JP4276256B2 - 動的パラメトリック試験を使用するスライダ／ディスク干渉の検出 - Google Patents

Description

本発明は、ハードディスクドライブ及びこれに類似するもののコンポーネントの試験に関する。更に詳しくは、本発明は、コンポーネントレベルの磁気試験の際のスライダ／ディスク干渉の検出に関する。

ハードディスクドライブは、基本的に、一連の回転可能なディスクから構成された一般的な情報ストレージ装置であって、これらのディスクに、磁気読取り／書込み要素がアクセスしている。一般にトランスデューサとも呼ばれるこれらのデータ転送要素は、通常、読取り又は書込み動作を実行できるように、ディスク上に形成された個々のデータトラック上の近接した相対位置に保持されたスライダ本体内に埋め込まれ、搬送されている。このトランスデューサをディスク表面に対して正しく位置決めするべく、スライダ本体上に形成されたＡＢＳ（Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ：空気軸受面）に流体気流が作用することにより、スライダおよびトランスデューサをディスクのデータトラック上で「飛行」させるのに十分な揚力が提供される。すなわち、磁気ディスクの高速回転によって、ディスクの接線速度に実質的に平行な方向に、その表面に沿って気流の流れ（すなわち、風）が生成される。この気流がスライダ本体のＡＢＳと協働することにより、スライダは、回転するディスク上において飛行可能になっている。この吊り下げられたスライダは、実際に、この自己作動型の空気軸受によって、ディスク表面から物理的に離隔した状態にある。

ＡＢＳの設計における主要目標の１つは、スライダ及びその関連するトランスデューサを、回転するディスクの表面に可能な限り近接した状態で飛行させると共に、変わりやすい飛行条件とは無関係に、その一定の近接した距離を均一に維持することにある。この空気軸受スライダと回転する磁気ディスクとの間の高さすなわち離隔間隙を、通常、飛行高度と呼んでいる。取り付けられた状態のトランスデューサ（すなわち、読取り／書込み要素）が飛行する飛行高度は、通常、回転するディスク表面のわずかに数マイクロインチ程度上方に過ぎない。このスライダの飛行高度は、取り付けられた状態の読取り／書込み要素の磁気ディスクの読み取り／記録能力に影響を与える最も重要なパラメータの１つと見なされている。飛行高度が相対的に小さければ、トランスデューサは、ディスク表面上の異なるデータビットの場所間において相対的に大きな分解能を実現可能であり、この結果、データ密度およびストレージ容量が向上することになる。相対的に小型でありながら強力なディスクドライブを利用した軽量で小型のノートブックタイプのコンピュータに対する需要が拡大していることから、更に小さな飛行高度に対するニーズが継続的に拡大している。

図１に示されているように、一般的なカタマラン（ｃａｔａｍａｒａｎ）スライダ５と呼ばれるＡＢＳの設計は、ディスクに対向するスライダ表面の外部エッジに沿って延長した平行なレールのペア２及び４によって形成されている。様々な表面積と形状を有する３つ以上の更なるレールを含むその他のＡＢＳ構成も既に開発されている。この２つのレール２及び４は、通常、リーディングエッジ６からトレーリングエッジ８に至るスライダ本体の長さの少なくとも一部に沿って延長している。なお、リーディングエッジ６とは、回転するディスクが、トレーリングエッジ８に向かってスライダ５の長さにわたって移動する前に通過するスライダのエッジのことである。図示のように、このリーディングエッジ６には、テーパーを付与可能である。ただし、通常、この機械加工のプロセスには、大きな望ましくない許容誤差が伴っている。トランスデューサすなわち磁気要素７は、通常、図１に示されているように、スライダのトレーリングエッジ８に沿った場所に取り付けられている。レール２及び４は、スライダが飛行するための空気軸受面を形成し、回転するディスクによって生成される気流と接触した際に、必要な揚力を提供する。ディスクの回転に伴って生成される風すなわち気流が、カタマランスライダレール２及び４の底面に沿って、並びにこの間を、流れる。そして、この気流がレール２及び４の底面を通過することに伴って、レールとディスクとの間の気圧が増大し、この結果、正の昇圧と揚力とが提供されることになる。カタマランスライダによれば、通常、回転するディスク上の適切な高度においてスライダを飛行させるのに十分な量の揚力すなわち上昇力が生成される。レール２及び４が存在しなければ、スライダ本体５の表面積が大きいため、空気軸受の表面積が過剰に大きなものになろう。一般に、空気軸受の表面積が増大するに伴って、生成される揚力の量も増大することになる。従って、これらのレールがなければ、スライダが、回転するディスクから過剰に離隔することになり、この結果、小さい飛行高度を具備することに伴う前述の利益のすべてが消滅してしまうことになろう。

図２に示されているように、しばしば、ＨＧＡ（Ｈｅａｄ Ｇｉｍｂａｌ Ａｓｓｅｍｂｌｙ：ヘッドジンバルアセンブリ）４０が、スライダの飛行高度を規定する垂直間隔やピッチ角及びロール角などの複数の自由度をスライダに提供している。図２に示されているように、矢印８０によって示されている方向に移動する回転ディスク７６（これは、エッジ７０を具備している）の上方において、サスペンション７４が、このＨＧＡ４０を保持している。そして、この図２に示されているディスクドライブの動作の際には、アクチュエータ７２が、ディスク７６の様々な直径（例：内部直径（ＩＤ）、中間直径（ＭＤ）、及び外部直径（ＯＤ））上にＨＧＡを円弧７５状に移動させる。

スライダの飛行高度が減少するに伴って、スライダのＡＢＳとディスクの表面との間における干渉の頻度が増大する。しばしば、この干渉を「ＨＤＩ（Ｈｅａｄ−Ｄｉｓｋ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ：ヘッド／ディスク干渉）」と呼んでいる。これには、スライダとディスクとの間における直接的な接触と、ディスク表面上の破片や潤滑剤などを通じた間接的な接触の両方が含まれる。このＨＤＩが大きいほど、スライダ及びそのＡＢＳの磨耗と損傷が増大することになる。そして、このＨＤＩにより、読取り／書込みヘッドが直接的が損傷したり、あるいは、空気軸受が無効になることによって壊滅的な障害が発生する可能性がある。

このＨＤＩと関連する問題点を克服するべく、スライダの飛行高度に対して許容値を設定している。すなわち、スライダの飛行高度の計測値が小さすぎる場合には、過剰なＨＤＩが存在しており、ハードディスクドライブの動作に悪影響を与えると仮定しているのである。しかしながら、前述のように、ドライブのデータ容量は、スライダの飛行高度が小さいほど増大することになる。

この飛行高度の許容値を使用してＨＤＩを制御する方法に伴う問題点の１つは、従来のスライダの飛行高度が低減されるに伴って、これらの許容値が更に厳しいものになるという点にある。スライダの代表的な飛行高度は、数ナノメートルである。そして、ディスク及びスライダの表面形状の変動、これら両表面の振動、並びに、両表面において蓄積、移動、及び脱落する破片／潤滑剤のために、所与の時点における飛行高度の計測は、更に複雑なものになる。

スライダが益々小型化するに伴って、容量性プローブやフォトニックプローブなどの従来の間隔トランスデューサを収容することが益々困難になっている。また、当技術分野において周知の透明なディスク上でのスライダの飛行高度試験のために、更なる問題が発生することになる。すなわち、透明なディスクと、ドライブ内で使用されている磁気ディスクとは、取り付け条件、ディスク表面の粗さ、及び「摩擦帯電」によって生じる静電気吸着特性において相違しているため、透明なディスク上における飛行高度の尺度は、磁気ディスク上における飛行高度と相関していない可能性があるのである。また、このような小さな飛行高度における飛行高度の計測分解能は、非常に乏しいものであり、透明なディスク上における飛行高度の計測により、スライダの汚染や静電放電（Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ：ＥＳＤ）による損傷が発生する可能性もある。

飛行高度は、スライダの特定の領域ごとに異なるため、従来、空気軸受面の非常に小さな領域上において飛行高度を計測することが提案されている。例えば、「磁気間隔（Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｓｐａｃｉｎｇ）」とは、読取り／書込みヘッドの直下の間隔のことであり、これは、読取り／書込みヘッドからのリードバック信号（Ｒｅａｄ−ｂａｃｋ ｓｉｇｎａｌ）を分析することによって計測可能である。この磁気間隔を計測する際には、ディスクの速度、気圧、及びスライダ／ディスクインターフェイス内のガス組成を制御することにより、スライダの飛行高度を低減している。また、飛行高度は、ＤＣ電圧をスライダ／ディスクインターフェイスに印加することによっても低減可能である。そして、この磁気間隔の変化は、例えば、Ｗａｌｌａｃｅの式を使用することによって算出することができる。従って、磁気間隔を大幅に低減可能なスライダは、十分な飛行高度マージンを具備しているものと推測される。しかしながら、この磁気間隔を計測する方法を実装するには、比較的高価な装置が必要であり、かつ、この場合には、スライダのその他の部分がディスクに影響を与えていることも保証されない。

当技術分野において既知のいくつかの方法においては、スライダの飛行高度を推測するのではなく、ＨＤＩを直接的に検出するべく試みている。例えば、スライダとディスクとの間における摩擦は、歪ゲージやモータの電力消費量によって計測可能である。スライダとディスクの衝突は、スライダの音響放射や圧電センサによって計測可能である。そして、ディスクに対するスライダ位置の摂動は、リードバック信号の振幅、周波数、又は位相変調状態を通じて検出可能である。しかしながら、これらのパラメータの計測に必要な装置も、高価であり、かつ、わずかな量のヘッド／ディスク干渉を検出することはできない。ＨＤＩ検出のもう１つの方法は、読取り／書込みヘッド内の温度変化を検出する方法である。しかしながら、前述の磁気間隔の計測と同様に、監視対象の領域は、読取り／書込みヘッドのみであって、スライダのその他の領域が、ディスクに影響を与える可能性がある。

以上のような状況に鑑み、この従来技術に存在する費用及び計測の問題点を回避しつつ、ＨＤＩを直接的に計測するニーズが存在している。

本発明の一実施例によれば、動的パラメトリック試験において、ＨＤＩを推定によって計測する。ディスク上の完全に書き込まれているトラックに跨って、いくつかのステップにわたって、スライダと読取り／書込みヘッドを変位させる。そして、この動的パラメトリック試験における振幅の計測値を処理することにより、この例においては、ＨＤＩを表すトラックの位置ずれの計測値を取得可能である。好ましくは、この計測は、追加的な装置や操作なしに実施される。

現在の製造プロセスにおいては、通常、回転するディスク上をヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＳ）４０に飛行させることによって、その磁気性能を試験している。この手順は、ＭＡＧ試験、あるいは、更に正確には、ＤＰ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｐａｒａｍｅｔｒｉｃ：動的パラメトリック）試験と呼ばれている。ＤＰ試験には、「トラックプロファイル試験」と呼ばれるサブルーチンが更に含まれている。このトラックプロファイル試験においては、ディスク上の１つの離隔したトラックに書き込みを行う。そして、この書き込み済みのトラックに跨って、大きな数のステップにわたって（１００個程度）、読取りヘッドを変位させる。読取りヘッドが書き込み済みのトラックと完全にアライメントされた場合に、リードバック信号の振幅が極大化することは明らかである。そして、このリードバック振幅の立ち上がりと立ち下がりを分析することにより、読取りトランスデューサおよび書込みトランスデューサの両方の幅を取得可能することができる。

現在、このトラックプロファイル試験は、磁気的な目的でのみ実行されている。しかしながら、本発明の一実施例によれば、このトラックプロファイルが、ＨＤＩの兆候をも有している。従って、このトラックプロファイルを適切に分析することにより、ＨＤＩの程度を判定することができる。

図３を参照すると、回転ディスク上のスライダ１０３の図が示されている。なお、この実施例においては、このスライダ１０３は、読取り／書込みヘッド１０５を有する単純なカタマランスライダであるが、本発明は、この種のスライダに限定されるものではない。このスライダ１０３は、サスペンション及び駆動装置（例：リードスクリュー及び圧電アクチュエータ）に結合されており、この結果、このスライダは、回転ディスク１０９上の特定の場所に位置決め可能である。なお、わかりやすくするべく、図３には、サスペンションおよび駆動モータは明示的に示されてはいない。本発明の一実施例によれば、単一の記録トラック１０１に対して、スライダ１０３（特に、読取り／書込みヘッド１０５）を、回転ディスク１０９上において、様々なステップ（１０７）にわたって移動させる。この実施例においては、スライダは、長さＳの複数の増分にわたって移動しており（例：Ｓ＝５ナノメートル）、トラック１０１は、完全かつ均一に記録された状態にある。

図４を参照すると、本発明の実施例によるスライダ１０３のＨＤＩを計測する方法のフローチャートが示されている。まず、ブロック２０１において、ＤＰ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｐａｒａｍｅｔｒｉｃ：動的パラメトリック）試験を実行し、振幅Ａを所得する。この実施例においては、この振幅Ａは、複数のインデックススポイント（例：図３の要素１０７）において取得されることになる。従って、この振幅Ａは、数列Ａ（ｉ）として取得され、ここで、ｉは、インデックスであり、ｉ＝１，２，３．．．，ｎである。このインデックスｉにおけるそれぞれの増分は、読取りヘッドの移動における前進方向の１つのステップを表している。そして、この実施例においては、読取り／書込みヘッドは、トラックプロファイル１０１の外部に位置しているポイント間を通過するようになっている。

次いで、ブロック２０３において、この振幅Ａに基づいて、傾き又は感度プロファイルＢ（ｉ）を次のように生成する。

このＢ（ｉ）を得ることにより、スムージングされた傾きプロファイルＣ（ｉ）を生成可能であり（ブロック２０５）、ここで、ｉ＝ｍ＋１，ｍ＋２，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であり、ｊ＝ｉ−ｍ，ｉ−ｍ＋１，．．．，ｉ，ｉ＋１，．．．，ｉ＋ｍ−１，ｉ＋ｍである。

このＣ（ｉ）は、各時点ごとにＢ（ｉ）値のサブセットを取得したＢ（ｉ）の移動平均と考えることができる。この実施例においては、対称性を考慮し、移動平均において、奇数個のデータポイント（すなわちポイントｍ＋１を中心とした２ｍ＋１個のデータポイント）を選択している。そして、この実施例においては、移動平均の範囲（すなわち、２ｍ＋１）は、トラック幅の１／８〜１／４の間で選択されている。また、この実施例においては、１／（２ｍ＋１）の均一な重みを選択しているが、不均一な重みも同様に使用可能である。

このオリジナルの傾きプロファイルＢ（ｉ）とスムージングされた傾きプロファイルＣ（ｉ）間における垂直の距離を、次のように、Ｄ（ｉ）として表現可能である。

ここで、ｉ＝ｍ＋１，ｍ＋２，．．．，ｎ−（ｍ＋１）である。

前述の式１は、インデックスｉに関するものであり、Ｄ（ｉ）およびＡ（ｉ）は、同一の単位（リードバック信号の電圧）で計測されている。従って、対応する半径位置誤差Ｅ（ｉ）は、次にように取得可能である。これは、通常、ＴＭＲ（Ｔｒａｃｋ Ｍｉｓ−Ｒｅｇｉｓｔｒａｉｏｎ：トラックの位置ずれ）と呼ばれている。

ここで、ｉ＝ｍ＋１，ｍ＋２，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であり、Ｓは、Ａ（ｉ）に関連する前述の均一な増分である（ブロック２０９）。

このＥ（ｉ）は、様々な成分又はセルを有するベクトルである。前述の式からわかるように、Ｅ（ｉ）は、変数Ａ（ｉ）及びＣ（ｉ）に基づいたものである。読取りヘッド利得における変動と様々な機械的な振動のために、Ａ（ｉ）、並びに、従って、Ｅ（ｉ）の値に影響を与えるランダム雑音が存在している。また、前述の数値的なスムージング方式と関連するＣ（ｉ）中にシステマティックなエラーも存在しており、これも、同様にＥ（ｉ）に影響を与えることになる。本発明のこの実施例においては、統計的な目的で、Ｅ（ｉ）に加重平均を適用する。最適な重みは、Ｅ（ｉ）の雑音コンテンツの変化に反比例している。そして、雑音は傾きＣ（ｉ）に反比例しているため、最適な重みは、Ｃ（ｉ）の二乗に直接的に比例している。従って、Ｅ（ｉ）の加重平均ｅは、次の式によって取得可能である。

ここで、この加算の限度は、ｍ＋１〜ｎ−（ｍ＋１）である（ブロック２０９）。従って、この式５から、ステップごとの長さ（すなわち、Ａ（ｉ）の計測において使用したそれぞれのステップ）を単位として計測された加重平均トラック位置ずれｅを得ることができる。そして、このトラック位置ずれの重み付けした二乗平均εは、次のように取得可能である。

ここで、この加算の限度は、ｍ＋１〜ｎ−（ｍ＋１）である（ブロック２１３）。以下に詳述するように、トラックの位置ずれの観点におけるスライダの配置状態について、このｅ又はεのいずれか又は両方を使用可能である。

一般に、スライダ／空気軸受が所与のトラック半径上を飛行する際には、回転するディスクの形状の影響を受けない傾向を有している。ディスクが完全に平坦であれば、スライダが１つの半径位置から次の半径位置に移動する際に、スライダは、ディスクから均一な高さにおいて飛行すると予想される。しかしながら、ディスク表面がこのように滑らかであることはほとんどない。従って、１つの半径位置から別の半径位置にスライダを移動させるべく試みると、スライダが実際に飛行する場所に対して、ディスクの形状が影響を与えることになる。これは、音楽レコードの上をスライドするプレーヤの針に似ている。２つの隣接する溝を分離する山の背に針を位置決めするべく選択することは可能であるが、針は、その山の背には位置決めされず、代わりに、溝の１つに位置決めされることになる。そして、この位置ずれのために、読み取られる信号の振幅は、その半径において予想される振幅と一致しなくなる。ディスク表面の粗さが増大するに伴って、スライダは、ディスクの形状の谷の間をホップする傾向を有することになる。従って、このトラックの位置ずれは、ディスクの滑らかさの欠如とＨＤＩの程度とに直接的に関係している。

図６ａを参照すれば、理想的なトラックプロファイルのグラフ（リードバック振幅対半径位置）が示されている。このプロファイルを半径位置に関して微分することにより、傾きプロファイル又は感度プロファイル（半径位置の変化に対するリードバック振幅の感度）を得ることができる。図６ｂを参照すれば、実際のトラックプロファイルが示されている。この図６ａと図６ｂとのプロファイル間の差を、感度プロファイルで除算することにより、半径位置誤差のプロファイルを得ることができる。そして、この半径位置誤差を統計的に更に処理することにより、図６ｂとの関連で使用したスライダ／ディスクのＨＤＩの程度を表す尺度値を生成可能である。しかしながら、この図６ａのような理想的なトラックプロファイルは、特定のスライダ／ディスクの組み合わせについて提供されてはいない。そこで、前述の本発明の一実施例によれば、まず、図６ｂのトラックプロファイルのみを（Ａ（ｉ）として）生成する。そして、このトラックプロファイルを微分することにより、感度プロファイル（Ｂ（ｉ）として）を生成し、次いで、これをスムージングすることにより、平均傾き（すなわち平均）プロファイル（Ｃ（ｉ））を生成可能である。この平均プロファイル（Ｃ（ｉ））は、理想的な感度プロファイルの近似と考えることができる。次いで、この「理想的」な感度プロファイル（Ｃ（ｉ））と「実際」の感度プロファイル（Ｂ（ｉ））間の差（Ｄ（ｉ））を「理想的」な感度プロファイルによって除算したものを使用し、トラック位置ずれプロファイル（Ｅ（ｉ））を生成することができる。そして、このＴＭＲプロファイルを、前述のように、例えば、スライダのＨＩＤを表す平均又は二乗平均を表す尺度値に変換可能である。

本発明は、ハードウェアを追加又は変更することなしに、実現可能である。これは、ＧｕｚｉｋスピンスタンドテスタやＫＭＹテスタなどの標準的なＤＰテスタに提供されているソフトウェアを使用することによって実装可能である。図５を参照すれば、ヘッド／ディスク干渉用の試験装置５００が示されている。この実施例におけるディスクドライブコンポーネントの動的パラメトリック試験を実行する試験システム５００は、当技術分野において周知のものに類似しており、この試験システム５００は、試験対象のスライダ及びディスク（図示されてはいない）を有するスピンドル試験スタンド５０１を具備している。試験装置５１０も提供されている。この実施例においては、この試験装置は、プロセッサ５１１を含んでおり、このプロセッサは、前述の開示内容に従って、メモリ５１２内に保存されているコードを実行することにより、スピンドル試験スタンド５０１内のスライダを操作してＨＤＩに関するプロファイル及び尺度値を生成する。

以上、前述のアプリケーションを参照し、本発明について説明したが、この好適な実施例に関する以上の説明を、限定を意図するものと解釈するべきではない。本発明のすべての態様は、本明細書に示されている特定の図示、構成、又は寸法に限定されるものではなく、これらは、様々な原理及び変数によって左右されることを理解されたい。本開示内容を参照することにより、開示されている装置の形態及び詳細における様々な変更と本発明のその他の変形について、当業者に明らかとなろう。従って、添付の請求項には、本発明の真の精神と範囲に属する前述の実施例の変更や変形も含まれている。

当技術分野において周知の読取り／書込みヘッドを有するスライダ装置の斜視図である。 当技術分野において周知のディスクドライブ装置の透視図である。 本発明の一実施例によってハードディスクドライブ内の１つのトラックに対して位置決めされたスライダの平面図である。 本発明の一実施例による方法のフローチャートである。 本発明の一実施例による方法を実装するシステムのブロック図である。 動的パラメトリック試験における振幅の計測値を示すグラフである。 動的パラメトリック試験における振幅の計測値を示すグラフである。

Claims (12)

1. ヘッド／ディスク干渉を計測する方法であって、
   データを記録するディスク上の１つのトラックに跨って、複数の半径において、リードバック信号の振幅値に基づくヘッドのトラックプロファイルを生成する段階と、
   前記トラックプロファイルから感度プロファイルを生成する段階であって、前記感度プロファイルは、前記ヘッドの移動における１つのステップがその増分を表すインデックスポイントにおいて取得された前記振幅値によって生成される段階と、
   前記トラックプロファイルから理想的な感度プロファイルを生成する段階であって、前記理想的な感度プロファイルは、ｉ＝ｍ＋１，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であるとき、
   

   

   によって生成される段階と、
   前記感度プロファイル及び前記理想的な感度プロファイルに基づいて、前記トラックに対する前記ヘッドのトラック位置ずれプロファイルを判定する段階であって、前記トラック位置ずれプロファイルは、Ｓが前記トラックにおける隣接する半径間の距離であり、ｉ＝ｍ＋１，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であるとき、
   

   

   によって算出される段階と、
   を備える方法。
2. 前記判定する段階は、
   前記感度プロファイル及び前記理想的な感度プロファイルに基づいて、垂直距離プロファイルを生成する段階と、
   前記垂直距離プロファイルと前記理想的な感度プロファイルとから前記トラック位置ずれプロファイルを算出する段階と、
   を含む請求項１に記載の方法。
3. 前記トラック位置ずれプロファイルから平均半径位置誤差を算出する段階を更に備える請求項２に記載の方法。
4. 前記トラック位置ずれプロファイルから二乗平均半径位置誤差を算出する段階を更に備える請求項２に記載の方法。
5. ヘッド／ディスク干渉を計測する方法であって、
   データを記録するディスク上の１つのトラックに跨って、複数の半径において、ヘッドのトラックプロファイルを生成する段階であって、前記トラックプロファイルは、それぞれの半径ごとのリードバック信号の振幅値を含んでいる、段階と、
   前記トラックプロファイルから傾きプロファイルを生成する段階と、
   前記傾きプロファイルから平均傾きプロファイルを生成する段階であって、前記平均傾きプロファイルは、ｉ＝ｍ＋１，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であるとき、
   

   

   によって生成される段階と、
   前記傾きプロファイル及び前記平均傾きプロファイルから垂直距離プロファイルを生成する段階であって、前記垂直距離プロファイルは、ｉ＝ｍ＋１，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であるとき、
   

   

   によって生成される段階と、
   前記垂直距離プロファイル及び前記平均傾きプロファイルからトラック位置ずれプロファイルを生成する段階であって、前記トラック位置ずれプロファイルは、Ｓが前記トラックにおける隣接する半径間の距離であり、ｉ＝ｍ＋１，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であるとき、
   

   

   によって算出される段階と、
   を備える方法。
6. 前記トラックプロファイルは、前記ディスク上の前記トラックに跨ったｎ個の半径におる前記リードバック信号の前記振幅値を表しており、前記傾きプロファイルは、Ｂ（ｉ）＝Ａ（ｉ＋１）−Ａ（ｉ）として生成され、ここで、Ａ（ｉ）は、前記トラックプロファイルであり、ｉ＝１，．．．，ｎ−１である請求項５に記載の方法。
7. ｉ＝ｍ＋１，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であるとき、
   

   

   によって前記トラック位置ずれの加重平均を算出する段階を更に備える請求項５に記載の方法。
8. ｉ＝ｍ＋１，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であるとき、
   

   

   によって前記トラック位置ずれプロファイルの二乗平均εを算出する段階を更に備える請求項５に記載の方法。
9. ヘッド／ディスク干渉を計測する試験システムであって、
   読取りヘッドと、データを記録する少なくとも１つのトラックを有するディスクと、を含むディスクドライブと、
   該ディスクドライブに結合されており、前記トラックに跨って、複数の半径において、リードバック信号の振幅値に基づく前記読取りヘッドのトラックプロファイルを生成し、前記トラックプロファイルから感度プロファイルを生成し、前記トラックプロファイルから理想的な感度プロファイルを生成し、前記感度プロファイル及び理想的な感度プロファイルに基づいて、前記トラックに対する前記ヘッドのトラック位置ずれプロファイルを判定する試験装置と、
   を備え、
   前記感度プロファイルは、前記ヘッドの移動における１つのステップがその増分を表すインデックスポイントにおいて取得された前記振幅値によって生成され、
   前記理想的な感度プロファイルは、ｉ＝ｍ＋１，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であるとき、
   

   

   によって生成され、
   前記トラック位置ずれプロファイルは、Ｓが前記トラックにおける隣接する半径間の距離であり、ｉ＝ｍ＋１，．．．，ｎ−（ｍ＋１）であるとき、
   

   

   によって算出される試験システム。
10. 前記試験装置は、前記感度プロファイル及び前記理想的な感度プロファイルに基づいて、垂直距離プロファイルを生成することによって前記トラック位置ずれプロファイルを判定し、前記垂直距離プロファイルと前記理想的な感度プロファイルとから前記トラック位置ずれプロファイルを算出する請求項９に記載の試験システム。
11. 前記試験装置は、前記トラック位置ずれプロファイルから平均半径位置誤差を算出する請求項１０に記載の試験システム。
12. 前記試験装置は、前記トラック位置ずれプロファイルから二乗平均半径位置誤差を算出する請求項１０に記載の試験システム。

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