KR100396182B1 - 고압용 저항기 및 그 저항값 조정 방법 - Google Patents

고압용 저항기 및 그 저항값 조정 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100396182B1
KR100396182B1 KR10-1999-0055395A KR19990055395A KR100396182B1 KR 100396182 B1 KR100396182 B1 KR 100396182B1 KR 19990055395 A KR19990055395 A KR 19990055395A KR 100396182 B1 KR100396182 B1 KR 100396182B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
trimming
resistance value
resistor
high voltage
substrate
Prior art date
Application number
KR10-1999-0055395A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20000052424A (ko
Inventor
히가시시게키
Original Assignee
가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 filed Critical 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Publication of KR20000052424A publication Critical patent/KR20000052424A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100396182B1 publication Critical patent/KR100396182B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C17/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/22Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
    • H01C17/24Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
    • H01C17/242Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material by laser

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Abstract

본 발명은 단시간에 높은 정밀도의 저항값 조정을 행할 수가 있으며, 저항값 조정부에서의 높은 절연성을 얻을 수가 있는 고압용 저항기 및 그 저항값 조정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 구성에 따르면, 기판(1)상의 저항체막(3)의 비형성부로부터 저항값 조정부(3a)의 저항체막(3)에 걸쳐서 레이저 트리밍에 의하여 저항체막(3)을 직선형상으로 제거하여 형성된 트리밍 홈(7)이 4개 형성되며, 각 트리밍 홈(7)은 동일한 길이로 형성되어 있다.

Description

고압용 저항기 및 그 저항값 조정 방법{Resistor for high voltage and Method of adjusting resistance value thereof}
본 발명은 고압 전원, TV 수상기, CRT 디스플레이 등의 고전압 회로에 사용되는 고압용 저항기에 관한 것이다.
종래부터, 이러한 종류의 고압용 저항기는, 알루미나 등의 절연성의 기판에 복수의 단자 전극을 형성하고, 이들 단자 전극 사이에 인쇄, 소성에 의하여 형성된 저항체막을 형성하고 있다. 그리고, 소망의 저항값을 얻기 위하여, 샌드 블라스트법 또는 레이저 트리밍에 의하여 저항체막에 형성된 저항값 조정부의 일부를 제거(트리밍)하여 저항값을 조정하고 있다.
샌드 블라스트법은, 알루미나 분말을 높은 압력으로 분사하여 저항체막의 일부를 제거하는 방법이며, 폭이 넓은 트리밍 홈을 형성할 수가 있다. 종래의 레이저 트리밍법은, 저항값을 측정하면서 저항체막에 레이저 광선을 조사하여, 저항체막의 일부를 제거하는 방법이며, 목적으로 하는 저항값이 얻어진 시점에서 트리밍을 종료한다. 이 레이저 트리밍에 의하여 형성된 트리밍 홈의 폭은 0.05∼0.3mm로 매우 좁은 것이 되며, 복수의 트리밍 홈을 형성한 경우에는, 트리밍 홈의 길이는 다른 길이로 형성된다.
이와 같은 고압용 저항기는 수 KV∼수십 KV의 고전압에서 사용되기 때문에, 저항값 조정부에 가해지는 전위차(전압)도 수 100V∼수 KV로 높은 값이 되며, 저항값 조정부에 실시하는 트리밍은, 고전압에 견딜 수 있는 높은 절연성을 갖는 것이 중요해진다. 이 때문에, 이러한 종류의 고압용 저항기에서는, 트리밍 홈의 폭을 넓게 형성할 수가 있으며, 높은 절연성을 얻을 수가 있는 샌드 블라스트법에 의한 트리밍이 많이 사용되고 있다. 그러나, 샌드 블라스트법에서는, 트리밍 시간이 길고, 트리밍후에 세정 작업 등이 필요하며 제조 원가가 높아진다고 하는 문제가 있으며, 게다가 높은 정밀도로 저항값을 조정할 수가 없다고 하는 문제가 있었다.
한편, 종래의 레이저 트리밍법에서는, 트리밍 시간을 단축할 수 있으며 저항값을 높은 정밀도로 조정할 수가 있지만, 레이저 트리밍법에 의하여 저항값이 조정된 종래의 고압용 저항기에서는, 트리밍 홈의 폭이 좁기 때문에 높은 절연성을 얻을 수가 없다고 하는 문제가 있었다. 즉, 종래의 레이저 트리밍법에 의하여 직선 형상의 트리밍 홈을 1개 형성한 경우, 실사용시의 고전압이 인가된 상태에서 트리밍 홈에 리크 전류가 흐르고, 저항값이 대폭 저하하여, 특성 불량이 된다고 하는 문제가 있었다. 또한, 복수의 트리밍 홈을 형성한 경우에도 도 3에 나타낸 바와 같이 트리밍 홈(13)의 길이가 다르기 때문에, 길이가 긴 트리밍 홈의 종점 부분(도 3에 있어서의 A부분)에 고전압이 집중되므로, 이 부분에 리크 전류가 흘러서 특성 불량이 되는 수가 있었다. 도 3에 있어서, 참조 부호 11은 기판, 12는 저항체막의 저항값 조정부, 13은 트리밍 홈이다.
따라서, 본 발명의 목적은 레이저 트리밍에 의하여 단시간에 높은 정밀도의 저항값 조정을 행할 수가 있으며, 저항값 조정부에서의 높은 절연성을 얻을 수가 있는 고압용 저항기 및 그 저항값 조정 방법을 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시 형태에 따른 고압용 저항기의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 한 실시 형태에 따른 고압용 저항기의 저항값 조정부의 평면도이다.
도 3은 종래의 고압용 저항기의 저항값 조정부의 평면도이다.
(도면의 주요 부분에 있어서의 부호의 설명)
1: 기판
2: 단자 전극
3: 저항체막
3a: 저항값 조정부
4: 유리 코트
5: 리드 단자
7: 트리밍 홈
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 한 양태에 따른 고압용 저항기는. 기판; 및 상기 기판상에 형성된 저항체막;을 포함하며, 상기 기판상의 저항체막 비형성부로부터 저항체막에 걸쳐서 레이저 트리밍에 의하여 형성된 복수의 직선형상의 트리밍 홈이 평행하게 형성되며, 또한 저항체막내에 위치하는 한 단부가 트리밍홈에 수직인 방향의 동일선상에 위치하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 양태에 따른 고압용 저항기의 저항값 조정 방법은, 기판; 및 상기 기판상에 형성된 저항체막;을 포함하는 고압용 저항기의 저항값 조정 방법으로서, 상기 기판상의 저항체막 비형성부로부터 저항체막에 걸쳐서 레이저 트리밍에 의하여, 초기 저항값으로부터 산출된 트리밍 길이에 의거하여 동일한 길이로 복수의 트리밍 홈을 형성하는 것을 특징으로 한다.
상기의 구성에 따르면, 레이저 트리밍에 의하여 형성된 트리밍 홈은 각각의 한 단부가 저항체막내의 트리밍 홈과 수직인 방향의 동일선상이 되도록 직선 형상으로 복수개 형성되어 있으며, 특정의 트리밍 홈에 고전압이 집중되어 인가되지 않으며, 또한 각 트리밍 홈에 인가되는 전압은 저감되며, 저항값 조정부에서의 높은 절연성을 얻을 수가 있다. 트리밍 홈의 수는 저항값 조정부에 인가되는 전압에 따라서 설정된다. 요컨데, 저항값 조정부에 인가되는 전압이 높아짐에 따라서, 많은 트리밍 홈이 형성된다. 즉 고전압이 인가되는 고압용 저항기에 있어서도, 단시간에 높은 정밀도로 저항값 조정이 가능한 레이저 트리밍법에 의하여 고전압에 견딜 수 있는 저항값 조정을 행할 수가 있다.
(발명의 실시 형태)
이하, 본 발명의 한 실시 형태에 따른 고압용 저항기를 도 1 및 도 2에 의거하여 설명하겠다. 도 1은 고압용 저항기의 평면도, 도 2는 저항값 조정부의 부분확대 평면도이다.
본 실시 형태의 고압용 저항기는, 알루미나 등의 세라믹으로 이루어지는 직사각형 형상의 절연성의 기판(1)을 구비하고 있다. 기판(1)의 양 단부에 Ag계 도체 페이스트를 인쇄, 소성하여 형성한 단자 전극(2, 2)이 형성되며, 단자 전극(2, 2)사이에 산화 루테늄을 주 성분으로 하는 저항체 페이스트를 인쇄, 소성하여 형성한 저항체막(3)이 형성되며, 저항체막(3)의 형성 영역에 저항체막(3)을 덮도록 유리 코트(4)가 피복되며, 단자 전극(2, 2)에 리드 단자(5, 5)가 솔더링 등에 의하여 고정되어 있다. 유리 코트(4)는 필요에 따라서 형성하는 것이며, 형성되지 않는 경우도 있다. 또한, 통상 기판(1)전체를 덮도록 외장 수지(도시 생략)가 피복된다. 그리고, 이 고압용 저항기는 단시간에 높은 정밀도의 저항값 조정이 가능한 레이저 트리밍에 의하여 그 저항값이 조정되어 있다.
저항체막(3)은 폭이 좁고 사행 형상으로 형성된 부분 및 대략 직사각형 형상의 큰 면적을 갖는 저항값 조정부로 구성되어 있다. 저항값 조정부(3a)에는 저항값을 조정하기 위하여 레이저 트리밍에 의하여 저항체막(3)을 직선 형상으로 제거하여 형성된 트리밍 홈(7)이 복수개(본 실시 형태에서는 4개) 형성되어 있다. 각 트리밍 홈(7)은 유리 코트(4)로부터 기판(1)의 베이스부에까지 형성되어 있다.
각 트리밍 홈(7)은 기판(1)의 단변과 평행하고 또한 한 단부가 저항체막(3)의 비형성부에 위치하고 다른 단부가 저항체막(3)내에 위치하도록 형성되며, 각각의 양 단부가 기판(1)의 장변으로부터 동일한 위치가 되도록 동일한 길이로 형성되어 있다. 즉, 각 트리밍 홈(7)의 저항체막(3)내에 위치하는 한 단부는 트리밍홈(7)에 직교하는 동일선상에 위치하도록 형성되어 있다.
이 구성에 있어서는, 레이저 트리밍에 의하여 형성된 트리밍 홈은 각각의 한 단부가 저항체막내의 동일 위치가 되도록 직선형상으로 복수개 형성되어 있으며, 특정의 트리밍홈에 고전압이 집중되어 인가되지 않으며, 또한 각 트리밍홈에 인가되는 전압은 저감된 것이 되므로, 저항값 조정부에서의 높은 절연성을 얻을 수가 있다.
본 실시 형태의 고압용 저항기의 레이저 트리밍에 의한 저항값 조정 방법은 이하와 같이 행해진다. 먼저, 단자 전극(2, 2)에 저항값 측정용의 프로브를 접촉시켜서 전체의 저항값을 측정한다. 다음으로, 측정한 저항값으로부터 트리밍 수 및 트리밍 길이를 몇개로 설정하면, 필요로 하는 저항값이 얻어지는가를 산출한다. 이 때, 트리밍수는 저항값 조정부에 인가된다고 상정되는 전압 및 레이저 트리밍 장치의 트리밍 폭에 따라서, 미리 그 최소의 수(2개 이상)가 설정된다. 이어서, 산출된 트리밍 수 및 트리밍 길이로 저항체막(3)을 직선형상으로 레이저 트리밍하여, 저항체막(3)에 동일 길이의 복수의 트리밍 홈(7)을 형성한다. 레이저 트리밍의 시점은, 각각 기판(1)의 한쪽의 장변으로부터 동일 위치의 저항체막(3)이 형성되어 있지 않은 부분에 위치하고, 그 종점은 저항체막(3)내에 위치하도록 설정된다. 트리밍 사이의 피치는 고압용 저항기의 종류마다 미리 설정된다.
이와 같이, 본 실시 형태에서는, 종래와 같이 저항값을 측정하면서 트리밍을 행하고 저항값이 소정의 값이 된 시점에서 트리밍을 종료하는 방법이 아니며, 트리밍을 시작하기 전에 그 초기 저항값을 측정하고, 이 초기 저항값에 의거하여 트리밍 수 및 트리밍 길이를 결정하여 레이저 트리밍을 행하고 있다.
고압용 저항기의 구성은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 3개 이상의 단자 전극을 형성한 것, 또는 상기 실시 형태의 저항값 조정부에 더하여, 저항체막의 일부에 사다리 형상의 스터브를 형성하고 상기 스터브를 절단하여 저항값을 거친 조정하도록 구성한 것이어도 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 고압용 저항기에 따르면, 레이저 트리밍에 의하여 형성된 트리밍 홈은 각각의 한 단부가 저항체막내의 트리밍 홈과 수직인 방향의 동일선상이 되도록 직선 형상으로 복수개 형성되고, 특정의 트리밍 홈에 고전압이 집중되어 인가되지 않으며, 또한 각 트리밍 홈에 인가되는 전압은 저감되며, 저항값 조정부에서의 높은 절연성을 얻을 수가 있다.
또한, 본 발명의 고압용 저항기의 저항값 조정 방법에 따르면, 단시간에 높은 정밀도로 저항값 조정이 가능한 레이저 트리밍법에 의하여 고전압에 견딜 수 있는 저항값 조정을 행할 수가 있다.

Claims (2)

  1. 기판; 및 상기 기판상에 형성된 저항체막;을 포함하며,
    상기 기판상의 저항체막 비형성부로부터 저항체막에 걸쳐서 레이저 트리밍에 의하여 형성된 복수의 직선형상의 트리밍 홈이 평행하게 형성되며, 또한 저항체막내에 위치하는 한 단부가 트리밍홈에 수직인 방향의 동일선상에 위치하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고압용 저항기.
  2. 기판; 및 상기 기판상에 형성된 저항체막;을 포함하는 고압용 저항기의 저항값 조정 방법으로서,
    상기 기판상의 저항체막 비형성부로부터 저항체막에 걸쳐서 레이저 트리밍에 의하여, 초기 저항값으로부터 산출된 트리밍 길이에 의거하여 동일한 길이로 복수의 트리밍 홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 고압용 저항기의 저항값 조정 방법.
KR10-1999-0055395A 1999-01-26 1999-12-07 고압용 저항기 및 그 저항값 조정 방법 KR100396182B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11017429A JP2000216013A (ja) 1999-01-26 1999-01-26 高圧用抵抗器及びその抵抗値調整方法
JP11-17429 1999-01-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000052424A KR20000052424A (ko) 2000-08-25
KR100396182B1 true KR100396182B1 (ko) 2003-08-27

Family

ID=11943786

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-1999-0055395A KR100396182B1 (ko) 1999-01-26 1999-12-07 고압용 저항기 및 그 저항값 조정 방법

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2000216013A (ko)
KR (1) KR100396182B1 (ko)
CN (1) CN1169163C (ko)
TW (1) TW432400B (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5179155B2 (ja) * 2007-12-07 2013-04-10 太陽社電気株式会社 チップ抵抗器
JP5544839B2 (ja) * 2009-11-24 2014-07-09 コーア株式会社 抵抗器の抵抗値調整方法
CN102176356A (zh) * 2011-03-01 2011-09-07 西安天衡计量仪表有限公司 一种铂电阻芯片及铂电阻芯片的制备方法
JP6618248B2 (ja) * 2014-10-24 2019-12-11 Koa株式会社 抵抗器およびその製造方法
CN113808802B (zh) * 2021-07-13 2022-04-12 国网浙江省电力有限公司营销服务中心 笼式特高压负载架以及直流高压设备
JP2023021533A (ja) * 2021-08-02 2023-02-14 Koa株式会社 抵抗器および抵抗器の製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0555015A (ja) * 1991-08-26 1993-03-05 Nec Corp 厚膜抵抗体のレーザトリミング方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0555015A (ja) * 1991-08-26 1993-03-05 Nec Corp 厚膜抵抗体のレーザトリミング方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000216013A (ja) 2000-08-04
TW432400B (en) 2001-05-01
CN1262516A (zh) 2000-08-09
KR20000052424A (ko) 2000-08-25
CN1169163C (zh) 2004-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100396182B1 (ko) 고압용 저항기 및 그 저항값 조정 방법
CN103460308A (zh) 由绝缘衬底上的电阻膜材料制成的电阻分压器
US7940158B2 (en) Chip resistor and its manufacturing method
TW201947617A (zh) 晶片電阻器及晶片電阻器之製造方法
JP2007073693A (ja) チップ抵抗器とのその製造方法
US7772864B2 (en) Contact probe with reduced voltage drop and heat generation
JP2018195637A (ja) チップ抵抗器の製造方法
JPH01304705A (ja) 膜抵抗体のトリミング方法
JP6618248B2 (ja) 抵抗器およびその製造方法
US5504470A (en) Resistor trimming process for high voltage surge survival
JPH09205004A (ja) チップ抵抗器及びその製造方法
WO2018207455A1 (ja) チップ抵抗器の製造方法
JP2764517B2 (ja) チップ抵抗器、ならびに、これを用いる電流検出回路および電流検出方法
JPH03196482A (ja) 高圧電極
EP0188615B1 (en) Method of and apparatus for forming thick-film circuit
WO2023013351A1 (ja) 抵抗器および抵抗器の製造方法
US20220375661A1 (en) Chip resistor
JP2018190923A (ja) チップ抵抗器の製造方法
JP3760577B2 (ja) 抵抗器
JPH10199703A (ja) チップ抵抗器用基板とチップ抵抗器の製造方法
JP2021136365A (ja) チップ抵抗器
JP2006156724A5 (ko)
JP2006156724A (ja) チップ状電子部品の抵抗値測定方法
JPH0546247Y2 (ko)
JP2006041557A (ja) 角形チップ抵抗器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120719

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130722

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140722

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150807

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160805

Year of fee payment: 14

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170811

Year of fee payment: 15

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190808

Year of fee payment: 17