KR101043360B1 - 반도체 검사장치의 이상 판단시스템 및 이를 이용한 반도체 검사장치 이상 판단방법 - Google Patents

반도체 검사장치의 이상 판단시스템 및 이를 이용한 반도체 검사장치 이상 판단방법 Download PDF

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Abstract

검사할 반도체 제품의 검사장치의 검사위치로 상기 검사할 반도체 제품을 이송시키는 핸들러의 작동상태를 나타내는 핸들러 작동램프와;
상기 검사위치로 이송된 반도체 제품의 상기 검사장치 내에서 검사하는 상태를 나타내며, 항목별 검사동작시에는 온 구동되고, 검사완료 후 검사항목 전환시에는 오프되는 검사장치 작동램프와;
상기 핸들러 작동램프와 상기 검사장치 작동램프 각각의 작동상태 정보를 전달받아 상기 검사장치의 이상 여부를 판단하는 제어유닛과;
상기 제어유닛에서 판단된 결과에 따라서, 상기 검사장치의 이상발생정보를 알려주는 출력부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사장치의 이상 판단시스템.

Description

반도체 검사장치의 이상 판단시스템 및 이를 이용한 반도체 검사장치 이상 판단방법{System and Method for detecting an error of device for Testing Semiconductor Device}
본 발명은 반도체 검사장치의 이상발생을 판단할 수 있는 반도체 검사장치의 이상 판단시스템 및 이를 이용한 반도체 검사장치 이상 판단방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제품 제조 공정에 의해 제조된 반도체 제품은 출하되기 전에 전기적 특성 검사와 기능 테스트(function test)와 같은 신뢰성 테스트를 거치게 된다. 제조된 반도체 제품을 테스트 장치로 이송하며, 테스트 완료된 반도체 제품을 분류하기 위해 이송하는 장비로 핸들러(handler)가 주로 사용되고 있다.
핸들러는 다수의 반도체 제품을 테스트 장치 내에 반송하고, 테스트 장치 내에서는 각 반도체 제품에 테스트 소켓을 통하여 테스트 헤드에 전기적으로 접촉시켜 테스트 공정이 진행되도록 한다. 그리고 테스트가 완료된 각 반도체 제품을 테스트 헤드(test head)로부터 반출하여 테스트 결과에 따라서 분류한다.
상기 테스트장치의 내부에는 반도체 제품의 전기적 검사에 필요한 하드웨어 즉, 타이밍 발생기, 패턴 발생기(pattern generator), 파형 정형기(wave formatter), 논리 비교기, 입출력용 전원, DC(Direct Current) 측정유닛, 프로그램어블전원(programmable power supply) 등의 설치된다.
이러한 구성의 테스트장치는 상기 핸들러와 함께 운용되면서 반도체 제품을 테스트하게 된다.
그런데 상기와 같이 핸들러에 의해 테스트장치 내부로 이동된 반도체 제품은 각종 신뢰성 테스트를 단계적으로 검사하게 되는데, 각 검사항목별로 순차적으로 진행됨에 있어서, 테스트장치의 이상발생이나 고장 및 반도체 제품의 이상 등으로 인하여 검사가 정상적으로 이루어지지 않고 테스트장치가 정지하는 경우가 발생하게 되는데, 이러한 테스트장치의 이상발생을 작업자가 직접 눈으로 확인한 후 고장여부를 판단하여야 하는 문제점이 있다.
또한, 작업자가 직접 눈으로 확인하여 이상발생을 판단해야 하므로, 신뢰성이 떨어지고 그에 따른 비용증가는 물론, 이상발생에 따른 조치를 즉시 취하지 못하게 되어 생산성을 저하시키는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 창안된 것으로서, 반도체 검사장치의 이상여부를 자동으로 확인할 수 있는 반도체 검사장치의 이상 판단시스템 및 이를 이용한 반도체 검사장치 이상 판단방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 검사장치의 이상 판단시스템은, 검사할 반도체 제품의 검사장치의 검사위치로 상기 검사할 반도체 제품을 이송시키는 핸들러의 작동상태를 나타내는 핸들러 작동램프와; 상기 검사위치로 이송된 반도체 제품의 상기 검사장치 내에서 검사하는 상태를 나타내며, 항목별 검사동작시에는 온 구동되고, 검사완료 후 검사항목 전환시에는 오프되는 검사장치 작동램프와; 상기 핸들러 작동램프와 상기 검사장치 작동램프 각각의 작동상태 정보를 전달받아 상기 검사장치의 이상 여부를 판단하는 제어유닛과; 상기 제어유닛에서 판단된 결과에 따라서, 상기 검사장치의 이상발생정보를 알려주는 출력부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제어유닛은, 설정시간이 저장되는 저장부와; 상기 검사장치 작동램프의 온 또는 오프상태의 유지시간을 카운트하는 카운터; 및 상기 카운터에서 카운트 된 값과 상기 저장부에 저장된 설정시간을 비교하여 상기 검사장치의 이상 여부를 판단하고, 판단 결과에 따라서 상기 출력부를 제어하는 판단제어부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 설정시간을 입력하기 위한 입력부를 더 포함하는 것이 좋다.
또한, 상기 출력부는, 상기 제어유닛에 연결되어 상기 검사장치의 이상발생 신호를 비디오신호로 출력하는 비디오 출력부; 및 상기 제어유닛에 연결되어 상기 검사장치의 이상발생 신호를 오디오신호로 출력하는 오디오 출력부:를 포함하는 것이 좋다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 검사장치의 이상 판단방법은, 핸들러에 의해 검사할 반도체 제품이 검사장치 내의 검사위치로 이동된 상태를 감지하는 단계와; 검사장치 내의 검사위치에서 상기 반도체 제품의 검사상태 및 검사항목의 전환상태를 나타내는 검사장치 작동램프의 온 또는 오프상태의 유지시간을 카운트하는 단계와; 상기 카운트 단계에서 카운트 된 값과 기 설정된 설정시간을 비교하여 상기 검사장치의 이상 여부를 판단하는 단계와; 상기 판단 단계에서 상기 검사장치의 이상발생으로 판단된 경우, 상기 검사장치 이상발생 정보를 출력하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 판단하는 단계에서는, 상기 카운트 된 값이 상기 설정시간을 초과하면 상기 검사장치의 이상발생으로 판단하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 설정시간을 입력하여 설정하는 단계를 더 포함하는 것이 좋다.
또한, 상기 출력하는 단계는, 상기 검사장치의 이상발생 신호를 비디오신호로 출력하는 단계와; 상기 검사장치의 이상발생 신호를 오디오신호로 출력하는 단계;를 포함하는 것이 좋다.
본 발명의 반도체 검사장치의 이상 판단시스템 및 이상 판단방법에 따르면, 반도체 검사장치를 이용한 반도체 제품의 검사모드 시에 검사장치의 홀드 오류발생을 자동으로 감지할 수 있다.
따라서 종래와 같이 사람이 직접 검사장치의 작동상태를 확인할 필요가 없이 자동으로 감지하여 알려주게 된다.
또한, 검사장치의 이상 여부를 즉시 감지하여 알려주게 됨으로써, 즉각적인 조치를 취하여 검사장치의 이상 여부를 확인하여 해결함으로써, 제품의 신뢰성을 높이고, 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치 이상 판단시스템을 나타내 보인 블록 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치 이상 판단방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치의 이상 판단시스템 및 이상 판단방법에 대해 자세히 설명하기로 한다.
도 1을 참조하면 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치의 이상 판단시스템은, 핸들러 작동램프(10)와, 검사장치 작동램프(20)와, 제어유닛(30)과, 입력부(40) 및 출력부(50)를 구비한다.
상기 핸들러 작동램프(10)는 검사할 반도체 제품의 검사장치(70)의 내의 검사위치로 이동시키는 핸들러(60)의 작동상태를 나타내기 위한 것이다. 이러한 핸들러 작동램프(10)는 핸들러(60)가 반도체 제품을 검사하거나 분류하기 위해 동작 가능한 상태 즉, 검사모드 상태일 때 온 구동된다. 이러한 핸들러 작동램프(10)는 예를 들어 구동시 녹색광을 출력하는 LED인 것이 바람직하다. 그리고 핸들러 작동램프(10)는 상기 제어유닛(30)에 신호 전달 가능하게 연결되어, 그 작동상태정보 즉, 온 또는 오프 상태 정보를 제어유닛(30)으로 제공하게 된다.
여기서 상기 핸들러(60)는 통상적으로 널리 알려진 장치로서, 검사할 반도체 제품을 검사위치로 이동시키고, 검사결과에 따라 분류된 반도체 제품을 이동시키는 로봇장치로서, 공지의 기술로부터 당업자가 쉽게 이해할 수 있는 구성이므로 더 이상의 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 검사장치 작동램프(20)는 핸들러(60)에 의해 검사장치(70) 내의 검사위치로 옮겨진 반도체 제품에 대한 검사항목별 검사를 단계적으로 수행할 때, 검사수행상태를 알려주도록 온/오프 구동된다.
즉, 검사장치 작동램프(20)는 예를 들어, 복수의 검사항목들 중에서 각각의 검사항목을 검사하는 동안에는 온(ON) 구동되고, 검사가 종료되면 오프(OFF) 상태를 나타낸다. 이를 위해 검사장치 작동램프(20)는 전기신호에 의해 온/오프 구동되는 LED 램프를 포함하는 것이 바람직하다.
이와 같이 각 검사항목마다 반도체 제품을 검사하기 위해, 반도체 제품에 전기신호가 입력되면, 그 전기신호의 입력신호를 근거로 하여 검사장치 작동램프(20)가 온 구동되고, 검사가 종료되면 검사장치 작동램프(20)는 오프(OFF) 상태가 된다.
그리고 상기와 같이 검사장치 작동램프(20)의 온/오프 상태정보는 상기 제어유닛(30)으로 전달된다.
여기서 상기 검사장치(70)는 핸들러(60)에 의해 검사위치로 이송된 반도체 제품에 전기신호를 인가하여 반도체 제품이 양호한지 또는 불량한지를 판정하는 장치이며, 이러한 검사장치(70)의 검사동작시(반도체 제품에 전기신호를 인가하는 동작시)에는 상기 검사장치 작동램프(20)가 온(ON) 상태가 된다.
상기 제어유닛(30)은 저장부(31)와, 카운터(32) 및 판단제어부(33)를 구비한다.
상기 저장부(31)는 상기 검사장치(70)에서 검사위치에 위치한 반도체 제품을 검사하기 위한 검사모드에서, 정상적인 홀드(HOLD)상태인지를 판단하기 위해 기 설정된(세팅된) 설정시간이 저장된다.
여기서 상기 홀드상태는 상기 검사장치 작동램프(20)가 지속적으로 온(ON)인 상태 또는 오프(OFF)인 상태를 나타낸다. 더욱 구체적으로는 홀드상태는 반도체 제품의 검사모드에서 반도체 제품을 실질적으로 검사하는 시간과 검사항목을 전환하기 위하여 소요되는 시간 각각을 나타낸다.
상기 카운터(32)는 상기 검사모드에서 홀드 상태의 지속시간을 카운트하기 위한 것이다. 즉, 카운터(32)는 핸들러 작동램프(10)가 온(ON)된 상태(검사모드)에서 검사장치 작동램프(20)가 온(ON) 상태가 지속되는 시간을 카운트하고, 또한 오프(OFF) 상태가 지속되는 시간을 각각 카운트하고, 카운트 된 값을 판단제어부(33)로 제공한다.
상기 판단제어부(33)는 상기 카운터(32)에서 카운트 된 시간(값)과, 상기 저장부(31)에 저장된 설정시간(기준값)을 비교하고, 카운트 시간이 설정시간을 초과할 경우, 검사장치(70)의 이상발생으로 판단한다. 즉, 판단제어부(33)는 검사장치(70)가 정상적으로 검사모드를 수행하지 못하고, 어느 특정 항목검사 시간이 너무 오래 걸리거나, 항목 전환시간이 너무 오래 걸릴 경우에, 홀드 동작에 오류가 발생할 것으로 판단하여 후속조치를 취할 수 있게 된다.
따라서 판단제어부(33)는 검사장치(20)의 이상발생으로 판단된 경우, 상기 출력부(50)를 제어하여 검사장치 이상발생신호를 출력함으로써, 작업자나 관리자가 검사장치(20)의 이상발생 사실을 인지할 수 있도록 한다.
상기 입력부(40)는 상기 설정시간(기준값)을 설정하여 입력하기 위한 것으로서, 상기 제어유닛(30)에 연결된다. 이러한 입력부(40)는 디스플레이부와 키보드를 포함하거나, 또는 터치패널을 포함할 수 있다. 따라서 작업자는 검사할 반도체 제품의 종류 및 검사항목에 따라서 최적의 설정시간을 상기 입력부(40)를 통해 입력하여 세팅할 수 있게 된다.
상기 출력부(50)는 검사장치(20)의 이상발생시 이상발생신호를 작업자나 관리자가 인지할 수 있도록 신호를 출력하기 위한 것으로서, 비디오 출력부(51)와, 오디오 출력부(52)를 구비한다.
상기 비디오 출력부(51)는 제어유닛(30)의 구동신호에 의해 점멸 구동되는 경광등을 포함할 수 있으며, 상기 오디오 출력부(52)는 비상음을 출력하는 스피커 또는 부저(buzzer)를 포함할 수 있다.
상기 구성을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치 이상 판단시스템을 이용한 이상 판단방법에 대해 자세히 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 판단제어부(33)는 핸들러 작동램프(10)가 온(ON) 상태 즉, 검사모드인지 확인한다(S10).
다음으로, 핸들러 작동램프(10)가 온(ON) 상태인 경우에, 검사장치 작동램프(20)가 온(ON) 상태인 경우(S11), 카운터(32)는 검사장치 작동램프(20)가 오프(OFF) 상태로 전환되기 전까지 시간을 카운트한다(S12).
그리고 판단제어부(33)는 검사장치 작동램프(20)가 온(ON)인 상태에서 카운트시간이 설정시간을 초과하였는지 비교 판단한다(S13).
상기 단계(S13)에서 판단 결과, 검사장치 작동램프(10)가 오프(OFF) 상태로 전환되었거나, 또는 카운트시간이 설정시간을 초과하지 않은 경우, 판단제어부(33)는 카운트 값을 삭제하여 초기화한다(S14).
한편, 상기 단계(S13)에서 검사장치 작동램프(10)가 지속적으로 온(ON) 상태에서 카운트시간이 설정시간을 초과한 것으로 확인된 경우, 판단제어부(33)는 검사장치(70)에 이상이 발생한 것으로 판단하고, 상기 출력부(50)를 구동제어하여 이상발생 신호를 출력한다(S15). 또한, 상기 단계(S15)에서는 시간을 지속적으로 카운트함으로써 시간을 지속적으로 유지시켜서 이상발생 신호가 계속 출력되도록 한다.
또한, 반도체 제품을 항목별로 검사함에 있어서, 항목별 검사가 종료되고 다음 항목의 검사를 위한 전환시기에는 검사장치 작동램프(20)가 오프(OFF) 상태가 된다(S16).
카운터(32)에서는 검사장치 작동램프(20)가 온(ON) 상태로 전환되기 전까지 시간을 카운트한다(S17).
그리고 판단제어부(33)는 검사장치 작동램프(20)가 오프(OFF)인 상태에서 카운트시간이 설정시간을 초과하였는지 비교 판단한다(S18).
상기 단계(S18)에서 판단 결과, 검사장치 작동램프(10)가 온(ON) 상태로 전환 되었거나, 또는 카운트시간이 설정시간을 초과하지 않은 경우, 판단제어부(33)는 카운트 값을 삭제하여 초기화한다(S14).
한편, 상기 단계(S18)에서 검사장치 작동램프(10)가 지속적으로 오프(OFF) 상태에서 카운트시간이 설정시간을 초과한 것으로 확인된 경우, 판단제어부(33)는 검사장치(70)에 이상이 발생한 것으로 판단하고, 상기 출력부(50)를 구동제어하여 이상발생 신호를 출력한다(S15).
이상에서 설명한 바와 같이, 반도체 제품의 검사모드에서 홀드(HOLD) 상태에서의 시간을 카운트하고, 그 카운트값을 미리 설정된 설정시간과 비교하고, 비교 결과에 따라서 검사장치(70)의 이상 여부를 판단할 수 있다. 이와 같이 검사장치(70)의 이상 여부를 자동으로 검사하여 판단하는 것이 가능하므로, 종래와 같이 작업자나 관리자가 검사장치(70)를 지속적으로 확인할 필요가 없으며, 이상발생 즉시 그 사실을 감지할 수 있게 된다.
또한, 검사장치(70)의 이상발생이 발견되면, 출력부(50)를 통한 오디오신호 또는 비디오신호를 출력하여 작업자나 관리자가 검사장치(70)의 이상발생 여부를 즉시 인식할 수 있도록 하여 즉각적인 후속조치를 취할 수 있게 된다.
따라서 테스트 장치의 이상 발생의 인지 시간을 줄일 수 있으며, 즉각적인 후속조치로 인하여 생산성을 높이고 제조 원가를 낮추는 이점이 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해서 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
10..핸들러 작동램프 20..검사장치 작동램프
30..제어유닛 31..저장부
32..카운터 33..판단제어부
40..입력부 50..출력부
51..비디오 출력부 52..오디오 출력부
60..핸들러 70..검사장치

Claims (8)

  1. 검사할 반도체 제품을 검사장치의 검사위치로 상기 검사할 반도체 제품을 이송시키는 핸들러의 작동상태를 나타내는 핸들러 작동램프와;
    상기 검사위치로 이송된 반도체 제품의 상기 검사장치 내에서 검사하는 상태를 나타내며, 항목별 검사동작시에는 온 구동되고, 검사완료 후 검사항목 전환시에는 오프되는 검사장치 작동램프와;
    상기 핸들러 작동램프와 상기 검사장치 작동램프 각각의 작동상태 정보를 전달받아 상기 검사장치의 이상 여부를 판단하는 제어유닛과;
    상기 제어유닛에서 판단된 결과에 따라서, 상기 검사장치의 이상발생정보를 알려주는 출력부;를 포함하며,
    상기 제어유닛은
    설정시간이 저장되는 저장부와;
    상기 검사장치 작동램프의 온 또는 오프상태의 유지시간을 카운트하는 카운터; 및
    상기 카운터에서 카운트 된 값과 상기 저장부에 저장된 설정시간을 비교하여 상기 검사장치의 이상 여부를 판단하고, 판단 결과에 따라서 상기 출력부를 제어하는 판단제어부;를 포함하고,
    상기 설정시간을 입력하기 위한 입력부를 더 포함하며,
    상기 출력부는,
    상기 제어유닛에 연결되어 상기 검사장치의 이상발생 신호를 비디오신호로 출력하는 비디오 출력부; 및
    상기 제어유닛에 연결되어 상기 검사장치의 이상발생 신호를 오디오신호로 출력하는 오디오 출력부:를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사장치의 이상 판단시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 핸들러에 의해 검사할 반도체 제품을 검사장치 내의 검사위치로 이동된 상태를 감지하는 단계와;
    검사장치 내의 검사위치에서 상기 반도체 제품의 검사상태 및 검사항목의 전환상태를 나타내는 검사장치 작동램프의 온 또는 오프상태의 유지시간을 카운트하는 단계와;
    상기 카운트 단계에서 카운트 된 값과 기 설정된 설정시간을 비교하여 상기 검사장치의 이상 여부를 판단하는 단계와;
    상기 판단 단계에서 상기 검사장치의 이상발생으로 판단된 경우, 상기 검사장치 이상발생 정보를 출력하는 단계;를 포함하며,
    상기 판단하는 단계에서는
    상기 카운트 된 값이 상기 설정시간을 초과하면 상기 검사장치의 이상발생으로 판단하며,
    상기 설정시간을 입력하여 설정하는 단계를 더 포함하고,
    상기 출력하는 단계는,
    상기 검사장치의 이상발생 신호를 비디오신호로 출력하는 단계와;
    상기 검사장치의 이상발생 신호를 오디오신호로 출력하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사장치 이상 판단방법.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20030058863A (ko) * 2002-01-02 2003-07-07 프롬써어티 주식회사 웨이퍼 번인 시스템의 경보 발생 장치
KR20080096021A (ko) * 2007-04-26 2008-10-30 세크론 주식회사 반도체소자제조설비용 테스트장치

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