KR100291616B1 - 플라스마어드레스표시장치 - Google Patents

Abstract

플라스마어드레스표시장치에 있어서, 플라스마셀의 이상방전을 억제하는 동시에 방전전위의 안정화를 도모한다.

플라스마어드레스표시장치는 표시셀(1)과 플라스마셀(2)을 서로 적층한 플랫패널구조를 가진다. 표시셀(1)은 열상(列狀)의 신호전극(7)을 포함하는 한편, 플라스마셀(2)은 행상(行狀)의 주사채널(12)을 포함한다. 표시셀(1)에는 구동회로(16)가 접속되어 있으며, 소정의 기준전위를 중심으로 하는 구동신호를 신호전극(7)에 인가한다. 플라스마셀(2)에는 주사회로(17)가 접속되어 있으며, 주사채널(12)을 선순차(線順次)로 선택방전한다. 개개의 주사채널(12)은 유전막(15)으로 덮힌 피복전극(14)과 노출전극(13)의 쌍을 포함하고 있다. 주사회로(17)는 전환수단을 구비하고 있으며, 각 주사채널(12)의 선택방전시 최초에 피복전극(14)에 애노드전위를 인가하는 동시에 노출전극(13)에 캐소드전위를 인가하고, 이어서 피복전극(14)에 캐소드전위를 인가하는 동시에 노출전극(13)에 이 기준전위와 동등한 애노드전위를 인가한다.

Description

플라스마어드레스표시장치

제1도는 본 발명에 관한 플라스마어드레스표시장치의 기본적인 구성을 나타낸 모식도.

제2도는 제1도에 나타낸 플라스마어드레스표시장치의 1화소에 대응하는 등가 회로도.

제3도는 주사채널의 전압/전류특성을 나타낸 그래프.

제4도는 제1도에 나타낸 플라스마어드레스표시장치의 동작설명을 위한 참조도.

제5도 및 제6도는 역시 제1도에 나타낸 플라스마어드레스표시장치의 동작설명을 위한 파형도.

제7도는 본 발명에 관한 플라스마어드레스표시장치의 다른 실시예를 나타낸 단면도.

제8도는 종래의 플라스마어드레스표시장치의 일예를 나타낸 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 표시셀 2 : 플라스마셀

3 : 중간기판 4 : 상측기판

6 : 액정층 7 : 신호전극

8 : 하측기판 11 : 격벽

12 : 주사채널 13 : 노출전극

14 : 피복전극 15 : 유전막

16 : 구동회로 17 : 주사회로

본 발명은 액정셀 등의 표시셀과 플라스마셀을 겹친 플랫패널로 이루어지는 플라스마어드레스표시장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 선택적인 플라스마 방전에 의해 표시셀의 어드레싱을 행하는 플라스마셀의 구조에 관한 것이다.

플라스마어드레스표시장치는, 예를 들면 일본국 특개평 1(1989)-217396호 공보에 개시(開示)되어 있다. 제8도에 나타낸 바와 같이, 플라스마어드레스표시장치는 표시셀(101)과 플라스마셀(102)을 공통의 중간기판(103)을 개재하여 적층한 플랫패널구조를 가진다. 플라스마셀(102)은 하측기판(104)을 사용하여 구성되어 있다. 이 하측기판(104)의 표면에는 서로 평행한 복수의 긴 홈(105)이 형성되어 있다. 각 긴 홈(105)은 중간기판(103)에 의해 밀폐되어 있으며, 개개로 분리된 주사채널(106)을 형성하고 있다. 서로 인접하는 주사채널(106)은 격벽(107)에 의해 서로 이격되어 있다. 각 주사채널(106)의 내부에는 이온화가능한 가스가 봉입되어 있다. 또한, 각 긴 홈(105)의 저면에는 1쌍의 전극(108),(109)이 홈의 길이 방향으로 배설되어 있다. 이 1쌍의 전극은 금속재료로 이루어져서 주사채널(106)내의 가스를 이온화하여 플라스마방전을 발생하기 위한 애노드 및 캐소드로서 기능한다.

한편, 표시셀(101)은 상측기판(110)을 사용하여 구성되어 있다. 상측기판(110)과 중간기판(103)과의 사이에는 액정층(111)이 충전되어 있다. 이 상측기판(110)의 내표면에는 투명도전막으로 이루어지는 서로 평행한 복수의 신호전극(112)이 형성되어 있다. 이 신호전극(112)은 주사채널(106)과 직교하고 있으며, 양자의 교차부분이 매트릭스형으로 배열된 개개소의 화소를 규정한다.

전술한 플라스마어드레스표시장치를 구동하는데는, 주사채널(106)마다 선순차(線順次)로 플라스마방전을 발생시킨다. 이를 위해, 애노드에 대하여 캐소드의 전위를 방전개시전압보다 절대치에서 커지도록 제어한다. 소위 DC 구동을 행하여 주사채널내에 플라스마방전을 일으키면, 내부는 애노드전위로 유지된다. 한편, 신호전극에는 애노드전위를 기준으로 하여 소정의 구동신호가 인가되고, 액정층(111)과 중간기판(103)의 용량비에 따라서 실효구동전압이 액정층(111)에 기입된다. 플라스마방전이 종료하면 주사채널은 부유(浮遊)전위로 되고, 액정층에 기입된 실효구동전압은 다음의 선택주사까지 그대로 유지된다.

전술한 종래예는 DC 구동에 의해 플라스마방전을 발생시키는 방식이지만, AC 구동방식도 알려져 있고, 예를 들면 일본국 특개평 5(1993)-72519호 공보에 개시되어 있다. 이 AC 구동방식에서는 애노드 및 캐소드는 모두 유전막(誘電膜)에 의해 피복되어 있다. 각 프레임 사이에서 애노드 및 캐소드의 극성반전(極性反轉)을 행하여 유전막에 축적된 전하를 주고받아서 플라스마방전을 발생시키는 것이다.

전술한 DC 구동방식에서는 애노드 및 캐소드 모두 표면이 노출된 금속도체로 이루어진다. 따라서, 플라스마방전이 발생한 경우 주사채널내는 대략 동일하게 애노드전위로 되고, 액정화소에 대하여 정확한 구동신호(데이터전압)의 기입을 행할 수 있다. 그러나, 이 DC 구동방식에서는 애노드/캐소드간의 정상(正常)방전의 대신에, 캐소드/중간기판 하면사이 등에서 이상(異常)방전이 발생한다는 과제가 있다. 즉, 신호전극에 인가되는 데이터전압의 진폭 및 극성과 캐소드전위와의 관계에 따라서는 애노드/캐소드 사이의 전위차보다 큰 전위차가 발생하여, 이상방전의 위험성이 있다.

한편, 종래의 AC 구동방식에서는 유전막에 축적된 전하의 주고받음에 의해 애노드/캐소드 사이에서 극성반전을 행하여 플라스마방전을 일으키므로, DC 구동방식에 비해 동작전압을 저감할 수 있다. 또, 방전전류가 유전막의 정전(靜電)용량에 의해 제한되므로 이상방전이 잘 일어나지 않는 등의 우위성을 가진다. 그러나, 종래의 AC 구동방식에서는 애노드가 유전막에 의해 피복되어 있으므로 주사채널내의 방전전위가 일정하지 않다는 과제가 있다. 즉, 플라스마방전이 발생하면 전하를 주고받아서 애노드유전막과 캐소드유전막의 사이의 전위차가 방전유지전압으로 되기까지 저하하면 방전이 정지된다. 이 방전유지전압은 가스압 기타의 조건으로 변동하기 쉽고 제어가 곤란하다. 이와 같이, 방전전위가 일정하지 않으면 개개의 액정화소에 대하여 정확한 데이터전압을 기입할 수 없다.

전술한 종래의 DC형 구동방식 및 AC형 구동방식의 과제를 감안하여, 본 발명은 주사채널내에 있어서의 이상방전의 억제와 방전전위의 안정화를 양립시키는 것을 목적으로 한다. 이러한 목적을 달성하기 위해 다음의 수단을 강구하였다. 즉, 본 발명에 관한 플라스마어드레스표시장치는 기본적으로, 표시셀과 플라스마셀을 서로 적층한 플랫패널구조를 가진다. 표시셀은 열상(列狀)의 신호전극을 포함하는 한편, 플라스마셀은 행상(行狀)의 주사채널을 포함한다. 이 플랫패널구조에는 구동회로가 접속되어 있으며, 소정의 기준전위를 중심으로 하는 구동신호(데이터전압)를 신호전극에 인가한다. 또, 주사회로도 접속되어 있으며, 주사채널을 선순차로 선택방전한다. 이러한 구성에 있어서, 개개의 주사채널은 유전막으로 덮힌 피복전극과 노출전극의 쌍으로 구성되어 있다. 상기 주사회로는 각 주사채널의 선택방전시 최초에 피복전극에 애노드전위를 인가하는 동시에 노출전극에 캐소드전위를 인가하고, 이어서 피복전극에 캐소드전위를 인가하는 동시에 노출전극에 이 기준전위와 동등한 애노드전위를 인가하는 전환수단을 포함하고 있다. 본 발명의 일양태에 의하면, 상기 전환수단은 노출전극을 이 기준전위(영전위)에 고정하는 한편, 피복전극에 대하여 최초에 정극성(正極性)의 애노드전위를 인가하고 이어서 부극성(負極性)의 캐소드전위를 인가하는 쌍극(雙極)전환수단이다. 다른 양태에 의하면, 상기 전환수단은 최초에 피복전극에 기준전위(영전위)와 동등한 애노드전위를 인가하는 동시에 노출전극에 부극성의 캐소드전위를 인가하고, 이어서 극성을 교체하여 피복전극에 부극성의 캐소드전위를 인가하는 동시에 노출전극에 기준전위(영전위)와 동등한 애노드전위를 인가하는 단극(單極)전환수단이다. 그리고, 상기 피복전극을 덮는 유전막은 예를 들면 마그네슘산화물을 사용할 수 있다.

본 발명에서는 각 주사채널에 피복전극과 노출전극을 쌍으로 하여 배설하고 있다. 이 쌍에 대하여 극성을 전환하여 소정의 고전압을 인가하여 2회의 플라스마방전을 연속적으로 발생시키고 있다. 한쪽의 전극에 유전막을 개재하여 AC 구동을 행함으로써 이상방전을 유효하게 방지할 수 있다. 최초의 플라스마방전에서는 피복전극을 애노드전위로 하고 있다. 그러므로, 주사채널내의 방전전위는 유전막의 개재에 의해 반드시 일정하게 되지는 않지만, 이 시점에서 일시적으로 기입된 데이터전압은 다음의 플라스마방전에 의해 즉시 재기입되므로 화상품위상 특히 문제는 없다. 이 2회째의 플라스마방전은 노출전극을 애노드전위로 하여 행해지므로, 주사채널내의 방전전위는 일정하게 제어할 수 있다. 즉, 애노드전위와 동등해지며, 이것을 기준으로 하여 데이터전압을 기입함으로써 원하는 화상표시를 행할 수 있다.

다음에, 도면을 참조하여 본 발명의 적합한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 제1도는 본 발명에 관한 플라스마어드레스표시장치의 기본적인 구성을 나타내고 있으며, 제1(a)도는 단면도이고, 제1(b)도는 평면도이다. 도시한 바와 같이, 본 플라스마어드레스표시장치는 표시셀(1)과 플라스마셀(2)을 중간기판(3)을 개재하여 서로 적층한 플랫패널구조를 가진다. 이 중간기판(3)은 예를 들면 50㎛ 정도의 극박(極薄) 유리판재료로 구성되어 있다. 표시셀(1)은 두꺼운 유리판재료 등으로 이루어지는 상측기판(4)을 사용하여 구성되어 있다. 이 상측기판(4)은 시일재(5)에 의해 소정의 간극을 통하여 중간기판(3)의 상면에 접착고정되어 있다. 이 간극치수는 5㎛ 정도이며 액정층(6)이 봉입충전되어 있다. 상측기판(4)의 내표면에는 열상(列狀)의 신호전극(7)이 형성되어 있다. 이 신호전극(7)은 ITO 등의 투명도전막으로 이루어지는 스트라이프형으로 패터닝되어 있다. 그리고, 도시를 용이하게 하기 위해, 신호전극(7)의 열은 수직방향이 아니고 수평방향에 따라서 표시되어 있다.

한편, 플라스마셀(2)은 두꺼운 유리판재료 등으로 이루어지는 하측기판(8)을 사용하여 구성되어 있다. 이 하측기판(8)은 시일재(9)에 의해 소정의 공간(10)을 통하여 중간기판(3)의 하면에 접합고정되어 있다. 이 접합고정에는 프릿시일(frit seal) 등을 사용할 수 있다. 하측기판(8)의 표면에는 소정의 피치로 행방향으로 배설된 격벽(11)이 형성되어 있으며, 전술한 공간(10)을 구획하여 행상(行狀)의 주사채널(12)을 구성한다. 그리고, 이 공간(10)에는 이온화가능한 가스가 봉입되어 있다. 가스종류로서는, 예를 들면 헬륨, 아르곤, 네온 또는 이들의 혼합기체를 사용할 수 있다. 격벽(11)은 예를 들면 200㎛ 정도의 높이를 가지고 중간기판(3)과 하측기판(8)의 사이에 개재하여 지주(支柱)로 된다. 이 격벽(11)은 예를 들면 스크린인쇄 등에 의해 패터닝형성할 수 있다. 그리고, 공간(10)의 높이치수가 주사채널(12)의 배열피치에 비하여 충분히 작은 경우에는 플라스마방전이 국재화(局在化)하므로, 이 격벽(11)을 생략하는 것도 가능하다. 개개의 주사채널(12) 내부에는 1쌍의 노출전극(13)과 피복전극(14)이 배설되어 있다. 노출전극(13)은 Ni, Cr, Al 등의 금속재료로 이루어지고, 전극표면은 노출되어 있다. 한편, 피복전극(14)은 역시 금속재료로 이루어지나, 그 표면은 유전막(15)에 의해 완전히 피복되어 있다. 이 유전막(15)은 MgO 등의 산화물을 사용할 수 있다. 이 유전막(15)은 예를 들면 20㎛정도의 두께를 가진다. MgO는 내(耐)플라스마성이 우수하며 이상방전이나 아크방전을 유효하게 억제하는 것이 가능하다.

표시셀(1)에는 구동회로(16)가 접속되어 있으며, 소정의 기준전위를 중심으로 하는 구동신호(데이터전압)를 신호전극(7)에 인가한다. 플라스마셀(2)에는 주사회로(17)가 접속되어 있으며, 주사채널(12)을 선순차(線順次)로 선택방전한다. 열상의 신호전극(7)과 행상의 주사채널(12)의 교차부분에 매트릭스형의 화소가 규정된다. 주사회로(17)에 의한 선순차 선택방전에 동기하여 구동회로(16)로부터 데이터전압을 공급함으로써, 화소의 액티브매트릭스구동을 행할 수 있다. 본 발명의 특징사항으로서, 주사회로(17)는 전환수단을 포함하고 있으며, 각 주사채널(12)의 선택방전시 최초에 피복전극(14)에 애노드전극을 인가하는 동시에 노출전극(13)에 캐소드전위를 인가한다. 이어서, 극성을 반전시켜 피복전극(14)에 캐소드전위를 인가하는 동시에 노출전극(13)에 이 기준전위와 동등한 애노드 전위를 인가한다.

제2도는 제1도에 나타낸 플라스마어드레스표시장치의 1화소에 대응하는 등가회로도이다. 이 등가회로는 액정용량 CLC과 부가용량 CDS과 플라스마위치 PSW의 직렬접속으로 이루어진다. 이 직렬접속에 대하여 구동회로(16)로부터 데이터전압 Vsig이 인가된다. 액정용량 CLC은 액정층(6)(제1도)의 1화소분을 등가적으로 나타낸 것이며, 부가용량 CDS은 중간기판(3)(제1도)을 등가적으로 나타낸 것이며, 플라스마위치 PSW는 주사채널(12)(제1도)을 등가적으로 나타낸 것이다. 플라스마방전이 발생하는 플라스마스위치 PSW가 단락하여 데이터전압 Vsig이 액정용량 CLC과 부가용량 CDS에 분할공급된다. 그 후, 플라스마방전이 정지하면 플라스마스위치 PSW는 열린 상태로 되고, 액정용량 CLC 및 중간기판 CDS에 축적된 전하가 유지된다. 이 동작을 통하여 액정층(6)의 광학적인 성질이 변화하여 원하는 화상이 표시된다. 따라서, 표시장치로서의 동작은 플라스마방전이 발생하고 있는 기간에 있어서의 데이터전압의 「기입」, 플라스마방전이 정지한 시점에 있어서의 데이터전압의 「고정」 및 다음의 플라스마방전까지의 기간에 있어서의 데이터전압의 「유지」로 이루어진다. 유지동작의 기간에 있어서는 플라스마스위치 PSW가 열린 상태이므로, 신호전극에 인가되는 데이터 전압이 변동해도 고정동작으로 결정된 데이터전압은 그대로 유지된다.

본 발명의 특징사항으로서 플라스마방전에 관해 AC 구동방식을 도입하고 있으므로 기입동작이 2회 행해진다. 즉, 플라스마위치 PSW는 2회 개폐동작을 행하게 된다. 1회째의 기입동작에서는 피복전극측이 애노드전위로 되므로 방전전위가 일정하게 되지 않고 오차를 포함한 데이터전압이 샘플링된다. 2회째의 플라스마방전에서는 노출전극측이 애노드전위로 되므로 정규의 데이터전압이 기입된다. 정규의 데이터전압의 기입에 선행하여 오차를 포함하는 데이터전압이 기입되게 되지만, 이것은 수 ㎲후 즉시 정규의 데이터전압으로 재기입된다. 그 후 유지동작의 기간중(예를 들면 32ms) 정규의 데이터전압이 그대로 유지되므로, 화상표시의 데이터오차는 겨우 0.03% 정도이며 실용적으로는 전혀 문제는 없다.

다음에, 제1도에 나타낸 플라스마어드레스표시장치의 동작에 대하여 상세히 설명한다. 그 전에 이해를 용이하게 하기 위해, 제3도를 참조하여 주사채널의 전압/전류특성을 간단히 설명한다. 플라스마방전은 1쌍의 전극사이에 소정의 방전개시전압 Vf을 초과하는 전압이 인가되었을 때에 발생하고, 소정의 방전유지전압 Vs보다 낮은 전압으로 되면 플라스마방전은 정지한다.

제4도는 동작설명을 행함에 있어서 필요한 전위레벨을 정의하는 것이다. 하측기판(8)에 형성된 노출전극을 E로 표시하고, 그 전위를 Ve라고 한다. 또, 피복전극을 P로 표시하고, 그 전위를 Vp라고 한다. 또한, 피복전극 P을 덮고 있는 유전막을 X로 표시하고, 그 전위를 Vx라고 한다.

이상을 전제로 하여, 제5도의 파형도를 참조하여 본 발명에 관한 플라스마어드레스표시장치의 동작에 대하여 상세히 설명한다. 본 예에서는 쌍극(雙極)전환을 행하고 있다. 신호전극에 대해서는 데이터전압 Vsig이 인가된다. 이 데이터 전압 Vsig은 소정의 기준전위(일반적으로는 영전위)를 중심으로 하여 1프레임마다 극성반전하여 액정셀의 교류구동이 행해진다. 그리고, 1라인마다 극성반전해도 된다. 노출전극의 전위 Ve는 데이터전압의 중심전위(즉 영전위)와 일치하도록 고정되어 있다. 한편, 피복전극에는 1라인에 상당하는 선택기간내에 2개의 선택펄스가 연속하여 공급된다. 피복전극 P의 전위 Vp의 변화로부터 이해되는 바와 같이, 제1의 선택펄스는 방전개시전압 Vf보다 절대치가 큰 전압 +Vd (예를 들면 +300V)으로 폭이 T1(예를 들면 약 5㎲)을 가진다. 방전이 개시되어 전류가 흐름으로써, 피복전극 P상의 유전막 X의 정전용량이 충전되므로, 유전막 X의 표면전위 Vx는 +Vd로부터 서서히 저하하여, 노출전극전위 Ve와 Vx의 전위차가 방전유지전압 Vs(예를 들면 200V)보다 작아지면 방전은 정지한다. 이 때, 유전막 X의 정전용량에는 -(Vd-Vs)가 충전된다. 또, 주사채널은 높은 쪽의 전극 전위로 채워지므로, 중간기판의 하면은 Vs로 된다. 따라서, 액정층과 중간기판의 적층부에는 Vsig-Vs가 인가되어 1회째의 기입이 행해진다. 이 기입은 영전위를 기준으로 하고 있지 않으므로 오차를 포함하고 있으나, 전술한 바와 같이 그 오차량은 근소하다.

다음에, 극성반전된 2번째의 선택펄스가 피복전극 P에 인가된다. 이 펄스는 높이가 -Vd(예를 들면 -300V)이고, 폭 T2(예를 들면 약 5㎲)를 가진다. 피복전극 P상의 유전막 X의 표면전위 Vx는 -Vd에 더하여 직전에 충전된 -(Vd-Vs)가 더해지므로, -2Vd+Vs(예를 들면 -400V)로 되어 용이하게 플라스마방전이 행해진다. 이와 같은 제2회째의 기입에 있어서도 주사채널내는 높은 쪽의 전극전위(즉 노출전극의 전위 Ve)로 채워지므로, 중간기판의 하면은 영전위로 된다. 따라서, 액정층과 중간기판의 적층부에는 Vsig가 인가되고, 정규의 기입동작이 행해진다. 또한, 방전정지 후에도 정규로 기입된 데이터전압이 그대로 유지된다. 유지동작의 기간후에 다시 다음의 프레임에서 기입동작이 행해질 때에는, 플라스마방전의 전위차는 2Vd-Vs(예를 들면 +400V)로 된다. 이와 같이 300V의 펄스로 400V 상당의 구동이 가능하게 되어, AC 구동방식으로 동작전압을 저하시킬 수 있다. 또는, 동작전압에 여유도를 갖게할 수 있다.

제6도는 제5도와는 달리 단극전환동작을 나타낸 타이밍차트이다. 본 예에서는 노출전극 E과 피복전극 P이 교호로 펄스구동된다. 최초의 기입기간에서는 노출전극 E에 방전개시전압 Vf보다 절대치가 큰 전압 -Vd(예를 들면 -300V)으로 폭 T1(예를 들면 약 5㎲)의 펄스가 인가된다. 이 때 피복전극 P의 전위 Vp는 0레벨로 유지된다. 방전이 개시되고나서 피복전극 P상의 유전막 X의 정전용량이 충전되고, 그 표면전위 Vx는 0V보다 서서히 저하하고, 노출전극의 전위 Ve와 Vx의 전위차가 방전유지전압 Vs(예를 들면 200V)보다 작아지면 플라스마방전이 정지한다. 이 때 유전막의 정전용량에는 -(Vd-Vs)가 충전된다. 또, 주사채널내는 높은 쪽의 전극전위로 채워지므로, 중간기판의 하면은 -(Vd-Vs)로 된다. 그러므로, 액정층과 중간기판의 적층부에는 Vsig+Vd-Vs가 인가되고, 최초의 기입이 행해진다. 이것은 오차를 포함한 데이터전압으로 되지만, 전술한 바와 같이 그 오차량은 근소하다.

다음의 기입기간에서는 피복전극 P에 -Vd(예를 들면 -300V)로 폭 T2(예를 들면 약 5㎲)의 선택펄스가 인가된다. 이 때 노출전극의 전위 Ve는 0V로 유지되어 있다. 피복전극 P상의 유전막 X의 표면전위 Vx는 -Vd에 더하여 직전에 충전된 -(Vd-Vs)가 더해지므로, -2Vd-Vs(예를 들면 -400V)로 되어 용이하게 방전이 행해진다. 이 2회째의 기입기간에서도 주사채널내에는 높은 쪽의 전극전위(노출전극의 전위 Ve)로 채워지므로, 중간기판의 하면은 영전위로 된다. 따라서, 액정층과 중간기판의 적층부에는 Vsig가 정확하게 인가되어 정규의 기입이 행해진다. 또한, 방전정지 후에도 정확하게 기입된 데이터전압은 그대로 유지된다.

제7도는 본 발명에 관한 플라스마어드레스표시장치의 다른 실시예를 나타낸 단면도이다. 기본적으로는 제1도에 나타낸 실시예와 동일한 구조를 가지고 있으며, 대응하는 부분에는 대응하는 참조번호를 붙여서 이해를 용이하게 하고 있다. 다른 점은 플라스마셀(2)의 주사채널구조이다. 본 예에서는 플라스마셀(2)은 하측 기판(8)을 사용하여 구성하고 있다. 이 하측기판(8)의 표면에는 서로 평행한 복수의 긴 홈(20)이 에칭에 의해 형성되어 있다. 각 긴 홈(20)은 중간기판(3)에 의해 밀폐되어 있으며, 개개로 분리된 주사채널(12)을 형성하고 있다. 인접하는 주사채널(12)은 격벽(21)에 의해 서로 차단되어 있다. 각 주사채널(20)의 내부에는 이온화가능한 가스가 봉입되어 있다. 또한, 각 긴 홈(20)의 저면부에는 1쌍의 노출전극(13)과 피복전극(14)이 홈의 길이방향으로 배설되어 있다. 피복전극(14)은 소정의 유전막(15)에 의해 덮여 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 개개의 주사채널은 노출전극과 피복전극의 쌍으로 구성되어 있다. 피복전극은 유전막으로 덮혀 있는 구성으로 되어 있으므로, AC 플라스마형의 동작이 가능하게 되므로, 유전막에서의 전하축적이 교류구동과 함께 동작전압을 저감화할 수 있다는 효과가 있다. 또, 방전전류가 유전막의 정전용량에 의해 제한되므로 이상방전이 잘 일어나지 않는다는 효과가 있다. 동시에, 노출전극은 도체표면이 노출되어 있으므로, 그 표면전위는 외부로부터 인가된 전압이 그대로 나타나고, 주사채널내의 방전전위를 애노드전위에 고정하는 것이 가능하게 되어, 정확한 데이터전압 기입을 보증할 수 있다는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 열상(列狀)의 신호전극을 포함하는 표시셀과 행상(行狀)의 주사채널을 포함하는 플라스마셀을 서로 적층한 플랫패널구조를 가지고, 소정의 기준전위를 중심으로 하는 구동신호를 신호전극에 인가하는 구동회로와, 주사채널은 선순차(線順次)로 선택방전하는 주사회로를 구비한 플라스마어드레스표시장치에 있어서, 개개의 주사채널은 유전막(誘電膜)으로 덮힌 피복전극과 노출전극의 쌍을 포함하고 있으며, 상기 주사회로는 각 주사채널의 선택방전시 최초에 피복전극에 애노드전위를 인가하는 동시에 노출전극에 캐소드전위를 인가하고, 이어서 피복전극에 캐소드전위를 인가하는 동시에 노출전극에 이 기준전위와 동등한 애노드전위를 인가하는 전환수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라스마어드레스표시장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 전환수단은 노출전극을 이 기준전위(영전위)에 고정하는 한편, 피복전극에 대하여 최초에 정극성(正極性)의 애노드전위를 인가하고, 이어서 부극성(負極性)의 캐소드전위를 인가하는 쌍극(雙極)전환수단인 것을 특징으로 하는 플라스마어드레스표시장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 전환수단은 최초에 피복전극에 기준전위(영전위)와 동등한 애노드전위를 인가하는 동시에 노출전극에 부극성의 캐소드전위를 인가하고, 이어서 극성(極性)을 교체하여 피복전극에 부극성의 캐소드전위를 인가하는 동시에 노출전극에 기준전위(영전위)와 동등한 애노드전위를 인가하는 단극(單極) 전환수단인 것을 특징으로 하는 플라스마어드레스표시장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 피복전극을 덮는 유전막은 마그네슘산화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라스마어드레스표시장치.