KR101326273B1 - 반도체 검사시스템 - Google Patents

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Abstract

반도체소자를 검사하기 위한 테스트헤드 및 테스트장치를 제어하고 검사결과를 전달받는 메인컴퓨터와, 테스트헤드 및 테스트장치 및 메인컴퓨터 각각에 상호 신호를 송수신하도록 연결되고 테스트헤드 및 테스트장치의 검사결과 및 동작상대정보를 전달받는 마스터와, 반도체소자의 검사항목별 테스트헤드 및 테스트장치에 해당되는 고유 ID를 가지며, 검사결과 및 테스트헤드 및 테스트장치의 작동상태정보를 적어도 2가지 이상의 컬러로 표시하도록 마스터에 의해 동작제어되는 복수의 슬레이브를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사시스템이 개시된다.

Description

반도체 검사시스템{A SYSTEM FOR TESTING SEMICONDUCTOR}
본 발명은 반도체 검사시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 생산 후 출고 전 거치는 검사공정에서 검사설비 및 검사장치의 동작상태는 물론, 반도체의 양품 및 불량품을 용이하게 선별할 수 있는 반도체 검사시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체를 제조하는 공정은 대략 300 단계가 넘는 무수한 복잡한 공정을 거쳐 한 개의 반도체가 제조되는데, 이 공정은 웨이퍼(Wafer)를 제조하는 전 공정과 웨이퍼 이후 패키지별로 제조되는 후 공정으로 크게 구분될 수 있다.
그리고 상기 웨이퍼의 이후 공정에서는 하나의 웨이퍼 표면에 칩(Chip)들의 불량 여부를 체크하고, 상기 칩들의 상태에 따라 절단 및 분류하게 된다. 그리고 낱개로 분리된 칩 중 정상적인 칩을 리드 프레임(Lead Frame)에 올려놓고 와이어 본딩(Bonding) 공정을 거치게 된다. 이후, 몰딩(Molding) 공정을 거쳐 상기 칩의 표면을 외부로부터 보호하고, 단위 패키지별로 절단되어 각종 테스트를 수행하여 하나의 반도체소자가 제조되는 것이다.
종래의 반도체소자 테스트장치가 대한민국 공개특허 제10-2008-0096021호에 개시되어 있다.
개시된 종래의 기술에 의하면, 반도체를 자동으로 테스트하기 위한 테스트장비의 동작의 정상유부를 센서부에 의한 동작신호를 근거로 점등되는 다수의 스위치램프를 통해 확인할 수 있는 구성이다.
그런데 이와 같은 종래의 기술에 의하면, 단순히 온/오프 구동에 의한 스위치램프의 동작에 의해서 테스트장비의 동작상태만을 확인할 수 있기 때문에, 실질적으로 테스트장비가 정상적인 동작을 하는 것인지 확인이 불가능하고, 또한 테스트대상인 반도체소자의 정상 및 비정상 여부를 작업자가 외부에서 확인하기 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 창안된 것으로서, 반도체 테스트장비의 정상적인 동작 여부는 물론 테스트대상의 양품 및 불량 여부에 대한 정보를 용이하게 확인할 수 있도록 하는 반도체 검사시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 검사시스템은, 반도체소자를 검사하기 위한 테스트헤드 및 테스트장치를 제어하고, 검사결과를 전달받는 메인컴퓨터와; 상기 테스트헤드 및 테스트장치 및 상기 메인컴퓨터 각각에 상호 신호를 송수신하도록 연결되고, 상기 테스트헤드 및 테스트장치의 검사결과 및 동작상대정보를 전달받는 마스터와; 상기 반도체소자의 검사항목별 테스트헤드 및 테스트장치에 해당되는 고유ID를 가지며, 검사결과 및 상기 테스트헤드 및 테스트장치의 작동상태정보를 적어도 2가지 이상의 컬러로 표시하도록 상기 마스터에 의해 동작제어되는 복수의 슬레이브;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 메인컴퓨터는, 상기 테스트헤드 및 테스트장치를 제어하는 제어부와; 상기 테스트할 반도체소자의 양품 및 불량품의 기준값, 상기 슬레이브의 ID를 설정하는 입력부와; 입력정보 및 수신정보 및 출력정보를 표시하는 모니터; 및 상기 테스트헤드와 테스트장치 및 마스터와의 상호 정보의 송/수신을 위한 송/수신부;를 포함하여, 상기 제어부는 상기 입력부로 입력된 기준값과 상기 테스트헤드 및 테스트장치로부터 전달된 검사결과값을 상기 송/수신부를 통해 상기 마스터로 전달하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 마스터는 상기 슬레이브 ID의 중복 설정시, 상기 기준값의 미 수신시, 상기 테스트헤드 및 테스트장치의 검사결과의 미 수신시 해당 슬레이브의 출력값을 제어하여 적어도 2가지 이상의 컬러 또는 도트를 포함하는 기호로 출력하여 나타나도록 제어하는 것이 좋다.
또한, 상기 슬레이브는 2가지 이상의 컬러로 기호 및 문자출력이 가능한 바이컬러 세븐 세그먼트(Bi-Color 7-Segment)를 포함하는 것이 좋다.
본 발명의 반도체 검사시스템에 따르면, 다수의 슬레이브를 바이컬러 세븐 세그먼트로 적용하여 마스터로부터 전달받은 정보를 다양한 컬러 및 기호로 표시하도록 함으로써, 테스트헤드 및 테스트장치의 상태(정상상태, 이상동작상태 등)와, 테스트결과를 보다 정밀하고 다양하게 확인할 수 있도록 하고, 메인 컴퓨터를 물론, 테스트장치의 외관에서도 쉽게 확인할 수 있는 이점이 있다.
또한, 메인컴퓨터와 마스터 각각이 서로 수신한 정보를 상호 교환할 수 있는 구성을 가짐으로써, 잘못 입력된 정보(슬레이브 설정 ID 등)에 대한 오류 등을 확인할 수 있고, 잘못 입력된 정보를 메인컴퓨터를 통해 수정할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사시스템을 설명하기 위한 블록 구성도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사시스템을 자세히 설명하기로 한다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사시스템(100)은, 반도체를 테스트하기 위한 테스트헤드(10) 및 테스트장치(20)를 제어하는 메인컴퓨터(30)와, 상기 테스트헤드(10)와 테스트장치(20) 및 메인 컴퓨터(30)와 통신 가능한 마스터(40)와, 상기 마스터(40)로부터의 출력신호에 따라서 상기 테스트헤드(10) 및 테스트장치(20) 및 테스트대상 반도체의 이상 유무에 대한 정보를 서로 다른 컬러로 점등하여 보여주는 복수의 슬레이브(50)를 구비한다.
여기서, 검사할 대상물인 반도체소자는 그 검사대상 항목이 수십 가지 이상이며, 대표적인 것이 입력, 출력/출력 전압 및 전류, 온도, 위치 등이 있으며, 이러한 각종 검사항목을 검사하기 위한 테스트헤드(10)가 반도체 소자의 종류별로 다수 구비될 수 있으며, 테스트장치(20) 또한 테스트 항목별로 다수 구비될 수 있으며, 각각의 테스트장치(20)는 상기 슬레이브(50) 각각에 대해 대응되는 고유 ID로 매칭되도록 설정될 수 있다. 이러한 다수의 테스트헤드(10) 및 테스트장치(20)는 메인컴퓨터(30)와의 상호 통신을 통해 신호를 주고 받으며, 메인컴퓨터(30)에 의해 구동이 제어되어 테스트동작을 하게 된다. 그리고 테스트한 결과 즉, 입력값과 출력값이 메인컴퓨터(30)로 전달됨으로써, 메인컴퓨터(30)에서는 테스트헤드(10) 및 테스트장치(20)에서의 검사결과 및 테스트헤드(10) 및 테스트장치(20)의 동작상태 정보를 획득하여, 반도체소자의 양품 및 불량품을 확인할 수 있게 된다.
상기 메인컴퓨터(30)는 테스트헤드(10) 및 테스트장치(20)와 검사대상 반도체소자에 대한 양품판정의 기준값(입, 출력 전압, 전류, 위치(X,Y,Z 좌표), 온도 등)을 입력받을 수 있는 입력부(31)를 구비한다. 또한, 메인컴퓨터(30)는 입력부(31)를 통해 입력된 정보 및 테스트한 결과 정보를 저장하는 저장부(32), 테스트헤드(10) 및 테스트장치(20)를 제어하는 제어부(33), 모니터(34) 및 송/수신부(35)를 구비한다.
상기 제어부(33)는 테스트 헤드(10) 및 테스트장치(20)의 동작을 제어하여, 테스트동작이 수행될 수 있도록 한다. 모니터(34)에는 입력정보와 테스트 된 결과정보 등이 표시되며, 작업자가 수행하는 작업내용이 표시될 수 있다. 송/수신부(35)는 테스트헤드(10)와 테스트장치(20)는 물론 마스터(40)와의 유선 또는 무선으로 통신 가능하여, 정보를 상호 송수신하게 된다.
또한, 제어부(33)는 송/수신부(35)를 통해 입력된 정보(기준값)과, 테스트할 결과데이터, 상기 복수의 슬레이브(50)의 ID정보 등을 마스터(40)로 전달한다.
상기 마스터(40)는 테스트헤드(10)와 테스트 장치(20) 각각에 연결되어 테스트 결과정보 및 동작상태 정보를 수신하며, 또한, 메인컴퓨터(30)와도 상호 정보를 송/수신함으로써, 메인컴퓨터(30)에서 전달되는 정보를 수신하고, 스스로 획득한 정보를 메인컴퓨터(30)로 전달할 수 있다.
그리고 마스터(40)는 각 슬레이브(50)의 ID에 매칭되는 결과값이 표시될 수 있도록 각 슬레이브(50)로 출력정보를 전달한다.
즉, 상기 복수의 슬레이브(50)는 테스트헤드(10), 테스트장치(20) 및 검사대상 반도체에 대응되도록 매칭되어 설정된 ID를 각각 가지며, 테스트헤드(10), 테스트장치(20), 검사대상 반도체의 상태정보를 적어도 2가지 이상의 컬러로 표시하기 위한 바이컬러 세븐 세그먼트(Bi-Color 7-Segment)를 구비할 수 있다. 즉, 슬레이브(50) 각각은 적색(RED), 녹색(GREEN), 황색(YELLOW) 중에서 적어도 2가지 이상의 컬러로 점등되도록 마스터(40)에 의해 제어됨으로써, 테스트헤드(10) 및 테스트장치(20)의 동작상태 정보는 물론, 비정상적인 동작인지 정상적인 동작상태인지를 표시할 수 있으며, 검사대상 반도체의 양품 및 불량품 여부를 점등컬러의 종류로 표시할 수 있다.
예를 들어, 반도체소자의 입력/출력 전압을 테스트하기 위한 테스트장치(20)의 동작시 즉, 구동시에는 녹색등이 해당 슬레이브(50)에 표시될 수 있으며, 구동동작시 입력 또는 출력전압의 이상이 발생 될 경우 녹색등에서 적색 또는 황색등으로 전환되도록 마스터(40)에 의해 제어됨으로써, 작업자가 외관으로 해당 테스트장치(20)의 이상발생을 확인하고, 해당 테스트장치(20)의 점검 및 이상발생 여부를 확인할 수 있게 된다.
또한, 테스트중인 반도체소자의 테스트항목 중에서 테스트결과가 기준값을 벗어난 경우에는 테스트중인 반도체소자의 양품 여부를 확인하도록 기호, 문자 등의 식별방법을 통해 해당 검사항목에 대응되는 슬레이브(50)를 통해 표시되도록 하여, 검사대상의 테스트결과를 즉시 외부에서 확인할 수 있게 된다.
또한, 마스터(40)는 복수의 슬레이브(50)의 ID 중에서 중복된 ID의 발생시, 검사결과 데이터값을 미 송/수신시에도 바이컬러 세븐 세그먼트(Bi-Color 7-Segment) 즉, 해당 슬레이브(50)를 통해 외부에서 식별 가능하도록 점등색 또는 도트(DOT)를 포함하는 여러 가지 식별기호를 사용하여 디스플레이함으로써 육안 식별이 쉽고 용이하도록 할 수 있다.
이와 같이 복수의 슬레이브(50)로서 바이컬러 세븐 세그먼트를 적용함으로써, 적색, 녹색, 황색 등의 컬러를 이용하여 테스트헤드(10) 및 테스트장치(20)는 물론 테스트결과 등을 테스트장치(20) 외관에서도 육안으로 쉽고 편리하게 식별할 수 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사시스템에 따르면, 다수의 슬레이브(50)를 바이컬러 세븐 세그먼트로 적용하여 마스터로부터 전달받은 정보를 다양한 컬러 및 기호로 표시하도록 함으로써, 테스트헤드 및 테스트장치의 상태(정상상태, 이상동작상태 등)와, 테스트결과를 보다 정밀하고 다양하게 확인할 수 있도록 하고, 메인 컴퓨터(30)를 물론, 테스트장치(20)의 외관에서도 쉽게 확인할 수 있는 이점이 있다.
또한, 메인컴퓨터(30)와 마스터(40) 각각이 서로 수신한 정보를 상호 교환할 수 있는 구성을 가짐으로써, 잘못 입력된 정보(슬레이브 설정 ID 등)에 대한 오류 등을 확인할 수 있고, 잘못 입력된 정보를 메인컴퓨터(30)를 통해 수정할 수 있게 된다.
이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
10..테스트헤드 20..테스트장치
30..메인컴퓨터 40..마스터
50..슬레이브

Claims (4)

  1. 반도체소자를 검사하기 위한 테스트헤드 및 테스트장치를 제어하고, 검사결과를 전달받는 메인컴퓨터와;
    상기 테스트헤드 및 테스트장치 및 상기 메인컴퓨터 각각에 상호 신호를 송수신하도록 연결되고, 상기 테스트헤드 및 테스트장치의 검사결과 및 동작상대정보를 전달받는 마스터와;
    상기 반도체소자의 검사항목별 테스트헤드 및 테스트장치에 해당되는 고유ID를 가지며, 검사결과 및 상기 테스트헤드 및 테스트장치의 작동상태정보를 적어도 2가지 이상의 컬러로 표시하도록 상기 마스터에 의해 동작제어되는 복수의 슬레이브;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메인컴퓨터는,
    상기 테스트헤드 및 테스트장치를 제어하는 제어부와;
    상기 테스트할 반도체소자의 양품 및 불량품의 기준값, 상기 슬레이브의 ID를 설정하는 입력부와;
    입력정보 및 수신정보 및 출력정보를 표시하는 모니터; 및
    상기 테스트헤드와 테스트장치 및 마스터와의 상호 정보의 송/수신을 위한 송/수신부;를 포함하여,
    상기 제어부는 상기 입력부로 입력된 기준값과 상기 테스트헤드 및 테스트장치로부터 전달된 검사결과값을 상기 송/수신부를 통해 상기 마스터로 전달하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 마스터는 상기 슬레이브 ID의 중복 설정시, 상기 기준값의 미 수신시, 상기 테스트헤드 및 테스트장치의 검사결과의 미 수신시 해당 슬레이브의 출력값을 제어하여 적어도 2가지 이상의 컬러 또는 도트를 포함하는 기호로 출력하여 나타나도록 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 슬레이브는 2가지 이상의 컬러로 기호 및 문자출력이 가능한 바이컬러 세븐 세그먼트(Bi-Color 7-Segment)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사시스템.
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