 이상유무를 판별하는 일종의 테스트 공정으로써, 주로 반도체 제조 후공정에서 수행된다. 그리고, 이러한 웨이퍼 번인 공정을 수행함으로써 반도체 소자에 대한 신뢰성과 생산성을 조기에 확보할 수 있다.
도 1은 종래의 일반적인 웨이퍼 번인 시스템에 대한 전반적인 구성을 도시한 도면으로서, 워크 스테이션(100), 웨이퍼 로딩 장치(200), 테스트 보드(250), 메인 테스트 장치(300) 및 경보발생 장치(400)를 포함하여 구성되며, 이러한 각각의 장치는 통상적으로 독립적인 개별 장치로 구성된다. 즉, 도 1에 도시된 웨이퍼 로딩 장치(200), 테스트 보드(250), 메인 테스트 장치(300) 및 경보 발생장치(400)는 각각 독립적인 개별 장치로 구성되며, 소정의 접속 방식에 의해 상호 연결되어 웨이퍼 번인 공정을 수행하게 된다.
도 1을 참조하여 각 구성수단의 기능에 대해 설명하면, 먼저 워크 스테이션 (100)은 웨이퍼 번인 공정에 대한 실행 조건 및 명령을 입력하여 후술하는 메인 테스트 장치(300)에 제공함으로써 웨이퍼 번인 공정을 실행을 제어하며, 그에 따른 공정의 진행 상태를 감시하기 위한 수단이다.
웨이퍼 로딩 장치(200)는 테스트를 진행할 웨이퍼를 후술하는 테스트 보드 (250)로 이송하여 로딩(loading) 및 정렬(Alignment)하는 기능과 테스트가 완료된 웨이퍼를 언로딩(Unloading)하는 기능을 수행한다.
테스트 보드(250)는 웨이퍼 로딩 장치(200)에 의해 로딩된 웨이퍼를 테스트하는 수단으로써, 번인 테스트를 수행하기 위해 필요한 다수의 측정 디바이스와 웨이퍼를 접속시키기 위한 다수의 핀, 그리고 테스트 진행 상태를 표시하기 위한 표시수단(예를 들어, LED) 등을 포함하여 구성되며, 후술하는 메인 테스트 장치(300)로부터 제공되는 제어신호에 의거하여 번인 공정에 따른 소정의 전압과 각종 테스트 신호 등을 다수의 핀을 통해 웨이퍼에 제공한다. 그리고, 이에 대응하여 웨이퍼로부터 출력되는 신호를 메인 테스트 장치(300)로 전송한다.
메인 테스트 장치(300)는 상술한 워크 스테이션(100)을 통해 입력되는 실행 명령에 의거하여 웨이퍼 번인 공정에 따른 전반적인 테스트 과정을 수행 및 제어하는 메인 구성수단으로서, 상술한 테스트 보드(250)와 연결되어 테스트를 수행하기 위한 소정의 전압 및 각종 테스트 신호를 발생하여 테스트 보드(250)로 제공한다. 그리고, 다시 테스트 보드(250)로부터 제공되는 출력신호를 조합하여 그에 상응하는 테스트 결과신호를 후술하는 경보발생 장치(400)로 제공한다. 따라서, 이 메인 테스트 장치(300)는 웨이퍼 번인 테스트를 실행하기 위한 각종 구성수단을 포함하여 구성되는데, 예를 들면 복수개의 타이밍 클록 발생수단과 테스트 파형 발생수단 및, 실행을 위한 제어명령을 저장하는 메모리 수단, 파형 모니터링 수단, 구동 드라이버 및 DC 파라미터 측정수단, 그리고 이러한 각각의 구성수단의 동작 및 검출 신호 분석을 위한 CPU와 전반적인 공정 상태를 디스플레이하기 위한 디스플레이 수단(모니터)을 포함하여 구성된다.
또한, 동도면에서는 설명의 편의상 생략하였으나 하나의 메인 테스트 장치 (300)에서 복수개의 테스트 보드 및 웨이퍼 로딩 장치를 연결하여 구동할 수도 있다.
한편, 경보발생 장치(400)는 상술한 메인 테스트 장치(300)로부터 제공되는 테스트 결과신호를 수신하고, 수신된 테스트 결과신호에 의거하여 웨이퍼의 에러 상태를 알리는 소정의 경보를 발생함으로써, 현장 운영자가 이를 인식할 수 있도록 한다. 통상적으로, 이러한 경보발생 장치(400)는 통상적으로 녹색, 황색 및 적색 등으로 구성된 복수개의 램프와 소정의 경보음을 발생할 수 있는 부저를 포함하여 구성되며, 검출된 에러의 상태에 따라 각각의 램프를 선택적으로 구동하거나 소정의 부저음(경보음)을 발생하게 된다. 따라서, 웨이퍼 번인 공정을 수행하는 현장에서는 이 경보발생 장치(400)에 구성된 램프의 동작 상태나 부저음의 발생 여부를 통해 테스트중인 웨이퍼의 에러 상태를 식별할 수 있게 된다.
한편, 도 2는 이러한 종래의 일반적인 경보발생 장치(400)에 대한 세부 구성을 도시한 도면으로서, 통신부(410), 구동 제어부(420), 메모리부(430), 표시부 (440) 및 부저(450)를 포함하여 구성된다.
도 2를 참조하면, 통신부(410)는 전술한 메인 테스트 장치(300)와 연결되어 메인 테스트 장치(300)로부터 제공되는 테스트 결과신호를 수신하고 이를 후술하는 구동 제어부(420)로 제공한다.
구동 제어부(420)는 후술하는 표시부(440) 및 부저(450)의 구동을 제어하기 위한 수단으로서, 상술한 통신부(410)를 통해 제공되는 테스트 결과신호와 메모리부(430)에 기저장된 에러검출 기준신호를 비교하여 표시부(440) 및 부저(450)를 선택적으로 구동하게 된다. 즉, 메모리부(430)에는 번인 공정에서의 발생되는 각각의 에러 상태에 따른 에러검출 기준신호가 프로그램 형태로 기저장되며, 구동제어부(420)는 메인 테스트 장치(300)로부터 제공된 테스트 결과신호로부터 메모리부(430)에 기저장된 에러검출 기준신호와 일치하는 신호가 존재하는지를 검출하여 그에 따라 표시부(440) 및 부저(450)를 구동하게 된다.
한편, 이와 같이 구동 제어부(420)에 의해 구동되는 표시부(440)는 녹색, 황색 및 적색 램프로 구성되어 에러의 종류에 따라 각각 선택적으로 구동되며, 부저(450) 또한 에러의 종류에 따라 각기 다른 종류의 경보음 및 경보시간으로 소정의 경보음을 발생하게 된다.
결과적으로, 이러한 종래의 경보발생 장치(400)에서는 구동 제어부(420)가 메인 테스트 장치(300)로부터 제공되는 테스트 결과신호를 메모리부(430)에 기저장된 표시부(440) 및 부저(450)의 구동조건과 비교하여 소정의 경보를 발생함으로써 테스트중인 웨이퍼에 대한 에러 상태를 운영자에게 통보하게 된다.
하지만, 이러한 경보발생 장치(400)를 통해 식별할 수 있는 웨이퍼 번인 공정의 에러 종류로는, 웨이퍼의 정렬(Alignment) 에러, 검사 일시정지, 응답시간 초과, 검사 중지, 측정온도 한계 초과, 웨이퍼 아이디 인식에러 등으로 그 종류가 한정되어 있다. 즉, 실제 웨이퍼 번인 공정에서 발생되는 에러의 수는 아주 다양한 반면, 종래의 경보발생 장치(400)에서 식별 가능한 에러의 종류는 극히 한정되어 있기 때문에 실제 현장에서 필요로 하는 에러의 상태를 모두 검출할 수 없는 문제점이 있다. 이는 메모리부(430)에 기저장된 에러검출 기준신호가 일부 에러에 대해서만 설정되어 있으며, 경보발생 장치(400) 내에 포함된 구동 제어부(420) 또한 단순한 신호 비교기 기능에 불과하여 능동적인 에러 판단이 불가능함으로써 야기된다.
또한, 이러한 에러의 상태 및 종류를 표시부(440) 및 부저(450)의 구동상태 조합만으로 구분하도록 되어 있기 때문에 운영자가 정확한 에러 상태를 파악하기 어려운 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 웨이퍼 번인 시스템의 설계 비용을 고려해 종래의 경보발생 장치에 대한 하드웨어 변경을 최소화하여 웨이퍼 번인 공정에서 발생되는 다양한 에러 상태를 보다 더 정확히 검출하고, 검출된 에러 상태를 메시지 형태로 디스플레이할 수 있는 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 웨이퍼 번인 공정에서 발생되는 에러 상태 및 종류에 따른 경보발생 조건을 운영자가 임의로 설정할 수 있는 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 웨이퍼 번인 공정의 실행명령을 입력하는 워크 스테이션과, 다수의 측정 디바이스를 통해 로딩된 웨이퍼에 대한 웨이퍼 번인 공정을 수행하는 테스트 보드와, 상기 웨이퍼를 상기 테스트 보드에 로딩하여 정렬하는 웨이퍼 로딩 장치 및, 상기 실행 명령에 의거하여 상기 웨이퍼 공정에 따른 소정의 전압 및 각종 테스트 신호를 상기 테스트 보드에 인가하고, 상기 테스트 보드로부터의 출력신호를 조합하여 테스트 결과신호를 발생하는 메인 테스트 장치를 포함하는 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치에있어서, 상기 메인 테스트 장치와 연결되어 소정의 데이터 신호를 송수신하는 통신부; 각기 다른 색상을 갖는 다수의 램프로 구성된 표시부; 소정의 경보음을 발생하는 부저; 구동 제어신호에 의거하여 상기 표시부의 각 램프 및 부저를 선택적으로 구동하는 구동 제어부; 상기 웨이퍼 번인 공정의 에러 상태에 따라 상기 표시부에 구비된 상기 각 램프의 선택적 점등 및 상기 부저를 통해 출력되는 경보음의 종류 및 시간을 각기 달리 지정하기 위한 경보발생 조건을 저장하는 메모리 수단; 및, 상기 통신부를 통해 상기 경보발생 조건을 수신하여 상기 메모리부에 저장하고, 상기 통신부를 통해 상기 메인 테스트 장치로부터 발생된 상기 테스트 결과 신호가 수신되면 내부에 기저장된 에러검출 기준신호와 비교하여 상기 웨이퍼의 에러 상태를 판별하며, 상기 판별된 에러 상태에 대응하는 경보발생 조건을 상기 메모리부로부터 검색하여 그에 상응하는 상기 구동 제어신호를 상기 구동 제어부에 인가하는 마이컴을 포함하는 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치를 제공한다.
도 1은 일반적인 웨이퍼 번인 시스템의 전반적인 구성을 도시한 블록도.
도 2는 도 1에 도시된 종래의 경보발생 장치에 대한 세부 구성을 도시한 도면.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치에 대한 구성을 도시한 도면.
도 4는 도 3에 도시된 본 발명에 따른 알람발생 장치의 동작 과정을 도시한 도면.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치(500)에 대한 구성을 도시한 도면으로서, 통신부(510), 마이컴(520), 메모리부(530), 구동 제어부 (540), 표시부(550) 및 부저(560)를 포함한다.
도 3을 참조하면, 통신부(510)는 도 1에 도시된 워크 스테이션(100)을 통해 운영자가 입력하는 경보발생 조건 및 번인 공정에 따른 테스트 결과신호를 메인 테스트 장치(300)로부터 수신하여 후술하는 마이컴(520)으로 제공하는 기능과 마이컴 (520)으로부터 제공된 에러 메시지를 다시 메인 테스트 장치(300)로 전송하는 기능을 수행한다.
마이컴(520)은 통신부(510)를 통해 수신된 경보발생 조건을 메모리부(530)에 저장하며, 번인 공정에 따른 테스트 결과 신호를 수신하여 메모리부(530)에 저장된 경보발생 조건과 비교하고 그에 따라 표시부(550) 및 부저(560)를 구동한다.
따라서, 마이컴(520)은 도 1의 메인 테스트 장치(300)로부터 생성된 테스트 결과 신호로부터 웨이퍼의 에러 상태 및 종류를 판별하기 위한 에러검출 기준신호를 프로그램 형태로 내장하게 되는데, 이 마이컴(520)에 내장되는 에러검출 기준신호는 웨이퍼 번인 공정에 발생 가능한 모든 에러 상태에 대응하는 기준신호를 포함하도록 한다. 즉, 종래의 경보발생 장치(400)가 극히 제한된 에러 상태 및 종류에 대한 검출이 가능한 반면, 본 발명에 따른 경보발생 장치(500)에서는 웨이퍼 번인 공정에 발생 가능한 모든 에러 상태 및 종류를 검출할 수 있게 된다. 이러한 마이컴(520)을 통해 검출 가능한 에러의 종류로는 종래의 경보발생 장치(400)에서 검출 가능한 웨이퍼의 정렬(Alignment) 에러, 검사 일시정지, 응답시간 초과, 검사 중지, 측정온도 한계 초과, 웨이퍼 아이디 인식 에러 등은 물론, 테스트 보드(250)의 다수의 핀에 대한 접촉 불량 등에 따른 모든 에러 상태를 포함한다.
또한, 마이컴(520)은 이러한 에러검출 기준신호에 의해 검출된 에러 상태 및 종류에 대응하는 에러 상태 메시지를 생성하여 통신부(510)를 통해 메인 테스트 장치(300)에 제공하게 된다. 그리고, 메인 테스트 장치(300)에서는 통상적으로 구비된 디스플레이 수단(모니터)을 통해 에러 상태 메시지를 디스플레이함으로써 현장 운영자가 웨이퍼의 에러상태 및 종류를 보다 더 용이하게 인식할 수 있도록 한다.
한편, 본 발명에서 상술한 메모리부(530)에 저장되는 경보발생 조건은 표시부(550) 및 부저(560)를 구동하기 위한 구동조건으로서, 본 발명에서는 번인 공정에서 발생되는 에러의 종류 및 상태에 따른 경보발생 조건 등을 워크 스테이션 (100)을 통해 운영자가 직접 설정할 수 있도록 한다. 즉, 운영자는 번인 공정에서 발생되는 에러의 상태 및 종류에 따라 표시부(550)에 구비되는 각 램프의 발광 상태 및 부저(560)를 통해 출력되는 부저음의 종류 및 시간을 임의로 설정할 수 있게 된다.
구동 제어부(540)는 마이컴(540)의 제어신호에 의거하여 표시부(550)에 구비된 녹색, 황색 및 적색 램프를 선택적으로 구동하며, 부저(560)를 통해 출력되는 경보음의 종류 및 시간을 가변적으로 제어하게 된다.
결과적으로, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 경보발생 장치(500)는 메인 테스트 장치로부터 제공된 테스트 결과신호를 수신하여 모든 웨이퍼의 에러 상태 및 종류를 검출하고 운용자가 기설정한 경보발생 조건에 의거하여 에러 상태에 대응하는 경보를 표시부(550) 및 부저(560)를 통해 발생하게 된다. 또한, 검출된 에러 상태에 대한 메시지를 생성하여 메인 테스트 장치(300)에 전송하여 디스플레이하게 된다.
도 4는 이러한 본 발명에 경보발생 장치(500)가 포함된 웨이퍼 번인 시스템에서의 경보발생 과정을 도시한 플로우차트로서, 동도면을 참조하여 그 일련의 과정에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 워크 스테이션(100)을 통해 운영자가 설정한 경보발생 조건이 메인 테스트 장치(300)로부터 제공되어 경보발생 장치(500)의 메모리부(530)에 저장된 상태에서(단계 S501), 웨이퍼 번인 공정이 수행되어(단계 S503) 메인 테스트 장치 (300)로부터 발생된 테스트 결과 신호가 통신부(510)를 통해 수신되면(단계 S505), 마이컴(520)은 수신된 테스트 결과 신호와 내부에 프로그램 형태로 기저장된 에러검출 기준신호를 비교하게 된다(단계 S507).
그 비교결과에 의거하여 웨이퍼의 에러 상태 및 에러 종류를 판별하게 되는데, 만일 소정의 에러가 검출되면 마이컴(520)은 검출된 에러의 상태 및 종류를 판별하고(단계 S509) 그에 대응하여 운영자가 설정한 경보발생 조건을 메모리부(530)로부터 검색하여 그에 상응하는 구동 제어신호를 구동 제어부(540)로 전송하게 된다(단계 S511).
따라서, 구동 제어부(540)는 마이컴(520)으로부터 제공되는 구동 제어신호에 의거하여 표시부(550) 및 부저(560)를 구동함으로써, 에러 상태를 알리는 소정의 램프가 점등되고 경보음이 출력된다(단계 S513).
또한, 마이컴(520)은 상술한 단계(S507)에서 검출된 에러의 상태 및 종류에 대응하는 에러 상태 메시지를 생성하여 통신부(510)를 통해 메인 테스트 장치(300)로 전송하게 되고(단계 S515), 메인 테스트 장치(300)는 이 에러 상태 메시지를 디스플레이 수단(모니터)에 디스플레이함으로써, 운영자가 이를 확인할 수 있도록 한다(단계 S517).
한편, 상술한 실시예에서는 마이컴(520)에서 발생된 에러상태 메시지를 메인 테스트 장치(300)에 구비된 디스플레이 수단을 통해 디스플레이하였는데, 이는 기존의 웨이퍼 번인 시스템의 하드웨어 변경을 최소화여 전반적인 설비비용을 절감할 수 있도록 하기 위한 것으로, 메인 테스트 장치(300)에 통상적으로 모니터가 구비되는 점을 이용한 것이다. 이와는 달리, 경보발생 장치(500)에 별도의 디스플레이 수단을 구성하여 에러상태 메시지를 경보발생 장치(500) 자체에서 디스플레이하도록 구성할 수 있다.
상술한 실시예와 도면은 발명의 내용을 상세히 설명하기 위한 목적일 뿐, 발명의 기술적 사상의 범위를 한정하고자 하는 목적이 아니며, 이상에서 설명한 본 발명은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 상기 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아님은 물론이며, 후술하는 청구범위뿐만이 아니라 청구범위와 균등 범위를 포함하여 판단되어야 한다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 웨이퍼 번인 시스템의 하드웨어 변경을 최소화하고서도 웨이퍼 번인 공정에서 발생되는 다양한 에러 상태를 보다 더 정확히 검출할 수 있는 효과가 있으며, 검출된 에러 상태를 메시지 형태로 디스플레이함으로써 운영자가 웨이퍼 번인 공정에서 발생되는 에러상태를 보다 더 용이하게 파악할 수 있는 효과가 있다. 또한, 공정 상황에 맞게 경보발생 조건을 운영자가 임의로 설정할 수 있게 됨으로써 웨이퍼 번인 시스템의 성능을 보다 향상시킬수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 웨이퍼 번인 공정을 수행하는 테스트 보드와, 상기 웨이퍼 번인 공정의 실행명령을 입력하는 입력부와, 상기 실행 명령에 따라 소정의 전압 및 각종 테스트 신호를 상기 테스트 보드에 인가하고 상기 테스트 보드로부터의 출력신호를 조합하여 테스트 결과신호를 발생하는 메인 테스트 장치와, 상기 메인 테스트 장치에 연결되어 상기 테스트 결과신호를 수신받고, 상기 경보발생 장치의 신호를 상기 메인 테스트 보드로 송신하는 통신부와, 상기 공정의 에러 상태 및 종류에 따라, 램프 색상의 종류, 경보음의 종류 및 시간을 결정하는 경보발생 조건을 저장하는 저장부와, 상기 에러 상태 및 종류를 판별하기 위한 에러검출 기준신호를 내장하고, 상기 통신부를 통해 수신된 상기 테스트 결과신호와 상기 에러검출 기준신호를 비교하여 에러 상태 및 종류를 판별하며, 상기 판별된 에러 상태 및 종류에 대응하는 경보발생 조건을 상기 메모리부로부터 검색하여 그에 상응하는 구동 제어신호를 구동 제어부에 인가하는 마이컴과, 각기 다른 색상을 갖는 다수의 램프로 구성된 표시부와, 복수개의 경보음을 발생하는 부저와, 상기 구동 제어신호에 따라 상기 표시부와 상기 부저를 구동하는 구동 제어부를 포함하고, 상기 경보발생 조건은 상기 입력부를 통해 입력되어 상기 메인 테스트 장치, 상기 통신부 및 상기 제어부를 거쳐 저장부로 제공되며, 상기 마이컴은 상기 판별된 에러상태에 대응하는 에러상태신호를 생성하여 별도의 표시수단을 통해 디스플레이하는 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치에 있어서,
    상기 마이컴에 내장된 상기 에러검출 기준신호는, 웨이퍼의 정렬 에러, 검사 일시정지, 응답시간 초과, 검사 중지, 측정온도 한계 초과, 웨이퍼 아이디 인식 에러 및 상기 테스트 보드의 접촉 불량 에러에 대한 기준신호를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 표시수단은 상기 메인 테스트 장치에 설치된 것임을 특징으로 하는 웨이퍼 번인 시스템의 경보발생 장치.
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