KR100449448B1 - 완충기구를 부착한 직선작동기 - Google Patents

완충기구를 부착한 직선작동기

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KR100449448B1
KR100449448B1 KR10-2001-0080689A KR20010080689A KR100449448B1 KR 100449448 B1 KR100449448 B1 KR 100449448B1 KR 20010080689 A KR20010080689 A KR 20010080689A KR 100449448 B1 KR100449448 B1 KR 100449448B1
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에스엠시 가부시키가이샤
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Abstract

슬라이드 테이블(13)의 내부의 서로 좌우 다른 위치에, 복수의 완충기(14)를, 신축하는 푸시로드(14a)를 상기 슬라이드 테이블(13)의 이동방향의 양 단면으로부터 외부로 돌출시켜서 평행하게 설치함과 아울러, 궤도대(11)의 양단부의 상기 각 완충기(14)와 마주 대하는 위치에, 상기 슬라이드 테이블(13)의 스트로크단에서 상기 각 푸시로드(14a)가 충돌하는 복수의 스토퍼(15)를 설치한다.

Description

완충기구를 부착한 직선작동기{LINEAR ACTUATOR WITH SHOCK-ABSORBING MECHANISM}
본 발명은, 공작물을 반송하는 슬라이드 테이블을 구동기구에 의해서 직선적으로 왕복주행시킴과 아울러, 스트로크단에서 완충적으로 정지시키도록 한, 완충기구를 부착한 직선작동기에 관한 것이다.
종래의 이러한 종류의 완충기를 부착한 직선작동기는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 직사각형의 궤도대(1) 상에, 그 길이방향으로 연장하는 가이드 레일(3)과, 이 가이드 레일(3)에 평행한 로드레스 실린더(4)가 배치되고, 상기 궤도대(1)의 길이방향 양단부에는, 상기 가이드 레일(3)의 양단측에 있고, 상기 로드레스 실린더 (4)의 양단부의 엔드 커버로서도 기능하는 1쌍의 끝벽(2, 2)이 설치되어 있다. 또한, 상기 가이드 레일(3) 상에는, 공작물을 반송하는 슬라이드 테이블(5)이, 로드레스 실린더(4)로 구동되어서 왕복으로 직선주행하도록 설치되어 있다.
상기 끝벽(2)에는, 상기 로드레스 실린더(4)에 유체압을 공급하기 위한 포트 (8)가 설치되고, 또한, 2개의 끝벽(2)의 내측에는 2개의 완충기(6, 6)가 각각 지지블럭(7)에 의해 슬라이드 테이블(5)의 양단면을 향하여 설치되어 있다.
이러한 직선작동기에 있어서, 유체압이 로드레스 실린더(4)에 공급되면, 상기 슬라이드 테이블(5)은 로드레스 실린더(4)로 구동되어서 가이드 레일(3) 상을 이동하고, 스트로크단에서 상기 슬라이드 테이블(5)의 단면이 완충기(6)의 신축가능한 푸시로드에 충돌하고, 완충적으로 정지한다.
그런데, 이와 같은 종래의 직선작동기에 있어서는, 2개의 완충기(6, 6)가, 끝벽(2, 2)의 내측에 상기 슬라이드 테이블(5)측을 향하여 돌출한 상태로 설치되어 있고, 이들 사이를 상기 슬라이드 테이블(5)이 왕복이동하고, 양 스트로크단에서 푸시로드를 단축시킨 상태로 정지하도록 구성되어 있기 때문에, 장치의 전체길이를 길이나눔하기에는 슬라이드 테이블(5)의 스트로크가 짧다는 결점이 있었다.
또한, 상기 끝벽(2, 2)이 방해가 되어서 궤도대(1) 상이나 가이드 레일(3) 상에 쌓인 먼지 등을 배출하기 곤란하고, 보수관리성도 열악하다.
여기서, 일본 특허 제3011084호 공보에는, 슬라이드 테이블의 하부의 상기 슬라이드 테이블의 단면보다 내측으로 들어간 위치에 스토퍼를 설치하고, 슬라이드 테이블의 스토로크단에서 상기 완충기의 일부가 이 슬라이드 테이블의 내부로 들어가도록 한 것이 개시되어 있다.
그러나, 이 예에서는 2조의 완충기와 스토퍼가 동일 축선 상에 설치되어 있기 때문에, 이들이 서로 위치간섭을 일으키고, 슬라이드 테이블의 크기 때문에 상기 완충기가 들어가는 공간부의 깊이를 그만큼 크게 할 수 없다. 이 때문에, 장치의 길이에 비해서 슬라이드 테이블의 스트로크를 그만큼 크게 설정하는 것은 불가능하다. 또한, 궤도대가 양단에 끝벽을 보유하기 때문에, 보수관리성이 열악하다는 점은 개선되지 않는다.
본 발명의 목적은, 복수조의 완충기와 스토퍼를 합리적인 위치관계로 배치함으로써, 소형이면서 슬라이드 테이블의 스트로크를 크게 하고, 이와 동시에 보수관리성도 동시에 높인, 완충기를 부착한 직선작동기를 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 의하면, 축선방향의 양단부에 상향으로 세워올린 끝벽을 가지지 않은 양단 개방형의 궤도대와, 상기 궤도대 상에 축선방향으로 설치된 가이드 레일과, 상기 궤도대 상에 상기 가이드 레일을 따라서 직선적으로 왕복이동하도록 설치된 슬라이드 테이블과, 상기 슬라이드 테이블을 구동하는 구동기구와, 상기 슬라이드 테이블의 내부의 서로 좌우 다른 위치에, 신축하는 푸시로드를 상기 슬라이드 테이블의 이동방향의 양단면으로부터 외부로 돌출시켜서 평행하게 설치된 복수의 완충기와, 상기 궤도대의 양단부에 상기 각 완충기와 마주 대하도록 설치되고, 상기 슬라이드 테이블의 스트로크단에서 상기 각 푸시로드가 충돌하는 복수의 스토퍼를 구비한 것을 특징으로 하는 완충기를 부착한 직선작동기가 제공된다.
상기 구성을 보유하는 본 발명의 직선작동기는, 상기 완충기를 슬라이드 테이블에, 푸시로드만이 양단면으로부터 외부로 돌출하도록 설치되어 있는 것이므로, 완충기 전체를 슬라이드 테이블의 양단면에 돌출상태로 설치된 경우에 비해서, 직선작동기의 전체길이를 크게 단축하여 이것의 소형화를 도모할 수 있음과 아울러, 스트로크를 크게 할 수 있다. 또한, 2개의 완충기를 슬라이드 테이블의 내부의 좌우 다른 위치에 평행하게 설치하고 있는 것이므로, 이들을 동축 상에 설치하는 경우와 같이 서로 위치 경합하여 슬라이드 테이블의 단축화의 장해로 되는 경우가 없다.
또한, 상기 궤도대의 양단부에는 끝벽이 없고, 그 양단이 개방되어 있으므로, 상기 궤도대 상이나 가이드 레일 상에 쌓인 먼지 등을 개방한 양단부를 통해서 용이하게 배출할 수 있고, 보수관리성도 향상한다.
본 발명에 있어서 바람직하게는, 상기 스토퍼가 상기 궤도대 상에 설치된 지지블럭과 이 지지블럭에 설치된 충돌면으로 되어 있고, 이들 지지블럭과 충돌면 중 적어도 한쪽이 상기 슬라이드 테이블의 이동방향으로 위치조절가능하게 되어 있는 것이다.
또한, 본 발명에 의하면, 상기 궤도대의 양단부의 좌우 다른 위치에 설치된 지지블럭에, 신축하는 푸시로드를 서로 마주 대하는 방향으로 향하여 각각 설치된 복수의 완충기와, 상기 슬라이드 테이블의 내부의 좌우 다른 위치에 상기 슬라이드 테이블의 이동방향의 양단면으로부터 각각, 상기 완충기 및 지지블럭 중 적어도 완충기가 들어갈 수 있는 거리만큼 후퇴시켜서 형성되고, 상기 슬라이드 테이블의 스트로크단에서 상기 완충기의 푸시로드가 충돌하는 스토퍼를 구비한 것을 특징으로 하는 완충기를 부착한 직선작동기가 제공된다.
본 발명의 바람직한 실시형태에 있어서는, 상기 구동기구가 상기 궤도대의 한쪽의 측부에 착탈가능하게 설치되어 있고, 상기 궤도대의 축선방향으로 왕복 구동되는 외부 이동자를 보유하고, 상기 이동자와 상기 슬라이드 테이블이 분리가능하도록 서로 결합되어 있다.
또한, 상기 가이드 레일이 궤도대의 중앙부에 설치되어 있고, 상기 복수의 완충기와 복수의 스토퍼가 이 가이드 레일의 양측의 위치에서 상기 슬라이드 테이블과 궤도대에 설치되어 있다.
도 1은 본 발명의 완충기구를 부착한 직선작동기의 제 1실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는 구동기구를 떼어낸 상태의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 완충기구를 부착한 직선작동기의 제 2실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 4는 종래의 직선작동기의 사시도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
1, 11 … 궤도대 2 … 끝벽
3, 12 … 가이드 레일 4 … 로드레스 실린더
5, 13 … 슬라이드 테이블 6, 14 … 완충기
6a, 14a … 푸시로드 7, 15a … 지지블럭
8, 16c … 포트 11a … 측벽
13a, 13b … 오목부 15 … 스토퍼
15b … 충돌면 16 … 구동기구
16a … 엔드 부재 16b … 실린더 튜브
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 실시형태를 설명함에 있어서, 동일 기능을 가지는 것은 동일 부호를 붙여서 설명한다.
도 1, 도 2에 나타내는 제 1실시예의 완충기를 부착한 직선작동기(10A)는, 평면으로 봐서 직사각형을 한 가늘고 긴 궤도대(11)를 보유하고 있다. 이 궤도대 (11)는 홈형을 하고 있고, 그 폭방향 양단부에는, 상방으로 대략 90°의 각도로 세워올려서 길이방향으로 연장하는 1쌍의 측벽(11a, 11a)을 보유하고, 또한, 이 궤도대(11)의 축선방향의 양단부에는, 상방으로 세워올린 끝벽으로 닫지 않고, 개방되어 있다.
상기 궤도대(11)의 상면에는 가이드 레일(12)이 상기 1쌍의 측벽(11a, 11a) 간의 거의 중앙부의 위치에 이들 측벽(11a, 11a)과 평행하게 연장하도록 설치됨과 아울러, 공작물을 반송하기 위한 슬라이드 테이블(13)이 상기 가이드 레일 (12)을 따라서 직선적으로 이동가능하도록 설치되어 있다.
상기 슬라이드 테이블(13)은, 좌우 양단부가 상기 1쌍의 측벽(11a, 11a) 상에 얹어 놓이도록 배치되어 있고, 그 하면 중앙부에 형성된 오목부(13a) 내에 상기 가이드 레일(12)이 슬라이딩 가능하게 끼워맞춰져 있다. 또한, 이 슬라이드 테이블 (13)의 좌우의 일측 단부에는, 후술하는 구동기구(16)의 외부 이동자(16f)가 끼워맞춰지는 오목부(13b)가 형성되어 있다.
상기 슬라이드 테이블(13)의 내부에는, 상기 가이드 레일(12)을 끼워서 좌우의 다른 위치에, 스프링이나 유체압 등의 작용으로 탄력적으로 신축하는 푸시로드 (14a, 14a)를 구비한 2개의 완충기(14, 14)가, 상기 푸시로드(14a)만을 슬라이드 테이블(13)의 이동방향의 양단면(13c, 13c)으로부터 외부로 돌출시킨 상태로, 서로 역방향이면서 병렬로 배치되어 있다.
이것에 대해서, 상기 궤도대(1)의 축선방향의 양단부에는, 상기 가이드 레일(12)을 끼워서 좌우 다른 위치에 상기 2개의 완충기(14, 14)와 마주 대하는 2개의 스토퍼(15, 15)가 설치되어 있다. 이들 스토퍼(15)는 상기 궤도대(11)에 설치된 지지블럭(15a)과, 이 지지블럭(15a)에 형성된 충돌면(15b)으로 되어 있고, 상기 슬라이드 테이블(13)의 양 스트로트단에서 상기 완충기(14)의 푸시로드(14a)가 상기 충돌면(15b)에 충돌하고, 이 푸시로드(14a)가 탄력적으로 단축함으로써 상기 슬라이드 테이블(13)이 완충적으로 정지하는 것이다.
상기 충돌면(15b)은 지지블럭(15a)의 설치구멍 내에 나사부착된 축봉의 선단에 형성되어 있고, 이 축봉을 전후진시킴으로써 상기 슬라이드 테이블(13)의 이동방향으로 위치조절가능하고, 이것에 의해서 상기 슬라이드 테이블(13)의 스트로크를 조절할 수 있도록 되어 있다. 또한, 이와 같이 충돌면(15b)을 위치조절가능하게 하는 일없이, 상기 지지블럭(15a)을 위치조절가능하게 하는 것도 가능하다. 또는, 지지블럭(15a)과 충돌면(15b)의 양방을 위치조절가능하게 하여도 좋다.
상기 구동기구(16)는, 이 실시예에서는, 로드레스 실린더에 의해서 형성되어 있다. 이 로드레스 실린더(16)는, 2개의 엔드 부재(16a, 16a)와, 이들 엔드 부재 (16a, 16a)에 양단이 설치된 원통형상의 실린더 튜브(16b)와, 이 실린더 튜브(16b)의 외부에 슬라이딩 가능하게 설치된 상기 외부 이동자(16f)를 구비하고 있다.
상기 실린더 튜브(16b)의 내부에는, 도시하지 않은 피스톤이 슬라이딩 가능하게 수용되고, 이 피스톤은, 포트(16c)로부터 상기 피스톤의 양측의 압력실에 교대로 공급되는 유체압에 의해서 상기 실린더 튜브(16b) 내를 왕복이동한다. 이 피스톤과 상기 외부 이동자(16f)는, 각각에 설치된 자석의 흡인력에 의해서 자기결합되고, 상기 피스톤에 뒤따라서 외부 이동자(16f)가 상기 실린더 튜브(16b) 위를 이동하도록 구성되어 있다. 이 자기결합 시스템은, 이미 공지되어 있기 때문에, 이 이상의 설명은 생략한다.
상기 로드 실린더(16)는, 상기 2개의 엔드 부재(16a, 16a)에 의해서, 상기 궤도대(11)의 좌우 한쪽의 측단부에 착탈가능하게 설치되어 있다. 즉, 상기 각 엔드 부재(16a, 16a)의 일측부에는 수평으로 연장하는 플랜지부(16d)가 형성되어 있고, 이 플랜지부(16d)에 복수의 설치구멍(16e)가 각각 뚫어설치되어 있다. 한편, 상기 궤도대(11)에 있어서의 한쪽의 측벽(11a)의 상면 양단부에는, 복수의 나사구멍(11b)이 뚫어설치되어 있다. 또한, 상기 외부 이동자(16f)의 측단부를 상기 슬라이드 테이블(13)의 오목부(13b)에 끼워맞춰서 걸려진 상태로, 상기 각 엔드 부재 (16a, 16a)의 플랜지부(16d)를 상기 궤도대(11)의 측벽(11a) 상면에 접촉시키고, 볼트(17)를 상기 설치구멍(16e)으로부터 나사구멍(11b)에 나사부착시켜 고정한다.
이것에 의해서 상기 로드레스 실린더(16)는 상기 궤도대(11)에 설치되고, 상기 볼트(17)를 분리하는 것이므로, 로드레스 실린더(16)는 궤도대(11)보다 용이하게 분리된다. 또한, 도면 중 18은, 궤도대(11) 내에 형성된 압력유체의 유로의 개구단을 시일하기 위한 시일부재이다.
상기 구성을 보유하는 직선작동기(10A)에 있어서, 포트(16c)로부터 실린더 튜브(16b) 내에 압축공기 등의 압력유체를 공급하면, 상기 실린더 튜브(16b) 내의 피스톤이 왕복이동하고, 이 피스톤에 뒤따라서 외부 이동자(16f)가 실린더 튜브 (16b)를 따라서 왕복이동하기 때문에, 상기 외부 이동자(16f)에 결합하는 상기 슬라이드 테이블(13)이 상기 가이드 레일(12)에 안내되면서 왕복이동한다. 또한, 상기 슬라이드 테이블(13)의 왕복 양 스트로크단에서 완충기(14)의 푸시로드(14a)가 스토퍼(15)의 충돌면(15b)에 충돌하여, 그 푸쉬로드(14a)의 탄력적인 단축에 의해서 슬라이드 테이블(13)은 완충적으로 정지한다. 따라서 이 슬라이드 테이블(13)의 동작스트로크는, 양단면(13c)과 상기 스토퍼(15)의 충돌면 (15b) 사이의 거리에서 거의 동일하다.
이렇게 하여 상기 직선작동기(10A)는, 상기 슬라이드 테이블(13)에 완충기 (14)를 설치할 때에, 상기 완충기(14)의 본체부분은 슬라이드 테이블(13)의 내부에 수용하고, 푸시로드(14a)만을 슬라이드 테이블(13)의 양단면(13c, 13c)으로부터 외부로 돌출시키고 있으므로, 완충기(14) 전체를 슬라이드 테이블(13)의 양단면(13c, 13c)에 돌출상태로 설치한 경우에 비해서, 직선작동기의 전체길이를 현저하게 단축하여 그 소형화를 도모할 수 있음과 아울러, 그 동작 스트로크를 크게 할 수 있다. 또한, 2개의 완충기(14, 14)를 슬라이드 테이블(13)의 내부의 좌우 다른 위치에 평행하게 설치하고 있으므로, 이들을 동축 상에 설치하는 경우와 같이 서로 위치경합하여 슬라이드 테이블의 단축화의 장해가 되는 일이 없다. 필요하면, 2개의 완충기 (14, 14)의 본체부분을 좌우 동일 위치에 나란히 하여 설치하는 것도 가능하기 때문에, 상기 슬라이드 테이블(13)의 길이를 용도에 따라서 극한까지 짧게 하는 것도 가능하게 된다.
또한, 상기 궤도대(11)의 양단부에는 끝벽이 없고, 그 양단이 개방되어 있는 것이므로, 상기 스토퍼(15)를 상기 궤도대(11)의 양단부 가까이에 설치하는 것이 가능하게 되어서, 상기 궤도대(11)의 전체길이를 극한까지 짧게 할 수 있다. 또한, 상기 궤도대(11) 위나 가이드 레일(12) 위에 쌓인 먼지 등을 개방한 양단부를 통해서 용이하게 배출할 수 있고, 보수관리성도 향상한다.
도 3은 본 발명의 직선작동기의 제 2실시예를 나타내는 것이므로, 이 제 2실시예의 직선작동기(10B)가 상기 제 1실시예와 서로 다른 점은, 완충기(14)가 궤도대(11)측에 설치되고, 스토퍼(15)가 슬라이드 테이블(13)측에 설치되어 있는 점이다.
즉, 상기 궤도대(11)의 양단부에는 서로 좌우 다른 위치에 지지블럭(19, 19)이 설치되고, 이들 지지블럭(19, 19)에 각각 완충기(14)가, 푸시로드(14a)를 슬라이드 테이블(13)측으로 향하여 서로 평행하게 설치되어 있다.
이것에 대해서 상기 슬라이드 테이블(13)에는 그 내부의 좌우 다른 위치에 상기 완충기(14, 14)의 푸시로드(14a, 14a)가 충돌하는 스토퍼(15, 15)가 양단면 (13c, 13c)으로부터 일정거리만큼 내측으로 들어간 상태로 형성되어 있다. 이들 스토퍼(15)와 슬라이드 테이블(13)의 단면(13c)과의 사이의 공간부의 길이는, 상기 슬라이드 테이블(13)의 스트로크단에서 이 공간부의 내부에 상기 완충기(14) 및 지지블럭(19) 중 적어도 완충기(14)가 들어갈 수 있는 길이이다.
상기 지지블럭(19) 및 완충기(14)는 이들 중 적어도 한쪽이 궤도대(11)이 축선방향으로 위치조절가능한 것이 요망된다.
또한, 상기 제 2실시예의 상기 이외의 구성 및 작용은, 실질적으로 도 1에 나타내는 제 1실시예의 직선작동기와 동일하기 때문에, 동일 구성부분에 제 1실시예와 동일 부호를 붙여서 그 설명은 생략한다.
상기 각 실시예에서는, 완충기(14)와 스토퍼(15)가 2조로 설치되어 있지만, 이들을 3조 이상 설치할 수도 있다.
또한, 상기 각 실시예에 나타내져 있는 구동기구(16)는, 로드레스 실린더에 의해 구성되어 있어서, 피스톤과 외부 이동자(16f)가 자석에 의해서 서로 자기결합되어 있지만, 피스톤과 외부 이동자(16f)의 결합방식은 이와 같은 자기결합식인 것에 한정되지 않고, 기계적으로 결합한 것이어도 좋다. 또는, 구동기구(16)를 이와 같은 유체압식의 로드레스 실린더로 구성하지 않고, 모터로 회전되는 나사봉 상에 상기 외부 이동자(16f)를 나사결합하고, 이 나사봉을 회전시킴으로써 외부 이동자(16f)를 왕복이동시키는 구성의, 전동 엑추에이터로 구성하는 것도 가능하다.
본 발명의 완충기를 부착한 직선작동기는 복수조의 완충기와 스토퍼를 합리적인 위치관계로 배치함으로써, 소형이고 슬라이드 테이블의 스트로크를 크게 하고, 이와 동시에 보수관리성도 높일 수 있는 특징으로 가지고 있다.

Claims (7)

  1. 축선방향의 양단부에 상향으로 세워올린 끝벽을 가지지 않는 양단 개방형의 궤도대;
    상기 궤도대 상에 축선방향으로 설치된 가이드 레일;
    상기 궤도대 상에 상기 가이드 레일을 따라서 직선적으로 왕복이동하도록 설치된 슬라이드 테이블;
    상기 슬라이드 테이블을 구동하는 구동기구;
    상기 슬라이드 테이블의 내부의 좌우의 서로 다른 위치에, 신축하는 푸시로드를 상기 슬라이드 테이블의 이동방향의 양단면으로부터 외부로 돌출시켜서 평행하게 설치된 복수의 완충기; 및
    상기 궤도대의 양단부에 상기 각 완충기와 서로 마주 대하도록 설치되고, 상기 슬라이드 테이블의 스트로크단에서 상기 각 푸시로드가 충돌하는 복수의 스토퍼를 구비한 것을 특징으로 하는 완충기구를 부착한 직선작동기.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 스토퍼가 상기 궤도대 상에 설치된 지지블럭과, 상기 지지블럭에 설치된 충돌면으로 이루어져 있고, 이들 지지블럭과 충돌면 중 적어도 한쪽이 상기 슬라이드 테이블의 이동방향으로 위치조절가능한 것을 특징으로 하는 완충기구를 부착한 직선작동기.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 구동기구는 상기 궤도대의 한쪽의 측부에 착탈가능하게 설치되어 있고, 상기 궤도대의 축선방향으로 왕복구동되는 외부 이동자를 보유하고, 상기 이동자와 상기 슬라이드 테이블이 분리가능하도록 서로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 완충기구를 부착한 직선작동기.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 가이드 레일은 궤도대의 중앙부에 설치되어 있고, 상기 복수의 완충기와 복수의 스토퍼가 상기 가이드 레일의 양측의 위치에서 상기 슬라이드 테이블과 궤도대에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 완충기구를 부착한 직선작동기.
  5. 축선방향의 양단부에 상향으로 세워올린 끝벽을 가지지 않는 양단 개방형의 궤도대;
    상기 궤도대 상에 축선방향으로 설치된 가이드 레일;
    상기 궤도대 상에 상기 가이드 레일을 따라서 직선적으로 왕복이동하도록 설치된 슬라이드 테이블;
    상기 슬라이드 테이블을 구동하는 구동기구;
    상기 궤도대의 양단부의 좌우 다른 위치에 설치된 지지블럭에, 신축하는 푸시로드를 서로 마주 대하는 방향으로 향하여 각각 설치된 복수의 완충기; 및
    상기 슬라이드 테이블의 내부의 좌우 다른 위치에 상기 슬라이드 테이블의 이동방향의 양단면으로부터 각각, 상기 완충기 및 지지블럭 중 적어도 완충기가 들어갈 수 있는 거리만큼 후퇴시켜서 형성되고, 상기 슬라이드 테이블의 스토로크단에서 상기 완충기의 푸시로드가 충돌하는 스토퍼를 구비한 것을 특징으로 하는 완충기구를 부착한 직선작동기.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 구동기구는 상기 궤도대의 한쪽의 측부에 착탈가능하게 설치되어 있고, 상기 궤도대의 축선방향으로 왕복구동되는 외부 이동자를 보유하고, 상기 이동자와 상기 슬라이드 테이블이 분리가능하도록 서로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 완충기구를 부착한 직선작동기.
  7. 제 4항에 있어서, 상기 가이드 레일는 궤도대의 중앙부에 설치되어 있고, 상기 복수의 완충기와 복수의 스토퍼가 상기 가이드 레일의 양측의 위치에서 상기 슬라이드 테이블과 궤도대에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 완충기구를 부착한 직선작동기.
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