KR100273836B1 - 리드프레임반송방법및반송장치 - Google Patents

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요시미츠 데라카도
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후지야마 겐지
가부시키가이샤 신가와
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Abstract

로더측 이송클릭이 마모하지 않고, 이 때문에 장기간 사용하더라도 리드프레임의 위치 어긋남이 발생하지 않는다. 또 로더측 매거진이나 가이드레일등의 소음진동 등이 있더라도 리드프레임의 위치어긋남은 발생하지 않고, 또한 히터의 열에 의한 변형이나 로더측 이송클릭의 바로잡음에 의한 리드프레임의 위치어긋남이 발생하더라도 본딩 위치에의 리드프레임의 이송어긋남이 발생하지 않았다.
본딩위치(7)의 근방에서 로더측 매거진(20A)측에 설치된 위치결정센서(40)로리드프레임(1)(1A, 1B,...)의 선단을 검출하여 위치결정을 행하고, 위치결정후에 리드프레임(1)을 이송클릭(5)으로 척킹한 상태에서 리드프레임(1)의 최초의 본딩 부분(2A)을 본딩위치(7)까지 반송한다.

Description

리드프레임 반송방법 및 반송장치{A METHOD AND DEVICE FOR TRANSFERRING LEAD FRAME}
본발명은 와이어본딩장치 및 다이본딩장치 등의 본딩장치에 있어서, 로더측 매거진으로부터 공급된 리드프레임을 프레임 피더의 이송클릭으로 척킹하여 반송하는 리드프레임 반송방법 및 반송장치에 관한 것이다.
종래의 본딩장치를 도 3에 의하여 설명한다. 리드프레임(1)을 반송하는 프레임 피이더(3)는, 리드프레임(1)을 가이드하는 가이드홈 4(a)를 갖는 가이드레일(4)과, 로더측 이송클릭(5) 및 언로더측 이송클릭(6)과를 갖고, 로더측 및 언로더측 이송클릭(5),(6)은 각각 한쌍의 상부클릭(5a, 6a) 및 하부클릭(5b,6b)으로 이루어져 있다. 그리고 로더측 및 언로더측 이송클릭(5),(6)은 도시하지 않는 클릭개폐수단으로 개폐하게되고, 또 도시하지 않는 클릭 이동수단으로 가이드레일(4)에 따라 이동하게 한다. 더욱, 이 종류의 프레임 피더(3)로서, 예를들면 일본특공소 63-56122호 공보 및 일본특개평4-346446호 공보에 나타낸 것이 열거된다.
가이드레일(4)의 측방에는, 본딩위치(7)에 대응하여 와이어본딩장치. 다이본딩장치등의 본딩장치(10)가 배설되어 있다. 본딩장치(10)는, XY 방향으로 구동되는 XY 테이블(11)를 갖고, XY 테이블(11) 상에는 본딩헤드(12)가 탑재되어 있고, 본딩헤드(12)에는 텔레비카메라(13)가 장치된 카메라홀더(14)가 고정되어 있다. 또 본딩헤드(12)에는, 본딩투울(15)이 장치된 본딩아암(16)이 상하이동 가능하게 설치되어 있다. 여기서 텔레비카메라(13)는 본딩위치(7)의 상방에 위치하여 있고, 본딩투울(15)은 텔레비카메라(13)에 대하여 Y1만 오프세트하여 배치되어 있다. 또 본딩아암(16)은 도시하지 않는 Z(상하) 구동용 모터에 의하여 상하 이동된다. 또한, 이 종류의 본딩장치(10)로서, 예를들면 일본 특개평 5-275502호에 나타낸 것이 열거된다.
가이드레일(4)의 양측에는 로더측 매거진 20A 및 언로더측 매거진 20B가 배치되어 있고, 로더측 및 언로더측 매거진 20A, 20B는 각각 로더측 엘리베이터장치21A 및 언로더측 엘리베이터장치 21B에 의하여 상하 구동하게되는 매거진홀드(22)에 위치결정 재치된다. 로더측 매거진 20A내의 리드프레임(1)은 프레임 푸셔(23)에 의하여 가이드레일(4)의 가이드홈(4a)에 밀어내어진다. 더욱 이 종류의 엘리베이터장치 21A, 21B를 구비한 것으로서, 예를들면 일본특공소 63-56122호 공보, 일본특공평 1-32127호 및 일본 특공평 2-4486호 공보에 나타낸 것이 열거된다. 도 3에 있어서, 24는 프레임푸셔(23)에 의하여 밀어내어진 리드프레임(1)을 검지하는 포토센서를 나타낸다.
다음에 종래의 프레임피더부의 이송동작 기본 개요를 도 4에 의하여 설명한다. 도 4에 도시하는 리드프레임(1) 1A, 1B,... 에는 복수개(도시의 경우는 5개)의 반도체칩(이하 IC 라함) 2A∼2E 가 탑재되어 있다. 도 4(a)의 상태로부터 프레임 푸셔(23)(도 3b참조)는 포토센서(24)가 리드프레임 1A를 감지할때까지 저속으로 리드프레임 1A의 밀어내기 동작을 행한다. 이 경우, 로더측 이송클릭(5)은 열린상태에 있고, 이 위치의 로더측 이송클릭(5)은 이송클릭 원점(A)으로 되어 있다. 포토센서(24)가 리드프레임 1A를 감지하면 프레임 푸셔(23)의 저속에서의 밀어내기 동작은 종료한다. 다음에 프레임 푸셔(23)는 로더측 이송클릭(5)의 리드프레임 1A를 척킹할수 있는 도 4(b)의 위치까지 리드프레임 1A를 밀어낸다. 다음에 로더측 이송클릭(5)이 닫혀서 리드프레임 1A를 척킹하고, 도 4(c)에 도시하는 바와같이 로더측 이송클릭(5)은 두출(위치결정) 동작 때문에, 계산된 두출위치에 리드프레임 1A를 이송한다.
그리고 다음에 설명하는 두출동작이 행해진다. 이하 일본 특공소 63-56122호 공보에 표시하는 프레임 피더에 의한 두출동작에 대하여 설명한다. 로더측 이송클릭(5)이 열려 리드프레임 1A를 개방하고, 로더측 이송클릭(5)은 도 4(d)에 도시한 바와같이 화살표(30) 방향으로 약간 이동한다. 이때 로더측 이송클릭(5)의 우단위치를 B점으로한다. 다음에 로더측 이송클릭(5)이 닫힌후에 화살표 31 방향으로 이동하여 리드프레임 1A의 선단을 로더측 이송클릭(5)으로 눌러서 되돌리고, 도 4(e)에 도시한 바와같이 리드프레임 1A의 선단을 두출한다. 그리고, 로더측 이송클릭(5) 리드프레임 1A와 간섭하지 않도록, 로더측 이송클릭(5)은 다시 화살표 32 방향으로 약간 이동한후에 열고, 그후 화살표 33 방향으로 이동하고, 도 4(f)에 도시하는 바와같이 이송클릭 원점 A로 되돌아 간다.
다음에 리드프레임 1A의 핏치 이송동작이 행해진다. 로더측 이송클릭(5)은 닫고 리드프레임 1A를 척킹하고, 도 4(g)에 도시하는 바와같이 핏치량만큼 이송동작을 한다. 계속하여 로더측 이송클릭(5)은 열어서 4(h)에 도시한 바와같이 이송클릭 원점 A로 되돌아간다. 다음에 로더측 이송클릭(5)은 닫고 리드프레임 1A를 척킹하고 도 4(i)에 도시한 바와같이 IC2C가 본딩위치(7)에 오도록 이송동작을 한다. 이송동작완료후, 도시하지 않은 윈도우 클램퍼로 리드프레임 1A를 클램프한다. 이 상태에서 도 3에 도시하는 텔레비카메라(13)로 IC2C 의 본딩점의 검출이 행해져 보정된 본딩점에 본딩장치(10)의 본딩투울(15)로 본딩된다. 이 사이에 로더측 이송클릭(5)은 도 4(j)에 도시하는 바와같이 이송클릭 원점 A로 되돌아간다.
IC2A 에의 본딩완료후, 윈도우 클램퍼는 열고, 로더측 이송클릭(5)에 의하여 IC2B를 본딩위치(7)에 이송하는 동작이 행해진다. 즉, 도 4(j)의 상태에서 로더측 이송클릭(5)은 닫아서 리드프레임 1A를 척킹하고, 도 4(k)에 도시하는 바와같이 1 IC 핏치분 이송동작을 한다. 그후, 상기한 것과 꼭같이 윈도우 클램퍼로 리드프레임 1A를 클램프하고, IC2B 에의 본딩이 행해진다. 또 로더측 이송클릭(5)은 열린상태로 도 4(i)에 도시한 바와같이 이송클릭 원점 A로 되돌아간다. 상기한 IC2B의 이송동작과 같은 이송동작을 행하여 도 4(m)에 도시한 바와같이 IC2C를 본딩위치(7)로 이송하고, 또 상기와 꼭같은 동작에 의하여 IC2C 에의 본딩이 행해진다. 또한 설명은 생략하였지만 로더측 이송클릭(5)이 개폐 및 왕복동하여 리드프레임 1A를 이송할 때 언로더측 이송클릭(6)도 꼭같은 동작을 행하고 있다.
도 4(n)에 도시한 바와같이, 로더측 이송클릭(5)이 열린상태에서 이송클릭 원점 A로 되돌아간다. 이때, 리드프레임 1A의 후단은 이송클릭 원점 A에서 본딩위치(7)측에 위치하고 있다. 또 언로더측 이송클릭(6)은, 열린상태에서 리드프레임 1A를 척킹할수 있는 상태에 있다. IC2C 에의 본딩중에, 도 4(o)에 도시한 바와같이 다음에 리드프레임 1B가 로더측 이송클릭(5)으로 척킹할수 있는 위치까지 이송해낸다. 이 동작은 도 4(a), 도 4(b)의 동작과 같다.
IC2C에의 본딩이 완료하고, 윈도우 클램퍼가 열리면 언로더측 이송클릭(6)이 닫혀서 리드프레임 1A를 척킹하고 도 4(p)에 도시한 바와같이 리드프레임 1A의 IC2D 는 본딩위치(7)로 이송한다. 이 경우, 리드프레임 1A의 종단이 B점을 넘지않고 있으므로, 로더측 이송클릭(5)에 의한 리드프레임 1B의 이송동작은 행해지지 않는다. 이는 다음의 리드프레임 1B가 그 전의 프레임 1A에 간섭하는 것을 피하기 위함이다. 즉 로더측 이송클릭(5)은 개방한대로 왕복이동한다. 리드프레임 1A가 B점을 넘었을 때 비로소 리드프레임 1B의 반송이 가능하게되고, 리드프레임 1B에 대하여 도 4(b) 이후의 동작이 행해진다. 도 4(q)에 도시한 바와같이 언로더측 이송클릭(6)은 열린상태에서 해당 이송클릭(6)의 원점위치로 되돌아가고, IC2D에의 본딩이 종료하면, 언로더측 이송클릭(6)은 IC2E를 본딩위치(7)로 이송하는 동작을 한다. 이후, 리드프레임(1B)의 (IC2A, 2B,...)를 차례로 본딩위치(7)로 이송하고, 그때마다 본딩동작이 행해진다.
이와같이 로더측 매거진 20A 로부터 공급된 리드프레임(1)의 선단면을 로더측 이송클릭(5)의 단면에서 밀어서 위치결정(두출)을 행하고, 그후 본딩위치(7)까지 로더측 이송클릭(5)을 몇회인가 개폐시켜서 바로 잡으면서 리드프레임(1)을 반송하고 있다.
리드프레임(1)의 위치결정은, 로더측 이송클릭(5)의 단면에서 밀어서 행하므로 도 5에 도시하는 바와같이 장기간 사용하고 있으면 로더측 이송클릭(5)의 일부가 마모(35)하고, 위치결정시의 위치 어긋남이 생긴다. 또 도 6a에 도시하는 바와같이 폭 넓이의 리드프레임(1)의 경우에 있어서 이완, 도 6c에 도시하는 바와같이 로더측 매거진 20A 마다의 치수오차나 로더측 매거진 20A와 해당 로더측 매거진20A를 계속 유지하는 매거진 홀더의 형에 의한 리드프레임(1)의 변형, 또 가이드레일(4)의 폭의 형이나 폭조정의 차이에 의한 리드프레임(1)의 변형등에 의하여, 도 6a 및 도 6b에 도시하는 바와같이 리드프레임(1)이 로더측 이송클릭(5)의 단면(8a, 8b)와 같이 부딪치고, 어디에 부딪치는가가 불확정하게되고, 리드프레임(1)의 위치결정시에 위치 어긋남이 발생하는 일이 있었다. 또 도 6d에 도시하는 바와같이, 리드프레임(1)의 단면의 형상에 의하여, 리드프레임(1)의 단면의 어느부분에 로더측 이송클릭(5)의 단면이 부딪치는 것이 불확정하기 때문에, 위치어긋남이 발생하는 일이 있었다. 더욱 도 6c 및 도 6d에 있어서, 2점 쇄선은 정상시, 실선은 이상시를 가리킨다.
또 리드프레임(1)의 위치결정을 행한후, 본딩위치(7)까지 로더측 이송클릭(5)으로 바로잡으면서 반송하기 위하여, 상기한 도 6의 설명에서 설명한 리드프레임(1)의 변형이나 리드프레임(1)을 가열하는 히터의 열에 의한 리드프레임(1)의 변형, 팽창에 의한 리드프레임(1)의 변동등에 의하여 도 7(a)의 상태에서 로더측 이송클릭(5)이 닫히면, 도 7(b)에 도시하는 바와같이 바로잡을때마다 리드프레임(1)의 선단의 위치어긋남 C가 발생하고, 본딩위치(7)까지 반송하는 사이에 리드프레임(1)의 이송 어긋남이 발생한다.
본발명의 제1의 과제는 로더측 이송클릭이 마모하지 않고, 이 때문에 장기간 사용하더라도 리드프레임의 위치 어긋남이 발생하지 않는 리드프레임 반송방법 및 반송장치를 제공하는 것에 있다. 본발명의 제2의 과제는, 로더측 매거진이나 가이드레일 등의 소음진동 등이 있더라도 리드프레임의 위치어긋남은 발생하지 않고, 또 히터의 열에 의한 변형이나 로더측 이송클릭의 바로잡음에 의한 리드프레임의 위치어긋남이 발생하더라도, 본딩위치에의 리드프레임의 이송어긋남이 발생하지 않는 리드프레임 반송방법 및 반송장치를 제공하는 것에 있다.
도 1은 본발명의 리드프레임 반송장치의 하나의 실시형태를 도시하는 것으로,
도 1a는 개략구성평면도,
도 1b는 위치결정센서 부분의 확대평면도,
도 1c는 도 1b의 A-A선 단면도,
도 2는 본발명의 리드프레임 반송방법의 하나의 실시형태를 도시하는 공정도,
도 3은 종래의 리드프레임 반송장치의 개략구성을 도시하는 것으로,
도 3a는 평면도,
도 3b는 정면도,
도 4는 종래의 리드프레임 반송방법을 도시하는 공정도,
도 5는 로더측 이송클릭에 의한 리드프레임의 위치결정을 도시하는 설명도,
도 6a 내지 도 6d는 리드프레임이 로더측 이송클릭 단면에 부딪치는 위치가 불확정하게 되는 상태를 도시하는 설명도,
도 7은 리드프레임의 변형에 의한 리드프레임의 위치 어긋남을 도시하는 것으로,
도 7(a)는 로더측 이송클릭이 닫치기 전의 설명도,
도 7(b)는 로더측 이송클릭이 닫친후의 설명도이다.
"도면의 주요부분에 대한 부호의 설명"
1, 1A, 1B: 리드프레임 3:프레임 피더
5: 로더측 이송클릭 6:언로더측 이송클릭
20A:로더측 매거진 40:위치결정센서
상기 과제를 해결하기 위한 본발명의 방법은, 로더측 매거진으로부터 공급된 리드프레임을 프레임 피더의 이송클릭으로 척킹하여 반송하는 리드프레임 반송방법에 있어서, 본딩위치의 근방에서 리드프레임을 이송클릭으로 척킹하고 로더측 매거진측에 설치된 위치결정센서로 리드프레임의 선단을 검출하여 위치결정을 행하고, 위치결정후에 리드프레임을 이송클릭으로 척킹한 상태에서 리드프레임의 최초의 본딩부분을 본딩위치까지 반송하는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본발명의 장치는 로더측 매거진으로부터 공급된 리드프레임을 프레임피더의 이송클릭으로 척킹하여 반송하는 리드프레임 반송장치에 있어서, 리드프레임을 검출하기 위하여 본딩위치의 근방에서 리드프레임을 이송클릭으로 척킹하고, 로더측 매거진측에 설치된 위치결정센서와, 이 위치결정센서로 리드프레임의 선단을 검출하여 해당 리드프레임을 위치결정한후에, 상기 이송클릭으로 척킹한 상태에서 리드프레임의 최초의 본딩부분을 본딩위치까지 반송하는 제어수단과를 갖는 것을 특징으로 한다.
본발명 실시의 형태를 도 1 및 도 2 에 의하여 설명한다. 그리고, 도 3과 같거나 또는 상당부분에는 동일부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다. 도 1에 도시하는 바와같이 본딩위치(7)의 근방에서 로더측 매거진 20A 측에는 리드프레임(1)을 검출하기 위한 위치결정센서(40)가 배설되어 있다. 여기서, 본딩위치(7)로부터 위치결정센서(40)까지의 거리는 로더측 이송클릭(5)의 1회의 이동량 이내로 설정되어 있다. 이는 후기하는 바와같이 위치결정센서(40)에서 위치결정된 리드프레임(1)의 최초의 본딩부분을 1회로 본딩위치(7)로 이송하기 위함이다. 위치결정센서(40)는 유니트화되어 있고, 가이드레일(4)의 외측에 고정된 센서홀더(41)에는, 투광기(42) 및 수광기(43)가 고정되어 있다. 투광기(42)는, 하방으로부터 상방으로 수직으로 배설되고, 선단은 가이드레일(4)의 가이드홈 4(a)의 하방에 위치하고 있다. 수광기(43)는 가이드레일(4)의 상방에 수평으로 배설되고, 투광기(42)에 대향한 하면이 수광창으로 되어 있다. 더욱 수광기(43)는 상기한 투사형에 한정되지 않고, 반사형이라도 좋다.
다음에 프레임 피더부의 이송동작 기본개요를 도 2에 의하여 설명한다. 도 2(a)의 상태로부터 프레임푸셔(23) (도 3b참조)는 포토센서(24)가 리드프레임 1A를 감지할때까지 저속으로 리드프레임 1A의 밀어내기 동작을 행한다. 이 경우, 로더측 이송클릭(5)은 열린상태에 있고, 이 위치의 로더측 이송클릭(5)은 이송클릭 원점(A)으로 되어 있다. 포토센서(24)가 리드프레임 1A를 감지하면 프레임푸셔(23)의 저속에서의 밀어내기 동작은 종료한다. 다음에 프레임푸셔(23)는 로더측 이송클릭(5)이 리드프레임 1A를 척킹할수 있는 도 2(b)의 위치까지 리드프레임 1A를 밀어낸다.
다음에 리드프레임 1A가 위치결정센서(40)의 근방에 올때까지 리드프레임 1A의 핏치량분 이송동작을 간헐적으로 행한다. 이 공정을 도 2(b)내지 도 2(f)에 도시한다. 즉 도 2(b)의 상태에서 로더측 이송클릭(5)이 닫혀져서 리드프레임 1A를 척킹하고, 도 2(c)에 도시하는 바와같이 로더측 이송클릭(5)은 리드프레임 1A의핏치량분 이송동작을 한다. 다음에 로더측 이송클릭(5)은 열린후, 도 2(a)에 도시하는 바와같이 이송클릭 원점A 로 되돌아간다. 계속하여 로더측 이송클릭(5)이 닫히고 리드프레임 1A를 척킹한다. 다음에 도 2(e)에 도시하는 바와같이 로더측 이송클릭(5)은 리드프레임 1A의 핏치량분 이송동작을 한다. 다음에 로더측 이송클릭(5)은 열어서 도 2(f)에 도시하는 바와같이 이송클릭 원점A 로 되돌아 간다. 계속하여 로더측 이송클릭(5)이 닫히고 리드프레임 1A를 척킹한다.
다음에 위치결정센서(40)의 자기앞 약 2mm의 위치에 리드프레임 1A의 선단이 올때까지 이송동작을 행한다. 도 2(f)의 상태로부터 상기와 꼭같이 핏치량분 이송동작을 시키면, 리드프레임 1A의 선단면이 위치결정센서(40)의 자기앞 약 2mm의 위치를 넘어버리므로, 핏치량분의 이송동작을 행하지 않고, 도 2(g)에 도시하는 바와같이 위치결정센서(40)의 바로 앞 약 2mm 의 위치까지 리드프레임 1A를 이송한다. 다음에 로더측 이송클릭(5)은 열어서, 도 2(h)에 도시하는 바와같이 이송클릭 원점 A로 되돌아 간다. 계속하여 로더측 이송클릭(5)은 닫고 리드프레임 1A를 척킹한다. 다음 도 2(i)에 도시하는 바와같이 위치결정센서(40)가 리드프레임 1A의 선단을 감지할때까지 이송동작을 행한다. 이 이송동작은 도시하지 않는 이송클릭 이동용 모터에, 예를들면 2 펄스씩 펄스를 부여하고, 로더측 이송클릭(5)을 10μm씩 이송동작을 계속한다.
다음에 도 2(j)에 도시하는, 바와같이 로더측 이송클릭(5)으로 리드프레임 1A를 척킹한 상태대로 IC2A 가 본딩위치(7)에 오도록 이송동작을 한다. 이때 이송동작량은, 위치결정센서(40)로부터 본딩위치(7)까지의 거리에 리드프레임 1A의 선단에서 IC2A의 중심까지의 거리를 더한 값이다. 다음에 종래와 꼭같이, 이송동작완료후, 도시하지 않는 윈도우 클랭크로 리드프레임 1A를 클램프한다. 이 상태에서 도 3에 도시하는 텔레비카메라(13)로 IC2A 의 본딩점의 검출이 행해지고, 보정된 본딩점에 본딩장치(10)의 본딩투울(15)로 본딩된다. 이 사이에, 로더측 이송클릭(5)은 도 2(k)에 도시하는 바와같이 이송클릭 원점 A로 되돌아간다.
IC2A 에의 본딩완료후, 윈도우 클랭크는 열리고, 로더측 이송클릭(5)에 의하여 IC2B를 본딩위치(7)에 이송하는 동작이 행해진다. 즉, 도 2(k)의 상태로 로더측 이송클릭(5)은 닫히고 리드프레임 1A를 척킹하고, 도 2(ℓ)에 도시하는 바와같이 1 IC 핏치분 이송동작을 한다. 그후, 상기한 것과 꼭같이 윈도우 클랭크로 리드프레임 1A를 클램프하고, IC2B 에의 본딩이 행해진다. 또 로더측 이송클릭(5)은 열린 상태에서 도 2(m)에 도시하는 바와같이 이송클릭원점 A로 되돌아간다. 상기한 IC2B의 이송동작과 같은 이송동작을 행하여 도 2(n)에 도시하는 바와같이 IC2C를 본딩위치(7)로 이송하고, 또 상기와 꼭같은 동작에 의하여 IC2C 에의 본딩이 행해진다. 더욱 설명은 생략하였지만, 로더측 이송클릭(5)이 개폐 및 왕복이동하여 리드프레임 1A를 이송할 때, 언로더측 이송클릭(6)도 꼭같은 동작을 행하고 있다.
도 2(o)에 도시하는 바와같이, 로더측 이송클릭(5)이 열린상태에서 이송클릭원점 A로 되돌아간다. 이때 리드프레임 1A의 후단은 이송클릭원점 A로부터 본딩위치(7)측에 위치하고 있다. 또 언로더측 이송클릭(6)은, 열린상태에서 리드프레임 1A를 척킹할수 있는 상태에 있다. IC2C 에의 본딩중에, 도 2(p)에 도시하는 바와같이, 다음에 리드프레임 1B가 로더측 이송클릭(5)에서 척킹할수 있는 위치까지이송한다. 이 동작은 도 2(a) 및 2(b)의 동작과 같다.
즉, 도 2(j)로부터 도 2(p)까지의 동작은, 도 4(i)로부터 도 4(o)까지의 동작과 같다. IC2C 에의 본딩이 완료하고, 윈도우 클랭크가 열리면, 언로더측 이송클릭(6)은 닫히고 리드프레임 1A를 척킹하고, 도 2(q)에 도시하는 바와같이, 리드프레임 1A의 IC2D를 본딩위치(7)로 이송한다. 또 로더측 이송클릭(5)은 닫히고, 다음의 리드프레임 1B를 척킹하고, 핏치량분 이송한다. 이 경우에 있어서 로더측 이송클릭(5)의 동작은 도 2(b)로부터 도 2(j)까지의 동작과 같다.
이와같이 본딩위치(7)의 근방에서 로더측 매거진(20A)측에는, 위치결정센서(40)가 설치되고, 로더측 매거진 20A로부터 공급된 리드프레임(1)을 프레임피더(3)의 로더측 이송클릭(5)으로 간헐적으로 이송한다. 그리고 리드프레임(1)의 선단을 위치결정센서(40)로 검출하여 위치결정한다. 즉, 로더측 이송클릭(5)에서는 리드프레임(1)의 위치결정을 행하지 않고 로더측 이송클릭(5)의 마모가 발생하지 않고, 장기간 사용하더라도 리드프레임(1)의 위치어긋남은 생기지 않는다.
위치결정후는 로더측 이송클릭(5)으로 리드프레임(1)을 척킹한채로 열지않고, 1회의 이동량으로 리드프레임(1)의 최초의 본딩부분(IC2A)을 본딩위치(7)로 반송한다. 즉, 본딩위치(7) 직전에서 위치결정을 행한후에는, 리드프레임(1)을 바로 잡은일없이 1회로 본딩위치(7)까지 반송하므로, 로더측 매거진(20A)이나, 가이드레일(4)의 형등에 의한 어긋남이 있더라도 리드프레임(1)의 위치어긋남이 발생하지 않는다. 또 본딩위치(7) 직전까지의 히터의 열에 의한 변형이나 바로잡음에 의한 리드프레임(1)의 어긋남이 발생하더라도 이송어긋남은 생기지 않는다.
본발명에 의하면, 본딩위치의 근방에서 로더측 매거진측에 설치된 위치결정센서로 리드프레임의 선단을 검출하여 위치결정을 행하고, 위치결정후에 리드프레임을 이송클릭으로 척킹한 상태에서 리드프레임의 최초의 본딩부분을 본딩위치까지 반송하므로, 로더측 이송클릭의 마모가 발생하지 않고, 장기간 사용하더라도 리드프레임의 위치 어긋남이 발생하지 않는다. 또 로더측 매거진이나 가이드레일등의 소음진동 등이 있더라도 리드프레임의 위치어긋남은 발생하지 않고, 더욱 히터의 열에 의한 변형이나 로더측 이송클릭의 바로잡음에 의한 리드프레임의 위치어긋남이 발생하더라도, 본딩위치에의 리드프레임의 이송어긋남이 발생하지 않는다.

Claims (4)

  1. 로더측 매거진으로부터 공급된 리드프레임을 프레임 피더의 이송클릭으로 척킹하여 반송하는 리드프레임 반송방법에 있어서, 본딩위치의 근방에서 이송클릭에 의하여 척킹한 상태로 이송되는 리드프레임의 선단을 위치결정센서로 검출하여 리드프레임의 위치결정을 행하고, 그 후에 리드프레임을 이송클릭에 의하여 척킹한 상태에서 리드프레임의 최초의 본딩부분을 본딩위치까지 반송하는 것을 특징으로 하는 리드프레임 반송방법.
  2. 로더측 매거진으로부터 공급된 리드프레임을 프레임피더의 이송클릭으로 척킹하여 반송하는 리드프레임 반송장치에 있어서, 로더측 매거진과 본딩위치 사이에서 본딩위치 근방에 설치되고, 본딩위치 근방에서 이송클릭에 의하여 척킹한 상태로 이송되는 리드프레임의 선단을 검출하여 해당 리드프레임을 위치결정하는 위치결정센서와, 이 위치결정센서로 리드프레임의 선단을 검출하여 해당 리드프레임을 위치결정하고, 그 후에, 상기 이송클릭에 의하여 척킹한 상태에서 리드프레임의 최초의 본딩부분을 본딩위치까지 반송하는 제어수단을 갖는 것을 특징으로 하는 리드프레임 반송장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 본딩위치로부터 상기 위치결정센서까지의 거리는, 상기 이송클릭의 1회의 이동량이내인 것을 특징으로 하는 리드프레임 반송방법.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 본딩위치로부터 상기 위치결정센서까지의 거리는, 상기 이송클릭의 1회의 이동량이내인 것을 특징으로 하는 리드프레임 반송장치.
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