KR100246725B1

KR100246725B1 - 가스 방전 레이저용 보수 전략 제어 시스템

Info

Publication number: KR100246725B1
Application number: KR1019970004090A
Authority: KR
Inventors: 팰리쉬 피 다스; 게리 알 스터픈슨
Original assignee: 아킨스 로버트 피.; 사이머 인코포레이티드
Priority date: 1996-02-12
Filing date: 1997-02-12
Publication date: 2000-03-15
Also published as: KR970063846A; EP0789431B1; EP0789431A2; EP0789431A3; US5646954A; JPH09223833A; DE69707323T2; CA2196130A1; JP3226473B2; DE69707323D1

Abstract

여기에서는 가스 방전 레이저의 제어시스템에 의하여 사용되는 진단서브루틴을 개시한다. 이러한 서브루틴은 레이저내의 각 펄스한정부시스템별로, 실시간레이저시스템가동에 근거하여, 잔여시간의 예측을 제공한다. 서브루틴은 사용자가 정하는 시간간격에 걸친 계산된 평균펄스반복률을, 현재의 운용조건하에서, 각 펄스한전부시스템별 수명종료까지 남아있는 시간을 예측하기 위한 근거로서 이용하며, 레이저운용에 있어서의 변화를 참작하기 위하여 시간예측을 갱신한다. 이와같이 예측된 시간을 조작원에게 보고하여 푸틴정기보수의 사전계획을 작성할 수 있게 한다.

Description

가스 방전 레이저용 보수 전략 제어 시스템

본 발명은 가스 방전 레이저에 관한 것으로, 특히 각종 레이저 부시스템에 대한 보수가 필요할 때까지 남아있는 시간을 예측하기 위한 제어 시스템에 관한 것이다.

재료 가공과 같은 펄스 레이저의 적용에는 가공중인 재료상에 입사되는 기지량의 레이저 에너지를 필요로 한다. 이와 같은 대부분의 응용에 있어서, 공정 제어는 재료의 표면에 입사되는 에너지를 제어함으로써 달성된다. 그러므로, 이러한 공업적 응용에 있어서는, 레이저 시스템이 각 레이저 펄스의 에너지를 측정하는 에너지 검출기를 이용한다. 이러한 에너지 정보는 레이저에 근거한 마이크로 제어기에 의하여 시스템 사용자에게 전달되고, 여기에서, 사용자는 레이저 에너지를 일정하게 유지하거나, 레이저의 에너지를 새로운 값으로 변경하여 조작 조건을 변경시킬 수 있다.

사용후에 버려지는 램프와는 달리, 가스 방전형 레이저는 생산 환경에서 사용 중 소정 간격으로 보수를 하여야 하며, 각종 부시스템들도 전극 및 챔버 물질과 반응하는 각종 레이저 가스로부터 생기는 오염으로 인하여 다시 닦아내야 한다. 일반적으로 금속 플루오르화물 먼지의 형태로 되어있는 이러한 유형의 오염물은 증착내지 레이저 윈도 에칭의 결과로, 빔 프로필 및 대역폭(bandwidth) 증가를 악화시킨다. 조업중 아킹(arcing) 및 플루오르 패시베이션(fluorine passivation)으로 인한 레이저 전극의 침식은 레이저의 대역폭을 저하시키고, 펄스 대 펄스 에너지 안정성을 저하시키고, 버스트형(burst mode) 거동이 일치하지 않게 하고, 빔 프로필을 저하시킨다. 레이저에 의하여 출력되는 총 펄스의 수가 정상 조업중 증가하기 때문에, 다이라트론(thyratron) 스위치, 라인 내로윙 모듈(line narrowing module) 등과 같은 부구성요소들은 레이저로부터 나오는 에너지가 기대한 양보다 적어서, 공정 제어의 전반적인 손실이 생기기 때문에, 성능이 저하된다. 전형적으로, 만약 레이저 에너지가 사용자가 특정한 범위에서 너무 벗어난다면, 레이저 제어기가 레이저 작동을 종료시킬 것이고, 이로 인하여 사용자에게 손해가 많은 다운 타임(down time)이 생기게 될 것이다.

현재 제조되고 있는 공업용 레이저 시스템은 시스템의 성능을 감시하고, 사용자가 레이저의 성능이 저하된 원인을 식별하는데 도움을 주는 여러 가지 진단 장치를 갖추고 있다. 본 발명의 양수인에게 양도되고, 특히 본 명세서의 일부로서 참고로 합체되어 있는 미합중국 특허 제 5,377,215호에서는 이러한 시스템의 하나를 기술하고 있다. 상기 특허에 기술되어 있는 바와 같은 진단 장치에서는 레이저내의 요소마다 배치되어 있는 센서를 이용하며, 여기에서는 레이저의 마이크로 제어기가 계속적으로 이러한 센서로부터의 입력을 모니터하고, 개별 입력을 저장하는데 이용되는 메모리 위치를 갱신한다. 이러한 유형의 진단 장치는 상기 센서 정보가 메모리부터 다운로드되는 순간 레이저 상태의 스냅쇼트(snapshot)를 제공하므로, 일단 문제가 발생하면 사용자에게 주의를 주게 된다; 그러나, 상기 진단 장치는 부속구성요소의 성능 저하 및 부속구성요소 수명 종료 정보에 근거하여, 확률적으로 고장이 언제 일어날 것인가에 관한 예측 정보를 제공할 수는 없다.

본 발명은 사용자로 하여금 레이저의 조작에 구속되는 부속구성요소에 대한 필요한 보수계획을 미리 작성함으로써 레이저 출력의 저하와 부속구성요소의 고장에 연관된 예정에 없는 다운타임을 방지하는 예측 진단에 대한 전술한 필요에 따라 행하여진 것이다. 본 발명은 공업적 제조 환경에서 사용하기에 특히 적합하지만, 극히 한정된 파라미터내에서 레이저시스템을 신뢰성있게 조작할 필요가 있는 다른 공업적 및 연구적 환경에서도 사용하기에 적합하다.

제1도는 제어 시스템이 TBM까지 남아있는 시간 및/또는 특정 레이저 부속구성요소별 유효 수명의 종료를 어떻게 추정하는 가를 개략적으로 도시한 흐름도이다.

제2도는 표본 간격(sample interval; SampInt)에 걸쳐 방사되는 레이저 펄스의 롤링 평균을 이용하는 또 다른 실시예에서, TBM까지 남아있는 시간 및/또는 특정 레이서저 부속구성요소별 유효 수명의 종료를 어떻게 추정하는가를 개략적으로 도시한 흐름도이다.

본 발명의 하나의 형태에 있어서, 전술한 미합중국 특허에 개시된 엑시머 레이저 시스템내에 제공되어 있는 것과 같은 마이크로프로세서에 근거하는 레이저 제어 시스템은 그 비휘발성 메모리내에, 레이저 시스템에서 사용되는 각 펄스 제한적 부속구성요소별 한계 수 내지 한계 펄스 수를 보유하고 있다. 상기 한계 수는 특정수의 펄스가 그 자체의 특유한 펄스 한계 값을 가지는 레이저에 의해 방사된 후, 각 부속구성요소의 보수를 위한 요건에 근거하는 것이다. 전술한 특허에 개시된 할로겐 주입 시스템과 같은 다른 서브시스템을 제어하기 위한 레이저 시스템에 의하여 사용되는 펄스 카운터는 작업중 시스템의 의하여 방사되는 레이저 펄스 수의 실시간 계수를 유지한다. 본 발명에 의하여, 부프로그램은 제어시스템과 협동하여,사용자가 정하는 펄스 한계 값과 현펄스계수 사이의 실시간을 계산하기 위한 진단을 실시한다. 그 다음에, 부프로그램은 사용자가 정한 시간에 걸친 평균펄스반복률을 결정하고, 레이저의 현 동작에 근거하여, 펄스 한계 값과 펄스 계수 사이의 실시간차를 계산된 평균 펄스율의 값으로 나눔으로써, 필요한 보수 전에 남아있는 시간(TBM;time remaining before required maintenance) 및/또는 부속구성요소의 유효 수명의 종료를 정확히 계산하기 위하여 상기 펑균값을 이용한다. 시간 또는 기타의 특정한 시간단위로 표시되는 이러한 시간값은 사용자가 진단을 거쳐 조회할 때, 사용자에게 제시되며, 일정한 또는 사용자가 정하는 기간으로 갱신된다. 레이저의 운영시간이 소정 레벨에 도달하면, 부속구성요소의 수명 종료를 알리는 경보가 발하여지거나, 레이저 시스템을 정지시키기 위한 자동 신호가 생성될 수 있다.

이하의 설명에 있어서, 예측 보수 제어 시스템의 마이크로프로세서에 근거한 구현을 가스 방전 레이저, 특히 엑시머 레이저에 관하여 설명한다. 그러나, 예측 보수 제어 시스템은 펄스 제한적 부속구성요소를 가지는 다른 펄스 레이저 시스템뿐 아니라, 그 출력이 시간 기준 출력으로 변환될 수 있고, 특정 TBM 또는 유효 수명의 끝이 레이저의 출력에 의하여 지배되는 부속구성요소가 합체되어 있는 다른 유형의 레이저 시스템에도 동등하게 적용될 수 있다.

제1도는 예측 보수 제어 시스템의 여러 가지 특성들을 흐름도로 도시한 것이다. 다음의 항들은 제1도의 단계 번호와 일치하게 번호가 매겨져 있다. 예를 들면, 아래의 항번호 “3”은 제1도의“3”으로 표시된 단계를 말한다. 제1도의 번호는 흐름도내의 지정된 단계의 왼쪽에 표시되어 있다.

1. 보수 예측 부프로그램(START)은 사용자가 레이저에 의하여 방사되는 펄스의 수에 근거하는 특정 수명을 가지는 레이저 시스템 부속구성요소들의 필요한 보수를 예측하여 보수 계획을 작성할 수 있도록 진단 부프로그램을 개시한다. 엑시머에 근거한 시스템용의 이러한 구성요소들에는 레이저 가스, 챔버, 고전압 전원 장치, 플루오르화 금속 필터, 전후(前後) 윈도우, 교환기, 압축 헤드, 전후 광학 부재, 파동 제어 계기 및 빔 스플릿터 등이 포함되어 있다. 예를 들면, 전후 윈도우 구성요소는 서비스를 필요로 하기 전에, 500,000,000 펄스 수면의 유효 수명을 가지는 반면, 교환기는 3000,000,000 펄스 수명을 가진다.

2. 사용자의 조작에 특정한 변수들을 정의하면 다음과 같다.

LaserTimeOn - 레이저가 동력이 공급된 상태에 있는 시간. 이 값은 제어 시스템의 메모리내에 시간 단위로 컨피겨러블(configurable)로서 저장되고, 레이저가 특정 설비에서 운영될 때, 레이저에 대한 타이머로서 작용한다.

AveRepRt - 이하에서 설명하는 후속 단계에서 계산되는 평균 펄스 반복 속도(펄스/초);

MaintInt -시간과 같은 AveRepRt 가 계산되고, 제어 시스템의 메모리내에 컨피겨러블로서 저장되는 시용자 특정 시간 간격;

LifeTimeCt -유효 수명 종료 및/또는 성능이 저하가 발생하여 그에 의해 정비 내지 교체의 필요가 생기기 전에 특정 구성요소에 허용될 수 있는 총펄스;

LifeCounter - 구성요소에 대한 보수가 최종적으로 행하여진 이 후, 레이저 시스템에 의하여 방사되는 펄스의 수;

TotalShtNM -사용자 특정 시간 간격(MaintInt)중 레이저 시스템에 의하여 방사되는 펄스의 총수.

3. 정의된 변수들이 초기화된다. 각 변수는 하나의 변수의 초기화가 다른 변수들에 영향을 주고, 이에 따라 그 초기화를 요구한다는 점에서 서로 연계되어 있다. MaintI nt의 시간은 사용자의 운용 요건에 근거하여 설정되며, 이 시간을 일반적으로 사용자의 제조 활동에 특유한, 2주간(336시간)과 같은 확정된 보수 기간이다. 레이저시스템이 처음 설치되는 경우에는 LaserTimeON이 0으로 초기화될 수 있다. AveRepRt는 초기에는 1000Hz와 같이, 레이저 시스템의 최대 펄스 반복 속도(MepRmax)와 동등하게 설정된다. 상기 컨피겨러블 RepRtMax는 변수 AveRepRt를 계산할 수 없을 때, 초기화를 위하여 이용된다. TotalShtNM는 펄스 카운터에 의하여 표시되는 값(TotalSh)으로 설정되고, 이 값은 제조자가 선적 또는 예비 생산 작업 전에 레이저 시스템을 시험하는 것으로 인하여 0 이외의 값으로 될 수 있다. 부프로그램이 MaintInt의 도달 시기를 판정하기 위하여 이용하는 더미(dummy) 정수형 변수(NM)는 1과 같은 임의 정수로 설정된다. 그러므로, 시간으로 표현되는 보수 시간은 초기에는 다음과 같이 계산된다.

[수학식 1]

이 식은 다음과 같이 더 쉽게 표현할 수 있다.

[수학식 2]

상기식에서, %는 제어 시스템이 사용자에게 진정한 TBM이 도래하기 전에, 구성요소를 정비할 준비를 하라고 경고할 수 있도록, 110%와 같이, 구성요소의 수명이 끝나기 전에, 리드 타임 버퍼(lead time buffer)를 제공하기 위하여 사용자가 선택적으로 설정한다.

4. LaserTimeOn 은 제어 시스템의 메모리로부터 다운로드된다. 가장 최근의 TBM 평가를 포함한 진단 정보는 사용자가 정하는 시간 또는 시간의 특정 부분으로 갱신되어, 시리얼 인터레이스(Serial Interface)를 통해 사용자에게 전달된다.

5. 서브루틴(sub-routine) CHECK는 제2도에 개략적으로 도시된 바와 같이 실행되며, 여기에서는 프로그램이 INT 값을 정의된 정수형 변수(NM)와 대조한다. 제2도에 도시된 바와 같이, INT는 사용자 정의 보수 시간(MaintInt)에 대한 레이저가 동력이 공급된 상태에 있는 시간(LaserTimeOn)의 비율로서 정의된다. 예를 들면, NM를 1로 지정하고, MaintInt를 336시간으로 정하였을 때, 상기 컨피겨러블 LaserTimeO n이 조작 시간을 320시간이라고 판독하면, 질의 조회 320≥(1)(336) 또는 NM≥1 (즉, LaserTimeOn/MaintInt의 비율 ≥, NM )은 “No”라고 판정되고, INT는 0으로 설정된다. 여기에서, 프로그램은 4 단계로 복귀하고, LaserTimeOn을 재계산하기 위하여 사용자가 정한 시간을 기다린다. 전술한 예에서, LaserTimeOn이 365시간으로 판독되면, NM≥,1의 관계는 참된 것이 되고, INT는 1에 세트된다. 그 다음에, 프로그램은 계속하여 6 단계에서 설명한 AveRepRt를 계산한다.

6. 일단 사용자 특정 시간(일반적으로 개별 설비의 운영 스케쥴에 근거한 생산 확립 보수 시간) MaintInt이 도래하면, 이 시간에 걸친 평균 펄스 반복 속도 AveRepRt는 특정 기간중 레이저에 의하여 방사되는 펄스의 총수를 이 시간으로 나누어 계산한다. 레이저가 동력이 차단된 상태에 있는 때에는 MaintInt를 측정하기 위한 클록(clock)이 진행하지 아니한다. 클록은 레이저가 LaserOn 상태에 있는 때에는 그 정지된 위치로부터 계속하여 진행한다. 이러한 계산은 다음의 알고리즘에 근거한다.

[수학식 3]

상기식에서, 레이저의 실행 펄스 카운터는 TotalShtNM를 다음의 관계로 표시한다.

[수학식 4]

상기 AveRepRt가 계산된 후, 변수 TotalShtNM는 다시 TotalShtNM를 현재 총펄스 계수와 동등하게 세팅됨으로써: TotalShtNM = TotalSht, 초기화되고, 더미변수(NM)는 NM=NM+1 로 세팅된다.

7. 구성용소에 대한 TBM은 3 단계에서 설명한 바와 같이 계산한다. 그러나, 그 값 AveRepRt이 다음과 같이 RepRtMax의 대용으로 사용된다.

[수학식 5]

따라서, 주어진 MaintInt에 대한 TBM은 선행 MaintInt의 AveRepRt에 근거한 다. 그 결과는 4 단계에 제공된 바와 같이, 시리얼 인터페이스 및 레이저 시스템 진단 장치를 거쳐 사용자에게 보고된다. 표 1은 여기에 제공된 바와 같이, TBM이 보고되는 엑시머 레이저 시스템의 부시스템 구성요소들의 예시적인 나열이다. 목록상의 각 항목은 사용자가 시리얼 인터레이스을 거쳐 조회를 하였을 때, 제어 시스템의 응답을 표시하는 연관 응답 문자열과 함께 그 구성명(configuration name)에 의하여 식별된다. 이러한 TBM 응답은 사용자에게 해당 부속 구성요소가 그 보수 한계가 아니라, 그 수명 한계를 초과하기 전에, 남아있는 시간의 예측값을 제공한다. 수명 한계는 해당 부속구성요소의 실펄스 계수가 이 부속구성요소의 수명 펄스 한계값을 초과한 때 통지된다. TBM은 레이저 시스템의 평균 펄스 반복 속도에 근거한 것이기 때문에, 정의된 변수들을 초기화함이 없이, 프로그램된 반복률이 크게 변동된 경유에는, TBM은 실제로 남아있는 시간과는 매우 다르게 될 수 있다. 전술한 바와 같이, 변수들이 서로 연계되어 있는 것도 이러한 이유이다.

표 1에는 부시스템 개스숏(GasShots)이 제공되어 있다. 펄스가 제한되어 있는 것 이외에, 레이저 가스도 실시간 한계값(이하 “정적가스수명”이라 한다)에 의하여 제한된다. 이러한 시간 한계값은 제2가스 컨피겨러블(즉, Static Tm)으로서 보고된 최종 가스 재충전 이래의 시간과 함께, 제1가스 컨피겨러블 (즉, Static Lf)에 의하여 설정될 수 있다. 이때, 시간 보수 한계값은 예를 들면, Static Tm 〉.90 Static Lf 또는Static Lf의 다른 백분율의 시간으로 사용자가 설정할 수 있고, 부속구성요소의 수명 한계값은 Static Tm 〉Static Lf가 되는 점으로 표현할 수 있다. 전술한 한계에 도달하기 전의 가스수명의 TBM은 7 단계에서는 다음의 더 적은 값으로 보고된다.

[수학식 6]

또는

부시스템의 구성요소가 그 수명 한계값에 도달한 때에는, 제어 시스템은 레이저가 방사될 수 있는 상태에서 대기상태로 자동적으로 변환될 수 있거나, 레이저의 출력특성이 저하되어, 부시스템의 고장이 임벅하였다는 반복되는 경고메시지를 사용자에게 제공하는 동안, 계속하여 동작하도록 구성될 수 있다.

본 발명의 또다른 실시예에서는, 1 내지 4 단계는 전술한 바와 같이 레이저의 제어 시스템에 의하여 수행되지만, AveRepRt는 표본 시간(SampInt)(즉, 6분 또는 0.1시간)에 걸친 레이저 펄스의 롤링 평균으로서 계산된다. 이 실시예에서는, 레이저의 동작 특성내의 변화, 이러한 변화가 변수(AveRepRt)의 계산에 주는 영향 등에 연관되는 전술한 문제들이 제거된다. 제2도에 도시한 바와 같이, 5 단계는 생략되고,AveRepRt는 LaserTimeOn이 4 단계에서 제어 시스템 기억 장치로부터 다운로드된 직후에 결정된다. 이 실시예에서는, 평균 펄스 반복 속도는 다음과 같이 결정된다.

[수학식 7]

상기식에서, δ Shots Per Sec 는 전 SampInt중 1초당 펄스의 반복률이다.

1/N 은 δ Shots Per Sec에 배정된 지정 표본 시간에 근거한 가중 계수이고, 각 표본 시간(SampInt)내에서 계산된다. 변수 “N”는 시간으로 되어 있는 MaintInt와 SampInt가 다음과 같은 때,

[수학식 8]

컨피겨러블 MaintInt에 관련된다. 예를 들면, SampInt가 0.1 Hr (6min)으로 설정되면, N+10×MaintInt가 된다.

이 실시예에 있어서, AveRepRt 그 자체는 앞의 실시예에서 6분으로 정하여진 각 SampInt 기간으로 계산되는 평균값이다. 예를 들면, 보수 간격(MaintInt)이 24시간으로 정하여지고, 표본시간(SampInt )이 전술한 바와 같이, 0.1 시간으로 정하여지고, AveRepRt가 RepRtMax(1000 펄스/초)와 같고, 전 SampInt내의 1초당 펄스 δ가 100으로 설정되면,

[수학식 9]

8. 추정 TBM은 사용자가 부속구성요소별로 정한 백분율 또는 LifeTimeCt(110%)와 LifeCounter 사이의 차를 기준으로, 레이져별 현재의 AveRepRt에 근거하여 각 부속 구성요소별로 계산한다. 이러한 차는 AveRepRt로 나누어, 다음과 같이, 시간과 같은 사용하기 쉬운 시간 프레임으로 변환된다.

[수학식 10]

그러므로, 사용자가 LifeTimeCt = 300,000,000 펄스, LifeCounter = 100,000,000 펄스, 스텝(6)에 제공된 바와 같은 AveRepRt를 가진 부속 구성요소의 TBM에 관한 레이저 제어시스템의 진단을 문의하는 경우에는, 제공되는 판독은 다음과 같을 것이다.

[수학식 11]

이상에서, 본 발명을 특정 실시예(즉, 엑시머레이저시스템)를 기준으로 개시 및 설명하였으나, 그 원리는 이 기술 분야 종사자들에게 잘 알려진 다른 많은 실시예들에서도 사용할 수 있다. 따라서, 본 발명은 특허청구범위에 의하여 표시되는 것에 의해서만 한정된다.

본 발명에 의해 가스 방전 레이저의 부시스템에 대한 보수가 필요할 때까지 남아있는 시간을 예측하기 위한 제어 시스템이 제공될 수 있다.

Claims

서로 공동으로 작동하여 하나의 출력 레이저 빔을 발생시키는 유효 수명이 한정된 일련의 부속구성요소들과, 각 부속구성요소의 작동을 감시 및 제어하고 레이저 시스템의 출력을 공동으로 감시 및 제어할 수 있도록 각 부속구성요소와 연계하여 결합되어 작동하는 제어 시스템으로 이루어지는 레이저 시스템에 있어서, 상기 감시 기능이 각 유효 수명이 한정된 부속구성요소별로, 현재 레이저 시스템 작동하에서 남아있는 시간을 조작원이 판독할 수 있게 하는 예측 수명 종료(end-of-life)신호를 발생시키는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 시스템.
제1항에 있어서, 상기 레이저 시스템이 가스 방전 레이저 시스템인 것을 특징으로 하는 레이저 시스템.
제2항에 있어서, 상기 가스 방전 레이저 시스템이 엑시머 레이저인 것을 특징으로 하는 레이저 시스템.
제1항에 있어서, 상기 예측 수명 종료 신호가 사용자 특정 시간에 걸친 레이저 시스템의 출력, 각 부속 구성 요소에 대한 기지의 유효 수명 및 상기 레이저 시스템의 현재 작동 시간의 함수인 것을 특징으로 하는 걸친 레이저 시스템.
제4항에 있어서, 상기 레이저 출력이 펄스 출력인 것을 특징으로 하는 레이저 시스템.
제3항에 있어서, 상기 예측 수명 종료 신호가 사용자 특정 시간에 걸쳐 레이저에 의하여 생성되는 펄스의 수, 각 부속구성요소에 대한 기지의 펄스 한정 유효 수명 및 레이저에 대한 현재 펄스 출력 계수의 함수인 것을 특징으로 하는 레이저 시스템.
제6항에 있어서, 생성되는 펄스의 수가 사용자 특정 시간에 걸친 펄스 계수의 평균값인 것을 특징으로 하는 레이저시스템.
레이저 시스템에 대한 초기 펄스 계수를 결정하는 단계; 각 부속구성요소에 대한 최대 펄스 한계를 설정하는 단계; 조작원이 레이저 작동 스케쥴에 근거하여 보수 시간 간격을 정하는 단계; 상기 보수 기간에 대한 보수 기간 종료시 최종 펄스 계수와 초기 펄스 계수사이의 차인 펄스 계수를 결정하는 단계; 상기 보수 기간에 걸쳐 상기 기간 펄스 계수를 상기 보수 기간으로 나누어 평균 펄스 반복 속도를 계산하는 단계; 최대 펄스 한계와 최종 펄스 계수 사이의 차를 상기 평균 반복 속도로 나누어, 각 부속구성요소에 대한 수명 종료까지의 현 레이저 작동하에서 남아있는 시간을 결정하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 방전 레이저 시스템의 펄스 한정 부속구성요소들의 유효 수명 종료를 예측하기 위한 방법.
제8항에 있어서, 상기 가스 방전 레이저가 엑시머 레이저인 것을 특징으로 하는 방법.
각 부속구성요소에 대한 최대 펄스 한계를 설정하는 단계; 조작원이 레이저 작동 스케쥴에 근거하여 보수 시간 간격을 정하는 단계; 보수 시간 간격의 부분집합인 펄스 표본 시간 간격을 정하는 단계; 각 표본 시간 간격에 걸친 레이저 시스템의 펄스 반복 속도의 롤링 평균을 계산함으로써 보수 시간 간격의 평균 펄스 반복 속도를 결정하는 단계; 최대 펄스 한계 및 최종 펄스 계수 사이의 차를 상기 평균 펄스 반복 속도로 나누어, 각 부속구성요소에 대한 수명 종료까지 남아있는 시간을 측정하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 방전 레이저시스템의 펄스 한정적 부속구성요소의 수명 종료를 예측하기 위한 방법.
제10항에 있어서, 상기 평균 펄스 반복이 보수 시간 간격 및 표준 시간 간격의 비율에 근거한 가중 계수를 이용하는 가중 평균인 것을 특징으로 하는 방법.
제10항에 있어서, 상기 가스 방전 레이저 시스템이 엑시머 레이저인 것을 특징으로 하는 방법.