KR100462046B1 - 유기물 디스플레이의 무기물막 증착 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 진공 챔버,상기 진공 챔버 내의 하단부에 설치되어 전자 빔을 방출하는 전자 빔 소스,상기 진공 챔버 하단부에서 상기 전자 빔 소스 주변에 설치되며, 무기물막용 증발 타겟이 담겨져 있는 타겟 용기,상기 진공 챔버 내의 상단부에 설치되어, 상기 공정 챔버로 도입되며 소정의 유기물막이 적층되어 있는 기판을 지지하기 위한 기판 지지대 및상기 전자 빔 소스 및 상기 타겟 용기와 상기 기판 지지대 사이에 배치되되, 상기 전자 빔과 충돌하지 않는 높이에 위치하며 상기 전자 빔이 상기 증발 타겟에 충돌하는 부분에 대응하는 부분에 개구부가 형성되어 있으며 그리고 X선이 투과되지 않는 물질로 이루어진 차단지붕을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 디스플레이용 무기물막 증착 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 차단지붕은 밀도가 높은 금속 또는 세라믹으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기물 디스플레이용 무기물막 증착 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 기판에 면하는 상기 차단지붕의 표면에 장착된 냉각기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 디스플레이용 무기물막 증착 장치.
- 제 1항 또는 제 3항에 있어서, 상기 진공 챔버 내부에 설치된, 상기 차단지붕과 기판 지지대 사이에 자기장을 형성할 자기장 발생 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 디스플레이용 무기물막 증착 장치.
- 제 4 항에 있어서, 자기장 발생 장치는, 표준 자석, 솔레노이드, 헬름헬츠 코일 및 냉각 시스템을 가지는 전자석 중의 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기물 디스플레이용 무기물막 증착 장치.
- 제 4항에 있어서, 상기 기판 상부에 위치하여, 상기 무기물막의 증착 과정 중에 발생된 상기 유기물막의 손상을 회복시키기 위한 열처리 패널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 디스플레이용 무기물막 증착 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 무기물막은 금속막 또는 절연막인 것을 특징으로 하는 유기물 디스플레이용 무기물막 증착 장치.
- 진공 챔버,상기 진공 챔버 내의 하단부에 설치되어 있되, 전자 빔을 방출하는 전자 빔 소스,상기 진공 챔버 내의 하단부에서 상기 전자 빔 소스 주변에 설치되며, 무기물용 증발 타겟이 담겨져 있는 타겟 용기,상기 진공 챔버 내의 상단부에 설치되어, 상기 공정 챔버로 도입되는 유기물막이 형성되어 있는 기판을 지지하기 위한 기판 지지대 및상기 타겟 용기와 상기 기판 지지대 사이의 공간에 자기장을 형성하도록 하는 자기장 발생 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 디스플레이용 무기물막 증착 장치.
- 다수의 기판이 장착되어 있는 로딩/언로딩 챔버, 상기 기판 상에 유기 전계 발광소자의 유기물막을 형성하는 유기물막 증착 챔버, 상기 기판 상에 유기 전계 발광소자의 무기물막을 형성하기 위한 무기물막 증착 챔버, 및 유기물막과 무기물막이 순차적으로 적층되어 있는 기판을 열처리 하기 위한 열처리 챔버 및 상기 무기물막 증착 챔버와 상기 열처리 챔버 사이에서 상기 기판을 이송시키기 위한 이송 챔버를 구비하되, 상기 열처리 챔버에는, 불활성 가스로 충진된 대류 오븐이 설치되어 있는 것을 특징으로 유기물 디스플레이의 제조 장치.
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