JPH09155784A - 流体圧アクチュエータ - Google Patents

流体圧アクチュエータ

Info

Publication number
JPH09155784A
JPH09155784A JP34512295A JP34512295A JPH09155784A JP H09155784 A JPH09155784 A JP H09155784A JP 34512295 A JP34512295 A JP 34512295A JP 34512295 A JP34512295 A JP 34512295A JP H09155784 A JPH09155784 A JP H09155784A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
drive member
cylinder tube
fluid pressure
driving member
pressure actuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP34512295A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3414569B2 (ja
Inventor
Futoshi Yamamoto
太 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nok Corp
Original Assignee
Nok Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=18374439&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH09155784(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Nok Corp filed Critical Nok Corp
Priority to JP34512295A priority Critical patent/JP3414569B2/ja
Publication of JPH09155784A publication Critical patent/JPH09155784A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3414569B2 publication Critical patent/JP3414569B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Actuator (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テーブル32がガイド機能を備えるとともに
別の部材が駆動機能を備えるように構成されており、も
ってテーブル32が高精度に作動することが確保されて
いる流体圧アクチュエータを提供する。 【解決手段】 シリンダチューブ36に対して相対移動
可能に設けられたピストン9と、シリンダチューブ36
を挿入穴35に挿入し、圧縮空気によって進退自在に変
位する駆動部材34と、駆動部材34の変位に伴ってガ
イド部材4に沿ってスライド自在に従動するテーブル3
2とを備え、挿入穴35と交差するように駆動部材34
に設けられた貫通穴39より連結用ねじ44をテーブル
32にねじ込んで、駆動部材34とテーブル32とを連
結することにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、産業用ロボット等
に用いられる流体圧アクチュエータに関する。この流体
圧アクチュエータは、その構成部品であるテーブルにワ
ークやツール等を搭載し、流体圧の供給によってこれら
を移送するものである。
【0002】
【従来の技術】本願出願人が先に提案した実開平4−1
9904号考案においては、内部にシリンダを一体的に
設けたテーブルに直動ベアリングのベアリングブロック
が連結されており、よってテーブルが駆動機能とガイド
機能とを兼ね備えた構成となっている。
【0003】しかしながら、このようにテーブルが二種
類の機能を兼ね備えていると、高精度で安価な市販の直
動ベアリングを採用しているにもかかわらず、その精度
が損なわれるという問題がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の点に鑑
み、テーブルがガイド機能を備えるとともに別の部材が
駆動機能を備えるように構成されており、もってテーブ
ルが高精度に作動することが確保されている流体圧アク
チュエータを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の流体圧アクチュエータは、シリンダチュー
ブに対して相対移動可能にこのシリンダチューブ内に設
けられたピストンと、前記シリンダチューブを挿入穴に
挿入し、圧縮空気によって進退自在に変位する駆動部材
と、前記駆動部材の変位に伴ってガイド部材に沿ってス
ライド自在に従動するテーブルと、を備え、前記挿入穴
と交差するように前記駆動部材に形成された貫通穴より
連結用ねじを前記テーブルにねじ込んで、前記駆動部材
と前記テーブルとを連結することにした。
【0006】
【作用】上記構成を備えた本発明の流体圧アクチュエー
タにおいては、テーブルがガイド部材に対して相対移動
するガイド機能を備えるとともに、駆動部材が圧縮空気
の供給を受けてテーブルを相対移動させる駆動機能を備
えていて、テーブルがガイド機能だけを備えているため
に、テーブルを高精度に作動させることが可能である。
【0007】テーブルと駆動部材とを別体として両部材
を連結すれば、直動ベアリングの精度を十分に発揮させ
ることが可能であるが、両部材を連結する場合、通常の
手段では、駆動部材の内部に設けられたシリンダを避け
るようにして、連結用ねじを挿入する穴が設けられるこ
とになる。したがってこの穴がシリンダを迂回するよう
に設けられるために、必要以上に駆動部材を大きくした
りシリンダ径を小さくしたりしなければならず、これを
原因として、十分な推力を得られなくなる虞がある。こ
れに対して、本発明によれば、駆動部材の内部にシリン
ダが一体的に設けられておらず、以下のように構成され
ているために、必要以上に駆動部材を大きくしたりシリ
ンダ径を小さくしたりする必要がない。
【0008】
【発明の実施の形態】すなわち、駆動部材に、この駆動
部材と別体のシリンダチューブを挿入するための挿入穴
が設けられるとともに、駆動部材をテーブルに連結すべ
く用いられる連結用ねじをねじ込むための貫通穴が設け
られており、後者の貫通穴が、外部からテーブルへ向け
て、前者の挿入穴と交差するように設けられている。ま
た駆動部材に対してシリンダチューブが別体であるため
に、挿入穴にシリンダチューブを後付けすることが可能
である。したがってアクチュエータの当該構成部分が以
下のようにして組み立てられることになる。
【0009】すなわち、テーブルに対して駆動部材を位
置合わせして、駆動部材に設けられた貫通穴に連結用ね
じを挿入し、この連結用ねじをテーブルにねじ込んで、
先ずテーブルに駆動部材を連結する。テーブルには予
め、対応する位置にねじ穴を設けておく。そしてこのよ
うにしてテーブルに駆動部材を連結してから、この駆動
部材と別体のシリンダチューブを、駆動部材に設けられ
た挿入穴に挿入する。したがってこのようにすれば、駆
動部材の内部に設けられるシリンダを避けることなく貫
通穴を設けることが可能となるために、必要以上に駆動
部材を大きくしたりシリンダ径を小さくしたりする必要
がなく、これによって駆動部材をコンパクト化すること
が可能となる。また連結用ねじによってテーブルに駆動
部材を連結してから駆動部材の挿入穴にシリンダチュー
ブを挿入するため、シリンダの内壁に連結の痕跡が残る
ことがない。
【0010】また連結用ねじの他に、キー、ピンまたは
円筒コロ等よりなる嵌合部材をテーブルおよび駆動部材
の双方に嵌合して、作動時にテーブルに加わる衝撃によ
って駆動部材との間に発生する剪断力を支えるようにす
ると、より強度の高い連結構造を構成することが可能と
なる。またこのようにすると連結用ねじを小径化するこ
とが可能となり、駆動部材を更にコンパクト化すること
が可能となる。
【0011】
【実施例】つぎに本考案の実施例を図面にしたがって説
明する。図1は当該実施例に係る流体圧アクチュエータ
の一部切欠した平面図、図2は正面図、図3は側面図
(左側面図)、図4は連結部材単品の断面図である。
【0012】図1ないし図3において、先ず、符号1は
固定部を示しており、この固定部1が以下のように構成
されている。
【0013】すなわち、一対の端部材2,3が互いに平
行に配置されており、この一対の端部材2,3の間にレ
ール状のガイド部材4が端部材2,3と直交するように
架設されるとともに、ロッド5がガイド部材4と平行に
架設されている。ガイド部材4は複数のボルト6によっ
て端部材2,3に硬く固定されている。ロッド5は中空
であって、かつ軸方向に二分割されており、分割体7,
8同士の間にピストン9が挾まれている。ロッド5の分
割体7,8はそれぞれ、その軸方向一端部7a,8aに
おいて、端部材2,3の内側側面に設けられた挿入凹部
10,11に挿入されるとともに、軸方向他端部7b,
8bにおいて、ピストン9の軸方向端面に設けられた挿
入用凹部12,13に挿入されている。
【0014】端部材2,3の外側側面にそれぞれ配管ポ
ート14,15が設けられており、この配管ポート1
4,15とロッド5の分割体7,8の中空部7c,8c
とを連通するように、端部材2,3にそれぞれ接続路1
6,17が設けられている。また中空部7c,8cと後
記するシリンダチューブ36内部の両室を連通するよう
に、ピストン9の軸方向端面にそれぞれ、連通用凹部1
8,19が挿入用凹部12,13と一部重なるようにし
て設けられている。また端部材2,3にそれぞれ、後記
する移動部31が往復動のストローク限に来たときに緩
衝作用をなすショックアブソーバ20,21が取り付け
られている。ショックアブソーバ20,21はそれぞれ
ねじ込み式であって、よってその端部材2,3に対する
取付位置を軸方向に調整可能である。
【0015】図1ないし図3において、符号31は移動
部を示しており、この移動部31が以下のように構成さ
れている。
【0016】すなわち、略箱形を呈し、ワークまたはツ
ール等(以下、ワーク等と称する)の搭載面33を備え
たテーブル32がガイド部材4の上に転動体(図示せ
ず)を介して、ガイド部材4の長手方向に沿って相対移
動自在に高精度に組み合わされており、このテーブル3
2に駆動部材34が連結され、この駆動部材34の略中
央に挿入穴35が貫通形成され、この挿入穴35にシリ
ンダチューブ36が内挿固着され、このシリンダチュー
ブ36の内周側に上記したロッド5およびピストン9が
相対移動自在に組み込まれている。シリンダチューブ3
6の両端はカバー37,38によって閉塞されており、
このカバー37,38に対してロッド5の分割体7,8
が相対移動自在に貫挿されている。
【0017】テーブル32に対して駆動部材34が、以
下のようにして連結されている。
【0018】すなわち、先ず、図4に良く示されている
ように、シリンダチューブ36を内挿固着する挿入穴3
5を貫通形成した駆動部材34に、挿入穴35と直角に
交差するように、貫通穴39が二組、互いに平行に設け
られており、この貫通穴39がそれぞれ、挿入用開口部
40と連結用開口部41とを同軸上に備えている。挿入
用開口部40は、テーブル32に駆動部材34を連結す
る際に連結用ねじ43を矢印A方向に差し通すためのも
ので、その内径寸法を連結用ねじ44の大径の頭部の外
径寸法より大きく設定されている。一方、連結用開口部
41は、テーブル32に駆動部材34を連結する際に連
結用ねじ44の小径のねじ部を通すとともに頭部を着座
させるもので、頭部収容部42と、ねじ部貫挿部43と
を備えており、頭部収容部42が、連結用ねじ44の頭
部の外径寸法より大きな内径寸法と、頭部の軸方向長さ
(ねじ込み方向長さ)より大きな軸方向長さ(ねじ込み
方向深さ)とを備えており、ねじ部貫挿部43が、連結
用ねじ44の頭部の外径寸法より小さく、かつねじ部の
外径寸法より大きな内径寸法を備えている。また駆動部
材34と対面することになるテーブル32の側面に、連
結用ねじ44のねじ部をねじ込むねじ穴(図示せず)が
二つ、それぞれねじ部貫挿部43に対応して設けられて
いる。一部において説明の繰り返しになるが、挿入用開
口部40、頭部収容部42、ねじ部貫挿部43およびね
じ穴は同軸上に配置されている。
【0019】また図1および図4に示したように、二組
の貫通穴39のねじ部貫挿部43の間に位置して、駆動
部材34の側面に嵌合凹部45が設けられるとともに、
これと対向してテーブル32の側面に嵌合用凹部46が
設けられており、この双方の凹部45,46に、キー、
ピンまたは円筒コロ等よりなる嵌合部材47が嵌合され
ている。この嵌合構造は、作動時にテーブル32に加わ
る衝撃によって駆動部材34との間に発生する剪断力を
これによって支えて、ねじ44にかかる負担を軽減する
ものである。また駆動部材34の変位方向端面にそれぞ
れ、ショックアブソーバ20,21に当接する受け部材
48,49が取り付けられている。
【0020】上記構成を備えた流体アクチュエータは、
産業用ロボット等に装着され、テーブル32にワーク等
を搭載し、圧縮空気の供給によってこのワーク等を直線
的に往復動させるもので、以下の作用効果を奏する。
【0021】 ガイド部材4に対し相対移動するガイ
ド機能を備えたテーブル32と、圧縮空気の供給を受け
てテーブル32を相対移動させる駆動機能を備えた駆動
部材34とが別体とされているために、高精度で安価な
市販のベアリング(ガイド部材4、転動体およびテーブ
ル32よりなる)の精度を十分に発揮させることができ
る。 駆動部材34に直接シリンダを設けず、シリンダチ
ューブ36を内装することにしたために、必要以上に駆
動部材34を大きくしたりシリンダ径を小さくしたりす
ることなく、駆動部材34をコンパクトにすることがで
きる。 図5または図6に示すように、テーブル32および
ガイド部材4の数の設定が容易で、用途に応じた剛性を
持った流体圧アクチュエータを容易に供給することがで
きる。
【0022】 テーブル32の高さが市販のベアリン
グそのままなので、ユーザーにおいて市販のベアリング
を購入し、テーブル32およびガイド部材34を任意に
追加することができ、剛性向上の改造を容易に行なうこ
とができる。 端部材2,3にそれぞれ、軸方向に変位可能にショッ
クアブソーバ20,21が備えられているために、スト
ロークエンドでの緩衝効果があるとともに、テーブル3
2のストロークエンド位置の微妙な設定が可能である。 駆動部材34およびテーブル32双方の凹部45,
46に、キー、ピンまたは円筒コロ等よりなる嵌合部材
47が嵌合されているために、作動時にテーブル32に
加わる衝撃によって駆動部材34との間に発生する剪断
力をこれによって支えることができる。したがって、よ
り強度の高い連結構造を提供することができる。また併
せて、これによって連結用ねじ44を小径化することが
でき、駆動部材34を更にコンパクト化することができ
る。
【0023】
【発明の効果】本発明は、以下の効果を奏する。
【0024】 ガイド部材に対し相対移動するガイド
機能を備えたテーブルと、圧縮空気の供給を受けてテー
ブルを相対移動させる駆動機能を備えた駆動部材とが別
体とされているために、高精度で安価な市販のベアリン
グの精度を十分に発揮させることができる。 駆動部材に直接シリンダを設けず、シリンダチュー
ブを内装することにしたために、必要以上に駆動部材を
大きくしたりシリンダ径を小さくしたりすることなく、
駆動部材をコンパクトにすることができる。 テーブルおよびガイド部材の数の設定が容易で、用
途に応じた剛性を持った流体圧アクチュエータを容易に
供給することができる。 テーブルの高さが市販のベアリングそのままなの
で、ユーザーにおいて市販のベアリングを購入し、テー
ブルおよびガイド部材を任意に追加することができ、剛
性向上の改造を容易に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施例に係る流体圧アクチュエー
タの一部切欠した平面図
【図2】同実施例に係る流体圧アクチュエータの正面図
【図3】同実施例に係る流体圧アクチュエータの側面図
【図4】同実施例に係る連結部材の断面図
【図5】本発明の第二実施例に係る流体圧アクチュエー
タの一部切欠した平面図
【図6】本発明の第三実施例に係る流体圧アクチュエー
タの一部切欠した平面図
【符号の説明】
1 固定部 2,3 端部材 4 ガイド部材 5 ロッド 6 ボルト 7,8 分割体 9 ピストン 10,11 挿入凹部 12,13 挿入用凹部 14,15 配管ポート 16,17 接続路 18,19 連通用凹部 20,21 ショックアブソーバ 31 移動部 32 テーブル 33 搭載面 34 駆動部材 35 挿入穴 36 シリンダチューブ 37,38 カバー 39 貫通穴 40 挿入用開口部 41 連結用開口部 42 頭部収容部 43 ねじ部貫挿部 44 連結用ねじ 45 嵌合凹部 46 嵌合用凹部 47 嵌合部材 48,49受け部材

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シリンダチューブ(36)に対して相対
    移動可能にこのシリンダチューブ(36)内に設けられ
    たピストン(9)と、前記シリンダチューブ(36)を
    挿入穴(35)に挿入し、圧縮空気によって進退自在に
    変位する駆動部材(34)と、前記駆動部材(34)の
    変位に伴ってガイド部材(4)に沿ってスライド自在に
    従動するテーブル(32)と、を備え、 前記挿入穴(35)と交差するように前記駆動部材(3
    4)に設けられた貫通穴(39)より連結用ねじ(4
    4)を前記テーブル(32)にねじ込んで、前記駆動部
    材(34)と前記テーブル(32)とを連結することを
    特徴とする流体圧アクチュエータ。
JP34512295A 1995-12-08 1995-12-08 流体圧アクチュエータ Ceased JP3414569B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34512295A JP3414569B2 (ja) 1995-12-08 1995-12-08 流体圧アクチュエータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34512295A JP3414569B2 (ja) 1995-12-08 1995-12-08 流体圧アクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09155784A true JPH09155784A (ja) 1997-06-17
JP3414569B2 JP3414569B2 (ja) 2003-06-09

Family

ID=18374439

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34512295A Ceased JP3414569B2 (ja) 1995-12-08 1995-12-08 流体圧アクチュエータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3414569B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100449448B1 (ko) * 2000-12-20 2004-09-21 에스엠시 가부시키가이샤 완충기구를 부착한 직선작동기
US8441065B2 (en) 2005-12-16 2013-05-14 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device and manufacturing method of the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100449448B1 (ko) * 2000-12-20 2004-09-21 에스엠시 가부시키가이샤 완충기구를 부착한 직선작동기
US8441065B2 (en) 2005-12-16 2013-05-14 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device and manufacturing method of the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP3414569B2 (ja) 2003-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7562594B2 (en) Electric actuator capable of converting rotational motion to a linear motion
JP2886851B2 (ja) スライド駆動装置
KR20050049373A (ko) 액츄에이터
KR20160140904A (ko) 유압 실린더
JP5574152B2 (ja) リニアアクチュエータ
WO2014034408A1 (ja) マグネット式ロッドレスシリンダ
JPH09155784A (ja) 流体圧アクチュエータ
JP2007218296A (ja) アクチュエータ
US4406215A (en) Drive cylinder
US20070084204A1 (en) Intensifier
JPH1047311A (ja) 流体圧シリンダ
JPH0740086Y2 (ja) スライドアクチュエータ
JP2585600Y2 (ja) 流体圧アクチュエータ
JP3927732B2 (ja) 緩衝機構付き流体圧アクチュエータ
JP2572813Y2 (ja) 流体圧シリンダ
JP2002130208A (ja) 揺動形アクチュエータ
JPH0435606Y2 (ja)
JP3755553B2 (ja) スライドシリンダ
JP2607642Y2 (ja) 流体圧アクチュエータ
JP2537176Y2 (ja) ラックピニオン形揺動アクチュエータ
JP3812648B2 (ja) 揺動アクチュエータ
US6539834B1 (en) Slide table unit
JP4308539B2 (ja) 流体圧シリンダ
JPH10259804A (ja) ラックピニオン形ロータリアクチュエータ
JP2003526764A (ja) 直線駆動装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20030305

RVOP Cancellation by post-grant opposition