KR100257527B1 - 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전송형 표면 탄성파 필터의 레이아웃 방법을 공개한다. 그 방법은 중앙에 세로방향으로 배치된 입력 변환기, 입력 변환기의 양측에 세로 방향으로 배치된 출력 변환기들, 출력 변환기들의 바깥쪽에 세로 방향으로 배치된 반사파 흡음용 흡음막들, 가장자리에 가로 방향으로 배치되고 제 1, 2, 3 신호 전극들이 연결되어 배치되고 상기 제 1 및 제 2 신호 전극들 각각이 출력 변환기들에 연결된 출력 신호 전극, 출력 신호 전극의 반대편에 상기 입력 변환기에 연결되어 배치된 입력 신호 전극, 및 입력 변환기와 제 3 신호 전극사이에 연결선로를 통하여 연결된 제 1, 2 접지 전극들과 제 1, 2 접지 전극과 각각 연결되고 입력 변환기와 출력 변환기들사이에 각각 배치된 제 3, 4 접지 전극들과 제 3, 4 접지 전극들과 각각 연결되고 제 1, 2 신호 전극들의 반대편에 각각 배치되어 출력 변환기에 연결된 제 5, 6 접지 전극들을 가진 접지 전극을 압전 기판위에 배치하여 구성되어 있다. 따라서, 접지 전극 영역을 충분히 확보함으로써 프로우빙시 발생할 수 있는 전극 패드의 손상에 의한 와이어와 패드 전극간 접착력 저하를 피해서 와이어 본딩을 진행할 수 있으므로 생산성이 향상될 수 있다.
Description
본 발명은 전송형 표면탄성파 필터에 관한 것으로, 특히 와이어 본딩 작업을 용이하게 하고 최적의 주파수 특성을 얻을 수 있는 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃 방법에 관한 것이다.
전송형 표면탄성파 필터란 특정 주파수 대역의 신호만을 통과하기 위한 주파수 여파기로서, 각종 통신기기(pager, handphone)에 사용된다.
도 1은 종래의 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃을 나타내는 것으로, 입력 변환기(10), 출력 변환기들(12, 14), 반사파 흡수용 흡음막들(16, 18), 입력 신호전극(S1), 출력 신호전극(S1-1, S1-2, S1-3), 접지 전극(G1, G2, G3, G4), 및 압전 기판(20)으로 구성되어 있다.
상기와 같은 구성을 가진 전송형 표면탄성파 필터의 동작을 간단하게 설명하면 다음과 같다.
입력 변환기(10)는 입력 전극(S2)으로 입력되는 전기적인 신호를 압전 기판(20)을 통하여 기계적인 신호로 변환한다. 출력 변환기(12, 14)는 입력 변환기(10)로 부터 입력되는 기계적인 신호를 압전 기판(20)을 통하여 전기적인 신호로 변환하여 출력한다. 즉, 압전 기판(20)은 전기적인 신호를 기계적인 신호로 변환하고, 기계적인 신호를 전기적인 신호로 변환하는 기능을 한다. 반사파 흡수용 흡음막들(16, 18)은 필터의 내부에서 발생되는 반사파들을 흡수하여 오동작을 방지한다.
전극의 배치를 설명하면, 입력 변환기(10)가 압전 기판(20)의 중앙에 세로 방향으로 배치되어 있다. 출력 변환기(12, 14)는 입력 변환기(10)의 양편에 세로 방향으로 배치되어 있다. 출력 신호 전극(S1-1, S1-2, S1-3)은 전기적으로 상호연결되고, 압전 기판(20)의 가로방향으로 배치되어 있으며, S1-2는 검침(probing)용 단자이고, S1-1, S1-3는 와이어 본딩용 단자이다. 접지 전극(G1, G2)은 상기 신호 전극(S1-1)과 입력 변환기(10)사이의 선로에 의해서 서로 연결되어 있으며, 입력 변환기(10)의 세로 방향으로 뻗어있다. 접지 전극(G3)는 신호 전극(S1-2)이 연결된 출력 변환기(12)의 반대편에 연결되어 배치되어 있다. 접지 전극(G4)는 신호(S1-3)이 연결된 출력 변환기(14)의 반대편에 연결되어 배치되어 있다. 흡음막들(16, 18)은 출력 변환기들(12, 14)의 각각의 바깥쪽에 세로방향으로 배치되어 있다.
상기 전극 구조에서, 입력 변환기와 출력 변환기들이 서로 바뀌어도 상관없다. 즉, 입력 변환기(10)가 출력 변환기로 되고, 출력 변환기들(12, 14)이 입력 변환기가 되어도 상관없다. 물론, 이 경우에 입력 전극(S2)은 출력 전극이 되고 출력 전극들(S1-1, S1-2, S1-3)은 입력 전극이 되어야 한다.
그런데, 상술한 바와 같은 종래의 전송형 표면탄성파 필터의 전극 배치는 접지 전극(G1, G2)이 접속되어 있는 전극 영역과 접지 전극(G3, G4)이 접속되어 있는 전극 영역이 각각 분리되어 있고, 웨이퍼 상태에서의 칩 양불량 선별을 위한 프로우빙(probing)시에 만일 흡음막이 과도하게 도포되어 접지 전극(G3, G4)영역을 침범할 경우에 패드 영역의 축소로 흡음막에 탐침이 접촉되어 측정이 곤란할 뿐만아니라, 탐침이 손상될 우려가 있다.
또한, 접지 패드 영역의 축소에 따른 와이어 본딩에 대한 작업 영역이 좁아지므로 불량의 원인이 될 수 있다.
본 발명의 목적은 접지 전극 영역의 확장으로 와이어 본딩 작업을 손쉽게 할 수 있고, 최적의 주파수 특성을 구현할 수 있는 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃 방법을 제공하는데 있다.
이와같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃 방법은 중앙에 세로방향으로 배치된 입력 변환기, 상기 입력 변환기의 양측에 세로 방향으로 배치된 출력 변환기들, 상기 출력 변환기들의 바깥쪽에 세로 방향으로 배치된 반사파 흡음용 흡음막들, 가장자리에 가로 방향으로 배치되고 제 1, 2, 3 신호 전극들이 연결되어 배치되고 상기 제 1 및 제 2 신호 전극들 각각이 상기 출력 변환기들에 연결된 출력 신호 전극, 상기 출력 신호 전극의 반대편에 상기 입력 변환기에 연결되어 배치된 입력 신호 전극, 및 상기 입력 변환기와 상기 제 3 신호 전극사이에 연결선로를 통하여 연결된 제 1, 2 접지 전극들과 상기 제 1, 2 접지 전극과 각각 연결되고 상기 입력 변환기와 상기 출력 변환기들사이에 각각 배치된 제 3, 4 접지 전극들과 상기 제 3, 4 접지 전극들과 각각 연결되고 상기 제 1, 2 신호 전극들의 반대편에 각각 배치되어 상기 출력 변환기에 연결된 제 5, 6 접지 전극들을 가진 접지 전극을 압전 기판위에 구비한 것을 특징으로 한다.
도 1은 종래의 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃을 나타내는 것이다.
도 2는 본 발명의 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃을 나타내는 것이다.
도 3은 본 발명의 전송형 표면탄성파 필터의 본딩 접지점의 위치에 따른 주파수 특성을 나타내는 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃을 나타내는 것으로, 회로의 구성은 도 1에 나타낸 종래의 전송형 표면탄성파 필터와 동일하다. 그러나, 전극 배치에 있어서, 접지 전극(G1)와 접지 전극(G3)을 연결하고, 접지 전극(G2)와 접지 전극(G4)를 연결하여 배치하였다. 그리고, 접지 전극(G1)과 접지 전극(G3)를 연결하는 전극의 중간점을 G5로 표시하였고, 접지 전극(G2)와 접지 전극(G4)를 연결하는 전극의 중간점을 G6로 표시하였다.
즉, 본 발명의 전송형 표면탄성파 필터는 접지 전극의 영역을 확장함으로써, 웨이퍼 상태에서의 칩 양불량 선별을 위한 프로우빙시 만일 흡음막이 과도하게 도포되어 접지 전극(G3, G4) 영역을 침범하더라고 접지 전극(G3, G4)의 영역이 충분히 확보되어 있으므로 흡음막에 대한 탐침의 접촉을 피해 측정이 가능할 뿐만아니라, 와이어 본딩에 대한 작업 영역이 충분히 확보되어 있어 작업성이 향상될 수 있다.
도 3은 본 발명의 전송형 표면탄성파 필터의 본딩 접지점의 위치에 따른 주파수 특성을 나타내는 그래프로서, 가로축은 주파수(MHz)를 세로축은 감쇠(dB)를 나타낸다.
타입1, 2, 3의 각각의 그래프의 특성을 살펴보면 다음과 같다.
타입1(type1)의 그래프는 와이어 본딩시에 입출력 신호단자로서 S1-1과 S2를, 접지 단자로서 G1과 G2를 결선하여 4단자 본딩을 했을 경우의 그래프로서, 통과 대역 특성은 일정하나 저지 대역에서는 충분한 감쇠가 일어나지 않음을 알 수 있다.
타입2(type2)의 그래프는 와이어 본딩시에 입출력 신호 단자로서 S1-1, S2를, 접지 단자로서 G1, G2와 입출력 변환기의 중간에 놓인 쉴딩(shielding)용 접지선의 중간점이 G5, G6를 결선하여 6단자 본딩을 했을 경우의 그래프로서, 통과 대역 특성은 일정하나 저지 대역에서는 타입1의 경우에 비해 상당히 개선되었음을 알 수 있다.
타입3(type3)의 그래프는 와이어 본딩시에 입출력 신호 단자로서 S1-1, S2를, 접지 단자로서 G1, G2, G3, G4를 결선하여 6단자 본딩을 했을 경우의 그래프로서, 통과 대역 특성은 타입1, 2와 유사하나, 저지 대역에서 타입1, 2에 비해 특성이 우수함을 알 수 있다.
물론, 도 1에 나타낸 종래의 구조에서도 타입3의 그래프와 동일한 그래프를 얻을 수 있으나. 도 2에 나타낸 바와 같이 접지에 해당하는 전극을 모두 연결하더라도 타입3의 그래프와 같은 가장 우수한 특성을 얻을 수 있다.
본 발명의 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃 방법은 접지 전극 영역을 충분히 확보함으로써 프로우빙시 발생할 수 있는 전극 패드의 손상에 의한 와이어와 패드 전극간 접착력 저하를 피해서 와이어 본딩을 진행할 수 있으므로 생산성이 향상될 수 있다.
Claims (4)
- 중앙에 세로방향으로 배치된 입력 변환기;상기 입력 변환기의 양측에 세로 방향으로 배치된 출력 변환기들;상기 출력 변환기들의 바깥쪽에 세로 방향으로 배치된 반사파 흡음용 흡음막들;가장자리에 가로 방향으로 배치되고 제 1, 2, 3 신호 전극들이 연결되어 배치되고 상기 제 1 및 제 2 신호 전극들 각각이 상기 출력 변환기들에 연결된 출력 신호 전극;상기 출력 신호 전극의 반대편에 상기 입력 변환기에 연결되어 배치된 입력 신호 전극; 및상기 입력 변환기와 상기 제 3 신호 전극사이에 연결선로를 통하여 연결된 제 1, 2 접지 전극들과 상기 제 1, 2 접지 전극과 각각 연결되고 상기 입력 변환기와 상기 출력 변환기들사이에 각각 배치된 제 3, 4 접지 전극들과 상기 제 3, 4 접지 전극들과 각각 연결되고 상기 제 1, 2 신호 전극들의 반대편에 각각 배치되어 상기 출력 변환기에 연결된 제 5, 6 접지 전극들을 가진 접지 전극을 압전 기판위에 구비한 것을 특징으로 하는 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 3 신호 전극은 와이어 본딩용 전극들이고, 상기 제 2 신호 전극은 프로우빙 테스트용 전극인 것을 특징으로 하는 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃 방법.
- 중앙에 세로방향으로 배치된 출력 변환기;상기 출력 변환기의 양측에 세로 방향으로 배치된 입력 변환기들;상기 입력 변환기들의 바깥쪽에 세로 방향으로 배치된 반사파 흡음용 흡음막들;가장자리에 가로 방향으로 배치되고 제 1, 2, 3 신호 전극들이 연결되어 배치되고 상기 제 1 및 제 2 신호 전극들 각각이 상기 입력 변환기들에 연결된 입력 신호 전극;상기 입력 신호 전극의 반대편에 상기 출력 변환기에 연결되어 배치된 출력 신호 전극; 및상기 출력 변환기와 상기 제 3 신호 전극사이에 연결선로를 통하여 연결된 제 1, 2 접지 전극들과 상기 제 1, 2 접지 전극과 각각 연결되고 상기 출력 변환기와 상기 입력 변환기들사이에 각각 배치된 제 3, 4 접지 전극들과 상기 제 3, 4 접지 전극들과 각각 연결되고 상기 제 1, 2 신호 전극들의 반대편에 각각 배치되어 상기 입력 변환기에 연결된 제 5, 6 접지 전극들을 가진 접지 전극을 압전 기판위에 구비한 것을 특징으로 하는 전송형 표면탄성파 필터의 레이아웃 방법.
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