KR100372993B1 - 자기 디스크 장치 - Google Patents

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KR100372993B1
KR100372993B1 KR10-2000-0023048A KR20000023048A KR100372993B1 KR 100372993 B1 KR100372993 B1 KR 100372993B1 KR 20000023048 A KR20000023048 A KR 20000023048A KR 100372993 B1 KR100372993 B1 KR 100372993B1
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마쯔모또마사아끼
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하시모또기요시
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가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼
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Abstract

10 nm 이하의 유출 단부 부상량을 실현하기 위해, 고도 3000 m시의 유출 단부 부상량의 저하량을 2 nm 이하는 물론 제로로까지 저감한다.
그로 인해, 자기 디스크 장치의 슬라이더에 있어서, 정압력의 작용점을 유입 단부측으로, 그리고 부압력의 작용점을 유출 단부측으로 이동시켜 유출 단부로의 부압력의 영향을 크게 함으로써, 감압시에 유출 단부 부상량 증가 방향의 작용을 발생시키는 구성으로 했다. 또한, 감압시에 유출 단부 부상량이 증가하는 구성으로 하는 것도 가능하며, 정압력의 작용점보다 등가 가압 하중의 작용점이 유입 단부측에 있고, 정압력의 작용점과 등가 가압 하중의 작용점의 거리가 슬라이더 전체 길이의 0.1배보다 크면 된다.

Description

자기 디스크 장치 {MAGNETIC DISK DRIVE}
본 발명은 자기 디스크 장치에 관한 것으로, 특히 유출 단부의 부상량의 압력 의존성을 저감시킨 저부상 슬라이더와, 그 슬라이더를 탑재한 자기 디스크 장치에 관한 것이다.
종래의 자기 디스크 장치로서, 일본 특허 공개 평5-28682호 공보에는 자기헤드 슬라이더의 제조 편차나, 동작중의 외력이나 공기류에 수반되는 외력 등에 의한 유출 단부 부상량 변동을 저감시키기 위해, 헤드 슬라이더의 공기류 방향보다도 공기 유입측으로 어긋나게 하여 하중 지지점을 배치하고, 상기 하중 지지점을 어긋나게 함에 따른 하중 배분의 변화를 보정하기 위한 모멘트를 상기 하중 지지점의 주위에 부여하는 수단을 설치한 자기 헤드가 개시되어 있다.
상기 종래 기술에서는 슬라이더에의 하중 배분의 변화가 보정되어 하중이 슬라이더의 공기 유입측에 편중되어 있지는 않으므로, 종래의 장치 기동 정지 방식인 Contact Start and Stop(이하, CSS)시에 있어서도, 슬라이더의 공기 유입측의 전방 모서리가 연속적으로 자기 디스크에 스치는 소위 '앞으로 처지는 현상'이 발생하는 것을 저감할 수 있으며, 앞으로 처지는 현상에 따른 슬라이더나 자기 디스크의 손상을 방지하는 것이 가능하다. 그러나, 하중 배분의 보정에 의해서 서스펜션으로부터 슬라이더에 부여되는 하중 및 모멘트를 자기 디스크 표면에 수직인 힘에 합성한 합력이 슬라이더의 공기류 방향의 중앙점 근방에 작용하므로, 부상시의 힘의 균형으로부터 필연적으로 부상시의 슬라이더에의 공기력의 합력은 슬라이더의 공기류 방향의 중앙점 근방에 작용하는 것이 필요하다. 즉, 상기 종래 기술에서는 부상시의 슬라이더에 작용하는 공기력의 합력이 슬라이더의 공기류 방향의 중앙점 근방에 작용하도록, 슬라이더의 부상 레일이나 부상 패드 등의 부상면의 형상을 설계하는 것이 필요했다.
이 제약에 의해, 슬라이더에 작용하는 공기력의 합력의 내역인, 자기 디스크 대항면에 작용하는 정의 압력의 합력인 정압력, 부의 압력의 합력인 부압력의 각각의 작용점의 위치를 대항면 상에서 자유롭게 배치하는 것이 곤란해지므로, 유출 단부 부상량 변동 중 절반 남짓을 차지하며, 현상 장치에 있어서의 유출 단부 부상량 변동의 최대 요인이 되고 있는「고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하」를 저감시키는 슬라이더 부상면 형상을 설계하는 것이 곤란했다.
본 발명의 목적은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하는 데에 있으며, 현상 장치에 있어서의 유출 단부 부상량 변동의 절반 남짓을 차지하는 최대 인자로 되어 있는, 고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하를 2 nm 이하는 물론 제로로까지 저감할 수 있으며, 이로써 유출 단부 부상량 10 nm로부터 한층 더 저부상 범위의 비접촉 부상 슬라이더 혹은 접촉력을 저감시킨 콘택트 슬라이더, 및 이를 탑재한 자기 디스크 장치를 제공하는 데에 있다.
상기 과제는 스핀들에 회전 가능하게 부착된 자기 디스크와, 이 자기 디스크 표면에 대향하는 대향면과, 이 대향면에 작용하는 정의 압력의 합력인 정압력을 발생하는 부상 레일 혹은 부상 패드, 테이퍼 혹은 스텝, 혹은 이들의 조합으로 이루어지는 일면 이상의 부상면과, 이 일면 혹은 복수면의, 슬라이더 주행 방향의 최전방부인 유입 단부와, 슬라이더 주행 방향의 최후방부인 유출 단부와, 유입 단부와 유출 단부의 중점인 슬라이더 중앙점과 슬라이더의 유입 단부와 유출 단부의 거리인 슬라이더 전체 길이와, 상기 자기 디스크 상에 데이터를 기록/재생하기 위한 자기 헤드를 구비한 슬라이더와, 이 슬라이더를 지지하며 소정의 가압 하중을 부여하는 서스펜션과, 상기 서스펜션에 부착되어 상기 슬라이더를 자기 디스크 상에 위치결정하기 위한 캐리지를 구비한 자기 디스크 장치에 있어서, 상기 슬라이더는 슬라이더 유입 단부로부터 유출 단부를 향해서 움푹 들어간 형상으로 형성된 역스텝형 단차벽과, 이 역스텝형 단차벽의 유출 단부측에 형성되며 부상 레일 혹은 부상 패드로부터 움푹 들어간, 대향면에 작용하는 부의 압력의 합력인 부압력을 발생하는 블리드면을 갖고, 상기 서스펜션은 상기 슬라이더의 유입 단부의 부상량이 작아지는 방향이며, 슬라이더 전체 길이의 0.1배와 가압 하중의 곱보다 대략 큰 크기의 피칭 모멘트를 상기 슬라이더에의 중앙점 주위에 부여하는 기능을 갖고, 상기 슬라이더의 자기 디스크 표면에 대향하는 대향면은 상기 피칭 모멘트를 상기 가압 하중으로 나누어 계산한 값인 만큼, 등가 하중점이, 상기 슬라이더의 역스텝형 단차벽 슬라이더 중앙점으로부터 유입 단부측으로 치우친 위치인 등가 하중점을 갖는 구성으로 했다.
보다 확실하게는, 상기 등가 하중점은 상기 슬라이더의 역스텝형 단차벽의 슬라이더 전체 길이 방향의 슬라이더 중앙점보다 유입 단부측으로 이격되어 위치하며, 상기 등가 하중점과 상기 정압력의 작용점의 거리는 슬라이더 전체 길이의 대략 0.1배보다 큰 구성으로 했다.
한층 더 확실하게는, 상기 등가 하중점은 상기 슬라이더의 유입 단부측으로부터 상기 슬라이더 전체 길이의 대략 0.3배 만큼 유출 단부측으로 치우친 위치보다 유입 단부측에 위치하는 구성으로 함으로써 달성할 수 있다.
도1은 본 발명의 일 실시예의 자기 디스크 장치의 사시도.
도2는 슬라이더와 서스펜션의 조립체의 사시도.
도3은 슬라이더의 자기 디스크와의 대향면을 도시한 평면도.
도4는 부상중의 슬라이더와 자기 디스크의 측면도.
도5a 및 도5b는 슬라이더의 자기 디스크와의 대향면에 발생하는 압력의 수치 시뮬레이션 결과를 도시한 도면, 및 도5a의 계산에 사용한 슬라이더의 사시도.
도6은 종래 기술의 슬라이더와 자기 디스크의 측면도.
도7은 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하의 특성도.
도8은 본 발명의 다른 실시예의 슬라이더와 자기 디스크의 측면도.
도9는 도8의 슬라이더에서 부상력이 작용하고 있지 않은 경우의 상태를 도시한 측면도.
도10은 또 다른 실시예의 슬라이더와 서스펜션의 조립체의 부분 평면도.
도11은 도10의 실시예의 부상중의 슬라이더와 자기 디스크의 측면도.
도12는 또 다른 실시예의 로드·언로드시의 상태를 도시한 측면도.
도13은 도12의 실시예의 부상중의 슬라이더와 자기 디스크의 측면도.
도14는 또 다른 실시예의 언로드중의 슬라이더와 자기 디스크의 측면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 자기 디스크
2 : 슬라이더
4 : 서스펜션
7 : 피봇 돌기
11 : 자기 헤드
12a, 12b : 부상 패드
12c : 센터 패드
14 : 블리드면
15 : 유입 단부
16 : 유출 단부
17 : 가압 하중점
18 : 정압력 작용점
이하, 도면을 이용하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 도1은 본 발명의 제1실시예의 자기 디스크 장치의 사시도이다.
신호를 기록하는 자기 디스크(1)가 스핀들(3)에 복수장 적층 고정되어 회전한다. 이 회전하는 자기 디스크(1)의 각 면 위를 정보의 기록 재생을 행하는 자기 헤드를 구비한 슬라이더(2)가 서스펜션(4)을 거쳐서 캐리지(5)에 의해 자기 디스크(1)의 대략 반경 방향으로 이동한다. 또, 이 캐리지(5)는 보이스 코일 모터(5b)에 의해 구동되는 구성으로 되어 있다.
도2는 슬라이더(2)와 서스펜션(4)의 조립체의 사시도이다.
서스펜션(4)은 서스펜션(4)에 형성된 마운트(8) 부분에서 캐리지(5)에 고정된다. 서스펜션(4)에는 슬라이더에 가압 하중을 부가하기 위한 스프링부(9)가 형성되어 있다. 이 스프링부(9)의 부근을 제외하고, 서스펜션(4)에는 그 강성을 높이기 위한 플랜지(10)가 형성되어 있다. 그리고, 서스펜션(4)의 선단부측에는 자기 디스크(1)측으로 돌출한 피봇 돌기(7)가 형성되어 있다. 이 피봇 돌기(7)를 슬라이더(2)의 배면, 즉 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)와의 대향면과 반대측 면에 가압 접촉시킴으로써, 서스펜션(4)에 의한 가압 하중을 슬라이더(2)에 부여한다. 그리고, 슬라이더(2)는 피봇 돌기(7)와의 접촉점 주위로 대부분 자유롭게 피칭 및 로딩 운동을 행할 수 있으며, 자기 디스크(1)의 면내 방향으로는 대략 고정되도록 자기 디스크(1)의 표면에 대략 평행한 평면의 박판 탄성 부재로 형성된 짐벌(6)을 거쳐서 서스펜션(4)에 고정되어 있다.
도3은 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)와의 대향면을 도시한 평면도이다.
슬라이더(2)의 유입 단부(15)측에 부상 패드(12a, 12b)가 배치되고, 유출 단부(16)측에 자기 헤드(11)를 구비한 센터 패드(12c)가 배치되어 있다. 이들 부상 패드(12a, 12b), 센터 패드(12c)의 각각의 유입 단부(15)측에는 패드면으로부터 10 nm 정도 움푹 들어간 스텝부(13a, 13b, 13c)가 형성되어 있다. 또, 부상 패드(12a, 12b)의 유출 단부(16)측에는 유입 단부(15)로부터 유출 단부(16)를 향해서 움푹 들어간 형상으로 형성된 역스텝형 단차벽(40)이 형성되어 있다. 이 역스텝형 단차벽(40)과 센터 패드(12c)에 의해서 패드면으로부터 수100 nm 정도 움푹 들어간 블리드면(14)이 형성되어 있다. 이 단차벽은 유입 단부측으로부터 슬라이더 전체 길이의 0.2 내지 0.4배의 위치에 형성되어 있다.
여기서, 평면도인 도3에 있어서의 유입 단부(15)와 유출 단부(16)의 거리를 슬라이더 전체 길이로 하고 있다. 또한, 슬라이더(2)의 센터 라인(41) 상의 슬라이더 전체 길이의 중앙점을 슬라이더 중앙점(42)으로 하고 있다.
도4는 부상중의 슬라이더(2)와 자기 디스크(1)의 측면도이며, 도3의 센터 라인(41)에서 절단한 단면도이다.
도면과 같이, 슬라이더(2)는 공기막을 거쳐서 자기 디스크(1)의 면 위를 대부분 비접촉으로 부상하거나, 혹은 슬라이더(2)의 센터 패드(12c)를 자기 디스크(1)에 매우 경미하게 접촉시키면서 주행한다. 슬라이더(2)와 자기 디스크(1)가 접촉했을 때의 양자의 마모나 손상을 방지하기 위해, 자기 디스크(1)의 표면에는 퍼풀루오로 폴리에테르 윤활제(20)가 도포되어 있다.
여기서, 본 실시예에서는 종래의 통상의 경우와 마찬가지로 공기막에 의한 부상력이 작용하고 있지 않은 경우에 있어서, 슬라이더(2)의 디스크와의 대향면이디스크면과 대략 평행하게 되도록 서스펜션(4)의 각도와, 짐벌(6)과 슬라이더(2)의 접합면이 대략 평행하게 되도록 형성되어 있다. 즉, 부상력이 작용하고 있지 않은 경우에는 서스펜션(4)에 형성된 피봇 돌기(7)로부터는 슬라이더(2)에 힘이 작용하지 않도록 짐벌이 부착되어 있다. 따라서, 피봇 돌기 위치를 슬라이더의 공기 유입 단부측으로 어긋나게 해도 힘이 작용하지 않으며, 피봇 위치에는 모멘트가 작용하지 않는다. 구체적으로는, 상기 짐벌(6)의 서스펜션(4)과의 접합면과 슬라이더(2)와의 접합면의 각도는 예를 들어 0.5도 정도 이내, 즉 0.0087 rad 정도 이내가 되도록 제조, 선별되어 있다. 이 때, 슬라이더(2)가 피칭 운동을 하는 방향에 대한 짐벌(6)의 피칭 강성은 예를 들어 8×10-4Nmm/rad 정도이다. 한편, 슬라이더가 부상했을 때 발생하는 공기막에 의한 피칭 강성은 그보다 3자릿수 큰 9×10-1Nmm/rad 정도이다. 따라서, 부상중의 슬라이더(2)에 대하여, 짐벌(6)에 따라서는 실질적으로 피칭 모멘트가 작용하지 않는 구성으로 하고 있다.
또, 피봇(7)의 위치는 슬라이더의 유입 단부로부터 슬라이더의 전체 길이의 0.1 내지 0.3배의 위치에 설정한다. 가장 좋은 위치는 슬라이더 유입 단부로부터 슬라이더 전체 길이의 0.2배의 위치로 하면 좋다.
이들 도3 및 도4에 도시한 바와 같이, 슬라이더(2)에는 서스펜션(4)에 의해 피봇 돌기(7)를 거쳐서 가압 하중(21)이 가압 하중점(17)에 부여되어 있다. 그리고, 본 실시예의 경우, 통상 행해지는 바와 같이 슬라이더(2)가 자기 디스크(1) 상에 부상된 상태에서 서스펜션(4)에 의해서 슬라이더(2)에 모멘트가 작용하지 않도록 서스펜션(4) 및 짐벌(6)의 자세 각도가 조정되어 있다. 즉, 서스펜션(4)에 의해 피봇 돌기(7) 주위에는 슬라이더(2)에 대하여 모멘트가 부여되어 있지 않으므로, 서스펜션(4)에 의해서 슬라이더(2)에 부여되는 힘 및 모멘트를 자기 디스크(1)의 표면에 수직인 힘에 합성한 합력인 등가 가압 하중은 가압 하중(21) 그 자체가 된다. 또, 등가 가압 하중의 슬라이더(2)에의 작용점인 등가 하중점은 가압 하중점(17)과 동일하다. 그리고, 이 가압 하중점(17) 및 등가 하중점은 역스텝형 단차벽(40)보다 유입 단부(15)측에 위치하고 있다.
본 발명은 상기와 같이 부상력이 작용하고 있을 때는 슬라이더를 전방으로 기울어지지 않도록 지지할 수 있지만, 부상력이 작용하고 있지 않을 때는 대략 디스크와 평행하게 되도록 지지하고는 있으나 짐벌의 스프링 정수 등이 작으므로 외력이 작용하면 디스크와 슬라이더가 충돌하여 양자를 손상시킬 우려가 있다. 이에 따라, 부상력이 작용하지 않는 상태에서는 도시하지 않은 램프부에 머무르게 하는 방식(로드, 언로드 방식)의 자기 디스크 장치에 적용할 수 있는 것이다.
또한, 본 실시예에서는 자기 디스크(1)와의 대향면에 발생하는 대기압 이상의 정의 압력의 합력인 정압력(22)이 정압력 작용점(18)에 작용한다. 또, 대기압 이하의 부의 압력의 합력인 부압력(23)이 부압력 작용점(19)에 작용한다. 가압 하중점(17) 및 등가 하중점은 정압력 작용점(18)보다 유입 단부(15)측에 있고, 가압 하중점(17)과 정압력 작용점(18)의 거리는 유입 단부(15)와 유출 단부(16)의 거리인 슬라이더 전체 길이의 대략 0.1배보다 크게 되어 있다. 이를테면, 본 실시예에서는 가압력은 0.3×10-3N, 정압력은 0.6×10-3N 정도이다.
그리고, 본 실시예에서는 가압 하중점(17) 및 등가 하중점은 슬라이더(2)의 유입 단부(15)측으로부터 슬라이더 전체 길이의 대략 0.3배 만큼 유출 단부(16)측으로 치우친 위치보다 유입 단부(15)측에 위치하고 있다.
또, 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)와의 대향면의 평면 형상으로서는 도3의 점선으로 도시한 바와 같은 단차벽 형상으로 해도 좋다. 즉, 역스텝형 단차벽(40a, 40b) 사이에 바닥 벽면(43)을 갖는 오목부(44)를 형성해도 좋다. 이 경우, 역스텝형 단차벽의 위치로서는 역스텝형 단차벽(40a와 40b)을 잇는 선으로 하면 좋으며, 지금의 경우 가압 하중점(17) 및 등가 하중점은 이 역스텝형 단차벽(40a와 40b)을 잇는 선보다 유입 단부(15)측에 위치하고 있다.
또, 본 발명의 슬라이더의 자기 디스크(1)와의 대향면에 작용하는 압력, 정압력(22), 정압력 작용점(18), 부압력(23), 부압력 작용점(19)은 이하의 방법으로 구할 수 있다.
우선, 대향면에 작용하는 압력을 구하는 방법은 이하와 같다.
제1 방법은, 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)와의 대향면의 형상과, 서스펜션(4)에 의해서 슬라이더(2)에 부여되는 가압 하중 및 모멘트와, 그 작용점을 측정하여, 수치 시뮬레이션에 의해서 간극내의 압력 분포를 구하는 방법이다. 자기 디스크(1)의 표면 형상은 통상 평면으로 가정하는 것이 가능하다.
우선, 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)와의 대향면의 평면과 높이 방향의 형상의 측정인데, 도3에 도시한 대향면의 평면 형상은 통상 측장 광학 현미경, 예를 들어 유니언 광학제 시그멧 등으로 계측한다. 또, 도4에 도시한 바와 같은 단차나 홈의 높이는 위상 시프트 간섭법을 이용한 비접촉 3차원 형상 측정 장치, 예를 들어 ZYGO사가 제작한 NewView 200 등의 높이 방향으로 나노미터 규격의 분해능을 갖는 표면 형상 측정 방법으로 측정한다.
일예로서, 도3의 점선으로 도시한 슬라이더의 자기 디스크와의 대향면의 형상의 치수의 일부를 이하에 제시한다.
슬라이더 전체 길이 : 1.25 ㎜
슬라이더 폭 : 1.0 ㎜
여기서, 슬라이더 폭이라 함은 슬라이더 전체 길이와 직각 방향의 외형 치수이다.
스텝 단차 : 150 ㎚
여기서, 스텝 단차라 함은 부상 패드(12a, 12b), 센터 패드(12c)와, 스텝부(13a, 13b, 13c)와의 사이의 단차의 높이이다.
블리드 깊이 : 1 ㎛
여기서, 블리드 깊이라 함은 부상 패드(12a, 12b), 센터 패드(12c)와, 블리드면(14)과의 사이의 단차의 높이이다.
얻어진 슬라이더(2)의 대향면의 형상과, 가압 하중 및 모멘트, 그 작용점으로부터 부상 간극내의 흐름의 수치 시뮬레이션 프로그램, 예를 들어 자기 디스크 장치 슬라이더 전용 프로그램인 캘리포니아 대학 버클리교 CML(Computer MechanicsLaboratory) 제작의「CML Air Bearing Design Program」을 사용하여 부상 간극내의 압력 분포를 구한다. 「CML Air Bearing Design Program」은 자기 디스크 업계의 대략 표준인 슬라이더 부상 해석 프로그램으로 되어 있으며, 이 프로그램을 사용함으로써 슬라이더의 부상 특성에 대해서는 업계내에서 대략 공통의 결과를 얻는 것이 가능하다. 일부 이 프로그램을 사용하지 않는 제조업체가 있으며, 이곳에서는 자사가 제작한 부상 해석 프로그램을 사용하고 있는데, 프로그램간의 차이는 최소 부상량의 계산치에 있어서 수 ㎚ 이하 정도이므로, 다른 프로그램을 사용해도 대략 공통의 압력 분포 결과를 얻는 것이 가능하다.
상기「CML Air Bearing Design Program」등은 나노미터 규격의 부상 간극내의 공기류를 수치 해석하는 방법으로서, 기체의 운동 방정식인 볼쯔만 방정식에 기초하여, 이를 간극 형상이 흐름 방향으로 원만하게 변화한다고 가정하고 간략화하여 도출된 분자 기체 윤활 방정식을 푸는 방법을 이용하고 있다. 이 방법에서는 슬라이더(2) 혹은 자기 디스크(1)의 표면 조도가 유출 단부 부상량과 비교하여 무시할 수 있을 정도로 작은 경우에는 2 ㎚라는 상당히 작은 유출 단부 부상량에 있어서도 고정밀도의 압력 분포를 얻을 수 있음을 확인하고 있다.
다음에 제2 방법은, 슬라이더(2)의 부상 간극의 자기 디스크 표면을 따르는 방향의 분포를 계측에 의해 구하고, 상기의 수치 시뮬레이션에 의해서 그 간극내의 압력 분포를 구하는 방법이다. 제1 방법과 마찬가지로 자기 디스크(1)의 표면 형상은 평면으로 해도 좋다.
우선, 부상 간극의 분포의 계측 순서인데, 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)와의 대향면의 형상을 제1 방법과 동일한 방법으로 구한다. 다음에, 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)와의 대향면의 임의의 3점, 예를 들어 부상 패드(12a, 12b), 센터 패드(12c)의 부상량을 부상 테스터라고 불리는 슬라이더 부상량 측정 설비, 예를 들어 Phase Metrics사가 제작한 DFHT 등으로 측정한다. 슬라이더(2)의 대향면의 3점의 부상량과 대향면의 향상에 의해, 부상 간극의 분포를 알 수 있다.
이상으로부터 얻어진 슬라이더(2)의 부상 간극 분포로부터, 제1과 마찬가지로 부상 간극내의 흐름의 수치 시뮬레이션 프로그램에 의해 부상 간극내의 압력 분포를 구할 수 있다.
도5a는 상술한 분자 기체 윤활 방정식을 푸는 수치 시뮬레이션에 의해서 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)와의 대향면에 발생하는 압력을 구한 결과를, 그리고 도5b에 도시한 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)와의 대향면에 대응시켜서 도시한 것이다. 수치 시뮬레이션을 실행하기 위해서는, 도5b에 도시한 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)와의 대향면의 형상 및 수치 이외에, 서스펜션(4)에 의해서 슬라이더(2)에 부여되는 가압 하중 및 모멘트, 이들의 작용점, 슬라이더(2)가 주행하는 자기 디스크(1)의 반경 위치, 자기 디스크(1)의 회전수, 대기압, 기온이 필요하다. 본 실시예의 경우의 예에서는 이들은 하기와 같다.
<계산 조건>
가압 하중 : 대략 3 gf
가압 하중점 : 유입 단부(15)로부터 슬라이더 전체 길이의 0.2배 만큼 유출 단부(16)측으로 치우친 위치
모멘트 : 없음
반경 위치 : 2.5" 자기 디스크 장치의 가장 내주
회전수 : 4200 rpm
대기압 : 1기압
기온 : 25 ℃
이상으로 구한 압력 분포로부터, 대기압 이상의 압력과 대기압의 차의 합력인 정압력(22) 즉 FP, 및 정압력 작용점(18) 즉 XP는 예를 들어 다음의 수학식 1 및 수학식 2로 구할 수 있다.
여기서, x : 자기 디스크(1)의 표면에 대략 평행하게 이동시킨 평면 좌표 벡터
XP: x 좌표 평면에 있어서의 정압력의 작용점 벡터
p : 압력
pa: 대기압
A : x 좌표 평면에 있어서의 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)의 표면에 대향하는 대향면 중, 대기압(pa) 이상의 압력(p)이 발생하고 있는 영역
또, 부압력(23) 즉 FN, 및 부압력 작용점(19) 즉 XN은 예를 들어 다음의 수학식 3 및 수학식 4로 구할 수 있다.
여기서, x : 자기 디스크(1)의 표면에 대략 평행하게 이동시킨 평면 좌표 벡터
XN: x 좌표 평면에 있어서의 부압력의 작용점 벡터
p : 압력
pa: 대기압
B : x 좌표 평면에 있어서의 슬라이더(2)의 자기 디스크(1)의 평면에 대향하는 대향면 중, 대기압(pa) 이하의 압력(p)이 발생하고 있는 영역
다음에, 본 실시예의 작용을 설명한다.
우선, 본 발명의 목적인 고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하를 0 내지 2 ㎚로 하는 데에 대한 종래 기술의 문제점을 설명한다.
도6에 종래의 슬라이더의 측면도를 도시한다. 서스펜션(4)에 의해서 가압하중점(17)의 주위로 모멘트는 부여되어 있지 않으므로, 가압 하중점(17)과 등가 하중점은 동일한 점이며, 가압 하중점(17)은 슬라이더(2)의 역스텝형 단차벽(40)보다 유출 단부측에 있다. 그리고, 가압 하중점(17), 정압력 작용점(18), 부압력 작용점(19)의 3점은 슬라이더 중앙점 근방의 대략 동일한 위치에 있다.
가압 하중(21)과 부압력(23)의 합계는 이제 정압력(22)과 균형을 이루고 있으며 동일하다. 이 상태로부터 분위기 압력이 저하되면, 부압력(23)과 정압력(22)이 대략 동일한 비율로 감소하는데, 가압 하중(21)은 일정하므로 감소량은「가압 하중(21)＋부압력(23)」보다 정압력(22) 쪽이 크다. 슬라이더를 들어올리는 방향의 힘인 정압력(22)의 감소가 크므로, 분위기 압력이 감소하면 슬라이더(2)의 유출 단부 부상량이 감소하는 것을 회피할 수 없다. 전술한 바와 같이 유출 단부 부상량이 20 ㎚인 장치에 있어서, 고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하는 6 ㎚이다.
이에 대하여 본 실시예에 따르면, 가압 하중점(17)은 슬라이더(2)의 역스텝형 단차벽(40)의 슬라이더 전체 길이 방향의 슬라이더 중앙점(42)보다 유입 단부(15)측에 있다. 이 때, 부압력 작용점(19)은 역스텝 단차벽(40)의 유출 단부(16)측에 형성되는 블리드면(14)에 발생하므로, 필연적으로 부압력 작용점(19)은 역스텝 단차벽(40)의 슬라이더 전체 길이 방향의 슬라이더 중앙점(42)보다 유출 단부(16)측에 위치하게 된다. 힘의 균형으로부터, 정압력 작용점(18)은 가압 하중점(17)과 부압력 작용점(19) 사이에 위치하고 있으므로, 필연적으로 부압력 작용점(19)은 정압력 자용점(18)으로부터 유출 단부(16)측으로 이격되어 위치하게 된다.
도3의 점선으로 도시한 바와 같은, 역스텝형 단차벽에 바닥 벽면(43)을 갖는 오목부(44)가 형성되어 있는 경우에도, 이하의 이유에 의해 상기와 마찬가지로 부압력 작용점(19)은 역스텝형 단차벽(40a, 40b)을 잇는 선보다 유출 단부(16)측에 위치한다고 할 수 있다. 즉, 제1 이유로서, 역스텝형 단차벽(40a, 40b)의 유출 단부(16)측에 형성되는 블리드면(14)과 비교하여 오목부(44)의 면적이 작으므로, 블리드면(14) 및 오목부(44)에 동등한 부압이 발생하더라도, 그 합력의 작용점에 상당하는 부압력 작용점(19)은 면적이 넓은 블리드면(14)측에 위치하기 때문이다. 또, 제2 이유로서, 역스텝형 단차벽(40a, 40b)의 유입 단부(15)측에 존재하는 유체 저항과 비교하여 바닥 벽면(43)의 유입 단부(15)측에 존재하는 유체 저항이 작으므로, 역스텝형 단차벽(40a, 40b)의 유출 단부(16)측에 발생하는 부압과 비교하여 바닥 벽면(43)의 유출 단부(16)측, 즉 오목부(44) 내에 발생하는 부압은 약하기 때문이다. 가압 하중점(17)이 역스텝형 단차벽(40a, 40b)을 잇는 선보다 유입 단부(15)측에 있고, 반대로 부압력 작용점(19)은 역스텝 단차벽(40a, 40b)을 잇는 선보다 유출 단부(16)측에 위치하고 있으므로, 이 도3의 점선의 경우에도 상기와 마찬가지로 부압력 작용점(19)은 정압력 작용점(18)으로부터 유출 단부(16)측으로 이격되어 위치하게 된다.
또, 본 실시예에 따르면, 가압 하중점(17)은 정압력 작용점(18)보다 유입 단부(15)측에 있고, 가압 하중점(17)과 정압력 작용점(18)의 거리는 유입 단부(15)와 유출 단부(16)의 거리인 슬라이더 전체 길이의 대략 0.1배보다 크게 되어 있다. 이에 따라, 가압 하중(21), 정압력(22)과 균형을 이루므로, 필연적으로 부압력 작용점(19)은 정압력 작용점(18)으로부터 유출 단부(16)측으로 이격되어 위치하게 된다.
상기 어떠한 경우에도, 정압력 작용점(18)이 유출 단부(16)로부터 이격되고, 반대로 부압력 작용점(19)이 유출 단부(16)에 근접한 배치가 된다. 이로써, 유출 단부(16)에 대한 정압력(22)의 감소의 영향이 약해지고, 부압력(23)의 절대치의 감소의 영향이 강해진다. 부압력(23)의 절대치의 감소는 슬라이더(2)를 부상시키는 방향으로 작용하므로, 분위기 압력이 감소해도 유출 단부(16)와 자기 디스크(1)의 간극인 유출 단부 부상량이 감소하는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 정압력 작용점(18)과 부압력 작용점(19) 사이의 거리를 조절함으로써, 혹은 등가 하중점 즉 현재의 경우 가압 하중점(17)과 정압력 작용점(18) 사이의 거리를 조절함으로써, 고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하를 대략 제로로 하는 것이 원리적으로 가능하다.
이 작용을 보다 정량적으로 검토하기 위해, 도5a 및 도5b의 계산에 있어서 가압 하중점의 위치를 변화시키고, 등가 하중점과 정압력 작용점(18)의 거리에 대한「고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하」를 계산한 결과를 도7에 도시한다. 도7로부터, 본 실시예에서는 등가 가압 하중의 작용점과 일치하는 가압 하중점(17)과 정압력 작용점(18)의 거리가 슬라이더 전체 길이의 대략 0.1배보다 크므로, 고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하는 대략 2 ㎚ 이하이다.
이상과 같이 본 실시예에 따르면, 고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출단부 부상량의 저하를 2 ㎚ 이하로부터 또한 제로로까지 저감할 수 있으므로, 유출 단부 부상량 10 ㎚로부터 한층 더 저부상 범위의 비접촉 부상 슬라이더 혹은 접촉력을 저감시킨 콘택트 슬라이더, 및 이를 탑재한 자기 디스크 장치를 제공하는 것이 가능하다.
여기서 도7로부터, 고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하는 가압 하중점(17)과 정압력 작용점(18)의 거리가 슬라이더 전체 길이의 0.3배 정도로 대략 제로가 되며, 이를 사이에 두고 슬라이더 전체 길이의 0.2 내지 0.4배의 범위에서 절대치가 1 ㎚ 이하가 된다. 그리고, 거리가 슬라이더 전체 길이의 0.5배 이상이 되면, 고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하는 2 ㎚ 이상의 부상량 증가로 되어 버리는 경우가 예상된다. 즉, 등가 하중점과 정압력 작용점(18)의 거리는 슬라이더 전체 길이의 0.1배 내지 0.5배, 바람직하게는 0.2배 내지 0.4배를 선택하는 것이 좋다.
또한 이 때, 본 발명자들의 설계에서는 등가 하중점을 유입 단부(15)로부터 슬라이더 전체 길이의 0.3배 만큼 유출 단부(16)측으로 치우친 위치보다 유입 단부(15)측에 배치하면, 비교적 용이하게 등가 하중점과 정압력 작용점(18)의 거리를 슬라이더 전체 길이의 0.1배보다 크게 할 수 있음을 알 수 있었다. 또한 반대로, 등가 하중점과 정압력 작용점(18)의 거리는 상기와 같이 슬라이더 전체 길이의 0.5배 이하로 해야 하므로, 등가 하중점은 유입 단부(15)로부터 슬라이더 전체 길이의 0.5배 만큼 슬라이더 전방 외부로 치우친 위치보다 전방에 배치하는 일은 불필요하다. 즉, 필수 조건은 아니지만, 등가 하중점은 유입 단부(15)로부터 슬라이더 전체 길이의 0.3배 만큼 유출 단부(16)측으로 치우친 위치와, 유입 단부(15)로부터 슬라이더 전체 길이의 0.5배 만큼 슬라이더 전방 외부로 치우친 위치 사이에 배치하는 것이 슬라이더의 설계상 바람직하다.
다음에, 본 발명의 다른 실시예를 도8 및 도9를 이용하여 설명한다. 도8 및 도9는 본 발명의 다른 실시예의 슬라이더(2)와 자기 디스크(1)의 측면도이다. 도8은 슬라이더(2)에 공기막에 의한 부상력이 작용하고 있는 부상중의 상태를 도시하고 있다. 도9는 공기막에 의한 부상력이 작용하고 있지 않은 상태를 도시하고 있다.
본 실시예는 도면에 도시한 바와 같이, 짐벌(6)을 슬라이더(2)의 유출 단부측보다도 돌출하여 배치하고, 부상력이 작용하고 있지 않은 상태에서는 짐벌(6)에 의해서 공기 유입 단부측에 지지하도록 한 것이다. 이 구성에서는 가압 하중점(17)이 대략 슬라이더 중앙점, 즉 슬라이더 전체 길이의 대략 절반의 위치에 배치되어 있다. 슬라이더(2)의 유입 단부(15)를 자기 디스크(1)측으로 압하하는 방향의 피칭 모멘트(24)가 슬라이더 중앙점 주위로 작용하도록 초기 설정 경사 각도가 부여되어 있다. 그리고, 이 가압 하중(21)과 슬라이더 중앙점 주위의 피칭 모멘트(24)를 자기 디스크(1)의 표면에 수직인 힘에 합성한 합력인, 등가 가압 하중(26)의 작용점인 등가 하중점(25)은 역스텝형 단차벽(40)보다 유입 단부측에 있다. 등가 하중점(25)은 정압력 작용점(18)보다 유입 단부(15)측에 있고, 등가 하중점(25)과 정압력 작용점(18)의 거리가 슬라이더 전체 길이의 대략 0.1배보다 크게 되어 있다. 그리고, 등가 하중점(25)은 슬라이더(2)의 유입 단부(15)측으로부터 슬라이더 전체 길이의 대략 0.3배 만큼 유출 단부(16)측으로 치우친 위치에 있다. 본 실시예에서는 짐벌의 초기 설정 경사 각도에 의해서 슬라이더(2)에 피칭 모멘트(24)를 부여했지만, 서스펜션(4)의 초기 경사 각도에 의해서 피칭 모멘트를 부여하는 것도 가능하다.
본 실시예에 따르면, 가압 하중점(17)이 슬라이더(2)의 중심 부근에 있으므로, 캐리지(5)에 의해서 서스펜션(4)을 자기 디스크(1)의 반경 방향으로 검색 동작시켰을 때, 슬라이더(2)가 가압 하중점(17)의 주위로 요잉 운동을 하고, 자기 헤드(11)가 자기 디스크(1)의 반경 방향으로 진동하여 검색 위치 결정 성능이 열화하는 문제점을 방지할 수 있다.
다음에, 본 발명의 또 다른 실시예를 도10 및 도11을 이용하여 설명한다. 도10은 본 발명의 다른 실시예의 슬라이더(2)와 서스펜션(4)의 조립체의 부분 평면도이고, 도11은 도10의 실시예의 슬라이더(2)와 자기 디스크(1)의 측면도이다.
상기의 실시예에서는, 서스펜션(4)에는 피봇 돌기가 형성되어 있다. 또, 서스펜션(4)의 선단부는 짐벌을 겸용하는 구성으로 되어 있다. 즉, 서스펜션(4)과 일체의 짐벌부(27)가 형성되고, 이에 의해 슬라이더(2)에 가압 하중(21)과 피칭 모멘트(24)가 부여되어 있다. 이 가압 하중(21)과 피칭 모멘트(24)를 자기 디스크(1)의 표면에 수직인 힘에 합성한 합력인 등가 가압 하중(26)의, 슬라이더(2)에의 작용점인 등가 하중점(25)은 역스텝형 단차벽(40)보다 유입 단부측에 있다. 그리고, 등가 하중점(25)은 정압력 작용점(18)보다 유입 단부(15)측에 있고, 등가 하중점(25)과 정압력 작용점(18)의 거리가 슬라이더 전체 길이의 대략0.1배보다 크게 되어 있다. 또한, 등가 하중점(25)은 슬라이더(2)의 유입 단부(15)측으로부터 슬라이더 전체 길이의 대략 0.3배 만큼 유출 단부(16)측으로 치우친 위치보다 유입 단부(15)측에 위치하고 있다.
본 실시예에 따르면 피봇 돌기가 없으므로, 슬라이더(2)에 큰 검색 방향의 힘이 작용해도, 피봇 돌기와 슬라이더(2)의 마찰력에 의해서 피봇 돌기와 슬라이더(2) 사이에 상대 변위가 남고, 서스펜션(4)에 대하여 슬라이더(2)의 위치가 어긋나서 검색 위치 결정 성능이 열화하는 문제점을 방지할 수 있다.
다음에, 본 발명의 제4 실시예를 도12 내지 도14를 이용하여 설명한다. 도12는 본 발명의 다른 실시예의 슬라이더(2)를 자기 디스크(1) 면상으로 로드 및 언로드하는 기구의 측면도이고, 도13 및 도14는 본 발명의 도12의 실시예의 슬라이더(2)와 자기 디스크(1)의 측면도이다.
저부상화를 도모하기 위해서는 자기 디스크(1)의 표면 조도를 작게 하는 것이 필수이다. 슬라이더의 기동 정지 방식으로서, 평활 자기 디스크와 슬라이더(2)의 큰 점착력으로 인해 곤란하게 된 CSS(Contact Start and Stop) 대신에, 최근 로드·언로드 기구가 채용되기 시작하고 있다. 본 실시예의 로드·언로드 기구에서는 서스펜션(4)에 설치된 탭(28)을 자기 디스크(1)의 외주 단부 부근에 배치한 램프(29)의 사면(30)을 타고 넘게 함으로써, 슬라이더(2)를 자기 디스크(1)로부터 로드 혹은 언로드한다. 그리고, 이 때 부압력이 작용하는 슬라이더(2)를 확실하게 자기 디스크(1)로부터 분리시키기 위해, 훅(32)이 슬라이더(2)의 배면에 설치되어 있다. 훅(32)은 통상 짐벌(6)과 일체 부재로 형성되지만, 다른 부재로서슬라이더(2)에 직접 설치해도 좋다. 훅(32)은 서스펜션(4)에 형성된 구멍 혹은 절결(33)을 통해서 서스펜션(4)의 상면으로 연신되어 있고, 도14에 도시한 바와 같이 탭(28)이 램프(29)에 의해서 들어올려졌을 때, 훅(32)이 서스펜션(4)의 상면에 걸려서 슬라이더(2)를 들어올린다. 그리고, 본 실시예에서는 훅(32)에 의한 들어올리는 힘의 작용점, 즉 들어올리는 힘의 작용점(34)이 슬라이더(2)의 유입 단부(15)로부터 유출 단부(16)까지 사이에 위치하고 있다.
본 실시예에 따르면, 부압력 작용점(19)이 유출 단부(16) 근방에 있어도 훅(32)에 의한 들어올리는 힘의 작용점(34)을 마찬가지로 유출 단부(16)의 근방에 배치할 수 있으므로, 자기 디스크(1)로부터 슬라이더(2)를 언로드할 때 슬라이더(2)를 대략 수평으로 들어올릴 수 있으며, 슬라이더(2)와 자기 디스크(1)의 접촉을 방지할 수 있으므로, 로드·언로드 기구를 사용한 자기 디스크 장치에 있어서, 슬라이더(2)나 자기 디스크(1)가 마모되거나 또는 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이상의 설명으로부터 명확해지는 바와 같이, 본 발명에 따르면 현상 장치에 있어서의 유출 단부 부상량 변동의 큰 요인인, 고도 3000 m까지의 기압 저하에 따른 유출 단부 부상량의 저하를 2 ㎚ 이하는 물론 제로로까지 더욱 저감할 수 있다. 따라서, 유출 단부 부상량 10 ㎚로부터 한층 더 저부상 범위의 비접촉 부상 슬라이더, 혹은 접촉력을 저감시킨 콘택트 슬라이더, 및 이를 탑재한 자기 디스크 장치를 제공할 수 있다.

Claims (10)

  1. 스핀들에 회전 가능하게 부착된 자기 디스크와, 이 자기 디스크 표면에 대향하여 정압력을 발생하는 부상 레일 혹은 부상 패드와, 유출 단부측의 부상 레일 혹은 부상 패드에 상기 자기 디스크 상에 데이터를 기록/재생하기 위한 자기 헤드를 구비한 슬라이더와, 이 슬라이더를 지지하며 소정의 가압 하중을 부여하는 서스펜션과, 상기 서스펜션에 부착되어 상기 슬라이더를 자기 디스크 상에 위치 결정하기 위한 캐리지를 구비한 자기 디스크 장치에 있어서,
    상기 슬라이더는 슬라이더 유입 단부로부터 유출 단부를 향해서 움푹 들어간 형상으로 형성된 역스텝형 단차벽과, 이 역스텝형 단차벽의 유출 단부측에 형성되며 부상 레일 혹은 부상 패드로부터 움푹 들어간, 대향면에 작용하는 부의 압력의 합력인 부압력을 발생시키는 블리드면을 갖고,
    상기 서스펜션에 의해서 상기 슬라이더에 부여되는 힘 및 모멘트를 자기 디스크 표면에 수직인 힘에 합성한 합력인 등가 가압 하중의, 상기 슬라이더에의 작용점인 등가 하중점이 상기 슬라이더의 역스텝형 단차벽보다 유입 단부측에 위치하는 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 슬라이더의 자기 디스크와의 대향면은 상기 정압력의 작용점과 상기 부압력의 작용점을 갖고, 상기 등가 하중점은 상기 정압력의 작용점으로부터 상기 유입 단부측으로 이격되어 위치하고, 상기 등가 하중점과 상기 정압력의 작용점의 거리는 슬라이더 전체 길이의 대략 0.1배보다 큰 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 정압력의 작용점은 상기 부압력의 작용점으로부터 유입 단부측으로 이격되어 위치하는 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 등가 하중점은 상기 슬라이더의 유입 단부측으로부터 상기 슬라이더 전체 길이의 대략 0.3배 만큼 유출 단부측으로 치우친 위치보다 유입 단부측에 위치하는 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 서스펜션은 슬라이더에 접촉하며, 그 접촉점을 중심으로 해서 슬라이더가 롤 혹은 피치 방향으로 운동 가능한 피봇 돌기를 갖고, 이 피봇 돌기와 상기 슬라이더의 접촉점은 상기 등가 하중점과 대략 동일한 점인 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 서스펜션은 슬라이더에 접촉하며, 그 접촉점을 중심으로 해서 슬라이더가 롤 혹은 피치 방향으로 운동 가능한 피봇 돌기와, 상기 슬라이더에 피봇 돌기의 접촉점 주위의 피칭 모멘트를 부여하는 수단을 구비하고, 이 피봇 돌기의 접촉점 주위의 피칭 모멘트와 상기 피봇 돌기에 의한 가압 하중을 자기 디스크 표면에 수직인 힘에 합성한 합력인 상기 슬라이더에의 작용점이 상기 등가하중점과 대략 동일한 점인 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 서스펜션은 탄성 부재를 거쳐서 상기 슬라이더에 가압 하중을 부여하고, 이 탄성 부재에 의해서 상기 슬라이더에 부여되는 힘 및 모멘트를 자기 디스크 표면에 수직인 힘에 합성한 합력인 상기 슬라이더에의 작용점이 상기 등가 하중점과 대략 동일한 점인 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 자기 디스크는 신호를 기록하는 데이터 영역을 구비하고, 상기 슬라이더를 상기 자기 디스크의 데이터 영역 외주 단부 부근에 형성한 로드·언로드 영역으로 로드·언로드하는 기능을 가지며, 상기 슬라이더에는 언로드용 훅이 설치되고, 이 훅은 상기 슬라이더의 유입 단부측으로부터 상기 슬라이더 전체 길이의 대략 0.5배의 위치로부터 상기 유출 단부까지의 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.
  9. 스핀들에 회전 가능하게 부착된 자기 디스크와, 이 자기 디스크 표면에 대향하여 정압력을 발생하는 부상 레일 혹은 부상 패드와, 유출 단부측의 부상 레일 혹은 부상 패드에 상기 자기 디스크 상에 데이터를 기록/재생하기 위한 자기 헤드를 구비한 슬라이더와, 이 슬라이더를 지지하며 소정의 가압 하중을 부여하는 서스펜션과, 상기 서스펜션에 부착되어 상기 슬라이더를 자기 디스크 상에 위치 결정하기 위한 캐리지를 구비한 자기 디스크 장치에 있어서,
    상기 슬라이더의 자기 디스크와의 대향면은 상기 정압력의 작용점과 상기 부압력의 작용점을 갖고, 상기 등가 하중점은 상기 정압력의 작용점으로부터 상기 유입 단부측으로 이격되어 위치하고, 상기 등가 하중점과 상기 정압력의 작용점의 거리는 슬라이더 전체 길이의 대략 0.1배보다 큰 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 슬라이더는 슬라이더 유입 단부로부터 유출 단부를 향해서 움푹 들어간 형상으로 형성된 역스텝형 단차벽과, 이 역스텝형 단차벽의 유출 단부측에 형성되며 부상 레일 혹은 부상 패드로부터 움푹 들어간, 대향면에 작용하는 부의 압력의 합력인 부압력을 발생시키는 블리드면을 갖는 것을 특징으로 하는 자기 디스크 장치.
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