JPH021189A - Ｎｃレーザ装置 - Google Patents
Ｎｃレーザ装置Info
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- JPH021189A JPH021189A JP63126874A JP12687488A JPH021189A JP H021189 A JPH021189 A JP H021189A JP 63126874 A JP63126874 A JP 63126874A JP 12687488 A JP12687488 A JP 12687488A JP H021189 A JPH021189 A JP H021189A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は金属加工等に使用される、数値制御装置とレー
ザ発振器が結合したＮＣレーザ装置に関し、特に光学部
品の保守表示機能を有するＮＣレーザ装置に関する。
ザ発振器が結合したＮＣレーザ装置に関し、特に光学部
品の保守表示機能を有するＮＣレーザ装置に関する。
Ｃ０ｇガスレーザ等のガスレーザ発振器は高効率で高出
力が得られ、ビーム特性も良いので、数値制御装置と結
合されたＮＣレーザ装置として金属加工等に広く使用さ
れるようになった。このようなガスレーザ発振器におい
ては、発振効率を向上させるために、レーザ発振を行っ
て高温になったレーザガスを充分再冷却する必要がある
ので、レーザガスはたえずルーツプロワ等で冷却器を通
して装置内を循環させている。ところが、このル−ツブ
ロワには転がり軸受けを使用しているので、潤滑油成分
がレーザガス中に混入して光学部品を汚染し、出力低下
をもたらす。したがっである程度の時間運転を行うと、
レーザ出力を回復させるために光学部品を清掃するかあ
るいは光学部品を交換する必要がある。これを従来はオ
ペレータが運転時間を計測し、オペレータが判断して、
光学部品の清掃または交換を行なっていた。
力が得られ、ビーム特性も良いので、数値制御装置と結
合されたＮＣレーザ装置として金属加工等に広く使用さ
れるようになった。このようなガスレーザ発振器におい
ては、発振効率を向上させるために、レーザ発振を行っ
て高温になったレーザガスを充分再冷却する必要がある
ので、レーザガスはたえずルーツプロワ等で冷却器を通
して装置内を循環させている。ところが、このル−ツブ
ロワには転がり軸受けを使用しているので、潤滑油成分
がレーザガス中に混入して光学部品を汚染し、出力低下
をもたらす。したがっである程度の時間運転を行うと、
レーザ出力を回復させるために光学部品を清掃するかあ
るいは光学部品を交換する必要がある。これを従来はオ
ペレータが運転時間を計測し、オペレータが判断して、
光学部品の清掃または交換を行なっていた。
しかし、オペレータが運転時間を計測し、オペレータが
判断して、光学部品の清掃・交換を行う方法は、以下の
ような課題がある。
判断して、光学部品の清掃・交換を行う方法は、以下の
ような課題がある。
すなわち、オペレータが計測作業を忘れたり、誤った計
測あるいは誤った判断をした場合には、真に交換作業が
行われるべきときに、これが行われない。このような事
態が発生すると、レーザ発振装置の出力パワーが低下す
るので、加工効率の低下やワークの加工不良が発生する
。
測あるいは誤った判断をした場合には、真に交換作業が
行われるべきときに、これが行われない。このような事
態が発生すると、レーザ発振装置の出力パワーが低下す
るので、加工効率の低下やワークの加工不良が発生する
。
また、汚れた光学部品をそのまま使用し続けると、汚れ
がレーザ光を吸収し加熱され、光学部品自体が損傷を受
け、清掃作業では復旧できなくなることもある。したが
って光学部品の清掃・交換時期の判定は、レーザ発振装
置の性能維持及び寿命に直接関係してくる重要なポイン
トの１つであり、また高額な光学部品の交換時期につい
ては経済性にも影響する。
がレーザ光を吸収し加熱され、光学部品自体が損傷を受
け、清掃作業では復旧できなくなることもある。したが
って光学部品の清掃・交換時期の判定は、レーザ発振装
置の性能維持及び寿命に直接関係してくる重要なポイン
トの１つであり、また高額な光学部品の交換時期につい
ては経済性にも影響する。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、レ
ーザ発振装置の光学部品の清掃時期と交換確率を表示装
置を通してオペレータに伝えるようにしたＮＣレーザ装
置を提供することを目的とする。
ーザ発振装置の光学部品の清掃時期と交換確率を表示装
置を通してオペレータに伝えるようにしたＮＣレーザ装
置を提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、数値制御装置と
レーザ発振器が結合したＮＣレーザ装置において、 レーザの発振時間を計測する計測手段と、レーザ出力パ
ワーを測定するパワー測定手段と、前記発振時間が光学
部品の使用寿命に基づく所定の時間以内で、出力パワー
の低下率が規定値以上のときは、光学部品の清掃を指示
する表示を行い、同時に光学部品の交ｔ＊確率を表示す
る手段と、を有することを特徴とするＮＣレーザ装置が
、提供される。
レーザ発振器が結合したＮＣレーザ装置において、 レーザの発振時間を計測する計測手段と、レーザ出力パ
ワーを測定するパワー測定手段と、前記発振時間が光学
部品の使用寿命に基づく所定の時間以内で、出力パワー
の低下率が規定値以上のときは、光学部品の清掃を指示
する表示を行い、同時に光学部品の交ｔ＊確率を表示す
る手段と、を有することを特徴とするＮＣレーザ装置が
、提供される。
レーザの発振時間を計測し、レーザ出力パワーを測定す
る。出力パワーの低下率が規定値以上のときは、オペレ
ータに対して光学部品の清掃を１旨示する表示を行い、
同時に交換確率を表示する。
る。出力パワーの低下率が規定値以上のときは、オペレ
ータに対して光学部品の清掃を１旨示する表示を行い、
同時に交換確率を表示する。
この表示に基づいて清掃あるいは交換をすればよく、従
ってオペレータは時間の計測等の必要がなくなり、保守
が容易になると同時に、保守部品の経済性が向上する。
ってオペレータは時間の計測等の必要がなくなり、保守
が容易になると同時に、保守部品の経済性が向上する。
〔実施例］
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明を実施するためのＮＣレーザ装置の構成
図を示す。１は全体を制御するＣＰＵ、２は出力制御回
路であり、出力指令値を電流指令値に変換して出力し、
その内部にディジタル値をアナログ出力に変換するＤＡ
コンバータを内蔵している。３はレーザ用電源であり、
商用電源を整流して、出力制御回路２からの指令に応じ
た高周波の電圧を出力する。４は放電管であり、内部に
レーザガスを循環させ、レーザ川霧ａ３からの高周波電
圧を印加して、レーザガスを励起状態にする。５はレー
ザ光を反射する全反射鏡、６は出力鏡であり、レーザ光
はこの全反射鏡５と出力鏡６間を往復することにより、
励起されたレーザガスからエネルギーを受けて、増幅さ
れ、出力鏡６から一部が外部に出力される。出力された
レーザビーム９はペンダミラー７で方向を変え、集光レ
ンズ８によって、ワークの表面に照射される。
図を示す。１は全体を制御するＣＰＵ、２は出力制御回
路であり、出力指令値を電流指令値に変換して出力し、
その内部にディジタル値をアナログ出力に変換するＤＡ
コンバータを内蔵している。３はレーザ用電源であり、
商用電源を整流して、出力制御回路２からの指令に応じ
た高周波の電圧を出力する。４は放電管であり、内部に
レーザガスを循環させ、レーザ川霧ａ３からの高周波電
圧を印加して、レーザガスを励起状態にする。５はレー
ザ光を反射する全反射鏡、６は出力鏡であり、レーザ光
はこの全反射鏡５と出力鏡６間を往復することにより、
励起されたレーザガスからエネルギーを受けて、増幅さ
れ、出力鏡６から一部が外部に出力される。出力された
レーザビーム９はペンダミラー７で方向を変え、集光レ
ンズ８によって、ワークの表面に照射される。
１０は加ニブログラム及びパラメータ等が格納されてい
るメモリであり、不揮発性のバブルメモリ等が使用され
る。１１は位置制御回路であり、その出力はサーボアン
プ１２によって増幅され、サーボモータ１３を回転制御
し、ボールスクリュー１４及びナツト１５によってテー
ブル１６の移動を制御し、ワーク１７の位置を制御する
。１８は表示装置であり、ＣＲＴ或いは液晶装置等が使
用される。、１９はレーザ発振装置の出力パワーレベル
を測定するパワーセンサであり、全反射鏡５の一部を透
過させて出力されたモニター用レーザ出力を、熱電ある
いは光電変換素子等を用いて測定する。
るメモリであり、不揮発性のバブルメモリ等が使用され
る。１１は位置制御回路であり、その出力はサーボアン
プ１２によって増幅され、サーボモータ１３を回転制御
し、ボールスクリュー１４及びナツト１５によってテー
ブル１６の移動を制御し、ワーク１７の位置を制御する
。１８は表示装置であり、ＣＲＴ或いは液晶装置等が使
用される。、１９はレーザ発振装置の出力パワーレベル
を測定するパワーセンサであり、全反射鏡５の一部を透
過させて出力されたモニター用レーザ出力を、熱電ある
いは光電変換素子等を用いて測定する。
ここで、ＣＰＵＩは毎回の運転時に於いて、レーザが発
振している時間を計測し、積算している。
振している時間を計測し、積算している。
まず、ＮＣレーザ装置の立ち上げ時に、ＣＰＵＩは所定
の出力値（パワー指令値）をレーザ発振器の出力制御回
路２に指令する。そして実際に出力されたレーザ出力を
パワーセンサ１９によりモニタし、その実出力値をＣＰ
ＵＩが読み込む。ＣＰＵ１は実出力値をパワー指令値と
比較してその低下率（パワー低下率）を計算する。パワ
ー低下率が所定の限界値を越えていて、かつレーザの発
振時間が所定の時間以内の場合は、ＣＰＵＩはＣＲＴｌ
Ｂに光学部品の清掃を指示する表示を行い、同時に交換
確率を表示する。
の出力値（パワー指令値）をレーザ発振器の出力制御回
路２に指令する。そして実際に出力されたレーザ出力を
パワーセンサ１９によりモニタし、その実出力値をＣＰ
ＵＩが読み込む。ＣＰＵ１は実出力値をパワー指令値と
比較してその低下率（パワー低下率）を計算する。パワ
ー低下率が所定の限界値を越えていて、かつレーザの発
振時間が所定の時間以内の場合は、ＣＰＵＩはＣＲＴｌ
Ｂに光学部品の清掃を指示する表示を行い、同時に交換
確率を表示する。
ここで、交換確率とは光学部品の寿命に対する実際の発
振時間の比である０例えば、寿命が２０００時間と規定
されている光学部品が５００時間使用後にパワー低下率
が所定の限界値を越えた場合には、交換確率の値は２５
％と表示される。従って、この場合には交換確率の値は
低いので、オペレータは、光学部品を清掃することによ
ってパワーが回復する可能性が高いと判断することがで
きる。逆に、交換確率が高い場合、例えば１９００時間
使用後にパワーの低下率が所定の限界値を越えた場合に
は、交換確率は９５％と表示されるので、オペレータは
、光学部品を清掃するよりも交換した方が良いと判断す
ることができる。
振時間の比である０例えば、寿命が２０００時間と規定
されている光学部品が５００時間使用後にパワー低下率
が所定の限界値を越えた場合には、交換確率の値は２５
％と表示される。従って、この場合には交換確率の値は
低いので、オペレータは、光学部品を清掃することによ
ってパワーが回復する可能性が高いと判断することがで
きる。逆に、交換確率が高い場合、例えば１９００時間
使用後にパワーの低下率が所定の限界値を越えた場合に
は、交換確率は９５％と表示されるので、オペレータは
、光学部品を清掃するよりも交換した方が良いと判断す
ることができる。
次に上記の実施例のソフトウェアの処理について述べる
。第２図に本実施例のソフトウェアのフローチャート図
を示す。
。第２図に本実施例のソフトウェアのフローチャート図
を示す。
〔Ｓ１〕レーザ加工機立ち上げ時に、ＣＰＵＩはレーザ
出力制御回路２に所定の出力値（パワー指令値）を指令
する。
出力制御回路２に所定の出力値（パワー指令値）を指令
する。
〔Ｓ２〕実出力値を、パワーセンサ１９を通じて読み込
む。
む。
〔Ｓ３〕パワー指令値と実出力値とからパワー低下率を
計算する。
計算する。
〔Ｓ４〕パワー低下率が所定の限界値を越えているかど
うかを調べる。越えている場合はＳ５へ進む。越えてい
ない場合は終了する。
うかを調べる。越えている場合はＳ５へ進む。越えてい
ない場合は終了する。
〔Ｓ５〕光学部品の清掃指示及び交換確率をＣＲＴｌＢ
に表示する。
に表示する。
このように、オペレータは運転時間を計測したり、出力
パワーを測定したりすることなしに、最適な清掃あるい
は交換時期を判断することができる。この結果オペレー
タの光学部品の清掃忘れによる加工不良等を防ぐことが
でき、また高額な光学部品の無駄な交換を行わなくても
すむようになる。
パワーを測定したりすることなしに、最適な清掃あるい
は交換時期を判断することができる。この結果オペレー
タの光学部品の清掃忘れによる加工不良等を防ぐことが
でき、また高額な光学部品の無駄な交換を行わなくても
すむようになる。
置の発振時間を計測し、レーザ出力パワーを測定してパ
ワー低下率を計算し、この発振時間とパワー低下率の値
に基づいてレーザ発振装置の光学部品の清掃指示及び交
換確率をＣＲＴに表示させるようにしたので、光学部品
の劣化度に関して、オペレータが計測する必要がなくな
り、さらに交換時期については交換確率の値に基づいて
オペレータが判断することができるので、光学部品を無
駄に交換することなしに経済的に使用することができる
。従って、ＮＣレーザ装置の長期的安定性、及び経済性
が向上する。
ワー低下率を計算し、この発振時間とパワー低下率の値
に基づいてレーザ発振装置の光学部品の清掃指示及び交
換確率をＣＲＴに表示させるようにしたので、光学部品
の劣化度に関して、オペレータが計測する必要がなくな
り、さらに交換時期については交換確率の値に基づいて
オペレータが判断することができるので、光学部品を無
駄に交換することなしに経済的に使用することができる
。従って、ＮＣレーザ装置の長期的安定性、及び経済性
が向上する。
第１図は本発明の一実施例に使用するＮＣレーザ装眞の
構成図、 第２図は本発明の一実施例のソフトウェアのフローチャ
ート図である。 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明では、レーザ発振装置 −−
−−−−−−−−−−−−−ＣＰ Ｕ２−−−−−−・
・−・−・出力制御回路３−−−−−−−−一・・−・
レーザ用電源４− −−・−放電管 ９−・−・−・・−・・レーザビーム ０・−−−一−−−−・−−一−−メモリ１−・−−−
ｍ−・・・−位置制御回路８−−−−−−−−・−・・
−ＣＲＴ ９ パワーセンサ 特許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第２図
構成図、 第２図は本発明の一実施例のソフトウェアのフローチャ
ート図である。 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明では、レーザ発振装置 −−
−−−−−−−−−−−−−ＣＰ Ｕ２−−−−−−・
・−・−・出力制御回路３−−−−−−−−一・・−・
レーザ用電源４− −−・−放電管 ９−・−・−・・−・・レーザビーム ０・−−−一−−−−・−−一−−メモリ１−・−−−
ｍ−・・・−位置制御回路８−−−−−−−−・−・・
−ＣＲＴ ９ パワーセンサ 特許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第２図
Claims (3)
- （１）数値制御装置とレーザ発振器が結合したＮＣレー
ザ装置において、 レーザの発振時間を計測する計測手段と、 レーザ出力パワーを測定するパワー測定手段と、前記発
振時間が光学部品の使用寿命に基づく所定の時間以内で
、出力パワーの低下率が規定値以上のときは、光学部品
の清掃指示を表示し、同時に光学部品の交換確率を表示
する手段と、 を有することを特徴とするＮＣレーザ装置。 - （２）前記交換確率は前記光学部品の寿命と前記発振時
間の比として求めるようにしたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のＮＣレーザ装置。 - （３）前記出力パワーの測定はレーザ発振器の立ち上げ
時に行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
ＮＣレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63126874A JPH021189A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | Ｎｃレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63126874A JPH021189A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | Ｎｃレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH021189A true JPH021189A (ja) | 1990-01-05 |
Family
ID=14945981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63126874A Pending JPH021189A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | Ｎｃレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH021189A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03257978A (ja) * | 1990-03-08 | 1991-11-18 | Fujitsu Ltd | レーザ寿命検出方式 |
| WO1993021672A1 (en) * | 1992-04-13 | 1993-10-28 | Fanuc Ltd | Controller for laser oscillator |
| US5504766A (en) * | 1992-04-13 | 1996-04-02 | Fanuc, Ltd. | Controller for laser beam oscillator |
| EP0789431A3 (en) * | 1996-02-12 | 1998-05-20 | Cymer, Inc. | Maintenance strategy control system for gas discharge lasers |
| JP2008114228A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工機 |
| JP2021502256A (ja) * | 2017-11-09 | 2021-01-28 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 積層造形のための光学縦列監視 |
| WO2021126520A1 (en) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | Cymer, Llc | Predictive apparatus in a gas discharge light source |
-
1988
- 1988-05-24 JP JP63126874A patent/JPH021189A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03257978A (ja) * | 1990-03-08 | 1991-11-18 | Fujitsu Ltd | レーザ寿命検出方式 |
| WO1993021672A1 (en) * | 1992-04-13 | 1993-10-28 | Fanuc Ltd | Controller for laser oscillator |
| US5504766A (en) * | 1992-04-13 | 1996-04-02 | Fanuc, Ltd. | Controller for laser beam oscillator |
| EP0789431A3 (en) * | 1996-02-12 | 1998-05-20 | Cymer, Inc. | Maintenance strategy control system for gas discharge lasers |
| JP2008114228A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工機 |
| JP2021502256A (ja) * | 2017-11-09 | 2021-01-28 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 積層造形のための光学縦列監視 |
| WO2021126520A1 (en) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | Cymer, Llc | Predictive apparatus in a gas discharge light source |
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