JPH0352278A - Ｎｃレーザ装置 - Google Patents
Ｎｃレーザ装置Info
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- JPH0352278A JPH0352278A JP1188444A JP18844489A JPH0352278A JP H0352278 A JPH0352278 A JP H0352278A JP 1188444 A JP1188444 A JP 1188444A JP 18844489 A JP18844489 A JP 18844489A JP H0352278 A JPH0352278 A JP H0352278A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/102—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/104—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は数値制御装置（ＣＮＣ）とレーザ発振器が結合
したＮＣレーザ装置に関し、特に光学部品の汚染状態の
検知機能を有するＮＣレーザ装置に関する。
したＮＣレーザ装置に関し、特に光学部品の汚染状態の
検知機能を有するＮＣレーザ装置に関する。
数値制御装置（ＣＮＣ）と炭酸ガスレーザ発振器を結合
したＮＣレーザ装置は金属加工等に広く使用されている
。この種のレーザ発振器では、般にレーザガスの循環、
冷却用にルーツブロワ等を使用しており、その軸受け部
分から潤滑油戊分がレーザガス中に混入して光学部品を
汚染することがある。
したＮＣレーザ装置は金属加工等に広く使用されている
。この種のレーザ発振器では、般にレーザガスの循環、
冷却用にルーツブロワ等を使用しており、その軸受け部
分から潤滑油戊分がレーザガス中に混入して光学部品を
汚染することがある。
光学部品が汚染されると発振効率が低下し、電力及びレ
ーザガスを無駄に消費する。したがって、従来はオペレ
ータが運転時間を計測する等して定期的に光学部品の清
掃を行っていた。
ーザガスを無駄に消費する。したがって、従来はオペレ
ータが運転時間を計測する等して定期的に光学部品の清
掃を行っていた。
しかし、実際には定期的な清掃時期以前に予想外に汚染
が進行してしまうこともあり、このような場合に汚れた
光学部品をそのまま使用しつづけると汚れがレーザ光を
吸収して加熱され、光学部品自体が損傷を受けて清掃作
業では復旧できなくなることもある。
が進行してしまうこともあり、このような場合に汚れた
光学部品をそのまま使用しつづけると汚れがレーザ光を
吸収して加熱され、光学部品自体が損傷を受けて清掃作
業では復旧できなくなることもある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、光
学部品の汚染状態を検知可能なＮＣレーザ装置を提供す
ることを目的とする。
学部品の汚染状態を検知可能なＮＣレーザ装置を提供す
ることを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、数値制御装置（
ＣＮＣ）とレーザ発振器が結合したＮＣレーザ装置にお
いて、前記レーザ発振器を構成する光学部品の温度を測
定する温度測定手段と、前記温度が規定値を越えたこと
を検出して前記光学部品の清掃を促すアラームを表示す
る異常検出手段と、を有することを特徴とするＮＣレー
ヂ装置が提供される。
ＣＮＣ）とレーザ発振器が結合したＮＣレーザ装置にお
いて、前記レーザ発振器を構成する光学部品の温度を測
定する温度測定手段と、前記温度が規定値を越えたこと
を検出して前記光学部品の清掃を促すアラームを表示す
る異常検出手段と、を有することを特徴とするＮＣレー
ヂ装置が提供される。
運転中の光学部品の温度が規定値を越えたら清掃を促す
アラームを表示する。オペレータはこの表示に従って光
学部品の清掃を行えば良く、運転時間の計測作業等は不
要となる。
アラームを表示する。オペレータはこの表示に従って光
学部品の清掃を行えば良く、運転時間の計測作業等は不
要となる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置の構成を示
したブロック図である。図において、プロセッサｌは図
示されていない加工プログラムに基づいてＮＣレーザ装
置全体の動作を制御する。
したブロック図である。図において、プロセッサｌは図
示されていない加工プログラムに基づいてＮＣレーザ装
置全体の動作を制御する。
出力制御回路２は内部にＤ／Ａコンバータを内蔵してお
り、プロセッサ１から出力された出力指令値を電流指令
値に変換して出力する。励起用電源３は商用電源を整流
した後、スイッチング動作を行って高周波の電圧を発生
し、電流指令値に応じた高周波電流を放電管４に供給す
る。
り、プロセッサ１から出力された出力指令値を電流指令
値に変換して出力する。励起用電源３は商用電源を整流
した後、スイッチング動作を行って高周波の電圧を発生
し、電流指令値に応じた高周波電流を放電管４に供給す
る。
放電管４の内部にはレーザガス２０が循環しており、励
起用電源３から高周波電圧が印加されると放電を生じて
レーザガス２０が励起される。リア鏡５は反射率９９．
５％のゲルマニウム（Ｇｅ）製の鏡、出力鏡６は反射率
６５％のジンクセレン（ＺｎＳｅ）製の鏡であり、これ
らはファブリペロー型共振器を構成し、励起されたレー
ザガス分子から放出される１０．６μｍの光を増幅して
一部を出力鏡６からレーザ光７として外部に出力する。
起用電源３から高周波電圧が印加されると放電を生じて
レーザガス２０が励起される。リア鏡５は反射率９９．
５％のゲルマニウム（Ｇｅ）製の鏡、出力鏡６は反射率
６５％のジンクセレン（ＺｎＳｅ）製の鏡であり、これ
らはファブリペロー型共振器を構成し、励起されたレー
ザガス分子から放出される１０．６μｍの光を増幅して
一部を出力鏡６からレーザ光７として外部に出力する。
出力されたレーザ光７は円偏向鏡８によって円偏向され
、ペンディングミラー９で方向を変えた後、集光レンズ
１０によって０．２ｍｍ以下のスポットに集光されてワ
ーク１８の表面に照射される。
、ペンディングミラー９で方向を変えた後、集光レンズ
１０によって０．２ｍｍ以下のスポットに集光されてワ
ーク１８の表面に照射される。
メモリ１１は加工プログラム及び各種のパラメータ等を
格納する不揮発性メモリ、システムプログラムを格納す
るＲＯＭ、一時的なデータを格納するＲＡＭ等から構成
されている。位置制御回路ｌ２はプロセッサ１０指令に
よってサーボアンプ１３を介してサーボモータｌ４を回
転制御し、ボールスクリューｌ５及びナット１６によっ
てテーブルｌ７の移動を制御し、ワーク１８の位置を制
御する。なお、図ではｌ軸のみを表示してあるが、実際
には複数の制御軸がある。表示装ｉ１９にはＣＲＴ或い
は液晶表示装置等が使用される。
格納する不揮発性メモリ、システムプログラムを格納す
るＲＯＭ、一時的なデータを格納するＲＡＭ等から構成
されている。位置制御回路ｌ２はプロセッサ１０指令に
よってサーボアンプ１３を介してサーボモータｌ４を回
転制御し、ボールスクリューｌ５及びナット１６によっ
てテーブルｌ７の移動を制御し、ワーク１８の位置を制
御する。なお、図ではｌ軸のみを表示してあるが、実際
には複数の制御軸がある。表示装ｉ１９にはＣＲＴ或い
は液晶表示装置等が使用される。
送風機２１にはルーツブロヮが使用され、レーザガス２
０を冷却器２２ａ及び２２ｂを通して循環する。冷却器
２２ａはレーザ発振を行って高温となったレーザガス２
０を冷却するための冷却器であり、冷却器２２ｂは送風
器２１による圧縮熱を除去するための冷却器である。
０を冷却器２２ａ及び２２ｂを通して循環する。冷却器
２２ａはレーザ発振を行って高温となったレーザガス２
０を冷却するための冷却器であり、冷却器２２ｂは送風
器２１による圧縮熱を除去するための冷却器である。
パワーセンサ２３は熱電あるいは光電変換素子等で構成
され、リア鏡５から一部透過して出力されたレーザ光を
人力してレーデ光７の出力パワーを測定する。Ａ／Ｄ変
換器２４はパワーセンサ２３の出力をディジタル値に変
換してプロセッサ１に入力する。
され、リア鏡５から一部透過して出力されたレーザ光を
人力してレーデ光７の出力パワーを測定する。Ａ／Ｄ変
換器２４はパワーセンサ２３の出力をディジタル値に変
換してプロセッサ１に入力する。
また、熱電対２５ａ〜２５ｆがリア鏡５、出力鏡６、円
偏向鏡８、ペンディングミラー９及び集光レンズ１０に
取りつけられており、それぞれの温度を電気信号Ｔａ＝
Ｔｆに変換して出力する。
偏向鏡８、ペンディングミラー９及び集光レンズ１０に
取りつけられており、それぞれの温度を電気信号Ｔａ＝
Ｔｆに変換して出力する。
これらの信号はＡ／Ｄ変換器２６によってディジタル値
に変換され、プロセッサｌに入力される。
に変換され、プロセッサｌに入力される。
第２図はペンディングミラー９の取りつけ部の詳細断面
図である。アライメントベース９ｌはステンレスで構成
され、図示されていない位置及び角度の調整機構が設け
られている。ホルダー９２はアルミニウムで構成され、
ネジ９３及び９４でアライメントベース９１に固定され
る。ペンディングミラー９は○リング９５を介してホル
ダー９２の凹邪に収納され、その上からミラーベース９
６を介してネジ９７及び９９が締めつけられて固定され
る。熱電対２５ｅは○リング９５によって生じる隙間を
利用してペンディングミラー９の裏面に接着あるいは圧
着されている。なお、図では熱電対２５ｅは１個である
が、例えば円周上に複数個設けても良い。
図である。アライメントベース９ｌはステンレスで構成
され、図示されていない位置及び角度の調整機構が設け
られている。ホルダー９２はアルミニウムで構成され、
ネジ９３及び９４でアライメントベース９１に固定され
る。ペンディングミラー９は○リング９５を介してホル
ダー９２の凹邪に収納され、その上からミラーベース９
６を介してネジ９７及び９９が締めつけられて固定され
る。熱電対２５ｅは○リング９５によって生じる隙間を
利用してペンディングミラー９の裏面に接着あるいは圧
着されている。なお、図では熱電対２５ｅは１個である
が、例えば円周上に複数個設けても良い。
円偏向鏡８も同様な構成で裏面に熱電対２５ｃ及び２５
ｄが取りつけられている。また、リア鏡５、出力鏡６及
び集光レンズ１０はそれぞれの端邪に１個または複数個
の熱電対が取りつけられている。
ｄが取りつけられている。また、リア鏡５、出力鏡６及
び集光レンズ１０はそれぞれの端邪に１個または複数個
の熱電対が取りつけられている。
第３図はペンディングミラー９の温度変化を表したグラ
フである。図において、運転中のペンディングミラー９
の温度は清掃後しばらくの間はほぼ一定であるが、長期
間運転を行うと次第に送風機の軸受けの潤滑油戊分及び
その他の塵埃がペンディングミラー９の表面に付着し、
これらがレーザ光を吸収して加熱されることにより上昇
し、規定温度ｔ１を越える。規定温度ｔ１はベンディン
グミラー９の使用限界温度ｔ２以下であるが、この時点
では既に汚染により発振効率が所定量低下している。
フである。図において、運転中のペンディングミラー９
の温度は清掃後しばらくの間はほぼ一定であるが、長期
間運転を行うと次第に送風機の軸受けの潤滑油戊分及び
その他の塵埃がペンディングミラー９の表面に付着し、
これらがレーザ光を吸収して加熱されることにより上昇
し、規定温度ｔ１を越える。規定温度ｔ１はベンディン
グミラー９の使用限界温度ｔ２以下であるが、この時点
では既に汚染により発振効率が所定量低下している。
なお、リア鏡５、出力鏡６、円偏向鏡８及び集光レンズ
１０の温度変化も本図と同様な特性を示し、汚染の進行
に伴って上昇する。
１０の温度変化も本図と同様な特性を示し、汚染の進行
に伴って上昇する。
ここで、第ｌ図に戻って説明すると、プロセッサｌは運
転中は常に熱電対２５ａ〜２５ｆにより各光学部品の温
度をモニタしており、それらの何れかが規定温度を越え
たときに直ちにメモ’Ｊｌｌから所定の表示データを読
み出して表示装置１９に人力し、表示画面に清掃を促す
アラームと共に、その光学部品名を表示する。なお、前
述したように、規定温度はそれぞれの光学部品の使用限
界温度よりも低い温度で、光学部品毎に設定されている
。
転中は常に熱電対２５ａ〜２５ｆにより各光学部品の温
度をモニタしており、それらの何れかが規定温度を越え
たときに直ちにメモ’Ｊｌｌから所定の表示データを読
み出して表示装置１９に人力し、表示画面に清掃を促す
アラームと共に、その光学部品名を表示する。なお、前
述したように、規定温度はそれぞれの光学部品の使用限
界温度よりも低い温度で、光学部品毎に設定されている
。
上記の処理のフローチャートを第４図に示す。
図において、Ｓに続く数値はステップ番号を示す。
〔Ｓ１〕所定のサンプリング時間毎に各光学部品の温度
を読み込む。
を読み込む。
〔Ｓ２〕その値が規定値を越えているかどうかを判定し
、越えている場合はＳ３へ、越えていない場合はＳ４へ
いく。
、越えている場合はＳ３へ、越えていない場合はＳ４へ
いく。
〔Ｓ３〕表示装置に清掃を促すアラームを表示する。
〔Ｓ４〕加工プログラムあるいは外部から放電停止指令
が指令されたかどうかを判定し、指令された場合は終了
し、指令されていない場合はＳ１へ戻って温度の読み込
みを継続する。
が指令されたかどうかを判定し、指令された場合は終了
し、指令されていない場合はＳ１へ戻って温度の読み込
みを継続する。
このように、光学部品の温度に基づいて汚染状態を定量
的に判断して、オペレータに清掃時期を知らせる。
的に判断して、オペレータに清掃時期を知らせる。
以上説明したように本発明では、運転中の光学部品の温
度が規定値を越えた時点で一定の汚染状態に達したとみ
なして、直ちに表示画面に清掃を促すアラームを表示す
るので、オペレータは運転時間の計測作業等を行わずに
最適な清掃時期を知ることができる。そして、このアラ
ームに従って清掃を行うことにより、清掃時期の遅れに
よる光学部品の性能劣化が防止でき、また電力及びレー
ザガスの無駄な浪費も防止できる。
度が規定値を越えた時点で一定の汚染状態に達したとみ
なして、直ちに表示画面に清掃を促すアラームを表示す
るので、オペレータは運転時間の計測作業等を行わずに
最適な清掃時期を知ることができる。そして、このアラ
ームに従って清掃を行うことにより、清掃時期の遅れに
よる光学部品の性能劣化が防止でき、また電力及びレー
ザガスの無駄な浪費も防止できる。
第１図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置の構成を示
したブロック図、 第２図は本発明の一実施例のペンディングミラーの取り
つけ部の詳細断面図、 第３図は本発明の一実施例のペンディングミラーの温度
変化を表したグラフ、 第４図は本発明の一実施例のフローチャートである。 ー プロセッサ リア鏡 ゛出力鏡 円偏向鏡 ペンディングミラー 集光レンズ ｌ９ 表示装置 ２５ａ 〜２５ｆ 熱電対 ｔｌ ・ 規定温度
したブロック図、 第２図は本発明の一実施例のペンディングミラーの取り
つけ部の詳細断面図、 第３図は本発明の一実施例のペンディングミラーの温度
変化を表したグラフ、 第４図は本発明の一実施例のフローチャートである。 ー プロセッサ リア鏡 ゛出力鏡 円偏向鏡 ペンディングミラー 集光レンズ ｌ９ 表示装置 ２５ａ 〜２５ｆ 熱電対 ｔｌ ・ 規定温度
Claims (4)
- （１）数値制御装置（ＣＮＣ）とレーザ発振器が結合し
たＮＣレーザ装置において、 前記レーザ発振器を構成する光学部品の温度を測定する
温度測定手段と、 前記温度が規定値を越えたことを検出して前記光学部品
の清掃を促すアラームを表示する異常検出手段と、 を有することを特徴とするＮＣレーザ装置。 - （２）前記温度測定手段は前記レーザ発振器を構成する
複数の光学部品の温度をそれぞれ独立に測定するように
構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
ＮＣレーザ装置。 - （３）前記規定値は前記複数の光学部品毎に設定され、
前記異常検出手段は前記測定された各温度の少なくとも
一つがそれぞれの規定値を越えた場合に、前記規定値を
越えた光学部品を特定して前記アラームを表示するよう
に構成したことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
のＮＣレーザ装置。 - （４）前記温度測定手段は熱電対で構成されることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のＮＣレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188444A JPH0352278A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Ｎｃレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188444A JPH0352278A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Ｎｃレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352278A true JPH0352278A (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=16223794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1188444A Pending JPH0352278A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Ｎｃレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0352278A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0785686A2 (en) | 1996-01-26 | 1997-07-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for transmitting and receiving television signal |
| EP0789431A3 (en) * | 1996-02-12 | 1998-05-20 | Cymer, Inc. | Maintenance strategy control system for gas discharge lasers |
| JP2019047017A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | ファナック株式会社 | レーザ装置の水漏れ検知システム |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1188444A patent/JPH0352278A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0785686A2 (en) | 1996-01-26 | 1997-07-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for transmitting and receiving television signal |
| US6345388B1 (en) | 1996-01-26 | 2002-02-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for transmitting and receiving television signal |
| EP0789431A3 (en) * | 1996-02-12 | 1998-05-20 | Cymer, Inc. | Maintenance strategy control system for gas discharge lasers |
| JP2019047017A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | ファナック株式会社 | レーザ装置の水漏れ検知システム |
| US10670487B2 (en) | 2017-09-05 | 2020-06-02 | Fanuc Corporation | Water leakage detection system for laser device |
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