KR101953631B1 - 광학 검사 장비의 카메라 전원 공급 실시간 모니터링 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사 대상체의 결함을 검출하는 광학 검사 장비에 구비된 카메라의 전원 공급 상태를 모니터링 하는 모니터링 시스템에 있어서, 상기 광학 검사 장비에는 직류전원을 발생시키는 전원공급장치 및 상기 전원공급장치에 직류전원을 상기 카메라에 공급하는 케이블이 구비되되, 그리고 상기 모니터링 시스템은 상기 광학 검사장비의 작동 중에 상기 케이블에 인가되는 전류 및 전압을 모니터링 하여 상기 케이블의 손상을 실시간으로 확인함으로써 상기 카메라의 전원 공급 상태를 모니터링 하는 광학 검사 장비의 카메라 전원 공급 실시간 모니터링 시스템을 제공할 수 있다.

Description

광학 검사 장비의 카메라 전원 공급 실시간 모니터링 시스템{Camera power supply real-time monitoring system of optical inspection equipment}

본 발명은 광학 검사 장비의 카메라 전원 공급 실시간 모니터링 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이(FPD) 패널(panel)의 결함을 검출하는 검사 장비의 카메라(camera)의 전원 공급 상태를 모니터링 하는 모니터링 시스템에 관한 것이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 평판 디스플레이(FPD) 패널(panel)의 결함을 검출하는 광학 검사 장비는 검사 대상체의 검사 면적 대비 사용 카메라 수량을 줄이기 위해 검사 대상체를 x축 방향으로 반복 이동시키면서 카메라를 y축 방향으로 여러 스텝(step) 이동하여 촬영하는 방식을 주로 사용한다.

또한, 상기 광학 검사 장비의 카메라 전원 공급 방법은 주로 단순 전원 공급 방식을 취하고 있으며, 카메라 사용 수량에 맞추어 개별 전원 공급 장치를 사용하거나 높은 용량의 전원 공급 장치를 사용하여 여러 개의 카메라에 전원을 동시 공급하고 있다.

또한, 각 카메라에 개별 퓨즈(fuse) 혹은 회로 보호기(circuit protector)를 사용하는 경우도 있으며, 카메라가 움직이는 구간에는 가동형 케이블을 사용한다.

이때, 카메라 전원 케이블 중 가동 구간에 사용되는 케이블은 장시간 사용 시 케이블 내구성 저하에 따른 케이블 파손 현상이 발생하는 문제가 있다.

이로 인해 카메라에 전원이 제대로 인가되지 않아 검사가 되지 않는 카메라가 발생할 뿐만 아니라 비정상적 검사 데이터가 생성되는 문제가 발생된다.

또한, 산업 현장에서는 이러한 케이블 내구성 저하로 인해 케이블의 내구성을 예측하여 주기적으로 교체하고 있으나 케이블 전체를 일시에 교체하므로 많은 비용이 발생되는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 평판 디스플레이(FPD) 패널(panel)의 결함을 검출하는 검사 장비에 광학 검사 장비의 카메라 전원 공급 상태를 실시간으로 모니터링 하는 모니터링 시스템을 구비함으로써 케이블의 이상 상태를 실시간으로 점검하여 유지보수에 필요한 선 조치를 할 수 있는 모니터링 시스템을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.

그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 검사 대상체의 결함을 검출하는 광학 검사 장비에 구비된 카메라의 전원 공급 상태를 모니터링 하는 모니터링 시스템에 있어서, 상기 광학 검사 장비에는 직류전원을 발생시키는 전원공급장치 및 상기 전원공급장치에 직류전원을 상기 카메라에 공급하는 케이블이 구비되되, 상기 모니터링 시스템은 상기 광학 검사 장비의 작동 중에 상기 케이블에 인가되는 전류 및 전압을 모니터링 하여 상기 케이블의 손상을 실시간으로 확인함으로써 상기 카메라의 전원 공급 상태를 모니터링 한다.

또한, 상기 모니터링 시스템은 정상상태로 상기 카메라에 인가되는 직류전원의 전류 및 전압 셋팅값을 초기 세팅하고, 상기 광학 검사 장비가 작동 중에 상기 카메라에 인가되는 직류전원의 전류 및 전압 측정값을 측정하도록 요청하는 모니터링 시스템 PC와, 상기 전원공급장치에 연결되어 상기 모니터링 시스템 PC의 요청에 의해 상기 측정값을 측정하여 데이터 처리하는 모니터링 보드와, 상기 케이블에 구비되어 상기 카메라로 인가되는 직류전원의 전류 및 전압을 측정하여 상기 모니터링 보드로 전송하는 전류 및 전압 측정센서와, 상기 측성센서에서 전류 및 전압 측정값이 상기 셋팅값의 범위를 벋어나는 지를 판단하는 제어부를 포함하여 이루어진다.

상기 모니터링 시스템은 상기 모니터링 보드에 의해 데이터 처리된 상기 측정값을 로그(Log) 데이터로 저장 및 관리하는 내부 저장매체가 구비된 호스트(host) PC를 더 포함한다.

또한, 상기 모니터링 시스템은 상기 카메라에 공급되는 전원의 이상상태를 감지할 경우, 상기 제어부를 통해 출력되는 신호에 의해 사용자에게 상기 카메라의 전원 공급 이상상태를 알리는 경고출력부를 더 포함한다.

또한, 상기 경고 출력부는, 상기 측정값이 상기 셋팅값의 범위를 벗어난 경우, 상기 제어부에 의해 알람을 출력하는 알람출력수단과, 상기 알람출력수단에 따른 이상상태를 통신 네트워크를 통해 사용자의 PC 및 단말기에 전송하는 수신기를 포함하여 이루어진다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르면, 평판 디스플레이(FPD) 패널(panel)의 결함을 검출하는 검사 장비에 광학 검사 장비의 카메라 전원 공급 상태를 실시간으로 모니터링 하는 모니터링 시스템을 구비함으로써 케이블의 이상 상태를 실시간으로 점검하여 유지보수에 필요한 선 조치를 할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래의 광학 검사 장비의 개략도,
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 모니터링 시스템이 탑재된 광학 검사 장비의 개략도,
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 모니터링 시스템의 제어절차를 보여주기 위한 도면,
도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 모니터링 시스템 PC의 초기설정 기준을 보여주기 위한 도면,
도 5는 본 발명의 또 다른 일실시예에 따른 모니터링 시스템 PC의 초기설정 기준을 보여주기 위한 도면,
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 측정값-시간 그래프를 나타낸 도,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 측정값-시간 그래프에서 경고출력부가 작동되는 상태를 보여주기 위한 도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.

아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.

첨부된 도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 모니터링 시스템이 탑재된 광학 검사 장비의 개략도, 도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 모니터링 시스템의 제어절차를 보여주기 위한 도면, 도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 모니터링 시스템 PC의 초기설정 기준을 보여주기 위한 도면, 도 5는 본 발명의 또 다른 일실시예에 따른 모니터링 시스템 PC의 초기설정 기준을 보여주기 위한 도면, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 측정값-시간 그래프를 나타낸 도, 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 측정값-시간 그래프에서 경고출력부가 작동되는 상태를 보여주기 위한 도이다.

도 2 이하에 도시된 바와 같이, 본 발명은 광학 검사 장비의 카메라 전원 공급 실시간 모니터링 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이(FPD) 패널(panel)의 결함을 검출하는 검사 장비의 카메라(camera)(12)의 전원 공급 상태를 모니터링 하는 모니터링 시스템에 관한 것이다.

따라서 본 발명은 평판 디스플레이(FPD) 패널(panel)의 결함을 검출하는 광학 검사 장비에 카메라 전원 공급 상태를 실시간으로 모니터링 하는 모니터링 시스템을 구비함으로써 케이블(11)의 이상 상태를 실시간으로 점검하여 유지보수에 필요한 선 조치를 할 수 있는 모니터링 시스템을 제공하고자 한다.

이때, 상기 광학 검사 장비에는 직류전원을 발생시키는 전원공급장치(10) 및 상기 전원공급장치(10)의 직류전원을 상기 카메라(12)에 공급하는 케이블(11)이 구비된다.

더불어, 상기 카메라(12)는 하나 이상 구비될 수 있으며, 다수개 구비된 카메라 각각에 케이블(11)이 연결된다.

또한, 본 발명에 따른 모니터링 시스템은 상기 광학 검사장비의 작동 중에 상기 케이블(11)에 인가되는 전류 및 전압을 모니터링 하여 상기 케이블(11)의 손상을 실시간으로 확인함으로써 상기 카메라(12)의 전원 공급 상태를 모니터링 한다.

즉, 상기 전원공급장치(10)의 전원을 검출용 모듈을 통해 카메라에 전원을 공급하며, 미리 세팅한 셋팅값과 작동 중 검출된 측정값을 비교하여 케이블 상태를 실시간으로 확인한다.

이에 따라 상기 모니터링 시스템은 케이블의 완전 파손 이전에 증상 상태를 점검하여 유지 보수에 필요한 선 조치를 취할 수 있다.

또한, 케이블(11)의 이상 상태를 점검하여 선 조치함으로써 케이블 손상 영향에 따른 카메라 손상을 방지할 수 있다.

또한, 상기 모니터링 시스템은 정상상태로 상기 카메라(12)에 인가되는 직류전원의 전류 및 전압 셋팅값을 초기 세팅하고, 상기 광학 검사장비가 작동 중에 상기 카메라(12)에 인가되는 직류전원의 전류 및 전압 측정값을 측정하도록 요청하는 모니터링 시스템 PC(20)와, 상기 전원공급장치(10)에 연결되어 상기 모니터링 시스템 PC(20)의 요청에 의해 상기 측정값을 측정하여 데이터 처리하는 모니터링 보드(21)와, 상기 케이블(11)에 구비되어 상기 카메라(12)로 인가되는 직류전원의 전류 및 전압을 측정하여 상기 모니터링 보드(21)로 전송하는 전류 및 전압 측정센서(미도시)와, 상기 측정값이 상기 셋팅값의 범위를 벗어나는지를 판단하는 제어부를 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 셋팅값은 카메라에 정상적으로 전원이 공급되는 상태의 전압 및 전류의 최솟값과 최댓값의 범위이다.

즉, 상기 모니터링 시스템 PC(20)에서 DPMS(DC Power Monitoring System) 프로그램을 실행시키며, Request 명령을 통해 작동 중인 광학 검사장비의 케이블에 인가되는 전류 및 전압 값을 모니터링 보드(21)에 요청한다.

또한, 상기 모니터링 시스템은 상기 모니터링 보드(21)에 의해 데이터 처리된 상기 측정값을 로그(Log) 데이터로 저장 및 관리하는 내부 저장매체가 구비된 호스트(host) PC(23)를 더 포함할 수 있다.

이때, 상기 측정값을 로그(Log) 데이터로 저장함으로써 모니터링 중 이상 발생 시 발생 시점 및 이상 원인을 정확히 판단할 수 있으며, 모든 작동(Event) 시 로그(Log) 데이터를 저장한다.

또한, 상기 모니터링 시스템 PC(20)는 상기 각각의 카메라(12) 마다 상기 셋팅값의 범위를 시간에 따라 변화하는 상기 측정값에 따라 지정시킬 수 있다.

또한, 상기 모니터링 시스템은 상기 측정값이 상기 셋팅값의 범위를 벗어난 경우, 상기 제어부(22)를 통해 출력되는 경고신호에 의해 사용자에게 상기 카메라의 전원 공급 이상상태를 알리는 경고출력부(24)를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 경고출력부(24)는 상기 측정값이 상기 셋팅값의 범위를 벗어나는 경우, 상기 제어부(22)에 의해 알람을 출력하는 알람출력수단(25)과, 이상상태를 통신 네트워크를 통해 사용자의 PC 및 단말기에 전송하는 수신기(미도시)를 포함하여 이루어질 수 있다.

즉, 상기 케이블(11)에 측정된 전류 및 전압 측정값이 초기 세팅된 셋팅값의 범위에서 벗어난 경우(Spec out) 사용자에게 케이블 단선 및 불량을 알리며, 상기 측정값이 셋팅값의 범위 내에 있다면(Spec in) 계속 모니터링을 진행한다.

더불어, 상기 모니터링 시스템에는 상기 측정값의 시간대비 변화율(측정값의 기울기)을 측정하는 측정부(미도시)를 더 포함한다.

또한, 상기 제어부(22)는 상기 셋팅값의 범위 내에서 상기 측정부에서 측정된 상기 측정값의 시간대비 변화율이 소정값 이상이 되는지를 판단한다.

따라서 상기 제어부(22)는 상기 측정값이 상기 셋팅값의 범위 내에 있으면서 측정값의 시간대비 변화율이 소정값 이상이 된 경우, 상기 경고출력부(24)로 신호를 출력하여 상기 알람출력수단(25)을 작동시키며, 상기 수신기를 통해 이상상태를 사용자의 PC 및 단말기에 전송한다.

또한, 상기 측정부는 상기 시간대비 변화율의 방향이 (+)방향인지 (-)인지를 측정할 수 있다.

즉, 상기 측정값의 시간대비 변화율이 급격하게 증가하거나 감소한다는 것은 합선되기 직전이거나 단선되기 직전의 상태이다.

따라서 사용자에게 카메라의 전원 공급 이상상태와 시간대비 변화율(측정값의 기울기)의 방향을 함께 알려줌으로써 문제점을 보다 쉽게 찾을 수 있으며, 케이블(11)의 완전 파손 전에 유지보수가 가능하다.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.

10 : 전원 공급 장치 11 : 케이블
12 : 카메라 20 : 모니터링 시스템 PC
21 : 모니터링 보드 22 : 제어부
23 : 호스트 PC 24 : 경고출력부

Claims (5)

1. 검사 대상체의 결함을 검출하는 광학 검사 장비에 구비된 카메라의 전원 공급 상태를 모니터링 하는 모니터링 시스템으로, 상기 광학 검사 장비에는 직류전원을 발생시키는 전원공급장치 및 상기 전원공급장치에 직류전원을 상기 카메라에 공급하는 케이블이 구비되되,
   상기 모니터링 시스템은 상기 광학 검사 장비의 작동 중에 상기 케이블에 인가되는 전류 및 전압을 모니터링 하여 상기 케이블의 손상을 실시간으로 확인함으로써 상기 카메라의 전원 공급 상태를 모니터링 하는 모니터링 시스템에 있어서,
   상기 모니터링 시스템은, 정상상태로 상기 카메라에 인가되는 직류전원의 전류 및 전압 셋팅값을 초기 세팅하고, 상기 광학 검사 장비가 작동 중에 상기 카메라에 인가되는 직류전원의 전류 및 전압 측정값을 측정하도록 요청하는 모니터링 시스템 PC와,
   상기 전원공급장치에 연결되어 상기 모니터링 시스템 PC의 요청에 의해 상기 측정값을 측정하여 데이터 처리하는 모니터링 보드와,
   상기 케이블에 구비되어 상기 카메라로 인가되는 직류전원의 전류 및 전압을 측정하여 상기 모니터링 보드로 전송하는 전류 및 전압 측정센서와,
   상기 전류 및 전압 측정센서에서 전류 및 전압 측정값이 상기 셋팅값의 범위를 벗어나는 지를 판단하는 제어부를 포함하고,
   상기 모니터링 보드에 의해 데이터 처리된 상기 측정값을 로그(Log) 데이터로 저장 및 관리하는 내부 저장매체가 구비된 호스트(host) PC를 포함하며,
   상기 모니터링 시스템은,
   상기 카메라에 공급되는 전원의 이상 상태를 감지할 경우, 상기 제어부를 통해 출력되는 신호에 의해 사용자에게 상기 카메라의 전원 공급 이상 상태를 알리는 경고출력부를 포함하며,
   상기 경고 출력부는,
   상기 측정값이 상기 셋팅값의 범위를 벗어난 경우, 상기 제어부에 의해 알람을 출력하는 알람출력수단과, 이상 상태를 통신 네트워크를 통해 사용자의 PC 및 단말기에 전송하는 수신기를 포함하며,
   상기 모니터링 시스템 PC는 각각의 상기 카메라 마다 상기 셋팅값의 범위를 시간에 따라 변화하는 상기 측정값에 따라 지정시킬 수 있으며,
   상기 모니터링 시스템에는 상기 측정값의 시간대비 변화율을 측정하는 측정부를 더 포함하되,
   상기 제어부는 상기 셋팅값의 범위 내에서 상기 측정부에서 측정된 상기 측정값의 시간대비 변화율이 소정값 이상이 되는지를 판단하며,
   상기 측정값이 상기 셋팅값의 범위 내에 있으면서 측정값의 시간대비 변화율이 소정값 이상이 된 경우, 상기 경고출력부로 신호를 출력하여 상기 알람출력수단을 작동시키는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
   
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