KR0175953B1 - 코너헤드형 열헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

코너헤드형 열헤드 및 그 제조방법 Download PDF

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KR0175953B1 KR1019940013084A KR19940013084A KR0175953B1 KR 0175953 B1 KR0175953 B1 KR 0175953B1 KR 1019940013084 A KR1019940013084 A KR 1019940013084A KR 19940013084 A KR19940013084 A KR 19940013084A KR 0175953 B1 KR0175953 B1 KR 0175953B1
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Abstract

본 발명은 열헤드, 특히 인자효율을 향상시킨 코너해드형 열헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로써, 히터영역(13)에서 절연기판(10)의 히터 영 역 (13)에 근접한 끝가장자리측의 측면(17)에 걸쳐 경사면(18)이 설치되어 있고, 경사면(18)상에 저항막층(12) 및 공퉁전극(15)이 설치되어 있으며, 이 경사면(18)은 볼록곡면으로 형성되어 있고, 또한 경사면(18)에는 저항막층(12)아래에 공통전극(15)을 따르는 보강도체(20)가 매립되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

코너헤드형 열헤드및 그 제조방법
제1도는 본 발명의 기초가 되는 코너헤드형 열헤드의 제1실시예의 단면도
제2도는 본 발명의 기초가 되는 코너헤드형 열헤드의 제2실시예의 단면도.
제3도는 본 발명에 관련되는 코너헤드형 열헤드의 제3실시예의 단면도.
제4도는 본 발명에 관련되는 코너헤드형 열헤드의 제4실시예의 단면도.
제5도는 본 발명에 관련되는 코너헤드형 열헤드의 제5실시예의 단면도.
제6도는 본 발명에 관련되는 코너헤드형 열헤드의 제6실시예의 단면도.
제7도는 본 발명에 관련되는 코너헤드형 열헤드의 제7실시예의 단면도.
제8도는 본 발명에 관련되는 코너헤드형 열헤드의 제8실시예의 단면도.
제9도는 본 발명에 관련되는 코너헤드형 열헤드의 제9실시예의 단면도.
제10도는 본 발명에 관련되는 코너헤드형 열헤드의 제10실시예의 단면도.
제11도는 제1도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제12도는 제1도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제13도는 제1도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제14도는 제1도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제15도는 제1도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제16도는 제1도에 있어서의 코너헤드형 열헤드를 사용한 프린터의 인자(印字)기구의 설명 도.
제17(a)(b)도는 본 발명에 관련되는 전체면글레이즈타입의 코너헤드형 열헤드의 제조방법의 설명도.
제18(a)(b)도는 제2도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법의 설명도.
제19도는 본 발명의 제14실시예에 관련되는 코너헤드형 열헤드의 단면도.
제20도는 제3도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제21도는 제3도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도,
제22도는 제3도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도,
제23도는 제3도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도,
제24도는 제3도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제25도는 제3도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제26도는 제7도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제27도는 제7도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제28도는 제7도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제29도는 제7도에 있어서의 코너헤드형 열혜드의 제조방법을 나타내는 공정도.
제30도는 종래에 있어서의 니어에지형 열헤드의 한 예의 단면도.
제31도는 제30도에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 한 예의 단면도.
제32도는 종래에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 한 예의 단면도.
제33(a)도는 종래에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 다른 예의 단면도.
제33(b)도는 종래에 있어서의 코너헤드형 열헤드의 다른 예의 평면도.
제34도는 종래에 있어서의 코너헤드형 열헤드를 사용한 프린터의 인자기구의 설명도이다.
본 발명은 열헤드, 특히 인자효율을 향상시킨 코너헤드형 열헤드및 그 제조방법에 관한 것이다.
열헤드에 있어서는 러프지에 대응한 인자를 실시하기 위해, 그리고 인자효율의 향상을 위해, 히터영역에 있어서 리본, 피인자지(被印字紙)및 인자판에 대한 압력집중이 필요하다.
이 때문에 종래부터 열헤드의 가장자리 근처에 히터영역이 설치된 니어에지(near edge)형 열헤드를 인자판에 대하여 비스듬히 설치하고 리본및 피인자지에 대한 압력을 히터영역 및 그 근처에 집중시키는 것이 실시되고 있다. 이와 같은 니어에지형 열헤드는, 예를 들면 일본국 실공평4-46929호 공보에 개시되어 있으며 그 예가 제30도및 제31도에 도시된다.
제30도에는 니어에지형 열헤드의 단면도가 도시되고 기판(substrate) (10)상에 글레이즈층(11)이 형성되어 있으며 이 위에 저항막층(12), 전극(14)(15), 보호막(16)이 설치되어 있다.
이 열헤드를 사용하는 경우는 제31도에 나타내어지는 바와같이 인자판(51)(platen) 의 밑에 피인자지(30)가 배치되고 그 아래에서 리본(31)이 열헤드(50)에 의해 피인자지(30)에 밀어 내어진다. 그때 열헤드(50)는 운반대(52)에 의해 인자판(51)에 대하여 비스듬하게 지지되어 있다. 제30도에 나타내어지는 바와 같이 열헤드(50)의 가장자리에는 글레이즈층(11)과 기판(10)에 의하여 구성된 경사면(18)이 형성되어 있으며 열헤드(50)를 기울였을 때의 리본(31)의 통과를 용이하게 하고 있다. 다만 경사면(18)과 글레이즈층(11)측의 윗면이 교차하는 부분, 즉 코너부는 히터영역(13)에 걸려 있지 않다.
이 니어에지형 열헤드는 히터부의 곡률이 작고 또 히터영역이 코너부를 넘는 형태로 형성되어 있지 않기 때문에 인자판(51)에 대한 경사각도를 크게 할 수 없다. 이 각도는 겨우 수도에서 많아도 10도 미만이다. 이 때문에 리본및 피인자지에 대한 압력의 집중을 그다지 높게 할 수 없고 인자효율이 불충분하고 러프지에 대하여 양호한 인자를 얻는데는 이르지 않았다.
이 문제를 해결하기 위해 열헤드의 가장자리 근처에 설치된 글레이즈층에 상기 코너부를 형성하고, 이 코너부를 넘는 형태로 히터영역이 형성된 코너헤드형 열헤드가 사용되고 있다. 이와 같은 예가 제32, 33도에 나타내어진다.
제32도에는 종래의 코너헤드형 열헤드의 한 예의 단면도가 나타내어져 있다. 도면에 있어서, 기판(10)상에 글레이즈층(11)이 형성되고 글레이즈층(11)상에 저항막층(12)이 형성되어 있다. 이 예의 글레이즈층(11)은 부분글레이즈타입이며 단면형상이 산모양으로 되어 있다. 이 산의 꼭대기부에는 인자 동작때에 소정의 부분이 발열하는 히터영역(13)이 형성되어 있다. 히터영역(13)에서 기판(10)의 히터영역(13)에 근접한 가장자리측의 측면(17)에 걸쳐서는 경사면(18)이 설치되어 있다. 경사면(18)상에는 공통전극(15)이 설치되고 히터영역(13)을 끼워서 공통전극(15)에 대향하는 영역이며 저항막층(12)상의 영역에는 공통전극(15)과 협동하여 히터영역(13)의 소정 부분에 전류를 공급하는 개별전극(14)이 형성되어 있다. 본 예의 경우 전류는 공통전극(15)에서 히터영역(13)의 저항막층(12)을 경유하여 개별전극(14)에 흐른다.
제32도에서 알 수 있는 바와 같이 경사면(18)의 글레이즈층(11)측의 단부, 즉 코너부는 히터영역(13)에 걸리도록 형성되어 있다. 따라서 히터영역(13)은 코너부를 넘는 형태로 형성되어 있다. 또 최상층에는 보호막(16)이 형성되어 있다.
또 제33도에는 종래의 코너헤드형 열헤드의 다른 예가 도시되어 있으며 상기 제32도와 동일부재에는 동일부호를 붙여서 설명을 생략한다.
제33(a)도에는 이 예의 단면도가 도시되어 있으며 개별전극(14)및 공통전극(15)을 히터영역(13)에 대하여 같은 측에 설치하고 히터영역(13)을 끼워서 개별전극(14) 및 공통전극(15)에 대향하는 접힌(floded) 공통전극 (45)이 설치되어 있다.
이들의 배치는 제33(b)도에 부분적인 평면도로써 나타내어진다. 제33(b)도에 있어서, 전원전압은 각 공통전극(15)에 공급되고 히터영역(13)및 접힌 공통전극(45)을 통하여 개별전극(14)에 전류가 흐른다.
다음으로 상기 종래의 코너헤드형 열헤드의 사용예가 제34도에 도시된다.
제34도에 있어서, 코너헤드형 열헤드(50)를 인자판(51)에 대하여 비스듬히 설치하고, 리본(31)및 피인자지(30)에 대한 압력을 히터영역(13)에 집중시킴이 행해지고 있다. 이 경우 코너헤드형 열헤드(50)의 경사각도는 니어에지형 열헤드의 경우보다 크게 할 수 있고 통상 10회에서 35회 정도로 하는 것이 가능하다 또 히터부의 곡률도 니어에치형 열헤드보다 크게 할 수 있다. 이 문에 압력의 집중도가 높아지고 인자효율을 향상시킬 수 있다.
그러나 이 경사면(18)은 평면상이기때문에 열헤드의 측면과 경사면(18)의 교차부(20)에는 모가 나있다. 또 히터부의 곡률이 커져서 리본(31)및 피인자지(30)에 대한 헤드의 박힘이 깊어지는 동시에 경사각도가 증가하기 때문에 니어에지형의 경우보다 교차부(20)가 리본(31)등에 접근하게 된다.
이 때문에 리본(31)이 교차부(20)상을 미끄럼운동 접촉하여 깎이거나 끊기고, 또 피인자지(30)가 리본(31)의 깎인 가루에 의해 인자오점을 일으키는 문제가 있었다.
또한 피인자지(30)로써 감열지를 사용하는 경우에도 감열지가 교차부(20)의 위를 미끄럼운동 접촉하여 바탕오점이 발생하는 문제도 있었다.
또 상기 제32도에 도시된 종래예에 있어서 경사면(18)의 폭(L)은 200㎛ 정도이다. 따라서 이 부분에 형성되는 공통전극(15)의 폭은 200㎛ 이하로 제한되고, 또 공통전극(15)의 두께를 두껍게 하면 리본이 걸리는등의 불합리가 생기기 때문에 두께도 제한된다. 이 때문에 종래의 코너헤드형 열헤드에 있어서는 히터영역을 길게 하거나 히터수를 많게 하면 공통전극(15)이 갖는 저항값이 커지고 전원전압이 공급되는 부분에서 멀리 떨어진 부분의 전압강하가 커지고 인자품질이 악화된다는 문제가 있었다.
한편 제33도에 도시된 종래예에 있어서는 각 공통전극(15)에 각각 전원을 접속하기 때문에 전압강하를 저감할 수 있고 상기 문제에 대응할 수 있다.
그러나 제33도에 도시한 예에서는 한 화소에 대응하는 히터영역(13)의 실질적면적이 제32도에 나타내어지는 예의 배가 되고 미세 패턴이 요구되는 경우에 대응할수 없다는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 종래의 과제를 감안하여 이루어진 것으로 그 목적은 코너헤드의 이점을 손상하는 일없이 인자오점, 리본의 깎임, 리본의 끊김등을 일으키지 않고 코너헤드형 열헤드를 제공하는 것및 공통전극의 저항값의 저감을 싼 값으로 실현하고 히터수가 많은 대형의 코너헤드형 열헤드를 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기위해 본 발명은 코너헤드형 열헤드에 있어서, 기판상에 설치된 글레이즈층과, 상기 글레이즈층의 윗면의 소정위치에서 기판측면에 걸쳐서 형성된 경사면과, 상기 경사면과 상기 글레이즈층의 윗면이 교차하여 형성된 볼록상의 코너부와, 상기 경사면상 및 상기 글레이즈층상에 설치된 저항막층과, 상기 코너부의 꼭대기부를 넘어서 형성된 히터영역과, 상기 경사면영역에 있어서 상기 저항막층상에 설치된 공통전극과, 상기 히터영역을 끼워서 상기 공통전극에 대향한 영역에 있어서 상기 저항막층상에 설치되어 상기 공통전극과 협동하여 상기 히터영역의 소정의 부분에 전류를 흘리는 개별전극을 구비하고, 상기 경사면중 적어도 상기 기판측면과의 교차부가 볼록형곡면으로 형성되어 있는 것을 기초로 한다.
또한 본 발명은 코너헤드형 열헤드에 있어서, 상기 경사면의 전체면이 볼록형곡면으로 형성되어 있는 것을 기초로 한다.
또 특허청구범위에 관련되는 발명은 코너헤드형 열헤드에 있어서 기판상에 설치된 글레이즈층과, 상기 글레이즈층의 윗면의 소정위치에서 기판측면에 걸쳐서 형성된 경사면과, 상기 경사면과 상기 글레이즈층의 윗면이 교차하여 형성된 볼록상의 코너부와, 상기 경사면상 및 글레이즈층상에 설치된 저항막층과, 상기 코너부의 꼭대기부를 넘어서 형성된 히터영역과, 상기 경사면영역에 있어서 상기 저항막층상에 설치된 공통전극과, 상기 경사면영역에 있어서 상기 공통전극과 함께 상기 저항막층을 상하에서 끼우도록 설치된 보강도체와, 상기 히터영역을 끼우고 상기 공통전극에 대향한 영역에 있어서 상기 저항막층상에 설치되어 상기 공통전극 및 상기 보강도체와 협동하여 상기 히터영역의 소정부분에 전류를 흘리는 개별전극을 구비한 것을 특징으로 한다.
또 특허청구범위에 -관련되는 발명은 코너헤드형 열헤드에 있어서, 상기 경사면 중 적어도 상기 기판측면과의 교차부가 볼록형곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또 특허청구범위에 관련되는 발명은 코너헤드형 열헤드에 있어서, 상기 경사면의 전체면이 볼록형곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또 특허청구범위에 관련되는 발명은 코너헤드형 열헤드의 제조방법이 기판상에 글레이즈층을 형성하는 단계와, 적어도 선단 근처가 오목형곡면으로 형성된 경사부를 갖는 절단블레이드에 의해 상기 글레이즈층의 윗면의 소정위치보다 아랫쪽을 향하여 상기 글레이즈층 및 상기 기판을 하프컷하고 상기 글레이즈층을 포함하는 측면중 하나가 바닥부 근처가 볼록형곡면의 경사면인 구멍을 형성하는 단계와, 상기 기판 및 상기 글레이즈층을 열처리하는 단계와, 상기 글레이즈층상 및 상기 경사면상에 저항막층, 공통전극, 개별전극 및 보호막을 형성하는 단계와, 상기 구멍의 양측면에 있어서 상기 기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 특허청구범위에 관련되는 발명은 코너헤드형 열헤드의 제조방법이며 상기 절단블레이드의 경사부 전체가 오목형곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또 특허청구범위에 관련되는 발명은 코너헤드형 열헤드의 제조방법이 기판상에 글레이즈층을 형성하는 단계와, 상기 글레이즈층의 윗면에서 아랫쪽을 향하여 상기 글레이즈층의 일부를 포함한 영역을 하프컷(half-cut) 하여 구멍을 형성하는 단계와, 상기 구멍속에 도체를 매립하는 단계와, 경사부를 갖는 절단블레이드에 의해 상기 글레이즈층의 윗면의 소정의 위치보다 아랫쪽을 향하여 상기 글레이즈층 및 상기 기판을 하프컷하고 상기 글레이즈층에서 상기 기판에 걸쳐 상기도체의 일부를 남긴 상태에서 경사면을 형성하는 단계와, 상기기판 및 상기 글레이즈층을 열처리하는 단계와, 상기 글레이즈층상및 상기 경사면상에 저항막층, 공통전극, 개별전극및 보호막을 형성하는 단계와, 상기 경사면을 한쪽 측면으로 하는 홈의 양측면에 있어서 상기 기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 특허청구범위에 관련되는 발명은 코너헤드형 열헤드의 제조방법이며 상기 경사부를 갖는 절단블레이드의 적어도 선단 근처에 있어서, 상기 경사부가 오목형곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또 특허청구범위에 관련되는 발명은 코너헤드형 열헤드의 제조방법이며 상기 경사부를 갖는 절단블레이드의 상기 경사부의 전체면이 오목형곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기의 본 발명에 따르면 열헤드의 히터영역에서 기판의 단면측의 측면에 걸쳐서 설치된 경사면의 전부 또는 그 경사면과 기판의 측면의 교차부가 볼록형 곡면으로 형성되어 있기 때문에 리본이 경사면상을 미끄럼운동 접촉해도 리본의 깎임, 리본의 끊김등을 일으키지 않는다.
또 경사면의 저항막층의 아래에 공통전극을 따라서 보강도체가 매립되어 있기 때문에 공통전극과 보강도체의 협동에 의해 공통전극 및 보강도체의 전체로써의 저항값이 작아진다.
이하 본 발명의 가장 적절한 실시예를 도면을 기초로 하여 설명한다.
[제1실시예]
제1도에는 본 발명의 기초가 되는 제1실시예의 단면도가 도시되고 상기한 종래예와 동일부재에는 동일부호를 붙이고 있다.
제1도에 있어서, 기판(10)상의 단면 근처에 글레이즈층(11)이 형성되고 이 글레이즈층(11)상에는 저항막층(12)이 형성되어 있다. 이 경우 글레이즈층(11)은 그 단면이 산모양으로 형성되어 있으며 이 산의 꼭대기부, 즉 코너부에 히터영역(13)을 형성해야 하여 일정한 간격을 두고 개별전극(14)과 공통전극(15)이 설치되어 있다. 이들의 저항막층(12), 개별전극(14) 및 공통전극(15)은 보호막(16)에 의하여 덮여 있다.
제1도에 나타내어지는 실시예에 있어서 특징적인 것은 히터영역(13)의 산의 꼭 대기부(코너부)에서 기판(10)의 상기 단면측의 측면(17)에 걸쳐서 경사면(18)이 형성되어 있으며 이 경사면(18) 전체가 볼록형의 곡면으로 형성되어 있는 점이다.
[제2실시예]
제2도에는 본 발명의 기초가 되는 제2실시예의 단면도가 도시된다. 제1도와 동일부재에는 동일부호를 붙여서 설명을 생략한다.
제2도에 도시한 실시예에 있어서 특징적인 것은 히터영역(13)에서 기판(10)의 측면(17)에 걸쳐서의 경사면(18)이 측면(17)과 교차하는 교차부(20)가 볼록형의 곡면으로 형성되어 있는 점이다.
이상 서술한 대로 제1도 및 제2도에 도시된 제1 및 제2실시예에 있어서는 경사면(18)의 전부 또는 경사면(18)과 측면(17)의 교차부(20)가 볼록형의 곡면으로써 형성되어 있기 때문에 이 부분에 리본이 미끄럼 접촉해도 리본이 깎이거나 끊기는 일은 없다.
[제3실시예]
제3도에는 본 발명의 제3실시예의 열헤드의 단면도가 도시되고 상기한 종래예와 동일부재에는 동일부호를 붙여서 설명을 생략한다.
제3도에 있어서는 상기한 종래예와 똑같이 히터영역(13)에서 기판(10)의 측면(17)에 걸쳐서 경사면(18)이 형성되어 있다. 이 경사면(18)상에는 저항막층(12)이 형성되어 있으며 저항막층(12)상에는 공통전극(15)이 설치되어 있다. 그리고 경사면(18)에는 저항막층(12)의 아래에 공통전극(15)을 따른 보강도체(35)가 매립되어 있다. 즉 공통전극(15)과 보강도체(35)에 의하여 저항막층(12)이 끼워져 있으며 공통전극(15)과 보강도체(35)는 각각 저항막층(12)과 전기적으로 접촉하고 있다.
본 발명에 있어서 특징적인 것은 상기한 대로 경사면(18)에 공통전극(15)을 따른 보강도체(35)가 매립된 것이다. 이에 따라 히터영역(13)에 대한 전력의 공급은 공통전극(15)과 보강도체(35)를 협동시켜서 실시할 수 있다 따라서 공통전극(15) 및 보강도체(35)의 전체로써 전기저항이 내려가기 때문에 공통전극(15)에 있어서의 전압강하를 큰 폭으로 줄일수 있다.
상기한 바와같이 공통전극부의 전기저항을 내리는 효과는 공통전극(15)근처에 보강도체(35)를 설치함에 따라 달성할 수 있는데 이하에 제3도에 나타내어진 실시예와 똑같은 효과를 이루는 본 발명의 다른 실시예를 설명한다.
[제4실시예]
제4도에 도시된 실시예는 경사면(18)에 매립된 보강도체(35)가 기판(10)만이 아니라 글레이즈층(11)에도 이르고 있는 예이다. 이에 따라 보다 넓은 영역에 보강도체(35)를 형성할 수 있다.
[제5실시예]
제5도에 도시된 실시예는 경사면(18)에 매립된 보강도체(35)가 기판의 측면(17)에까지 이르고 있는 예이다.
[제6실시예]
제6도에 도시된 실시예는 제3도에 나타내어진 예와 유사하지만 글레이즈층이 전체면 글레이즈타입인 정이 달라져 있다.
[제7실시예]
제7도에 도시된 실시예는 보강도체(35)의 단면형상이 다른 예이다.
[제8실시예]
제8도에 도시된 실시예는 열헤드의 단면형상이 제3도에 나타내어지는 예와 조금달라 있지만 보강도체(35)에 대해서는 제3도에 나타내어지는 예와 똑같은 것이다.
이상 나타내어진 각 실시예는 각각의 열헤드의 용도에 따라서 적절히 선택할 수 있는 것이다.
[제9실시예]
제9도에는 본 발명의 제9실시예가 도시된다.
제9도에 도시된 실시예에 있어서 특징적인 것은 제1실시에, 즉 경사면(18) 전체가 볼록형의 곡면에 형성된 코너헤드형 열헤드에 있어서, 제3실시예와 똑같이 경사면(18)의 저항막층(12)아래에 공통전극(15)을 따른 보강도체(35)가 매립되어 있는 점이다.
[제10실시예]
제10도에는 본 발명의 제10실시예가 도시된다.
제10도에 도시된 실시예에 있어서 특징적인 것은 제2실시예, 즉 경사면(18)이 기판(10)의 측면(17)과 교차하는 교차부(20)가 볼록형의 곡면으로 형성된 코너헤드형 열헤드에 있어서, 제3실시예와 똑같이 경사면(18)의 저항막층(12)하에 공통전극(15)을 따른 보강도체(35)가 매립되어 있는 점이다.
[제11실시예]
다음에 상기 제1실시예의 코너헤드형 열헤드를 제조하는 방법을 설명한다. 제11도 내지 제15도는 이 제조공정을 나타낸다.
제11도에 도시된 공정에 있어서, 기판(10)의 윗면에, 산모양의 글레이즈층(11)이 형성된다.
제12도에 도시된 공정에 있어서, 글레이즈층(11)의 윗면에서 기판(10)을 향해 글레이즈층(11)의 일부가 남도록 블레이드(25)에 의해 하프컷을 실행한다. 이 블레이드(25)는 측면의 일부에 경사부(26)를 가지고 있고, 경사부(26)는 오목형의 곡면으로 형성되어 있다. 상기 하프컷을 하는 경우는 경사부(26)에 의해 글레이즈층(11)을 커트하기로 한다. 이것에 의해 글레이즈층(11)을 포함하는 측면이 비스듬한 있는 구멍(21)(제13도)이 형성된다.
본실시예에 있어서 특징적인 것은 이 하프컷에 의해 형성되는 구멍(21)의, 글레이즈층(11)과 기판(substrate)(10)에 의해 구성된 측면이 볼록형의 곡면으로 형성되는 점이다.
제13도에 도시된 공정에서, 상기 하프컷에 의해 구멍(21)이 형성된 기판(10)의 열처리를 실행한다. 이 열처리에 의해, 하프컷에 의해 글레이즈층(11)의 정상부(22)에 발생한 주물지느러미를 제거하고 꼭대기부(22)를 등그렇게 한다 또한 하프컷에 의해 형성된 구멍(21)의 면가운데 글레이즈커트부는 그 평활도(smoothness)가 낮지만 상기 열처리에 의해 면의 평활도도 향상한다. 이 때문에 이후에 계속되는 패턴형성이 용이하게 된다. 또한 도시하지는 않았지만 기판(10)은 열헤드를 여러개 취급할 수 있는 큰 기판이고, 구멍(21)은 여러개 형성된다.
제14도에 도시된 공정에 있어서, 저항막층(12), 개별전극(14) 및 공통전극(15)의 막을 형성한다. 이것은 포토리소그래피 (photolithography) 공정으로 형성된다. 이 경우 개별전극(14)과 공통전극(15)은 글레이즈층(11)의 꼭대기부 부근에 히터영역(13)을 형성하도록 일정한 간격을 두고 형성되어 있다.
또 보호막(16)을 형성하고, 제14도에 나타내는 바와 같이 분할전의 기판을 얻을 수 있다.
최후에 제14도에 도시된 A-A선으로 절단분할되고, 제15 도에 도시된 개별의 열헤드를 얻을 수 있다. 이상 서술한 공정에 의해 코너헤드형 열헤드가 완성되게 된다.
이상 설명한 본 발명에 의한 코너헤드형 열헤드의 제조방법에 있어서는, 하프컷에 의해 구멍(21)을 형성하고, 소정의 패턴형성후 절단 또는 크랙킹 (cracking)에 의해 개별의 열헤드를 얻으므로 다수의 열헤드를 용이하게 동시에 가공할 수 있다.
제16 도에는 본발명의 제11 실시예에 의해 제조된 제1 실시예에 의한 열헤드(50)를 사용한 프린터의 인자기구가 도시된다. 글레이즈층(11)과 인자판(51)사이에 인자지(30)와 리본(31)이 끼워져 히터영역(13)의 발열에 의해 인자가 행해진다. 그리고 열헤드의 단부에는 경사면(18)이 형성되고, 그 경사면(18)의 전체부 또는 경사면(18)과 기판(10)의 측면(17)과의 교차부가 볼록형의 곡면으로 형성되어 있기 때문에, 리본(31)은 미끄러운 면에 미끄럼운동 접촉하게 되어 리본의 깍임 또는 끊김을 방지할 수 있다.
[제12실시예]
상기 실시예에서는 부분글레이즈타입의 기판을 사용하는 경우에 대해서 설명하고 있지만, 본 발명에 의한 열헤드의 제조방법은 전체면글레이즈타입의 기판을 사용하는 경우에도 적용할 수 있다. 이 예가 제17도에 도시된다. 제17(a)도에 도시한 바와같이 기판(10)상에 전면글레이즈층(11)이 형성되어 있고, 이것을 상기 블레이드(25)에 의해 하프컷한다. 이것에 의해 제17(b)에 도시한 바와 같이 단부가 볼록형곡면으로 형성된 경사면을 가지는, 전체면 글레이즈타입의 열헤드가 형성된다.
[제13실시예]
다음에 제2도에 도시한 타입의 코너헤드형 열헤드를 제조하기 위해서는 제18(a)도에 도시한 바와같은 형태의 블레이드(25)를 사용하여 하프컷을 하면 좋다. 이 블레이드(25)의 경사부(26)는 오목형곡면으로 형성된 선단부(27)와 직선상부분(28)에 의해 형성되어 있다. 이후 상기 제13도 내지 제15도에서 나타내는 공정에 의해 제18(b)도에 도시한 열헤드가 제조된다. 제18(b)도에 도시된 열헤드는 제2도에 도시된 것과 같다.
[제14실시예]
제19도에 도시된 실시예는 제2도에 도시된 실시예와 유사한 것이지만, 교차부(20)의 형성방법이 다르다 본 실시예에 있어서는 도시하고는 있지 않지만, 사용하는 블레이드의 경사부는 직선상이 좋고, 기술한 방법으로 경사면(18)을 형성한 후, 경사면(18)과 절연기판(10)의 측면(17)이 교차하는 교차부(20)에 연마를 실시하여 둥그렇게 실행한 것이다.
[제15실시예]
다음에 제3 도에 도시한 열헤드의 제조방법에 대해서 설명한다.
본 제조방법은 제20도 내지 제25도에서 도시하고 있다. 제20도에 도시한 공정에 있어서 기판(10)위에 글레이즈층(11)이 형성된다.
제21도에 도시한 공정에 있어서, 다이싱(dicing)용 블레이드를 사용하여 글레이즈층(11)의 윗면에서 기판(10)까지 달하는 구멍(36)을 형성한다.
제22도에 나타낸 공정에 있어서, 상기 공정으로 형성된 구멍(36)중에 도체페이스트(paste)(37)를 인쇄 또는 주입에 의해 매립하고 이것을 소성경화한다. 이 도체페이스트(37)가 최종적으로 보강도체(35)가 된다.
제23도에 나타낸 공정에 있어서, 경사면부착의 블레이드(38)를 사용하여, 상기 공정에서 설명한 도체페이스트(37)의 일부를 남기도록 하프컷을 실행하고 코너헤드형 열헤드의 경사면(18)을 형성한다.
또한 이때 사용하는 블레이드(38)로 하고, 제12도에 도시한 바와 같은 경사부 전체가 오목형의 곡면으로 형성된 것을 사용하면, 제9실시예(제9도)에 나타내는 바와 같은, 전체부가 볼록형의 곡면으로 형성된 경사면(18)이 된다. 또한 제18(a)도에 나타내는 바와 같은 블레이드선단부(27)가 오목형의 곡면으로 형성된 것을 사용하면, 제10실시예(제10도)에 나타내는 바와 같은, 기판(10)의 측면(17)과 교차하는 교차부(20)가 볼록형의 곡면으로 형성된 경사면(18)이 된다.
제24도에 도시된 공정에서는, 상기한 하프컷에 의해 구멍(39)이 형성된 기판(10)의 화학처리 또는 열처리를 행한다.
이것은 상기 제11실시예와 동일하게, 꼭대기부(22)에 등근 것을 붙이고, 또한 글레이즈커트부의 평활도를 향상시키는것 등 때문이다.
또한 구멍(39)이 여러개 형성된 것도 제11실시예와 동일하다.
제25도에 나타낸 공정에 있어서, 저항막층(12)과 전극(14)(15)으로 이루어지도록 도체를 스퍼터링(sputtering) 등으로 형성하고 포토리소그래피에 의해 개별전극(14) 및 공통전극(15)의 패터닝 (patterning)을 실행한다.
다음으로 보호막을 스퍼터링하여 최후에 단품분리를 하여 제25도에 나타내는 코너헤드형 열헤드를 완성한다.
본 제조공정에 있어서 특징적인 것은, 하프컷에 의해 형성한 구멍(36)에 도체페이스트(37)를 매립하고 경사면부착블레이드(38)에 의해 이 도체페이스트(37)의 일부를 남기고 경사면(18)을 형성하는 것이다 이것에 의해 경사면(18)에 보강도체(35)가 매립된 구조가 실현된다.
[제16실시예]
다음에 보강도체(35)의 단면형상이 다른 것과 다른 제7도에 도시된 제7실시예의 제조방법에 대해서 설명한다. 본 제조방법은 제26도내지 제29도에 도시된다.
제26도에 도시된 공정에서, 경사면부착블레이드(40)를 사용하고 글레이즈층(11)의 윗면에서 기판(10)에 달하는 구멍을 형성한다. 이 구멍의 글레이즈층(11)을 포함하는 측벽은 경사면으로 되어 있다.
제27도에 도시된 공정에서는, 상기 구멍중에 도체페이스트(37)를 매립한다. 이 매립은 제22도에 나타낸 공정과 동일하게 하여 실행한다.
제28도에 나타낸 공정에 있어서, 제26도에 나타낸 공정에서 사용한 블레이드(40)의 경사면보다도 큰 경사각도의 경사면을 가지는 블레이드(41)를 사용하고, 상기 도체페이스트(37)의 일부를 남기도록 하프컷하고, 코너헤드형 열헤드의 경사면(18)을 형성한다. 이 경우 일부 남겨진 도체페이스트(37)가 보강도체(35)가 된다.
이후 제23도, 제24도, 제25도의 설명에 있어서 서술한 것과 동일한 공정을 거쳐 제29도에 나타낸 코너헤드형 열헤드를 완성한다.

Claims (8)

  1. 코너헤드형 열헤드에 있어서, 기판(substrate)상에 설치된 글레이즈층과, 글레이즈층의 윗면의 소정위치에서 기판측면에 걸쳐 형성된 경사면과, 경사면과 상기 글레이즈층의 윗면이 교차하여 형성된 볼록상의 코너부와, 상기 경사면상 및 글레이즈층상에 설치된 저항막층과, 코너부의 꼭대기부를 넘어서 형성된 히터영역과, 경사면영역에 있어서 상기 저항막층상에 설치된 공통전극과, 상기 경사면영역에 있어서 상기 공통전극과 함께 상기 저항막층을 끼우도록 설치된 보강도체와, 상기 히터영역을 끼우고 상기 공통전극에 대향한 영역에 있어서 상기 저항막층상에 설치되고 상기 공통전극 및 상기 보강도체와 협동하여 상기 히터영역의 소정의 부분에 전류를 흐르게 하는 개별전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 코너 헤드형 열헤드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 경사면가운데 적어도 상기 기판측면과의 교차부가 볼록곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 코너헤드형 열헤드.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 경사면의 전체면이 볼록곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 코너 헤드형 열헤드.
  4. 코너헤드형 열헤드의 제조방법에 있어서, 기판상에 글레이즈층을 형정하는 단계와, 선단근방이 오목곡면으로 형성된 경사부를 가지는 절단블레이드에 의해 상기 글레이즈층의 윗면의 소정위치보다 아래쪽을 향해 상기 글레이즈층 및 상기 기판을 하프컷하고, 상기 글레이즈층을 포함하는 측면의 하나가 바닥부근방이 볼록곡면의 경사면인 구멍을 형성하는 단계와, 상기 기판 및 상기 글레이즈층을 열처리하는 단계와, 상기 글레이즈층상 및 상기 경사면상에 저항막층, 공통전극, 개별전극 및 보호막을 형성하는 단계와, 상기 구멍의 양측면에 있어서 상기 기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 코너헤드형 열헤드의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 절단블레이드의 경사부전체가 오목곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 코너헤드형 열헤드의 제조방법.
  6. 코너헤드형 열헤드의 제조방법에 있어서, 기판상에 글레이즈층을 형성하는 단계와, 기판상에 글레이즈층의 윗면에서 아랫쪽을 향하고, 상기 글레이즈층의 일부를 포함한 영역을 하프컷하여 구멍을 형성하는 단계와, 상기 구멍중에 도체를 매립하는 단계와, 경사부를 가지는 절단블레이드에 의해, 상기 글레이즈층의 윗면의 소정의 위치보다 아랫쪽을 향해 상기 글레이즈층 및 상기 기판을 하프컷하고 상기 글레이즈층에서 상기 기판에 걸쳐 상기 도체의 일부를 남긴 상태에서 경사면을 형성하는단계와, 상기 기판 및 상기 글레이즈층을 열처리하는 단계와, 상기 글레이즈층상 및 상기 경사면상에 저항막층, 공통전극, 개별전극 및 보호막을 형성하는 단계와, 상기 경사면을 한쪽의 측면으로 하는 구멍의 양측면에 있어서 상기 기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 코너헤드형 열헤드의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 경사부를 가지는 절단블레이드의 선단근방에 있어서 상기 경사부가 오목곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 코너헤드형 열헤드의 제조방법.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 경사부를 가지는 상기 경사부의 전체면이 오목곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 코너헤드형 열헤드의 제조방법.
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