KR100457440B1 - 기판 결합 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 기판의 안전하고 정확한 결합을 허용하며 불량률을 감소시키는 기판(2, 3)을 결합하기 위한 단순하고 비용 효과적인 장치를 제공하기 위한 것이다. 이러한 목적을 위해, 본 발명은 각각 내측공을 포함하는 두 개 이상의 기판(2, 3)과 상기 기판의 내측공에 적용하는 핀을 결합하기 위한 신규한 장치를 제공한다. 상기 핀에는 상기 핀(5)에 대해 반지름방향으로 변위될 수 있는 두 개 이상의 돌출부(10)가 제공된다. 상기 기판의 내측공의 엣지는 상기 돌출부가 상기 핀을 향하여 변위될 때 상기 돌출부 선형 외측면상에서 하방으로 활주한다.

Description

기판 결합 장치{DEVICE FOR JOINING SUBSTRATES}

DVD와 같은 많은 데이터 캐리어는 일반적으로 두 개의 기판으로 이루어지는데, 이러한 기판은 서로 접착되고 접착을 위해 중앙을 맞추는 방식으로 서로 결합된다. 이와 같이 함으로써, 일반적으로 접착제 코팅이 제공되는 제 1 기판이 평평한 지지부에 놓이고 후속적으로 제 2 기판이 핸들링 장치에 의하여 제 1 기판상으로 이동되어 기판이 결합된다. 이와 관련하여, 핸들링 장치는 이러한 기판을 서로에 대해 정확히 배향하기 위한 위치에 있어야 할 뿐만 아니라 기판을 서로 균일하게 가압하여야 한다. 그러나, 이 같은 핸들링 장치는 매우 복잡하고 고가이며, 결합도중 불규칙하게 되어 파손될 수 있으며 역으로 데이터 캐리어의 기능에 영향을 줄 수 있어 테이터 캐리어를 이용할 수 없게 된다.

US-A-5, 888, 433에서는 두 개의 기판을 서로 결합하기 위한 전술한 티입의 장치가 공개된다. 이러한 장치는 3개의 개별적인 부분으로 이루어지는 확장가능한 센터링 보스(centering boss)가 제공된다. 센터링 보스는 두 개의 접착된 기판 반부로 이루어진 기판의 중앙 구멍으로 삽입되며, 후속적으로 반지름방향으로 확장된다. 이러한 확장에 의해, 두 개의 기판 반부의 센터링이, 두 개의 기판 반부가 서로 접착된 후에 이루어진다. 이는 기판 반부에 적용된 힘이 접착후 서로에 대해 기판을 이동시키기 위하여 기판 반부에 가해진 힘이 상대적으로 크기때문에, 이러한 후속적인 센터링에 의하여 기판 반부가 손상될 위험이 있다.

본 발명은 각각 내측공을 가지는 두 개 이상의 기판을 서로 결합하기 위한 장치에 관한 것으로, 이러한 장치는 기판의 내측공에 적용되는 핀을 가진다.

도 1은 두 개의 기판이 서로 결합하기 전에 본 발명의 센터링 핀의 개략적인 단면도이며,

도 2는 기판이 서로 결합하는 동안 도 1의 센터링 핀의 개략적인 단면도이며,

도 3은 핀으로부터 기판을 제거하기 위한 기판 핸들링 장치 및 센터링 핀의 개략적인 단면도이며,

도 4는 두 개의 기판을 서로 결합하기 위한 처리 스테이션을 보여주는 도면으로서, 상기 스테이션은 특히 개방된 위치에서 본 발명의 센터링 핀을 포함하며,

도 5는 도 4와 유사한 도면으로서, 두 개의 기판을 서로 결합하기 전에 폐쇄된 위치에 있는 처리 스테이션을 보여주며,

도 6은 도 4와 유사한 도면으로서, 두 개의 기판이 서로 결합하는 동안 처리 스테이션을 보여주며,

도 7은 두 개의 기판이 서로 결합하기 위한 대안적인 처리 스테이션의 도 4에 유사한 도면이다.

상술된 장치로부터 나아가, 본 발명의 목적은 기판을 서로 결합하기 위한 간단하고 경제적인 장치를 제공하기 위한 것으로, 이와 같은 장치에 의하여, 낮은 불량률로 기판이 확실하고 정확히 서로 결합될 수 있다.

본 발명에 따라, 각각 내측공을 가진 두 개 이상의 기판을 서로 결합하기 위한 장치로서, 상기 장치는 기판의 내측공에 적용되는 핀을 가지며, 상기 목적은 핀이 두 개의 돌출부(noses)를 가지며, 돌출부는 핀에 대해 반지름방향으로 가동되며, 상기 기판의 내측공의 엣지는 핀을 향한 돌출부의 이동중 돌출부의 직선형 또는 선형 외측면에서 하방으로 활주함으로써 달성된다. 핀은 기판을 서로 결합하는 도중 서로에 대해 정확하게 중심을 맞추어 평행하게 가이드할 수 있도록 한다. 특히, 돌출부의 선형 외측면때문에, 기판은 기판의 전면이 서로에 대해 평행하고 서로 결합하는 도중 선형 외측면이 일정한 이동 순서를 제공하도록 고정된다. 핀을 이용함으로써, 핸들링 장치에 대한 요구가 상당히 감소될 수 있어 핸들링 장치와 관련된 비용이 감소된다.

본 발명의 특히 바람직한 특정한 실시예에 따라, 서로 결합하기 전에, 돌출부가 기판을 이격된 상태로 유지하여, 기판이 핀에 배치되며 후속적으로 기판이 서로 결합되는 결합 스테이션으로 이송될 수 있다. 핀은 센터링 핀인 것이 바람직하며, 적어도 하부 영역에서 핀은 서로에 대해 기판을 정확히 정렬하기 위해 기판의 내측공의 내주변에 상응하는 외주변을 가진다.

본 발명의 특히 간단하고 경제적인 실시예에 대해, 돌출부는 센터링 핀에 피봇 설치된다. 돌출부는 기판의 서로 제어된 결합을 이루기 위해 하나 이상의 편향 유닛에 의하여 외측으로 편향되는 것이 바람직하다. 이와 관련하여, 편향 유닛에는 하나 이상의 스프링이 제공되는 것이 바람직하다.

본 발명의 특정 일 실시예에 따라, 돌출부는 기판에 압력을 가함으로써 핀을 향하여 가동되어, 기판이 압력의 간단한 가압에 의하여 제어된 방식으로 서로 결합될 수 있다.

본 발명의 선택적인 특정 일 실시예에 따라, 돌출부를 반지름방향으로 이동시키고 돌출부의 이동을 제어할 수 있는 작동 부재가 제공된다. 이러한 목적을 위해, 돌출부는 돌출부가 단순히 작동될 수 있도록 하기 위해 레버 아암으로서 구체화되는 것이 바람직하다. 작동 부재는 돌출부들 사이에 도입가능한 것이 바람직하며 간단한 방식으로 돌출부의 균일한 이동이 가능하도록 하기 위해 원뿔 형상을 가진다. 돌출부와 작동 부재 사이의 유용한 활주 이동을 위해, 돌출부의 단부가 원형인 것이 바람직하다.

본 발명의 부가적인 특정 실시예에 따라, 돌출부의 편향은 돌출부의 외측면을 따라 기판의 제어된 활주가 가능하도록 변화될 수 있다. 유용하게는, 핀에 배치된 원뿔형 또는 테이퍼형 부재가 편향에 역방향으로 가동되도록 제공된다. 이와 관련하여, 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재는 스프링에 대해 가동되는 것이 바람직하다.

돌출부의 제어가능한 편향을 제공하기 위해, 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재와 돌출부 사이에 편향 부재가 제공되는 것이 바람직하다. 이와 관련하여, 돌출부의 외측방향으로의 편향은 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재의 이동을 통하여 가변적인 것이 바람직하다.

본 발명의 다른 특징, 장점 및 상세함이 도면과 관련하여 바람직한 특정된 실시예에 의하여 후속적으로 설명될 것이다.

도 1 내지 도 3은 기판(2, 3)을 수용하기 위한 센터링 및 홀딩 핀(1)의 제 1 실시예를 보여준다. 핀은 기판(2, 3)용 지지부를 형성하는 도시되지 않은 수용 수단에 수용된다. 핀이 삽입될 수 있는 결합 스테이션은 예를 들면, 본 출원과 동일출원되고 발명의 명칭이 "데이터 캐리어를 생산하기 위한 장치 및 방법(Apparatus and Method for Producing a Data Carrier)"인 본 출원인의 다른 특허 출원에 상세히 설명되어 있으며, 본 출원의 주요 구성을 형성하지만 중복을 피하기 위하여 설명을 생략한다.

핀(1)은 상방으로 개방된 중공형 챔버(5)를 가지는데, 이 챔버는 측벽(7)에 의하여 측면이 제한되고 핀(1)의 베이스(8)에 의하여 바닥면이 제한된다. 벽(7)의 외주변은 기판(2, 3)의 내측공 또는 중앙공의 형상이고 특히 하부 영역에서 핀은 서로에 대해 두 개의 기판(2, 3)의 유용한 센터링 및 안내를 보장하기 위하여 정확하게 연마된 외주변이 제공된다. 벽의 상단부는 비스듬히 절단되어 있어, 벽의 상단부가 상방으로 테이퍼지는 경사면(9)을 형성한다. 경사면(9)은 기판에 핀을 수용할 때 기판의 센터링 및 안내를 할 수 있다.

다수의 돌출부(10)가 핀(1)의 측벽(7)에 배치되며, 도 1 내지 도 3에는 두 개의 돌출부가 도시되어 있다. 바람직한 실시예에 따라, 4개의 돌출부(10)가 제공된다. 돌출부(10)는 도 1 및 도 2에 도시된 위치 사이에서 피봇가능하도록 하기 위해 돌출부(10)가 적절한 방식으로 핀(1)의 벽(7)에 피봇가능하게 배치된다.

압축 스프링(12)에 의하여, 후속적으로 더욱 상세히 설명되는 바와 같이, 돌출부(10)는 핀(1)으로부터 도 1에 도시된 위치로 외측으로 이격되어 반지름방향으로 편향된다. 상방으로 테이퍼지는 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)가 핀(1)의 중공형 챔버(5)에 제공된다. 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)는 중공형 챔버(5)내에 배치되어 수직으로 이동가능하고 도 1에 도시된 위치로 스프링(15)에 의하여 상방으로 편향된다. 압축 스프링(12)의 일단부는 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)에 지지되며 압축 스프링의 타단부는 돌출부를 외측으로 가압하기 위해 돌출부(10)를 지지한다. 이렇게 함으로써, 외측방향으로의 편향력이 변경되는 결과로서, 스프링(12)은 원뿔형 또는 테이퍼형 부재(13)의 원뿔형 표면을 따라 활주할 수 있다.

미도시된 스프링 링 또는 고정 와셔는 돌출부의 하단부를 도 1에 도시된 위치로 핀(1)에 대해 당기기 위하여 돌출부의 하단부에 대하여 연장한다. 이렇게 함으로써, 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)와 이에 따라 스프링(12)의 내측 지지부가 도 1에 도시된 위치에 있는 한, 스프링 링의 스프링 상수가 압축 스프링(12)에 의한 외측방향으로의 편향력을 초과하지 않도록 스프링 링의 스프링 상수가 매우 낮다. 도 2에 도시된 바와 같이, 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)가 로드(17)에 의하여 하방으로 가압되는 경우, 스프링(12)의 외측방향으로의 편향력이 감소되어, 스프링(12)은 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)의 원뿔형 표면을 따라 활주한다. 이러한 위치에서, 스프링 링의 스프링 상수는 도 2에 도시된 위치에 있는 핀(1)으로 돌출부(10)를 당기기에 충분하다.

도 1에 도시된 위치와 도 2에 도시된 위치 사이의 돌출부(10)의 이동중, 기판(2)은 기판(3)의 방향으로 돌출부(10)의 외측면을 따라 활주한다. 이렇게 함으로써, 돌출부(10)의 선형 표면은 기판(2)의 유용한 안내를 제공하며 이는 기판의 기울어짐(tilting) 및 젖혀짐(cocking)을 방지한다. 기판(2)이 기판(3)상에 놓일 때까지 힘을 필수적으로 일정하게 전달하는 동안, 이러한 안내가 유지된다.

로드(17)는 기판(2, 3)을 함께 가압하기 위해 작용하는 미도시된 압력 램(pressure ram)의 부분일 수 있다.

돌출부(10)를 외측으로 가압하기 위한 압축 스프링(12) 및 돌출부를 함께 당기기 위한 미도시된 스프링 링의 상술된 장치 대신, 돌출부가 직접 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)와 접촉하고 도 1에 도시된 위치에서 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)에 의하여 외측으로 가압되는 것도 가능하다. 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)가 도 2에 도시된 위치내로 이동하는 경우, 돌출부는 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)의 원뿔형 외측면을 따라 활주하며 미도시된 스프링 링에 의하여 도 2에 도시된 위치로 이끌어진다. 또한 도 1에 도시된 스프링(12)이 인장 스프링으로서 구체화된 경우 동일한 효과가 달성될 수 있다.

도 3은 핀(1)으로부터 서로 결합된 기판(2, 3)의 제거를 위한 기판 핸들링 장치(20)를 보여준다. 핸들링 장치(20)에는 스페이서 로드(22)가 제공되는데, 이 스페이서 로드는 제거하기 전에 도 3의 후퇴 위치로 돌출부(10)를 이동시키기 위해 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(13)를 하방으로 가압한다. 또한 핸들링 장치(20)에는 진공 핑거(24)가 제공되는데, 진공 핑거 중 두 개가 도 3에 도시되어 있으며, 진공 핑거에 의하여 기판(2, 3)이 핸들링 장치(20)에 대해 당겨져 핸들링 장치상에 고정된다. 진공 핑거(24)는 예를 들면 벨로우즈 기구에 의하여 핸들링 장치(20)의 메인 바디(25)에 대해 높이방향으로 변위가능하여 스페이서 로드(22)와 진공 핑거(24) 사이에서 높이방향으로 상대적인 이동을 가능하게 한다.

본 발명의 특정한 실시예가 도 4 내지 도 7을 참조하여 후속적으로 설명되는데, 동일한 도면부호가 동일하거나 유사한 부분에 관련된 범위까지 도 1 내지 도 3에서와 같이 이용된다.

도 4에는 DVD를 형성하기 위하여 기판(2, 3)의 결합을 위한 처리 스테이션(30)이 도시된다. 처리 스테이션(30)은 지지 부재(32) 뿐만 아니라 처리 챔버(34)를 갖는다. 지지 부재는 기판(3)용 지지부를 형성하는 메인 바디(36)에 의하여 반드시 형성된다. 도 7에 가장 잘 도시된 바와 같이, 메인 바디(36)는 기판 아래 배치된 부분에서, 기판이 배치될 때 기판(3)과 메인 바디(36) 사이에 챔버(40)를 형성하기 위해 리세스(39)가 제공되는 상향 표면(38)을 가진다. 챔버(40)에는 결합 공정동안 기판에 대한 상향 압력을 가하기 위해 라인(41, 42)을 경유하여 가압된 유체가 공급된다. 표면(38)에 배치된 오링(45, 46)에 의하여, 챔버는 외부에 대해 밀봉되어 결합 공정동안 유체가 챔버로부터 누출되지 않는다.

센터링 및 홀딩 핀(50)이 수용되는 또 다른 리세스(47)가 표면(38)의 중앙부에 형성된다. 핀(50)은 피봇가능하게 설치되고 선형 외측면(53)을 가지는 돌출편 또는 돌출부(51)가 제공된다. 핀(50)에는 돌출부(51)에 대해 반지름방향 내측으로 배치되는 샤프트 또는 연장부(55)가 제공된다. 상기 연장부는 돌출부들 사이 아래로부터 연장하며 특히 돌출부의 피봇가능한 부착부의 높이로 연장된다. 돌출부(51)를 반지름방향 외측으로 가압하는 압축 스프링(56)이 돌출부와 연장부 사이에 배치된다. 이렇게 함으로써, 돌출부(51)는 하방으로 넓어지고 기판(2)이 배치될 수 있는 원뿔 형상을 형성한다. 스프링(56)에 의해, 돌출부는 도 4에 도시된 위치에 있는 기판(2)을 유지하기 위해 적절한 힘으로 외측방향으로 가압된다. 기판(2, 3)을 서로 결합하기 위하여, 압력이 후속적으로 설명되는 장치에 의하여 위로부터 기판(2)에 적용되며, 이러한 압력은 스프링력을 극복하고 돌출부(51)를 내측으로 피봇팅하기에 충분하다. 이렇게 함으로써, 기판(2)은 돌출부(51)의 선형 외측면(53)을 따라 활주하고 활주 운동동안 정확하게 활주하여 기판의 기울어짐 또는 젖혀짐을 방지한다. 기판(2)은 기판(3)과 접촉하여 서로 가압될 때까지 필수적으로 활주한다.

처리 챔버 부재(34)는 하방으로 개방 챔버(62)를 형성하는 하우징(60)을 갖는다. 하우징(60) 및 지지 부재(32)는 서로에 대해 가동되며, 하우징(60)에 있는 챔버(62)의 하부면을 폐쇄하기 위하여 하우징이 지지 부재(32)의 표면(38)에 배치될 수 있다. 챔버(62)는 라인(64)을 통하여 벤트될 수 있어, 진공 상태에서 기판(2, 3)의 결합 공정이 초래될 수 있다.

챔버(62)에 가동 프레스 또는 램(65)이 배치되고 이 가동 프레스 및 램은 하향 표면(67)에서 도 6에 도시된 바와 같이 램(65)이 기판(2)과 접촉할 때 램(65)과 기판(2) 사이에 챔버(70)를 형성하도록 리세스(68)가 제공된다. 챔버(70)는 오링에 의하여 외부 및 내부에 대해 밀봉된다. 챔버(40)와 동일한 방식으로, 챔버(70)에는 결합 공정동안 기판(3)에 대해 하방으로 기판(2)을 가압하기 위해 유체가 공급될 수 있다. 챔버(40, 70)내로 도입된 유체에 의해 기판을 서로 가압함으로써 기판에 대한 균일한 표면 압력을 제공하여 유용한 결합 공정을 보장하게 된다.

지금부터 기판의 결합 공정을 도 4 내지 도 6을 참고로 하여 설명될 것이다. 도 4로부터 알 수 있는 바와 같이, 제 1 기판(3)은 지지 부재(32)의 표면(38)에 배치되고, 제 2 기판은 핀(50)의 돌출부(51)에 배치되며, 그 결과로서 기판 사이에 한정된 간격이 유지된다. 처리 챔버 부재(34)의 하우징(60)은 지지 부재(32)의 표면(38)으로부터 이격되어 있다.

도 5에 도시된 바와 같이, 하우징(60)은 폐쇄된 처리 챔버(62)를 형성하기 위해 표면(38)에 후속적으로 배치된다. 현재 처리 챔버는 진공상태하에서 기판의 후속적인 결합을 수행하기 위해 라인(64)을 통하여 벤팅된다. 이는 결합동안 기판 사이의 공기 포켓(air pockets) 또는 버블(bubbles)을 방지한다.

램(65)은 기판(2)과 접촉할 때까지 낮추어지며 기판(2)은 그때 램(65)에 의하여 하방으로 가압되어 더 낮추어진다. 이렇게 함으로써, 기판(2)의 내측공의 엣지는 내측으로 피봇팅되는 돌출부(51)에 의해 활주되어 기판(2)의 기울어짐이 방지된다.

기판(2)이 기판(3)과 접촉할 정도로 낮추어지자 마자, 특히 기판에 배치된 접착제층으로, 도 6에 도시된 바와 같이, 제어된 방식으로 기판(2, 3)을 서로 가압하기 위해 유체가 챔버(40, 70)로 유입된다.

상술된 결합 장치(30) 대신, 또한, 또 다른 적절한 장치가 센터링 및 홀딩 핀에 관련하여 이용될 수 있다. 또 다른 장치에 대한 일 예가 본원과 동일한 출원인에 속하고 동일 출원되었으며 발명의 명칭이 "데이터 캐리어를 생산하기 위한 장치 및 방법"인 특허 출원에 설명되어 있으며, 이는 본 출원의 주요 구성을 형성하나 중복을 피하기 위하여 설명을 생략한다.

도 7은 도 4 내지 도 7에 따라 처리 스테이션(30)의 지지 부재(32)를 보여주는데, 이에 부가하여 핀(50)의 돌출부(51)를 피봇팅하기에 적절한 작동 로드(74)를 보여준다. 작동 로드(74)에는 샤프트(76) 뿐만 아니라 샤프트에 고정되는 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(78)가 제공된다. 또한 샤프트(76) 및 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(78)가 물론 단일부로서 실시될 수 있다. 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(78)에는 도 7에 표시된 바와 같이, 핀(50)의 돌출부들(51) 사이에 도입될 수 있는 하방으로 테이퍼지는 표면(79)이 제공된다. 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재가 돌출부들(51)사이에 도입될 때, 돌출부(51)의 원형 단부(80)와 접촉하게 되며 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재(78)의 추가적인 하방 운동동안 이러한 돌출부를 별개로 가압한다. 그 결과로서, 돌출부, 특히 선형 외측면(53)은 스프링(56)의 하향 편향에 대해 핀(50)의 방향으로 내부로 가압된다. 원뿔형 또는 테이퍼형 작동 부재는 핀(50)을 따라 기판의 이동을 가능하게 하기 위하여 완전히 내부로 돌출부를 피봇할 수 있다.

작동 로드(74)는 기판(2)의 제어된 배치를 가능하게 하기 위하여 예를 들면 도 4 내지 도 6의 램(65)과 관련된다. 그러나, 또한 작동 로드(74)는 결합후 핀(50)으로부터 기판(2, 3)을 자유롭게 제거할 수 있도록 기판 제거 유닛과 결합될 수 있다.

본 발명은 본 발명의 바람직한 특정 실시예에 의하여 도시되었지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 특히, 본 장치는 DVD를 형성하기 위하여 기판을 서로 결합하는 데에만 이용가능한 것은 아니다. 또한 본 발명은 예를 들면 본 출원의 출원인과 동일하고 동일한 날 출원되었으며 발명의 명칭이 "광학적으로 판독가능한 데이터 캐리어를 코팅하기 위한 장치 및 방법(Apparatus and Method for coating an Optionally Readable Data Carrier)"인 특허 출원에 설명된 바와 같이, 광학 캐리어를 코팅 및 층을 형성하기 위한 장치에 이용될 수도 있다. 중복을 피하기 위해, 이러한 다른 출원은 본 출원의 주요 구성을 형성하지만 설명이 생략된다. 본 장치도 두 개의 기판을 서로 결합하는 것에 제한되는 것은 아니다. 오히려, 다수의 기판이 연속적으로 또는 필수적으로 동시에 결합될 수 있다.

Claims (22)

1. 각각 내측공을 가지는 두 개 이상의 기판(2, 3)을 상기 기판의 내측공에 적용되는 핀(1, 50)으로 서로 결합하기 위한 기판 결합 장치에 있어서,

   상기 핀(1, 50)에 대해 반지름방향으로 가동되는 두 개 이상의 돌출부(10, 51)가 상기 핀에 제공되며, 상기 핀(1, 50)을 향하여 상기 돌출부(10, 51)가 가동되는 동안 상기 기판의 내측공의 엣지가 상기 돌출부의 선형 외측면상에서 하방으로 활주되는 것을 특징으로 하는,

   기판 결합 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 돌출부(10, 51)는 결합 전에 상기 기판(2, 3)을 이격된 상태로 유지하는 것을 특징으로 하는,

   기판 결합 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 핀(1, 50)은 센터링 핀인 것을 특징으로 하는,

   기판 결합 장치.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 돌출부(10, 51)가 상기 센터링 핀상에 피봇가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는,

   기판 결합 장치.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 돌출부(10, 51)를 외측으로 편향시키기 위한 하나 이상의 편향 유닛(12, 56)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,

   기판 결합 장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 편향 유닛은 하나 이상의 스프링(12, 56)인 것을 특징으로 하는,

   기판 결합 장치.
7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 기판(2, 3)에 압력을 가함으로써 상기 돌출부(10, 51)가 상기 핀(1, 50)을 향하여 가동되는 것을 특징으로 하는,

   기판 결합 장치.
8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 돌출부(10, 51)를 반지름방향으로 이동시키는 작동 부재(13, 78)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,

   기판 결합 장치.
9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 돌출부(51)는 레버 아암인 것을 특징으로 하는,

   기판 결합 장치.
10. 제 8 항에 있어서,

    상기 작동 부재(78)는 상기 돌출부(51)들 사이에 도입가능한 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
11. 제 8 항에 있어서,

    상기 작동 부재(13, 78)는 원뿔형인 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
12. 제 8 항에 있어서,

    상기 작동 부재(78)와 직면하는 상기 돌출부(51)의 단부가 원형인 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
13. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

    상기 돌출부(10, 51)의 편향이 가변적인 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
14. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

    상기 핀(1)에 배치되고 스프링(15)의 역방향으로 가동되는 작동 부재(13)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
15. 제 14 항에 있어서,

    상기 작동 부재(13)는 스프링(15)에 대해 가동적인 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
16. 제 14 항에 있어서,

    상기 작동 부재(13)와 상기 돌출부(10) 사이에 편향 부재(12)가 배치되는 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
17. 제 14 항에 있어서,

    상기 돌출부(10)의 외측방향으로의 편향이 상기 작동 부재(13)의 이동에 의해 가변적인 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
18. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

    상기 돌출부(10)의 정상적인 외측방향으로의 편향을 극복하기에 충분하지 않은 인장력으로, 상기 돌출부를 내측으로 당기는 인장 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
19. 제 18 항에 있어서,

    상기 외측방향으로의 편향이 감소될 때 상기 인장 부재의 인장력이 상기 돌출부(10)를 내측으로 당기는 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
20. 제 18 항에 있어서,

    상기 인장 부재는 상기 돌출부(10)에 배치되는 스프링 링인 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
21. 제 20 항에 있어서,

    상기 스프링 링은 상기 돌출부(10)의 내주변에 배치되는 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.
22. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

    4개의 돌출부(10, 51)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,

    기판 결합 장치.