KR101176913B1 - 핸들러의 리모트 콘트롤러 및 원격 제어 방법과, 이를 적용한 반도체 필름 테스트 제어 시스템 - Google Patents

핸들러의 리모트 콘트롤러 및 원격 제어 방법과, 이를 적용한 반도체 필름 테스트 제어 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 핸들러의 리모트 콘트롤러 및 원격 제어 방법과, 이를 적용한 반도체 필름 테스트 제어 시스템에 관한 것으로, 본 발명의 리모트 콘트롤러는, 반도체 필름을 테스트하는 장비인 핸들러의 동작을 제어하기 위한 리모트 콘트롤러에 있어서, 복수의 핸들러에 구비된 통신부와 각각 통신을 수행하여 핸들러에 구비되어 핸들러의 동작 상태를 감시하는 동작 감시부에 의해 감지된 핸들러의 동작 상태 정보를 수신하고, 동작 상태 정보에 기초하여 핸들러의 동작을 제어하기 위한 정보를 핸들러로 전송하는 무선 통신부; 핸들러의 동작 상태 정보를 사용자가 인지 가능하도록 출력하는 출력부; 동작 상태 정보에 기초하여 복수의 핸들러 중에서 동작의 제어가 필요한 핸들러를 선택할 수 있는 버튼이 구비된 제어 대상 핸들러 선택부; 선택된 핸들러에게 필요한 동작의 종류를 선택하기 위한 버튼이 구비된 동작 제어 선택부; 및 동작 상태 정보에 대응하여 제어 대상 핸들러 선택부에서 선택된 핸들러에게 동작 제어 선택부에서 선택된 동작 제어 명령을 전송하도록 무선 통신부를 제어하는 제어부;를 포함하여 구성되며, 이에 의해, 핸들러의 불량 발생에 대해 신속한 조치가 가능하여 작업 능률 및 생산성을 높일 수 있다.

Description

핸들러의 리모트 콘트롤러 및 원격 제어 방법과, 이를 적용한 반도체 필름 테스트 제어 시스템{Apparatus and Method for remote controlling of Handler, and System for controlling the testing of Semiconductor Film adapted the same}
본 발명은 핸들러의 리모트 콘트롤러에 관한 것으로, 보다 상세하게는, TCP(Tape Carrier Package) 또는 COF(Chip On Film)와 같은 반도체 필름을 테스트하는 핸들러의 리모트 콘트롤러 및 원격 제어 방법과, 이를 적용한 반도체 필름 테스트 제어 시스템에 관한 것이다.
반도체 소자의 검사공정은 반도체 소자를 웨이퍼 상태 혹은 패키지 상태로 제조를 완료한 후, 그 기능을 전기적으로 확인하는 공정을 말한다. 이러한 반도체 소자의 전기적 검사공정에 사용되는 주된 장비는, 테스트 서버(server), 테스터(tester) 및 핸들러(handler) 등이 있다.
이중에서 핸들러(Handler)는 반도체 소자를 전기적으로 검사하기 위해 온도 등의 외부조건을 제공하며, 전기적 검사를 위해 반도체 소자를 자동으로 이동시키며, 전기적 검사결과에 따른 반도체 소자의 분류를 담당하는 자동 로봇 장비이다. 핸들러는 반도체 소자의 제조공정에 있어서 다른 공정의 제조장비와 비교하여 상당히 높은 가격의 장비이다. 따라서 반도체 소자의 전기적 검사공정에서 검사효율을 높이는 것은 곧 제품의 경쟁력과 직결되는 문제이기 때문에, 반도체 소자 제조업체에서는 검사효율을 높이기 위해 여러 가지 방법들을 연구하여 추진하고 있다.
TCP(Tape Carrier Package)는 온도와 압력을 이용하여 폴리마이드(Polyimide Film)에 반도체 칩(Chip)을 붙이는 반도체 패키지 형태이고, COF(Chip On Film)는 일반 통신기기의 경박 단소화 요구 및 액정 패널의 파인 피치(Fine Pitch)에 대응하기 위해 등장한 새로운 형태의 패키지로서, 단가 인하 및 경쟁력 강화를 위하여 TCP와 대응하는 패키지로 점차 수요가 증가하고 있다.
이러한 반도체 필름의 테스트 공정은 컴퓨터를 이용하여 반제품의 외부전극에 프로브 팁(Probe Tip)을 접촉시켜 제품의 전기적 특성을 측정하여 이상 유무를 판별하고, 양품만을 선별해내는 공정이다. 이와 같은 테스트 공정을 위해 이용되는 장비가 핸들러이다.
핸들러는 테이프와 같은 필름에 일정 간격으로 정렬되어 테이프 자동 접합(TAB: Tape automated Bonding)된 반도체 칩의 불량 여부를 테스트한다. 이때 반도체 칩이 접합된 필름은 릴(Reel)에 감겨져서 자동으로 이송되면서, 핸들러에 의해 반도체 칩이 테스트된다.
도 1은 종래 기술에 의한 반도체 필름의 테스트를 위한 핸들러를 관리하는 예를 설명하기 위한 도면이다.
도시된 바와 같이, 작업자(20)는 일정 공간에 배치되어 설치된 복수의 핸들러들(10,11,12,13,14,15,16,17)의 동작을 관리한다. 이러한 기존의 핸들러 제어 방법은 작업자(20)가 핸들러들(10,11,12,13,14,15,16,17)의 동작 상태를 일일이 확인하면서 해당 핸들러의 동작 불량 여부를 확인하고, 필요한 조치를 취하도록 구성되어 있다.
예를 들어, 작업자(20)가 필름이 감긴 릴(Reel)을 제8 핸들러(17)에 교체하는 작업을 수행하는 중에, 제1 핸들러(10)에서 동작 불량(BIN2)이 발생할 수 있다. 이 경우, 작업자(20)는 제1 핸들러(10)의 동작 불량에 대해, 즉각적인 조치가 불가능하다. 또한, 동작 불량에 대한 조치를 취하기 위해 작업자(20)가 직접 제1 핸들러(10)로 이동해야하기 불편함이 있고, 이에 따른 조치 시간이 늦어지게 되는 단점이 있다.
이러한 시스템 특성 때문에, 작업자(20)는 복수의 핸들러들(10,11,12,13,14,15,16,17) 각각에 대해 동작 상태 불량의 발생 여부에 주시하여야하고 동작 불량이 발생한 핸들러에 직접 이동하여 조치를 취해주어야 하기 때문에, 작업자(20)는 쉽게 피로해질 수 있으며 작업 능률 및 생산성이 떨어질 수 있는 우려가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, TCP/COF와 같은 반도체 필름을 테스트하는 복수의 핸들러를 관리하는 작업자에게 작업의 피로감을 덜어주면서 작업 능률을 향상시킬 수 있는 핸들러의 리모트 콘트롤러 및 이를 이용한 원격 제어 방법과 반도체 필름 테스트 제어 시스템을 제공하는 데 있다
본 발명의 다른 목적은, 복수의 핸들러들의 동작 불량에 대해 신속한 조치가 가능하고 이에 따른 핸들러의 생산량 증가가 가능하도록 하는 핸들러의 리모트 콘트롤러 및 이를 이용한 원격 제어 방법과 반도체 필름 테스트 제어 시스템을 제공하는 데 있다
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 반도체 필름을 테스트하는 장비인 핸들러의 동작을 제어하기 위한 리모트 콘트롤러는, 복수의 상기 핸들러에 구비된 통신부와 각각 통신을 수행하여 상기 핸들러에 구비되어 상기 핸들러의 동작 상태를 감시하는 동작 감시부에 의해 감지된 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 수신하고, 상기 동작 상태 정보에 기초하여 상기 핸들러의 동작을 제어하기 위한 정보를 상기 핸들러로 전송하는 무선 통신부; 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 사용자가 인지 가능하도록 출력하는 출력부; 상기 동작 상태 정보에 기초하여 복수의 상기 핸들러 중에서 동작의 제어가 필요한 상기 핸들러를 선택할 수 있는 버튼이 구비된 제어 대상 핸들러 선택부; 선택된 상기 핸들러에게 필요한 동작의 종류를 선택하기 위한 버튼이 구비된 동작 제어 선택부; 및 상기 동작 상태 정보에 대응하여 상기 제어 대상 핸들러 선택부에서 선택된 상기 핸들러에게 상기 동작 제어 선택부에서 선택된 동작 제어 명령을 전송하도록 상기 무선 통신부를 제어하는 제어부;를 포함하여 구성된다.
본 발명의 실시예에 따른 핸들러 리모트 콘트롤러는, 복수의 상기 핸들러를 식별하기 위한 핸들러 식별 정보, 상기 핸들러의 동작 상태 정보, 및 상기 핸들러의 동작 제어 명령 정보를 저장하는 저장부;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
본 실시예에서 상기 저장부는 상기 핸들러의 동작 상태 정보에 따라 발생 가능한 상기 핸들러의 동작 불량 종류 정보, 동작 불량 대상 정보, 상기 동작 불량에 따른 상기 핸들러의 동작 제어를 위한 처리 대응 안내 정보, 및 처리 대응 상세 요구 정보를 더 저장한다.
본 실시예에서 상기 출력부는, 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 문자로 표시하는 표시부, 및 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 오디오로 출력하는 스피커 중 적어도 하나를 포함한다.
본 실시예에서 상기 핸들러의 동작 상태 정보는, 상기 핸들러의 식별정보, 및 상기 식별정보를 갖는 상기 핸들러의 동작 불량 종류 정보를 포함한다.
또한, 상기 핸들러의 동작 상태 정보는, 상기 핸들러의 불량 종류에 따른 불량 대상 정보, 처리 대응 안내 정보, 및 처리 대응 상세 요구 정보를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 반도체 필름을 테스트하는 장비인 핸들러의 동작을 제어하기 위한 리모트 콘트롤러를 이용한 핸들러 원격 제어 방법은, 상기 리모트 콘트롤러에 구비된 제어부가, 구비된 무선 통신부를 통해 복수의 상기 핸들러에 구비된 통신부와 각각 통신을 수행하여 상기 핸들러에 구비되어 상기 핸들러의 동작 상태를 감시하는 동작 감시부에 의해 감지된 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 수신하는 단계; 수신한 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 구비된 표시부를 통해 사용자가 인지 가능하도록 표시하는 단계; 표시된 상기 동작 상태 정보에 기초하여 구비된 제어 대상 핸들러 선택부를 통해 상기 사용자로부터 입력되는 명령에 따라 복수의 상기 핸들러 중에서 동작의 제어가 필요한 상기 핸들러의 식별정보를 선택받는 단계; 선택된 상기 핸들러에게 필요한 동작의 종류를 상기 사용자로부터 입력되는 명령에 따라 구비된 동작 제어 선택부를 통해 선택받는 단계; 및 상기 동작 상태 정보에 대응하여 상기 사용자에 의해 상기 제어 대상 핸들러 선택부에서 선택된 상기 핸들러에게 상기 동작 제어 선택부에서 선택된 동작 제어 명령을 상기 무선 통신부를 통해 전송하는 단계;를 포함하여 구성된다.
본 실시예에서 상기 핸들러의 동작 상태 정보는, 상기 핸들러의 식별정보, 상기 식별정보를 갖는 상기 핸들러의 동작 불량 종류 정보, 상기 핸들러의 불량 종류에 따른 불량 대상 정보, 처리 대응 안내 정보, 및 처리 대응 상세 요구 정보를 포함하한다.
한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 반도체 필름 테스트 제어 시스템은, 반도체 필름을 테스트하는 장비로서, 무선 통신이 가능한 통신부, 상기 반도체 필름의 테스트 동작 상태를 감시하는 동작 감시부, 및 감시 결과에 따른 동작 상태 정보를 상기 통신부를 통해 무선으로 전송하고 상기 동작 상태 정보에 대응하여 상기 통신부에 수신되는 동작 제어 명령에 대응하여 상기 반도체 필름의 테스트 동작을 제어하는 동작 제어부를 각각 구비하는 복수의 핸들러; 및 상기 통신부와 무선 통신을 수행하여 상기 핸들러로부터 전송된 상기 동작 상태 정보를 수신하고 상기 동작 상태 정보에 기초하여 상기 핸들러의 동작을 제어하기 위한 상기 동작 제어 명령을 상기 핸들러로 전송하는 무선 통신부, 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 표시하는 표시부, 표시된 상기 동작 상태 정보에 기초하여 복수의 상기 핸들러 중에서 동작의 제어가 필요한 상기 핸들러를 선택할 수 있는 버튼이 구비된 제어 대상 핸들러 선택부, 선택된 상기 핸들러에게 필요한 동작의 종류를 선택하기 위한 버튼이 구비된 동작 제어 선택부, 및 상기 동작 상태 정보에 대응하여 상기 제어 대상 핸들러 선택부에서 선택된 상기 핸들러에게 상기 동작 제어 선택부에서 선택된 동작 제어 명령을 전송하도록 상기 무선 통신부를 제어하는 제어부를 구비하는 핸들러 리모트 콘트롤러;를 포함하여 구성된다.
본 발명에 따르면, 복수의 핸들러들과 무선으로 통신을 수행하는 핸들러 리모트 콘트롤러를 이용하여 핸들러로부터 핸들러 리모트 콘트롤러로 전송되는 핸들러의 동작 상태 정보에 기초하여 핸들러에 불량이 발생한 것으로 판단되면 작업자가 불량이 발생한 핸들러로 직접 이동하지 않고도 핸들러 리모트 콘트롤러를 조작하여 동작 불량이 발생한 핸들러의 동작을 원격으로 제어할 수 있어, 불량에 따른 신속한 조치가 가능하여 작업 능률 및 생산성을 높일 수 있고 불량 발생에 따른 조치를 위한 작업자의 피로도를 줄일 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래 기술에 의한 반도체 필름의 테스트를 위한 핸들러를 관리하는 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 적용되는 복수의 핸들러들과 리모트 콘트롤러의 시스템 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 도 2에 도시된 핸들러에 구비되는 제어박스의 구성 예를 도시한 블록도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 도 2에 도시된 리모트 콘트롤러의 구성 예를 도시한 블록도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 도 4에 도시된 리모트 콘트롤러를 제품으로 구현할 시, 제품의 외부에 구비되는 구성 요소를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 핸들러로부터 전송되는 핸들러의 동작 상태 정보에 포함되는 정보의 예를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 반도체 필름을 테스트하는 장비인 핸들러의 동작을 제어하기 위한 리모트 콘트롤러를 이용한 핸들러 원격 제어 방법을 도시한 흐름도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 적용되는 복수의 핸들러들과 리모트 콘트롤러의 시스템 구성을 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 복수의 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)은 핸들러 리모트 콘트롤러(100)와 각각 통신을 수행하는데, 본 실시예에서는 상호 무선 통신을 수행하는 것으로 설정한다. 이때, 작업자(20)는 핸들러 리모트 콘트롤러(100)를 휴대하면서 작업을 하고, 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)과의 통신을 통해 전송되는 핸들러의 동작 상태 정보를 핸들러 리모트 콘트롤러(100)에 수신하여 각각의 핸들러들에 대한 동작 상태를 확인한다.
즉, 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)은 각각 반도체 필름의 테스트 동작 중에 일정 시간 간격 또는 동작 불량이 발생한 경우에, 핸들러의 현재 동작 상태를 나타내는 동작 상태 정보를 핸들러 리모트 콘트롤러(100)로 전송한다.
핸들러 리모트 콘트롤러(100)는 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)로부터 전송된 핸들러의 동작 상태 정보를 수신하여 표시하고, 작업자(20)로부터 입력되는 명령에 따른 핸들러의 동작 제어 명령을 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37) 중 선택된 핸들러로 전송한다.
핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)은 핸들러 리모트 콘트롤러(100)로부터 전송된 동작 제어 명령에 따라 반도체 필름의 테스트 동작을 제어한다.
이에 따라, 작업자(20)는 동작 불량이 발생한 핸들러로 직접 이동하여 조치를 취할 필요가 없는 불량에 대해서, 핸들러로 이동하지 않고 핸들러 리모트 콘트롤러(100)를 조작하여 원격으로 불량이 발생한 핸들러의 동작을 제어할 수 있는 장점이 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 도 2에 도시된 핸들러에 구비되는 제어박스의 구성 예를 도시한 블록도이다.
도시된 바와 같이, 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)에 각각 구비된 제어박스는, 동작 제어부(41), 제어버튼(42), 상태 표시부(43), 저장부(44), 동작 감시부(45), 및 통신부(46)를 포함하여 구성된다.
동작 제어부(41)는 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37)의 반도체 필름 테스트 동작을 제어하고, 제어버튼(42)은 동작 제어부(41)의 제어 동작을 수동으로 제어하기 위한 명령을 입력하기 위한 키 버튼이다.
상태 표시부(43)는 동작 제어부(41)의 제어에 따라 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태를 표시하며, 본 발명의 실시예에 따라 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 반도체 필름에 대한 테스트 동작 상태를 표시한다.
저장부(44)는 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 반도체 필름 테스트 동작에 필요한 프로그램을 저장하고, 본 발명의 실시예에 따라 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태 정보 및 동작 불량에 따른 조치 가능 정보를 저장할 수도 있다.
동작 감시부(45)는 동작 제어부(41)의 제어에 따라 반도체 필름의 테스트 동작을 수행하는 중에 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작의 불량 여부를 판별하기 위해 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태를 감시한다. 동작 제어부(41)는 동작 감시부(45)의 감시에 의해 얻어진 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태 정보, 특히 동작 불량 정보를 상태 표시부(43)를 통해 표시한다.
이때, 동작 제어부(41)는 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)에 의해 동시에 테스트되는 필름이 복수 개인 경우, 불량이 발생한 해당 필름의 식별정보를 함께 상태 표시부(43)에 표시한다. 또한, 동작 제어부(41)는 동작 감시부(45)에 의해 얻어진 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 불량 종류에 따른 조치 가능 정보를 저장부(44)로부터 검출하여 동작 상태 정보와 함께 상태 표시부(43)에 표시할 수도 있다.
통신부(46)는 핸들러 리모트 콘트롤러(100)와 무선으로 통신을 수행하여, 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태 및 제어에 필요한 정보를 송수신한다. 본 발명의 실시예에서, 동작 제어부(41)는 동작 감시부(45)에서 얻어진 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태 정보를 핸들러 리모트 콘트롤러(100)로 전송한다. 이때, 동작 제어부(41)는 동작 상태 정보에 따라 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)에 동작 불량이 발생한 경우, 동작 불량에 따른 조치 가능 정보를 함께 전송할 수도 있다.
이에 대하여, 핸들러 리모트 콘트롤러(100)로부터 동작 불량이 발생한 핸들러의 동작 제어 명령이 통신부(46)에 수신되면, 동작 불량이 발생한 핸들러에 구비된 동작 제어부(41)는 수신된 동작 제어 명령에 따라 핸들러의 반도체 필름 테스트 동작의 조치 동작을 제어한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 도 2에 도시된 리모트 콘트롤러(100)의 구성 예를 도시한 블록도이다.
도시된 바와 같이 핸들러 리모트 콘트롤러(100)는 제어부(110), 무선 통신부(120), 표시부(130), 스피커(140), 저장부(150), 제어대상 핸들러 선택부(160), 및 동작제어 선택부(170)를 포함하여 구성된다.
제어부(110)는 핸들러 리모트 콘트롤러(100)의 전반적인 동작을 제어하고, 본 발명의 실시예에 따라 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작을 원격으로 제어하기 위한 동작을 제어한다.
무선 통신부(120)는 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)과 무선으로 통신으로 수행하여 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태 정보 및 원격 제어에 필요한 정보를 송수신한다.
표시부(130)는 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)로부터 무선 통신부(120)에 수신된 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태 정보를 표시한다. 스피커(140)는 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)로부터 무선 통신부(120)에 수신된 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태 정보를 청취 가능한 주파수 대역으로 변환하여 출력한다.
저장부(150)는 핸들러 리모트 콘트롤러(100)의 전반적인 동작을 제어하고, 본 발명의 실시예에 따라 복수의 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)을 식별하기 위한 핸들러 식별 정보, 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)로부터 수신한 핸들러의 동작 상태 정보, 및 핸들러들(30,31,32,33,34,35,36,37)에게 전송된 동작 제어 명령 정보 등을 저장한다. 본 실시예에서 저장부(150)는 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태 정보에 따라 발생 가능한 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 불량 종류 정보, 동작 불량 대상 정보, 동작 불량에 따른 핸들러의 동작 제어를 위한 처리 대응 안내 정보, 및 처리 대응 상세 요구 정보를 추가로 저장할 수도 있다.
이에 따라, 제어부(110)는 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작 상태 정보를 표시부(130)에 표시할 때, 동작 상태 정보를 전송한 핸들러의 식별정보, 설정된 형식(BIN)의 동작 불량 종류정보, 동작 불량 대상 정보, 처리 대응 안내 정보, 및 처리 대응 상세 요구 정보 등을 추가로 표시부(130)에 표시할 수도 있다.
제어대상 핸들러 선택부(160)는 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37)로부터 수신된 핸들러의 동작 상태 정보에 기초하여, 복수의 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37) 중에서 동작의 제어가 필요한 핸들러를 선택할 수 있는 버튼이 구비되어 있다. 본 실시예에서 제어대상 핸들러 선택부(160)는 핸들러의 식별정보(PET)와 대응되게 동일한 숫자가 매칭되도록 설정된다. 예를 들어, 숫자 '1'이 선택되면, 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37) 중 제1 핸들러(30)가 선택된 것으로 인식된다.
동작제어 선택부(170)는 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37) 중에서 제어대상 핸들러 선택부(160)에서 선택된 핸들러에게 동작 불량을 조치하기 위해 필요한 동작의 종류를 선택할 수 있는 동작 제어 명령 선택 버튼이 구비한다. 본 실시예에서 동작제어 선택부(170)는 기본적으로 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37)의 동작을 재개하기 위한 명령(시작명령)과, 동작을 멈추게 하기 위한 명령(정지명령)을 입력하기 위한 버튼을 구비한다.
제어부(110)는 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37)로부터 전송되어 수신된 핸들러의 동작 상태 정보에 대응하여 제어 대상 핸들러 선택부(160)에서 작업자(20)에 의해 선택된 핸들러에게 동작 제어 선택부(170)에서 선택된 동작 제어 명령을 전송하도록 무선 통신부를 제어한다.
이에 따라, 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37)는 핸들러 리모트 콘트롤러(100)로부터 전송된 동작 제어 명령에 따라, 핸들러의 동작을 제어한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 도 4에 도시된 핸들러 리모트 콘트롤러(100)를 제품으로 구현할 시, 제품의 외부에 구비되는 구성 요소를 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 핸들러 리모트 콘트롤러(100)는 제품의 외부에 스피커(140), 표시부(130), 제어대상 핸들러 선택부(160), 및 동작제어 선택부(170)가 구비되어 있다.
표시부(130)에는 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37)로부터 전송되어 수신된 핸들러의 식별정보 및 동작 불량정보가 표시된다. 도면에서는, 제1 핸들러(PET 1)(30)가 설정된 동작 불량 종류 정보(BIN 2)를 표시하고 있는 상태를 보여주고 있다.
제어대상 핸들러 선택부(160)에는 핸들러 식별정보에 대응하여 동작 제어를 위한 핸들러의 선택에 필요한 숫자 버튼이 구비되어 있다.
동작제어 선택부(170)에는 선택된 핸들러의 동작 제어 명령을 입력하기 위한 버튼이 구비되어 있다. 본 실시예에서는 핸들러의 동작 시작 및 동작 정지 명령을 입력할 수 있는 버튼이 구비되어 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 핸들러로부터 전송되는 핸들러의 동작 상태 정보에 포함되는 정보의 예를 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 핸들러의 동작 상태 정보에 따라 핸들러가 동작 불량인 것을 나타내는 정보인 경우, 이에 포함되는 동작 상태 정보는 핸들러의 동작 불량 종류 정보(BIN Category)(151), 핸들러의 불량 종류에 따른 불량 대상 정보(Item)(152), 처리 대응 안내 정보(Flow)(153), 및 처리 대응 상세 요구 정보(확인정보)(154)를 포함한다.
동작 불량 종류 정보(151)가 BIN 2, BIN 3, BIN 4인 불량은 핸들러의 프로브 카드와 반도체 필름의 접촉성 불량을 나타낸 것으로, 이 경우에는 작업자의 확인이 필요함을 안내하고 있다.
동작 불량 종류 정보(151)가 BIN 11, BIN 12, BIN 13인 불량은 반도체 필름의 전기적 오프셋(offset)을 조정(calibration)이 필요한 불량을 나타낸 것으로, 이 경우에는 작업자의 확인이 필요함을 안내하고 있다.
동작 불량 종류 정보(151)가 BIN 5, BIN , BIN 7, BIN 8, BIN 9, BIN 10, BIN 14, BIN 15인 불량은 반도체 필름의 출력 DC 전압 테스트에 따른 불량을 나타낸 것으로, 이 경우에는 핸들러의 재시작이 필요함을 안내하고 있다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 반도체 필름을 테스트하는 장비인 핸들러의 동작을 제어하기 위한 리모트 콘트롤러를 이용한 핸들러 원격 제어 방법을 도시한 흐름도이다.
먼저, 핸들러 리모트 콘트롤러(100)의 제어부(110)는 핸들러(30,31,32,33,34,35,36,37)로부터 전송되는 핸들러의 동작 상태 정보를 무선 통신부(120)를 통해 수신하여(S110), 수신한 핸들러의 동작 상태 정보를 표시부(130)를 통해 표시한다(S120).
이때, 제어부(110)는 수신한 핸들러의 동작 상태 정보가 핸들러의 동작 불량 정보인지를 판단하고(S130), 동작 불량 정보이면 동작 불량 핸들러의 식별 정보를 작업자(20)가 선택하도록 대기한다(S140). 이때 동작 불량에 따른 동작 제어가 필요한 핸들러의 식별정보가 선택되면(S150), 제어부(110)는 선택된 식별정보에 따라 선택된 핸들러의 선택정보를 저장부(150)에 저장하고, 선택된 핸들러에 대한 동작 제어 명령의 선택을 대기한다(S160).
이에 대해, 동작 제어 명령이 선택되면(S170), 제어부(110)는 선택된 동작 제어 명령에 따라 선택된 핸들러가 동작되도록, 선택된 핸들러로 선택된 동작 제어 명령을 전송한다(S180).
이에 따라, 핸들러 리모트 콘트롤러(100)로부터 전송된 핸들러 선택 식별정보 및 동작 제어 명령을 수신한 핸들러는, 수신한 명령에 따라 반도체 필름에 대한 테스트 동작을 수행한다.
이상에서는 본 발명에서 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허 청구의 범위에서 첨부하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 및 균등한 타 실시가 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부한 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 반도체 필름을 테스트하는 장비인 핸들러의 동작을 제어하기 위한 리모트 콘트롤러에 있어서,
    복수의 상기 핸들러에 구비된 통신부와 각각 통신을 수행하여 상기 핸들러에 구비되어 상기 핸들러의 동작 상태를 감시하는 동작 감시부에 의해 감지된 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 수신하고, 상기 동작 상태 정보에 기초하여 상기 핸들러의 동작을 제어하기 위한 정보를 상기 핸들러로 전송하는 무선 통신부;
    상기 핸들러의 동작 상태 정보를 사용자가 인지 가능하도록 출력하는 출력부;
    상기 동작 상태 정보에 기초하여 복수의 상기 핸들러 중에서 동작의 제어가 필요한 상기 핸들러를 선택할 수 있는 버튼이 구비된 제어 대상 핸들러 선택부;
    선택된 상기 핸들러에게 필요한 동작의 종류를 선택하기 위한 버튼이 구비된 동작 제어 선택부;
    상기 동작 상태 정보에 대응하여 상기 제어 대상 핸들러 선택부에서 선택된 상기 핸들러에게 상기 동작 제어 선택부에서 선택된 동작 제어 명령을 전송하도록 상기 무선 통신부를 제어하는 제어부; 및
    복수의 상기 핸들러를 식별하기 위한 핸들러 식별 정보, 상기 핸들러의 동작 상태 정보, 및 상기 핸들러의 동작 제어 명령 정보를 저장하는 저장부;
    를 포함하는 핸들러 리모트 콘트롤러.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 저장부는 상기 핸들러의 동작 상태 정보에 따라 발생 가능한 상기 핸들러의 동작 불량 종류 정보, 동작 불량 대상 정보, 상기 동작 불량에 따른 상기 핸들러의 동작 제어를 위한 처리 대응 안내 정보, 및 처리 대응 상세 요구 정보를 더 저장하는 것을 특징으로 하는 핸들러 리모트 콘트롤러.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 출력부는,
    상기 핸들러의 동작 상태 정보를 문자로 표시하는 표시부, 및 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 오디오로 출력하는 스피커 중 적어도 하나를 포함하는 핸들러 리모트 콘트롤러.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 핸들러의 동작 상태 정보는, 상기 핸들러의 식별정보, 및 상기 식별정보를 갖는 상기 핸들러의 동작 불량 종류 정보를 포함하는 핸들러 리모트 콘트롤러.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 핸들러의 동작 상태 정보는, 상기 핸들러의 불량 종류에 따른 불량 대상 정보, 처리 대응 안내 정보, 및 처리 대응 상세 요구 정보를 더 포함하는 핸들러 리모트 콘트롤러.
  7. 삭제
  8. 반도체 필름을 테스트하는 장비인 핸들러의 동작을 제어하기 위한 리모트 콘트롤러를 이용한 핸들러 원격 제어 방법에 있어서,
    상기 리모트 콘트롤러에 구비된 제어부가,
    구비된 무선 통신부를 통해 복수의 상기 핸들러에 구비된 통신부와 각각 통신을 수행하여 상기 핸들러에 구비되어 상기 핸들러의 동작 상태를 감시하는 동작 감시부에 의해 감지된 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 수신하는 단계;
    수신한 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 구비된 표시부를 통해 사용자가 인지 가능하도록 표시하는 단계;
    표시된 상기 동작 상태 정보에 기초하여 구비된 제어 대상 핸들러 선택부를 통해 상기 사용자가 입력하는 명령에 따라 복수의 상기 핸들러 중에서 동작의 제어가 필요한 상기 핸들러의 식별정보의 선택을 입력받는 단계;
    선택된 상기 핸들러에게 필요한 동작의 종류를 선택하는 상기 사용자로부터의 명령에 따라 동작 제어 선택부를 통해 선택을 입력받는 단계; 및
    상기 동작 상태 정보에 대응하여 상기 사용자에 의해 상기 제어 대상 핸들러 선택부에서 선택된 상기 핸들러에게 상기 동작 제어 선택부에서 선택된 동작 제어 명령을 상기 무선 통신부를 통해 전송하는 단계;
    를 포함하며,
    상기 핸들러의 동작 상태 정보는, 상기 핸들러의 식별정보, 상기 식별정보를 갖는 상기 핸들러의 동작 불량 종류 정보, 상기 핸들러의 불량 종류에 따른 불량 대상 정보, 처리 대응 안내 정보, 및 처리 대응 상세 요구 정보를 포함하는 핸들러 원격 제어 방법.
  9. 반도체 필름을 테스트하는 장비로서, 무선 통신이 가능한 통신부, 상기 반도체 필름의 테스트 동작 상태를 감시하는 동작 감시부, 및 감시 결과에 따른 동작 상태 정보를 상기 통신부를 통해 무선으로 전송하고 상기 동작 상태 정보에 대응하여 상기 통신부에 수신되는 동작 제어 명령에 대응하여 상기 반도체 필름의 테스트 동작을 제어하는 동작 제어부를 각각 구비하는 복수의 핸들러; 및
    상기 통신부와 무선 통신을 수행하여 상기 핸들러로부터 전송된 상기 동작 상태 정보를 수신하고 상기 동작 상태 정보에 기초하여 상기 핸들러의 동작을 제어하기 위한 상기 동작 제어 명령을 상기 핸들러로 전송하는 무선 통신부, 상기 핸들러의 동작 상태 정보를 표시하는 표시부, 표시된 상기 동작 상태 정보에 기초하여 복수의 상기 핸들러 중에서 동작의 제어가 필요한 상기 핸들러를 선택할 수 있는 버튼이 구비된 제어 대상 핸들러 선택부, 선택된 상기 핸들러에게 필요한 동작의 종류를 선택하기 위한 버튼이 구비된 동작 제어 선택부, 및 상기 동작 상태 정보에 대응하여 상기 제어 대상 핸들러 선택부에서 선택된 상기 핸들러에게 상기 동작 제어 선택부에서 선택된 동작 제어 명령을 전송하도록 상기 무선 통신부를 제어하는 제어부를 구비하는 핸들러 리모트 콘트롤러;
    를 포함하는 반도체 필름 테스트 제어 시스템.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 핸들러의 동작 상태 정보는, 상기 핸들러의 식별정보, 상기 식별정보를 갖는 상기 핸들러의 동작 불량 종류 정보, 상기 핸들러의 불량 종류에 따른 불량 대상 정보, 처리 대응 안내 정보, 및 처리 대응 상세 요구 정보를 포함하는 반도체 필름 테스트 제어 시스템.
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