JPS6363590A

JPS6363590A - レ−ザ加工装置

Info

Publication number: JPS6363590A
Application number: JP61206158A
Authority: JP
Inventors: Hajime Osanai; 肇小山内
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1986-09-02
Filing date: 1986-09-02
Publication date: 1988-03-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明はレーザ加工装置、特にレーザ光の出力モニタ
方式の改良に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来のレーザ加工装置を示すもので、図中、（
１）はレーザ発振器、（２）はこのレーザ発振器（１）
に設けられた出力モニタで、図示しない１％透過の部分
反射鏡を介しレーザ光（３）を受光してその出力を測定
する。（４）は上記レーザ発振器（１）から出力された
レーザ光（３）を反射してその向きを変える複数枚の伝
送ミラーで、これらの伝送ミラー（４）により光伝送系
を構成している。

（５）はこの光伝送系を介し伝送されてきたレーザ光（
３）を集光させてワーク（６）に照射しワーク（６）を
レーザ加工する集光レンズである。

従来のレーザ加工装置は上記のように構成され、レーザ
発振器（１）から出力されたレーザ光（３）は、光伝送
系を構成する各伝送ミラー（４）で反射されて集光レン
ズ（５）に導かれ、この集光レンズ（５）で集光された
レーザ光（３）によりワーク（６）が加工される。レー
ザ発振器（１）から出力されるレーザ光（３）は、レー
ザ発振器（１）に設けた出力モニタ（２）でそのパワー
がモニタされる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来のレーザ加工装置では、レーザ光（３
）が光伝送系を伝送される際に、各伝送ミラー（４）に
吸収されて出力が低下する。この低下率は、初期では１
０％程度であるが、伝送ミラー（４）が汚れたり焼損し
たりすると２０〜３０％も出力が低下していまう。この
場合、伝送ミラー（４）をクリーニングしたり交換する
必要があるが、従来のレーザ加工装置では出力モニタ（
２）がレーザ発振器（１）にしか設けられていないため
、伝送ミラー（４）のクリーニング時期あるいは交換時
期を知ることができないという問題があった。また極端
な出力低下により、ワーク（８）の加工性能が不安定に
なるという問題もあった。

この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、光伝送系の劣化状態を把握することかできるとと
もに、加工性能の安定化を図ることができるレーザ加工
装置を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るレーザ加工装置は、レーザ発振器および
光伝送系の最終段に、レーザ光の出力モニタをそれぞれ
設けるとともに、両出力モニタの出力差により作動する
アラーム装置を設けるようにしたものである。

〔作用〕

この発明においては、レーザ発振器および光伝送系の最
終段に、レーザ光の出力モニタをそれぞれ設けているの
で、光伝送系の劣化状態を、両出力モニタの出力差とし
て把握することができ、この出力差が設定値となった際
には、アラーム装置が作動するので、光伝送系のクリー
ニング時期あるいは交換時期を容易に知ることができる
。このため、出力が極端に低下した状態での加工がなく
なり、ワークの加工性能を安定させることができる。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例を示すもので、図中、第２
図と同一符号は同−又は相当部分を示す。（７）は光伝
送系の最終段に配されたビームスプリッタで、１％透過
の部分反射鏡が用いられ、このビームスプリッタ（７）
を透過したレーザ光（３）は出力モニタ（２）に導かれ
る。（８）は両出力モニタ（２）からの出力信号が入力
される出力差読取り装置、（９）は出力差設定装置で、
両出力モニタ（２）からの出力信号の差が設定値を越え
た際にアラーム装置（１０）を作動させる。この出力設
定装置（８）の設定値は、変更可能となっている。

上記のように構成されたレーザ加工装置においては、レ
ーザ発振器（１）から出力されたレーザ光（３）は、光
伝送系を構成する各伝送ミラー（４）およびビームスプ
リッタ（７）を介して伝送され、集光レンズ（５）に導
かれる。そして、この集光レンズ（５）で集光されたレ
ーザ光（３）を用いてワーク（６）の加工がなされる。

一方、レーザ光（３）のパワーは、レーザ発振器（１）
の出力モニタ（２）と光伝送系の最終段にあるビームス
プリッタ（７）の主力モニタ（２）とによりそれぞれ測
定され、両出力モニタ（２）の出力差は、出力差読取り
装置（８）で読取られる。そしてこの出力差が、出力差
設定装置（９）の設定値を越えると、アラーム装置（１
０）が作動する。

しかして、両出力モニタ（２）の出力差により光伝送系
のミラー劣化を自動的に知ることができるため、適切な
ミラーのクリーニングを行なうことができ、ミラーの長
寿命化が可能となる。またミラーが焼損した等の場合は
著しく出力差ができるため、ミラー交換の時期を知るこ
とができる。また、ミラーが汚れたり焼損したままでの
加工がなくなるため、加工性能の安定化を図ることがで
きる。

なお、上記実施例では、加工ヘッドがＸ軸方向およびＹ
軸方向に移動できる構造の光伝送系について示したが、
ヘッド固定の光伝送系にも同様に適用でき、同様の効果
が期待できる。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したとおり、レーザ光の出力モニタ
を、レーザ発振器と光伝送系の最終段とにそれぞれ設け
、両出力モニタの出力差によりアラーム装置を作動させ
るようにしているので、光伝送系の劣化状態を容易に把
°握できるとともに、加工性能の安定化を図ることがで
きる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示すレーザ加工装置の構
成図、第２図は従来のレーザ加工装置を示す第１図相当
図である。（１）・・・レーザ発振器、　（２）・・・出力モニタ
、（３）・・・レーザ光、　　　　（４）・・・伝送ミ
ラー、（５）・・・集光レンズ、　　（６）・・・ワー
ク、　。（７）・・・ビームスプリッタ、（８）・・・出力差読取り装置、（９）・・・出力差設定装置、（１０）・・・アラーム
装置。なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）レーザ発振器から出力されたレーザ光を、光伝送
系を介して集光レンズに導き、この集光レンズで集光さ
れたレーザ光を用いてワークを加工するレーザ加工装置
において、上記レーザ発振器および上記光伝送系の最終
段に、レーザ光の出力モニタをそれぞれ設けるとともに
、両出力のモニタの出力差により作動するアラーム装置
を設けたことを特徴とするレーザ加工装置。
（２）アラーム装置が作動する両出力モニタの出力差は
、変更可能となっていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のレーザ加工装置。