KR100378407B1 - 고청정건조공기의 제조공급시스템 및 방법 - Google Patents

고청정건조공기의 제조공급시스템 및 방법 Download PDF

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닛폰산소 가부시키가이샤
오미 다다히로
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Abstract

고청정건조공기를, 보다 염가로 또한 작은 제조 플랜트로 제조하여 공급함과 동시에, 해당 고청정건조공기를 효과적으로 순환사용할 수 있는 고청정건조공기의 제조공급시스템 및 방법이다. 크린룸내에 보관창고, 반송장치 등을 갖는 반송설비와, 처리설비를 배치하고, 상기 고청정건조공기를 해당 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 공급하는 공급경로와, 상기 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽으로부터 배출된 이미 사용한 고청정건조공기를 두 번째 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 순환공급하는 순환경로를 구비하였다. 상기 공급경로는 상기 반송장치에 접속하고, 상기 순환경로는, 상기 반송장치 및 보관창고에서 이미 사용한 고청정건조공기를 보관창고에 순환공급하도록 접속하고 있다.

Description

고청정건조공기의 제조공급시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING AND SUPPLYING HIGHLY CLEAN DRY AIR}
반도체소자, 활동적 매트릭스형 액정패널, 태양전지패널 자기디스크 등의 제품은, 표면이 고도로 청정화된 실리콘이나 유리 등의 기판표면에 소정의 박막 등을 순차 적층처리하여 제조된다. 이들 각 제품의 제조는, 지극히 높은 정밀도가 요구되며, 기판표면에 조금이라도 불순물이 부착, 흡착하고 있으면, 고품질의 제품을 제조하는 것이 곤란하게 된다. 또한 상기 기판은 반송중이거나 보관중, 혹은 각종의 처리를 거치는 것에 따라 대전하는 경우가 있고, 그 결과 분위기중의 불순물을가까이 당겨 부착시키기 쉽다.
예컨대, 불순물이 되는 수분이 제조공정중의 기판표면에 흡착되어 있으면, 제조공정에 장해가 일어나 버린다. 또한 흡착한 수분이 많고, 분위기중에 산소가 존재하면, 기판표면에 자연산화막이 형성되어, 그 후의 소정의 박막형성 등을 행할 수 없게 된다. 또한, 액정패널에 사용되는 박막트랜지스터(TFT)의 제조공정에 있어서, SiNx 등으로 이루어지는 절연막의 표면에 수분이 존재하고 있으면, 그 위에 아몰패스 실리콘(a-Si)막을 균일한 두께로 높은 정밀도로 형성할 수 없게 된다.
또한, 집적회로(IC)의 제조에 있어서 게이트 산화막형성공정에서는, n부 또는 p부의 표면에 수분이 존재하면, SiO2와 Si의 계면에 SiOx 막이 형성되어 버리며, MOS 트랜지스터가 스위치로서 기능하지 않게 된다. 동시에, 캐퍼시터의 표면에 수분이 존재하면, 그 계면에 SiOx 막이 형성되어 버리며, 캐퍼시터전극으로의 차지(Charge)를 할 수 없고, 기억소자로서 기능을 하지 못하게 된다.
또한, 배선공정에서는, 텅스텐(W)막을 형성하기 전에 텅스텐 실리사이드에 의한 스파이크방지를 위해 TiN 막을 형성하지만, 기판상에 수분이 존재하면, TiN 막의 밀착성이 저하하는 등의 결함이 생긴다. 또한, 수분이외의 불순물, 예컨대, CO, CO2등의 존재하에서 열처리 등을 하면, 기판(Si)표면에서 탄소와 실리콘이 반응하여, SiC 막이 형성되어 버리며, 디바이스의 동작특성에 결함을 발생시킨다.
통상, 반도체집적회로 등의 제품을 제조하기 위해서 사용되는 각종 처리설비는, 미립자를 제거한 크린룸내에 배치된다. 상기 제품에 사용되는 기판은, 많은 처리공정을 거치기 때문에, 어떤 처리공정에서 다음 처리공정으로 반송설비에 의해서 반송된다. 이 반송설비도 크린룸내에 배치되어 있기 때문에 반송시의 기판은 크린룸내의 공기(크린룸에어)에 노출되게 된다. 또한, 상기 반송설비는 기판을 반송하는 반송장치와, 기판을 일시적으로 보관하는 보관창고를 갖고 있다. 또한 보관창고도 차내에서 기판을 이동시키는 이송장치를 갖고 있다.
상기 크린룸내는 통상, 온도 20∼25℃, 상대습도 50%로 유지되며, 미립자는 제거되어 있지만, 가스형상 불순물은 다량으로 존재한다. 이 때문에, 크린룸에어중에 존재하는 불순물이 기판의 표면에 흡착하게 된다. 예컨대, 수분은 기판의 표면에 순간적으로 흡착한다. 이 수분의 흡착을 방지하기 위해서 크린룸 전체의 수분을 제거하는 것은 사실상 곤란하다.
따라서, 특개평 10-163288호 공보에는, 기판을 건조질소 또는 합성공기의 충전된 포켓에 보관하여 처리공정에서 다음 처리공정으로 반송하는 반송 로봇이 개시되어 있다. 이 기술에 의하면, 반송설비와 처리설비와의 사이에서 기판을 이송할 때에 기판이 크린룸에어에 접촉하는 것을 완전히 방지할 수 있다. 또한, 특개평 5-211225호 공보에는 각 처리설비를 터널에서 연결하여 그 터널내에 질소가스 등의 불활성가스를 통풍시키고, 기판을 그 불활성가스 터널내로 반송시키는 시스템이 개시되어 있다. 이러한 시스템이면, 기판을 대기에 노출시키는 일없이 반송하는 것이 가능하고, 불활성가스의 유동을 이용하여 기판을 반송하는 것도 가능하다. 또한, 특개평 8-191093호 공보에는 이것을 개선한 것으로서 불활성가스 터널내를 유동하는 질소가스를 심냉분리형질소 제조장치에 도입하여, 재이용하는 기술이 개시되어있다. 또한, WO 97-24760 A1에는, 안전대책를 위해 불활성가스와 산소의 혼합가스에 의한 반송방법이 개시되어 있다.
그런데, 통상의 방법에 의해서 제조되는 고청정건조공기는 공기압축기에 의해서 원료가 되는 대기를 소정압력까지 가압한 뒤, 촉매정제기, 흡착정제기를 통과시키기 때문에 그 단가는, 통상의 크린룸에어의 제조단가에 비교해서 비싸다. 한편 기판의 반송 혹은 보관시에 사용하는 청정공기량은 방대한 것이 된다. 예컨대, 반도체집적회로의 제조공장으로 8인치의 Si기판을 1000장/일로 처리하는 경우, 사용하는 청정공기량은, 약 200만m3/h로 된다.
따라서, 비싼 고청정건조공기를 대량으로 사용하기 위한 경제적 부담이 컸다. 또한, 이 양의 고청정건조공기를 제조하기 위한 플랜트의 가격은, 1대당 수백억원이 되기 때문에 실제로 이 규모의 플랜트를 제작하는 것은 곤란하였다. 플랜트의 규모를 작게 하기 위해서는, 사용한 고청정건조공기의 재이용을 생각할 수 있지만, 재이용하기 위해서는 방대한 이미 사용한 고청정건조공기를 순환할 수 있고, 또한, 공기를 오염시키지 않는 순환 팬과 순환경로로부터 오염물을 발생시키지 않는 재료가 필요하다.
그러나, 순환 팬을 사용한 경우, 순환 팬을 구동시키기 위한 동력이 필요하게 되고, 공기순환의 비용상승을 초래하게 된다. 또한 순환 팬은 대부분의 경우 축받이에 기름을 사용하고 있기 때문에 공기를 오염시키지 않고서 순환시키는 것이 곤란하다.
또한, 이미 사용한 고청정건조공기의 순환경로의 배관을 갤버니강판제로 하면, 순환공기중의 산소가 갤버니강판의 내부에서 확산방출되는 수소와 반응하여, 배관내면에 수분을 발생시키는 경우가 있었다. 따라서 순환 팬 또는 순환경로의 배관재료로부터 발생하는 오염물을 제거하기 위해서 별도의 불순물제거장치를 설치할 필요가 있었다.
또한, 청정공기제조 플랜트의 고장이 발생한 경우, 제조공장 그 자체가 정지하여 버리기 때문에 그 백업설비가 필요하게 되는데 백업설비에도 많은 투자가 필요하였다. 또한, 고청정건조공기 사용설비에 있어서는, 고청정건조공기중의 불순물 농도에 관해서는 거의 고려하지 않고, 단지 대량으로 도입하고 있었기 때문에, 효과적인 분위기제어가 불가능하고, 또한 낭비가 생겼다.
본 발명은, 고청정건조공기의 제조공급시스템 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 집적회로 제조공정, 고밀도 자기디스크 제조공정, 액정패널 제조공정, 태양전지패널 제조공정 등의 공업프로세스에 있어서, 기판의 보관, 반송 및 처리의 여러가지공정에서의 환경제어를 위해 사용하는 고청정건조공기를 제조하여 공급하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 고청정건조공기의 제조공급시스템의 일 형태예를 나타내는 계통도이다.
도 2는 반송설비 및 처리설비의 공기 흐름을 설명하기 위한 설명도이다.
도 3은 고청정건조공기 제조장치를 2대 이상 설치한 경우의 일 형태예를 나타내는 개략계통도이다.
본 발명의 목적은, 반도체집적회로 제조공정, 고밀도 자기디스크 제조공정, 액정패널 제조공정, 태양전지패널 제조공정 등의 공업프로세스에 있어서, 기판의 보관, 반송 및 처리에 있어서의 환경제어를 위해 사용하는 고청정건조공기를 보다 염가로 또한 작은 제조 플랜트로 제조하여 공급함과 동시에, 상기 기판의 정전기를 제거하면서, 해당 고청정건조공기를 효과적으로 순환시켜 사용할 수가 있는 고청정건조공기의 제조공급시스템 및 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 고청정건조공기의 제조공급시스템은, 공기압축기, 촉매정제기, 흡착정제기 등을 구비한 고청정건조공기 제조장치로 제조한 고청정건조공기를 반도체, 고밀도 기록매체, 액정제조공장 등의 크린룸내에 공급한다. 상기 크린룸내에 보관창고, 반송장치 등을 갖는 반송설비와, 처리설비가 배치되고, 상기 고청정건조공기를 해당 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 공급하는 공급경로와, 상기 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽으로부터 배출된 이미 사용한 고청정건조공기를 다시 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 순환공급하는 순환경로를 구비하고 있다.
상기 공급경로는 상기 반송장치에 접속하고, 상기 순환경로는 상기 반송장치 및 보관창고에서 이미 사용한 고청정건조공기를 보관창고에 순환공급하도록 접속하고 있다.
상기 공기압축기와 촉매정제기의 사이에는, 상기 흡착정제기로부터 도출된 고청정건조공기를 팽창시키는 팽창터빈 및 해당 팽창터빈에 의한 발생동력으로 원료공기의 압력을 더욱 승압시키는 승압기를 포함하는 승압장치가 설치되어 있다. 상기 순환경로의 배관은, 알루미늄합금제 이다.
이미 사용한 고청정건조공기 순환장치는, 상기 공급경로에 설치한 고청정건조공기를 팽창시키는 팬 구동용의 팽창터빈과, 상기 순환경로에 설치한 순환용 팬을 가지며, 해당 순환용 팬은, 상기 팽창터빈의 발생동력에 의해 구동된다. 상기 팽창터빈 및 상기 순환용 팬은, 동일축으로 연결되어 있다. 상기 공급경로 및 상기 순환경로중 어느 한쪽 또는 양쪽에 연(軟)X선조사 정전기 제거장치를 설치하고 있다.
상기 고청정건조공기 제조장치는 복수의 상기 반송설비 및 처리설비에 대하여 한 대 설치할 수가 있다. 또한, 고청정건조공기 제조장치는 하나의 크린룸에 대하여 복수로 설치할 수도 있다. 상기 고청정건조공기 제조장치를 복수로 설치하였을 때는, 각 고청정건조공기 제조장치로부터 고청정건조공기를 도출하는 경로를 상기 공급경로에 접속할 수 있다.
상기 반송설비는, 에어로크실 및 기판도입실을 구비하고 있다. 해당 기판도입실에는, 이미 사용한 고청정건조공기를 도입하는 경로와, 해당 기판도입실에서 사용한 고청정건조공기를 배출하는 경로가 접속되어 있다. 상기 처리설비는 그 전체를 퍼테이션으로 덮고 있고, 해당 퍼테이션은, 상기 고청정건조공기를 그 내부에 공급하는 경로를 설치하고 있다.
본 발명의 고청정건조공기의 제조공급방법은 원료공기압축공정, 촉매정제공정, 흡착정제공정 등을 지나서 제조된 고청정건조공기를 반도체, 고밀도기록매체, 액정제조공장 등의 크린룸내에 공급한다. 상기 고청정건조공기를 상기 크린룸내에 배치한 보관창고, 반송장치 등을 갖는 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 공급함과 동시에, 상기 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽으로부터 배출된 이미 사용한 고청정건조공기를 두 번째 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 순환공급한다.
또한, 상기 흡착정제공정에서 도출한 고청정건조공기를 팽창시킴으로써 발생하는 동력을 이용하여, 상기 원료공기 압축공정후의 원료공기를, 상기 반송설비나 처리설비에 공급하는 압력보다 높은 압력으로 승압하여 상기 촉매정제공정에 도입한다. 상기 반송설비나 처리설비에 공급되는 고청정건조공기를 팽창시킴으로써 발생하는 동력을 이용하여, 상기 이미 사용한 고청정건조공기를 순환공급 한다.
본 발명에 의하면, 외부로부터의 구동용 에너지를 필요로 하지 않고서 이미 사용한 고청정건조공기를 순환공급할 수가 있고, 새로운 비용은 발생하지 않으며, 고청정건조공기의 오염도 없다. 더구나, 건조분위기로 기판을 유지하고 있어도, 연X선의 조사에 의해서 효율적으로 정전기를 제거할 수가 있기 때문에, 기판의 정전파괴를 방지할 수 있다.
또한, 수분농도가 어느 정도 높아진 이미 사용한 고청정건조공기를 공급순환하여 사용함으로써, 효율적으로 기판 환경을 제어하는 것이 가능하다. 그 결과, 순환량을 증가시키는 것이 가능하고, 고청정건조공기 제조장치의 소형화에 기여할 수 있다.
또한, 이미 사용한 고청정건조공기의 일부를 처리설비의 유지관리시에 사용함으로써 그 기동 시간의 단축이 가능해짐과 동시에, 기동시에 필요한 베이킹이 불필요하여 진다.
또한, 고청정건조공기 제조장치에 설치한 승압장치에 의해서 효과적으로 원료공기를 승압할 수가 있기 때문에, 고청정건조공기 제조장치의 소형화에 의한 이니셜 코스트의 저감 및 설치면적의 삭감이 가능해진다. 또한, 공기압축기에서의 에너지소비량이 적어지기 때문에, 보다 염가인 고청정건조공기를 공급하는 것이 가능해진다. 또한, 1대의 고청정건조공기 제조장치의 제조능력이 저하하거나, 정지하거나 하여도, 사용설비, 즉, 처리설비의 가동율의 저하를 억제할 수 있다.
(발명을 실시하기 위한 최량의 형태예)
도 1 및 도 2에 의거하여 본 발명의 고청정건조공기의 제조공급시스템의 일 형태예를 설명한다.
이 고청정건조공기의 제조공급시스템은, 고청정건조공기 제조장치(1)와, 크린룸(9)내에 배치되어 있는 반송설비(2) 및 처리설비(3)와, 상기 고청정건조공기 제조장치(1)로 제조한 고청정건조공기를 반송설비(2)에 공급하는 공급경로(4)와, 반송설비(2)로부터 배출된 이미 사용한 고청정건조공기를 다시 반송설비(2)에 순환 공급하는 이미 사용한 고청정건조공기 순환장치(5)와, 해당 순환장치(5)를 갖는 순환경로(6)를 포함하고 있다.
상기 고청정건조공기 제조장치(1)는, 원료공기중의 분진을 제거하기 위한 에어필터(10)와, 원료공기를 소정압력으로 압축하기 위한 공기압축기(11)와, 열회수를 하기 위한 열교환기(12)와, 원료공기를 촉매반응온도로 가열하기 위한 히터(13)와, 원료공기중의 수소, 일산화탄소, 탄화수소를 촉매반응에 의해 물, 이산화탄소로 전환하기 위한 촉매정제기(14)와, 원료공기를 흡착정제온도로 냉각하기 위한 예냉기(15)와, 원료공기중의 이산화탄소 및 물을 흡착제에 의해서 흡착제거하기 위한 흡착정제기(16)와, 해당 흡착정제기(16)에 충전한 흡착제를 재생하는 가스를 가열하기 위한 재생 히터(17)를 포함하고 있다. 또 촉매정제기(14)와 흡착정제기(16)는 촉매와 흡착제를 1개의 용기에 충전한 것이라도 좋다.
도 1의 형태예에서는 한 대의 고청정건조공기 제조장치(1)에 대하여 반송설비(2), 처리설비(3) 및 이미 사용한 고청정건조공기 순환장치(5)를 포함하는 유니트(7)를 두 대 설치한 예를 나타내고 있지만, 이 유니트(7)의 설치대수는, 공급되는 고청정건조공기의 공급량에 의해서 결정되기 때문에 두 대 이상이어도 좋다.
또한, 도 1의 형태예에서는, 고청정건조공기를 팽창시킴으로써 발생하는 동력을 이용한 승압장치(8)로 원료공기의 승압을 하여, 상기 공기압축기(11)의 부담을 경감하도록 구성하고 있다.
또, 도 1의 형태예에서는, 고청정건조공기 제조장치(1)로 제조한 고청정건조공기의 일부를 심냉분리형 질소제조장치(90)에 공급하고, 반도체제조공정으로 많이 사용되는 질소를 제조하도록 구성하고 있다. 심냉분리형 질소제조장치(90) 전단의 압축기(91)는, 흡착정제기(16)의 출구압력이 충분히 높으면 설치할 필요는 없다. 또한, 심냉분리형 질소제조장치의 설치는 임의로 할 수 있으며, 설치하지 않아도 좋다.
다음에, 고청정건조공기 제조장치(1)로 제조되어 유니트(7)에 공급된 고청정건조공기의 흐름 및 유니트(7)로 순환사용되는 이미 사용한 고청정건조공기의 흐름을 더욱 상세하게 설명한다.
에어필터(10)로 분진이 제거된 원료공기는, 공기압축기(11)에 의해서 소정의 압력, 예컨대 0.30 MPa까지 가압되어 승압장치(8)에 도입된다. 공기압축기(11)는, 유량이 1500∼20000 Nm3/h(Nm3은, 0℃ 1기압의 표준상태로 환산한 부피)의 범위이면, 터보식 혹은 스크루식을 적합하게 사용할 수 있다.
상기 승압장치(8)는, 흡착정제기(16)로부터 공급된 고청정건조공기의 압력을 이용하여 원료공기의 압력을 승압하는 것이며, 고청정건조공기를 팽창시키는 팽창터빈(81)과, 원료공기를 승압하는 승압기(82)를 공통의 축(83)에 결합한 일축식의 것을 사용할 수 있다. 또한 본 형태예에서는 축(83)의 윤활로서 고청정건조공기의 일부를 사용하고 있지만, 동압, 정압 어느 쪽의 윤활방식이라도 좋다. 또, 어느 쪽의 윤활방식이라도 그 기구로부터 원료공기가 고청정건조공기측으로 누설하는 일은 없다. 이 승압장치(8)에 있어서 원료공기의 압력은 예컨대, 0.46 MPa으로 승압 된다.
승압장치(8)로 승압한 원료공기는, 열교환기(12)로 예열된 뒤, 히터(13)로 가온되어 촉매정제기(14)에 도입된다. 히터(13)에 의해서 가온하는 원료공기의 온도는, 촉매정제기(14)에서 제거하는 불순물 성분에 의해서 다르다. 예컨대 수소, 일산화탄소 혹은 탄화수소를 반응시키는 경우에는 상온으로부터 190℃로 가온하고, 메탄을 반응시킬 때는 350℃ 정도까지 가온 한다. 촉매정제기(14)에 사용하는 촉매에는, Ni, Pt, Pd 등의 귀금속, Fe, Cr 등의 중금속 혹은 이들 합금이 알맞다.
촉매정제기(14)에서 생성한 물이나 이산화탄소는 원료공기와 같이 열교환기 (12), 예냉기(15)를 지나서 흡착정제기(16)에 도입된다. 이 때 원료공기는 열교환기(12)에서 냉각되며, 또한 예냉기(15)에서 5℃∼상온으로 냉각된다. 이에 따라, 원료공기중의 수분을 드레인으로서 제거할 수가 있어 흡착정제기(16)로의 도입수분량을 저감하는 것이 가능해진다. 또 냉각온도는 예냉기(15)의 능력에 따라서 결정하면 좋고, 상기 온도범위이면, 냉각수단을 규정하지 않는다.
예냉기(15)에 의해서 냉각된 원료공기는 실리카겔, 알루미나, 제오라이트 등의 흡착제 혹은 이들 혼합물이 충전된 흡착정제기(16)에 도입되고, 수분 및 이산화탄소가 10ppb 이하까지 제거되어 고청정건조공기가 된다. 이러한 흡착법에 의해서 불순물을 제거하는 경우, 흡착제거한 불순물을 이탈시킬 필요가 있기 때문에, 흡착정제기(16)는 통상 2탑 이상의 탑으로 구성되며, 전환하여 사용한다. 즉 1탑에서 불순물의 흡착조작을 하고 있을 때, 다른 탑에서는 재생이 행하여진다.
상기 재생은 일반적으로 가열한 자기정제공기, 즉 상기 공급경로(4)로부터 경로(41)로 분기한 고청정건조공기의 일부를 사용하지만, 수분이나 이산화탄소를 포함하지 않는 다른 프로세스의 배출가스, 예컨대 도면에 파선으로 나타낸 바와 같이, 심냉분리형질소 제조장치(90)로부터 경로(92)로 도출된 배기 가스 등을 사용하여도 좋다. 흡착제의 재생온도는, 통상 100 ∼300℃ 이지만, 재생시간, 재생가스량으로 결정하면 좋고, 이에 구애되는 것은 아니다.
또한, 흡착정제기(16)로부터 승압장치(8)를 지나서 이미 사용한 고청정건조공기 순환장치(5)까지의 고청정건조공기가 흐르는 배관은, 전해연마처리를 실시하여 내면을 경면으로 한 스테인리스강제 혹은 알마이트처리, 전해연마처리 및 순수한 물세정처리로 산화피막을 형성한 알루미늄합금제가 적절하다.
흡착정제기(16)로 불순물이 제거된 고청정건조공기는, 승압장치(8)의 팽창터빈(81)에 도입되어 팽창하고, 원료공기를 승압하는 동력으로서 사용된 후, 상기 공급경로(4)로부터 분기경로(42)로 분기하여, 이미 사용한 고청정건조공기 순환장치 (5)를 지나서 유니트(7)로 보내짐과 동시에, 분기경로(43)로 분기하여 크린룸(9)에 보내진다.
이 때, 상기 승압장치(8)의 입구압력은 예컨대, 0.46 MPa이며, 팽창터빈(81)의 출구압력은 예컨대, 0.15 MPa가 된다. 대기로부터의 불순물혼입을 방지하기 위해서 팽창터빈(81)측의 외부 리크량은 1×10-9Torr·L/s 이하 특히, 1×10-11Torr·L/s 이하로 하는 것이 바람직하다.
다음에 이미 사용한 고청정건조공기 순환장치(5)에 관해서 설명한다. 이 순환장치(5)는 고청정건조공기의 압력을 이용하여 이미 사용한 고청정건조공기를 유니트(7)에 순환공급하는 것으로, 예컨대 고청정건조공기를 팽창시키는 팽창터빈 (51)과 순환공급용의 팬(52)을 공통의 축(53)에 결합한 일축식의 것을 사용할 수 있다. 축(53)의 윤활로서는, 고청정건조공기의 일부를 사용한 동압 혹은 정압윤활방식중 어느 한쪽을 사용하면 된다. 또 어느쪽의 윤활방식이라도 이미 사용한 고청정건조공기중의 불순물 농도가 10O ppb 이하이면, 윤활에 사용한 고청정건조공기가고청정건조공기 제조장치(1)로부터 공급된 고청정건조공기와 혼합하여도 문제는 없다.
여기서 대기로부터의 불순물혼입을 방지하기 위해서 상기 순환장치(5)에서의 외부 리크량은 1×10-9Torr·L/s 이하, 바람직하게는 1×10-11Torr·L/s 이하로 한다. 또 팽창터빈(51) 및 팬(52)은 반드시 동축상에 설치할 필요는 없고, 내부에 변속기를 설치한 구조로서도 좋으며, 팽창터빈(51)측에 보조구동용의 전동기를 설치하여도 좋다. 단지 보조구동용의 전동기를 설치하는 경우에는 구동축상을 고청정건조공기 혹은 이미 사용한 고청정건조공기로 퍼지해 놓는 것이 바람직하다. 또 상기 순환장치(5)는 직렬로 배치하여 단계적으로 소정의 압력까지 감압하여도 좋다.
고청정건조공기를 사용하는 반송설비(2)는 기판도입실(20), 에어로크실(21), 이송장치를 갖는 보관창고(22), 반송장치(23)를 포함하고 있다. 상기 처리설비(3)는 해당 반송장치(23)에 인접하여 설치된다. 상기 보관창고(22)와, 이에 인접하는 기판도입실(20), 에어로크실(21) 및 반송장치(23)와의 사이 및 반송장치(23)와 처리설비(3)의 사이에는, 기밀성에 뛰어난 게이트밸브(도시하지 않음)가 설치되어 있고, 기판은 이들 게이트밸브를 통해 각 방이나 장치사이를 이동한다.
기판도입실(20), 에어로크실(21), 보관창고(22), 반송장치(23), 처리설비(3) 및 순환경로(6)를 형성하는 재료는 알루미늄합금이나 스테인리스강이 사용되고, 그 외부 리크량은 1×10-9Torr·L/s 이하, 바람직하게는 1×10-11Torr·L/s 이하로 하고 있다. 특히, 알루미늄합금은 경량화에 유효하며, 산화피막을 형성한 것이 바람직하다.
기판(24)은 도 2에 나타낸 바와 같이 예컨대, 25장마다 기판수납상자(25)에 수납된 상태로 기판도입실(20)에 반입되고, 고청정건조공기에 의해 그 표면에 흡착한 수분이나 탄화수소 등이 이탈 제거된 뒤, 이송장치에 의해서 보관창고(22)에 일시적으로 수납된다. 또 보관창고(22)는 기판도입실(20)을 겸하고 있어도 좋다.
보관창고(22)내의 기판수납상자(25)는 이송장치에 의해서 반송장치(23)로 이송되고, 해당 반송장치(23)에 의해 기판(24)이 기판수납상자(25)로부터 1장씩 집어내어져 처리설비(3)에 반입된다. 기판(24)은 처리설비(3)에서 소정의 처리가 실시된다. 반송장치(23) 및 처리설비(3)는 1대의 보관창고(22)에 대하여 각각 복수대 설치하여도 좋다.
소정의 처리가 실시된 기판(24)은 처리설비(3)로부터 반송장치(23)를 통하여 보관창고(22)로 되돌려져 이송장치에 의하여 에어로크실(21)에 반출된다. 에어로크실(21)은 보관창고(22) 또는 이송장치와 게이트벨브로서 격리되어 있기 때문에 보관창고(22)에서 사용되고 있는 고청정건조공기가 계(系) 밖으로 대량으로 배출되는 일은 없다.
반송설비(2) 및 처리설비(3)에서의 고청정건조공기는 다음과 같이 하여 순환된다. 고청정건조공기 제조장치(1)에서 제조된 고청정건조공기는 분기경로(42)를 통하여 이미 사용된 고청정건조공기 순환장치(5)의 팽창터빈(51)으로 도입되고, 소정의 압력 예컨대, 160mmAq까지 감압된다.
감압된 고청정건조공기는 경로(44)로부터 반송장치(23)에 도입되며, 해당 반송장치(23)의 분위기제어에 사용된 후, 경로(61)로 배출된다. 배출된 이미 사용된 고청정건조공기는 보관창고(22)로부터 경로(62)로 도출된 이미 사용된 고청정건조공기와 합류하고, 순환경로(6)를 통하여 상기 순환장치(5)의 팬(52)에 도입된다.
상기 팬(52)에서 소정의 압력, 예컨대 160mmAq로 승압된 이미 사용된 고청정건조공기는, 고청정건조공기와는 다른 경로(63)를 통하여 예컨대, 보관창고(22)로 도입되어 분위기제어에 이용되고, 그 대부분은 경로(62)로부터 다시 순환계통을 통하여 상기 순환장치(5)에 되돌아간다. 경로(62)의 이미 사용된 고청정건조공기의 일부는 밸브(64), 경로(65)를 통하여 기판도입실(20)에 보내어지고, 새로 반입된 기판(24)의 퍼지에 사용된 후, 경로(66)로부터 계 밖으로 방출된다. 이미 사용된 고청정건조공기의 순환은 본 예에 한정되지 않고, 반송설비(2) 및 처리설비(3)중 어느 한쪽 또는 양쪽에 공급함과 동시에, 상기 반송설비(2) 및 처리설비(3)중 어느 한쪽 또는 양쪽으로부터 배출된 이미 사용된 고청정건조공기를 다시 반송설비(2) 및 처리설비(3)중 어느 한쪽 또는 양쪽으로 순환공급할 수 있고, 특별히 한정되는 것은 아니다.
또한 상기 공급경로(4) 및 순환경로(6)의 적정한 위치에는, 연X선조사 정전기제거장치(67)가 설치되어 있다. 이 연X선조사 정전기제거장치(67)의 원리를 간단하게 설명하면, X선영역의 전자파는 어떤 특정한 물질(예컨대 텅스텐)에 소정의 에너지의 전자선을 조사함으로써 얻어진다. 발생하는 X선의 파장은 전자가 조사되는 타겟에 의하여 달라지지만, 0.1∼10nm의 파장범위의 연(軟)X선을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, X선영역의 전자파로서는 타겟전압(가속전압)을 4 kV 이상으로 하고, 전자빔을 4 kV 이상으로 가속하여 타겟에 충돌시킴으로써 발생한 전자파를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 타겟전류를 60㎂ 이상으로 하는 것에 따라 발생시킨 전자파를 사용하는 것이 바람직하다.
가스분자 및 원자는 X선영역의 전자파를 흡수하여 직접이온화에 도달한다. 가스분자 및 원자의 이온화에너지는, 20 eV에 불과하기 때문에 X선영역의 광자에너지의 수백분의 1이다. 따라서 1광자에 의해 복수의 원자, 분자의 이온화 또는 2가 이상의 이온생성이 용이하고, 또한 대량의 이온대가 생성될 수 있다. 이에 따라 정전기제거를 위한 시간을 수초이하로 하는 것이 가능하다. 또한 생성되는 이온대의 농도를 105∼106이온쌍/cm3으로 함으로써 이온수명이 10∼1000초가 된다. 이와 같이 이온수명이 비교적 길기 때문에 정전기를 띤 기판의 상류측, 즉 상기 경로(63)에 연X선조사 정전기제거장치(67)를 설치함으로써 정전기의 중화를 충분히 행할 수 있다.
또한 순환경로(6)에 설치하는 경우, 타겟금속을 경로내에 삽입하는 것은 바람직하지 못하기 때문에 폴리이미드제 윈도우를 통해 연X선을 조사함으로써 연X선의 흡수도 없고, 또한 고청정건조공기를 오염시키지 않는 시스템으로 할 수 있다.
또, 연X선조사 정전기제거장치(67)의 설치장소는, 이온수명과 순환경로의 거리, 이미 사용한 고청정건조공기의 유속 등으로 결정하면 되고, 상기 순환장치(5)의 상류이거나, 하류이어도 좋다.
또한, 처리설비(3)의 유지관리에 의해서 해당 처리설비(3)의 반응로(31)를개방할 때는 이미 사용한 고청정건조공기를, 밸브(32)를 갖는 경로(33)를 통해 처리설비(3)를 덮은 퍼테이션(34)내에 도입하여, 펌프(35)에 의해 흡인배기한다. 이에 따라, 반응로(31)의 유지관리 때에 화로내부에 흡착하는 수분 등의 불순물량을 저감할 수 있고, 처리설비(3)의 기동 시간을 빠르게 하는 것이 가능해진다. 또 경로(33)는 순환계통의 어느 부분에 접속하여도 좋고, 고청정건조공기 공급용의 경로(42,44)에 접속하여도 좋다. 또한 그 설치수도 임의이다.
또한, 본 형태예에 있어서는 고청정건조공기 제조장치(1)로부터 상기 순환장치(5)로 보내지는 고청정건조공기는, 승압장치(8)를 거친 강압후의 저압고청정건조공기이지만, 해당 승압장치(8)를 거치지 않고서 흡착정제기(16)로부터 도출한 고압의 고청정건조공기를 직접 도입하여도 좋다.
다음에, 도 3은 고청정건조공기 제조장치(1)를 복수대 설치한 경우의 일 형태예를 나타내는 개략계통도이다. 또 상기 형태예와 동등한 구성요소에는 동일부호를 붙여 상세한 설명은 생략한다.
본 형태예는 2기의 고청정건조공기 제조장치(1,1)와, 크린룸(9)내에 설치된 4기의 유니트(7)를, 공급경로(4)를 통해 접속하고 있다. 즉, 고청정건조공기 제조장치(1,1)로부터 고청정건조공기를 도출하는 경로(45,45)를 루프형상의 공급경로 (4)에 각각 접속함과 동시에, 해당 공급경로(4)로부터 분기하는 4개의 분기경로 (42)를 각 유니트(7)의 순환장치(5)에 접속하고 있다.
이와 같이, 복수의 고청정건조공기 제조장치(1)와 복수의 순환장치(5)를, 공급경로(4)를 통해 서로 접속함으로써 예컨대, 하나의 고청정건조공기 제조장치(1)의 제조능력이 저하하거나, 정지할 때에도 그 백업을 용이하게 받을 수 있고, 고청정건조공기를 사용하는 장치의 가동율은 아주 조금 저하됨으로써 해결된다. 또 도 3에서는 고청정건조공기 제조장치를 2기 설치한 경우에 관해서 설명하였지만, 복수이면 되고, 그 설치수에 구애되는 것이 아니다. 또한 공급계통도 루프형상의 것을 예로 들었지만, 직선형상으로 해도 좋다. 또한 크린룸이 여러개라도 동일하게 구성할 수 있다.
(실시예)
도 1에 나타낸 형태예를 사용하여 고청정건조공기를 제조하고, 그 불순물 농도, 장치가격 및 원단가를 확인하였다. 고청정건조공기의 제조량을 4000 Nm3/h로 하고, 압축기에서의 승압압력을 0.30 MPa로 하였다. 또한, 승압장치(8)의 승압기(82)에 의해서 0.46 MPa까지 승압하여, 촉매정제기(14), 흡착정제기(16)를 통한 후, 승압장치(8)의 팽창터빈(81)에 도입하여 0.15 MPa까지 감압하였다. 제조한 고청정건조공기중의 수분, 일산화탄소, 이산화탄소, 수소의 농도를 각각 계측한 결과를 다음에 나타낸다. 또 측정결과는, 각각의 불순물을 7000분간, 15분마다 계측하였을 때의 평균치이다.
불순물 농도[ppb]
수분 2.6
일산화탄소 5.1
이산화탄소 2.9
수소 1.3
또, 승압장치(8)를 사용한 경우와 사용하지 않은 경우에 있어서의 장치가격 및 설치면적에 대해서 비교하여, 승압장치(8)를 사용하지 않은 경우의 장치가격 및 설치면적을 1로 하였을 때의 비율을 구하였다. 결과를 다음에 나타낸다.
승압장치 장치가격 설치면적
있슴 0.65 0.50
없슴 1 1
또한, 고청정건조공기 1Nm3를 제조하는데 필요한 에너지로부터 제조비용을 구하여 비교하였다. 또 이 때 고청정건조공기 제조장치 본체의 감가상각 비용은 제외하였다. 그 결과, 승압장치(8)를 사용하는 것에 의해 제조비용은 사용하지 않은 경우의 약 50%가 되었다.
다음에 이미 사용한 고청정건조공기 순환장치(5)의 효과에 대하여 확인하였다. 1800 Nm3/h, 0.15 MPa의 고청정건조공기의 공급이 가능한 팽창터빈(51)과 순환공급용의 팬(52)으로 이루어지는 일축식의 순환장치(5)에 있어서, 압력 120 mmAq의 이미 사용한 고청정건조공기를 160 mmAq로 승압하여 순환공급할 때의 순환풍량을 계측하였다. 계측의 결과, 순환풍량은 2000 Nm3/h가 되었다. 즉 2000 Nm3/h의 이미 사용한 고청정건조공기를, 에너지를 완전히 사용하지 않고서 순환하는 것이 가능한 것을 알았다. 또한 변속기어를 조합하여 순환장치(5)를 사용한 바, 상기 조건에 있어서 약 86500 Nm3/h의 순환풍량을 얻을 수 있었다.
또한, 반송설비(2)에 있어서의 각 부분에서 고청정건조공기중의 수분농도를 계측하였다. 우선 반송설비(2) 전체의 성능을 조사하기 위해서 상기 순환장치(5)로의 고청정건조공기 도입량을 1800 Nm3/h로 하여, 기판을 반입하지 않고서 수분농도를 계측하였다. 다음에 기판을 반입하면서 수분농도를 계측하였다. 기판(24)으로서 8인치의 Si기판을 사용하였다. Si기판은 1로트 25장으로 하여, 15분 간격으로 기판도입실(20)에 투입하고, 1시간 보관창고(22)에 수납한 뒤, 에어로크실(21)에서 반출하였다. 또, 반송장치(23)로서는 100장/h의 반송을 하였다.
고청정건조공기 제조장치(1)로부터 공급된 분기경로(42)에서의 고청정건조공기의 수분농도는 3 ppb 이였다. 이하 경로(44)는 3 ppb, 경로(61)는 3.5 ppb 이였다. 한편, 순환경로(6)에서의 순환장치 입구부의 수분농도는 200 ppb로 증가하였다. 경로(62)에서도 200 ppb 이였다.
이 결과는, 순환경로(6)의 배관을 갤버니강판제 및 합성 수지제로 하였기 때문이라고 생각된다. 따라서 순환경로(6)의 배관을 알루미늄합금제로 하고, 두 번째 수분농도를 계측한 바, 경로(43)는 3 ppb, 경로(61)는 3.5 ppb 이며, 변경전과 동등한 수분량이었다. 순환경로(6)에서의 순환장치 입구부의 수분농도는 4 ppb, 경로(62)에서도 4 ppb 이였다. 이와 같이 순환경로(6)의 재질을 알루미늄합금으로 변경함으로써 배관 내면에서부터 확산방출가스를 줄일 수 있고, 고청정건조공기를 오염시키지 않고 순환사용하는 것이 가능해졌다.
다음에, 기판을 반입하였을 때의 반송설비(2) 각부의 수분농도를 계측하였다. 그 결과, 경로(42,43,61)의 수분농도는 상기와 동일하였다. 순환경로(6)에서의 순환장치 입구부의 수분농도는, 48 ppb, 경로(62)는 53 ppb, 경로(66)는 400 ppb 이였다. 이와 같이 처리설비(3)에 대하여 가장 고청정성이 요구되는 반송장치(23), 보관창고(22), 기판도입실(20)의 순서로 수분농도가 높아지고 있는 것을 알았다.
별도의 실험에 의하면, 기판표면에 흡착하여 기판도입실(20)내에 혼입하는 수분량은, 1시간당 약 0.O1몰이며, 기상중의 수분농도를 10Oppb로 하였을 때의 수소종단처리한 Si표면, SiO2표면 및 불소종단처리한 Si 표면에 평형흡착한 수분량은 각각, 1×1013분자/cm2, 2.6×1014분자/cm2및 3.6×1014분자/cm2이였다. 기판도입실 (20) 출구에서의 수분농도가 높은 것은 기판으로부터의 수분의 이탈제거를 위해서이다. 따라서 수분농도가 어느 정도 높아진 이미 사용한 고청정건조공기를 공급순환하고 사용함으로써, 효율적으로 기판환경을 제어하는 것이 가능하다.
또한, 폴리이미드제 윈도우를 사용한 연X선조사 정전기제거장치(67)를 경로 (63)에 설치하고, 기판의 정전기제거 효과에 관해서 확인하였다. 실험에 사용한 연X선조사 정전기제거장치(67)의 수단은 이하와 같다. 또, 연X선조사 정전기제거장치(67)의 크기는 지름 10 cm, 길이 30 cm 정도의 원통형상의 것이고, 경로(63)의 배관지름은 약 60 cm 이다. 따라서 배관의 일부에 구멍을 뚫고, 그 부분에 지름 10cm의 폴리이미드제 윈도우를 설치하여, 이것을 통해 경로내에 연X선을 조사하였다.
타겟 : 텅스텐
타겟전압 : 4 kV
타겟전류 : 60㎂
실험에 사용한 기판의 정전용량은 10 pF 이며, 초기의 기판전위는, ±3 kV로 하였다. 연X선조사 정전기제거장치(67)는 보관창고(22)의 상류 5 m의 경로(63)에 설치하고, 고순도건조공기의 평균유속은 5 m으로 하였다. 그 결과, 연X선조사 후로부터 기판의 전위는 서서히 저하하고, 1분후에는 전위계의 측정한계(±30 V) 이하가 되었다.
또한, 처리설비(3)를 덮은 퍼테이션(34)의 상부로부터 경로(33)를 통해 이미 사용한 고청정건조공기를 180 m3/분의 유량으로 도입한 상태로 반응로(31)를 개방하고, 1시간의 보수를 한 뒤의 기동 시간을 계측하였다. 고청정건조공기를 도입한 경우, 반응로(31)의 진공 개시후, 약 100분에서 그 도달압력은 10-8Pa가 되었다. 또한 분압진공계에 의해서 반응화로 내부에 잔류한 가스성분을 계측한 바, 수분은 약 10-9Pa 이며, 대부분은 질소가스이었다.
한편, 고청정건조공기를 도입하지 않은 상태로 보수를 실시한 바, 진공 개시후, 약 10OO 분에서 그 압력이 10-8Pa에 도달하였다. 그 때의 잔류수분은 5×10-8Pa 이며, 잔류가스의 대부분이 수분인 것을 알았다. 이와 같이, 처리설비(3)의 유지관리시에 고청정건조공기를 도입함으로써 반응화로 내부로의 수분 흡착을 방지할수가 있고, 기동 시간이 종래의 1/10로 됨과 동시에, 처리설비(3)의 베이킹이 불필요하게 된다.

Claims (16)

  1. 공기압축기, 촉매정제기, 흡착정제기 등을 구비한 고청정건조공기 제조장치로 제조한 고청정건조공기를, 반도체, 고밀도기록매체, 액정제조공장 등의 크린룸내에 공급하는 시스템으로서,
    상기 크린룸내에 보관창고, 반송장치 등을 가지는 반송설비와, 처리설비를 배치하고,
    상기 고청정건조공기를 해당 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 공급하는 공급경로와,
    상기 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽으로부터 배출된 이미 사용한 고청정건조공기를 다시 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽으로 순환공급하는 순환경로와,
    상기 공급경로에 설치되어 고청정건조공기를 팽창시키는 팬구동용의 팽창터빈 및 상기 순환경로에 설치되어 상기 팽창터빈의 발생동력에 의해 구동되는 순환용 팬을 가지는 이미 사용한 고청정건조공기 순환장치를 구비한 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 공급경로는 상기 반송장치에 접속하고, 상기 순환경로는 상기 반송장치 및 보관창고에서 이미 사용한 고청정건조공기를 보관창고에 순환공급하도록 접속하고 있는 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 순환경로의 배관은, 알루미늄합금제인 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 팽창터빈 및 상기 순환용 팬은, 동일축으로 연결되어 있는 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 고청정건조공기 제조장치는, 복수의 상기 반송설비 및 처리설비에 대하여 1기 설치한 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 고청정건조공기 제조장치는, 하나의 크린룸에 대하여 복수대 설치한 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 고청정건조공기 제조장치를 복수대 설치하고, 각 고청정건조공기 제조장치로부터 고청정건조공기를 도출하는 경로를 상기 공급경로에 접속한 고청정건조공기의 공급시스템.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 반송설비는, 에어로크실을 구비하고 있는 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 반송설비는 기판도입실을 구비하고, 해당 기판도입실에는 이미 사용한 고청정건조공기를 도입하는 경로와, 해당 기판도입실에서 사용한 고청정건조공기를 배출하는 경로가 접속되어 있는 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 처리설비는, 그 전체를 퍼테이션으로 덮여져 있고, 해당 퍼테이션은 상기 고청정건조공기를 그 내부에 공급하는 경로를 설치하고 있는 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  11. 공기압축기, 촉매정제기, 흡착정제기 등을 구비한 고청정건조공기 제조장치로 제조한 고청정건조공기를, 반도체, 고밀도기록매체, 액정제조공장 등의 크린룸내에 공급하는 시스템으로서,
    상기 크린룸내에 보관창고, 반송장치 등을 가지는 반송설비와, 처리설비를 배치하고,
    상기 고청정건조공기를 해당 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 공급하는 공급경로와,
    상기 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽으로부터 배출된 이미 사용한 고청정건조공기를 다시 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 순환공급하는 순환경로를 구비하며,
    상기 공기압축기와 촉매정제기 사이에는, 상기 흡착정제기로부터 도출된 고청정건조공기를 팽창시키는 팽창터빈 및 해당 팽창터빈에 의한 발생동력으로 원료공기의 압력을 더욱 승압시키는 승압기를 포함하는 승압장치가 설치되어 있는 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  12. 공기압축기, 촉매정제기, 흡착정제기 등을 구비한 고청정건조공기 제조장치로 제조한 고청정건조공기를, 반도체, 고밀도기록매체, 액정제조공장 등의 크린룸내에 공급하는 시스템으로서,
    상기 크린룸내에 보관창고, 반송장치 등을 가지는 반송설비와, 처리설비를 배치하고,
    상기 고청정건조공기를 해당 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 공급하는 공급경로와,
    상기 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽으로부터 배출된 이미 사용한 고청정건조공기를 다시 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 순환공급하는 순환경로를 구비하며,
    상기 공급경로 및 상기 순환경로중 어느 한쪽 또는 양쪽에 연X선조사 정전기제거장치를 설치한 고청정건조공기의 제조공급시스템.
  13. 원료공기압축공정, 촉매정제공정, 흡착정제공정 등을 경유하여 제조된 고청정건조공기를, 반도체, 고밀도기록매체, 액정제조공장 등의 크린룸내에 공급하는 방법으로서, 상기 고청정건조공기를 상기 크린룸내에 배치한 보관창고, 반송장치 등을 가지는 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 공급함과 동시에, 상기 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽으로부터 배출된 이미 사용한 고청정건조공기는, 상기 반송설비나 처리설비에 공급되는 고청정건조공기를 팽창시키는 것에 의해 발생하는 동력을 이용하여, 다시 반송설비 및 처리설비중 어느 한쪽 또는 양쪽에 순환공급하는 고청정건조공기의 제조공급방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 흡착정제공정에서 도출한 고청정건조공기를 팽창시킴으로써 발생하는 동력을 이용하여, 상기 원료공기압축공정후의 원료공기를, 상기 반송설비나 처리설비에 공급하는 압력보다 높은 압력으로 승압하여 상기 촉매정제공정에 도입하는 고청정건조공기의 제조공급방법.
  15. 삭제
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