KR0150595B1

KR0150595B1 - 브러쉬 세정장치 및 브러쉬 세정방법 및 브러쉬 부착/분리방법

Info

Publication number: KR0150595B1
Application number: KR1019950017831A
Authority: KR
Inventors: 겐지 스기모토; 노부야스 히라오카; 미츠히로 후지타; 마사미 오오타니
Original assignee: 이시다 아키라; 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date: 1994-06-30
Filing date: 1995-06-28
Publication date: 1998-12-01
Also published as: US5647083A; KR960002618A

Abstract

선단부에 브러쉬가 각각 부착된 복수의 브러쉬 지지암이 병렬 설치되어 대기위치에 대기되어 있다. 각 브러쉬 지지암 중에서 소망의 브러쉬가 부착된 브러쉬 지지암이 택일적으로 선택되고, 이 선택된 브러쉬 지지암의 기단부와 요동암의 선단부가 걸어 맞추어진다. 요동암과 걸어 맞추어진 브러쉬 지지암은 요동암을 통해서 요동암의 기단부의 요동지점 주위에서 요동되고, 선택한 브러쉬 지지암의 선단부에 부착된 브러쉬가 대기위치와 기판의 중앙부 사이에서 이동되고, 이 브러쉬를 사용한 기판세정이 행해진다. 이 기판세정이 종료하면, 브러쉬 지지암은 대기위치에 대기되고, 다음 세정에 사용하는 브러쉬 지지암이 대기 위치에서 선택되고, 그 브러쉬 지지암에 연결된 브러쉬에 의한 기판세정이 행해진다.

Description

브러쉬 세정장치 및 브러쉬 세정방법 및 브러쉬 부착/분리 방법

제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 브러쉬 세정장치의 개략 구성을 나타내는 일부 절개측면도.

제2도는 제1실시예 장치의 평면도.

제3도는 제1실시예 장치의 주요부의 일부절개 측면도.

제4(a)도, 제4(b)도는 원형기판의 기판 회전지지대의 구성과 회전중 기판의 브러쉬를 사용한 기판 세정상태를 나타내는 평면도의 측면도.

제4(c)도, 제4(d)도는 장방형(矩形)기판의 기판 회전지지대의 구성과 회전 중 기판의 브러쉬를 사용한 기판 세정상태를 나타내는 평면도와 그 4-4화살에서 본 단면도.

제5도, 제6도는 제1실시예의 동작을 설명하기 위한 일부 절개 측면도.

제7도는 제1실시예 장치에서 브러쉬 높이 조절에 관한 변형예의 주요부 구성을 나타내는 도면.

제8도는 제2실시예 장치의 구성을 나타내는 측면도.

제9도는 제3실시예 장치의 구성을 나타내는 측면도.

제10도는 제3실시예 장치의 평면도.

제11도는 제3실시예 장치의 주요부 평면도.

제12도는 제4실시예 장치의 구성을 나타내는 일부 절개측면도.

제13도는 제4실시예 장치의 평면도.

제14(a)도, 제14(b)도는 제4실시예 장치의 요동암의 구성을 나타내는 일부 절개측면도.

제15도는 제4실시예 장치의 대기 포트(pot)의 구성을 나타내는 단면도.

제16도는 제4실시예 장치에서 브러쉬의 높이 조절에 관한 변형에의 주요부 구성을 나타내는 도면.

제17도는 제4실시예 장치에서 암과 브러쉬의 연결에 관한 변형에의 주요부 구성을 나타내는 일부 절개측면도.

제18도는 제17도의 변형예의 대기 포트를 측면에서 본 대기컵(cup)의 단면도.

제19도는 제17도의 변형예의 대기 포트의 평면도.

제20(a)도, 제20(i)도는 암과 브러쉬의 연결에 관한 다른 변형에의 구성을 나타내는 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 브러쉬(brush) 1a : 모

1b : 홈 1c : 부착부

2 : 브러쉬암 3 : 전동모터

4 : 벨트 5 : 브러쉬지지암

6 : 지지블록 7 : 회전측

8 : 암회전지지체 9 : 가동프레임

10, 12 : 가이드레일 11 : 장치프레임

13 : 랙(rack) 14 : 전동모터

16a, 16b, 18 : 에어실린더 17 : 승강프레임

19 : 가동브라켓 20 : 구동암

20a : 지지축 21 : 걸어맞춤凹부

22 : 절어맞춤핀 23 : 걸어맞춤돌기

24 : 걸어맞춤구멍 25 : 전동모터

26 : 타이밍벨트 27 : 위치결정돌기

28 : 위치결정凹부, 31 : 접촉부

32 : 상단돌기 40 : 연결암

41 : 접촉부 42 : 에어실린더

50 : 장치프레임 51 : 가이드레일

52 : 지지축 53 : 암

54 : 링크기구 55 : 로울러

56 : 에어실린더 57 : 가이드레일

61 : 요동암 62 : 암지지축

63 : 베이스프레임 64 : 벨트

65 : 전동모터 66 : 에어실린더

67 : 호이스트부재 68 : 스토퍼

69 : 지지대 70 : 에어실린더

70a : 로드 71 : 브러쉬척

72 : 벨트 73 : 전동모터

74 : 집게발 75 : 지지점

76 : 부재 77 : 압축코일스프링

78 : 지지판 79 : 디프레스부재

80 : 베어링 81 : 구동축

82 : 에어실린더 82a : 로드

91 : 대기컵 92 : 전동모터

93, 94, 95 : 벨트 101 : 회전축

102 : 회전대 103 : 기판보호판

110 : 연결부 111 : 凹부

112 : 흡착구멍 113 : 회전축

114 : 중공부 115 : 관

116 : 개폐밸브 117 : 진공흡인원

118 : 관 119 : 개폐밸브

120 : 니들밸브 130 : 대기포트

131 : 흡착구멍 140 : 돌출부

141 : 잘린부분 150 : 凸부

151 : 凹부 160 : 凸부

161 : 凹부 200 : 접촉부

201 : 에어실린더 201 : 로드

본 발명은 반도체 웨이퍼나 액정표시용 글라스기판, 포토마스크용 글라스기판, 광디스크용 기판 등의 기판(이하, 이들 기판을 간단히 '기판'이라 한다)을 회전시키면서 기판표면에 브러쉬의 하단을 접촉하고, 또는 기판 표면에서 브러쉬의 하단을 약간 띄운 상태에서 기판 표면을 세정하는 브러쉬 세정장치 및 브러쉬 세정방법, 더욱이는 브러쉬를 지지하기 위한 암(arm)에 대한 브러쉬의 부착/분리방법에 관한 것이다.

종래 이러한 종류의 브러쉬 세정장치로서는, 예를 들면, 회전 가능하게 지지된 기판의 바깥 테두리의 외측 대기위치에 요동암의 선단부에 부착된 브러쉬가 대기되고, 요동암을 요동시키는 것에 의해 브러쉬를 대기위치와 기판 표면의 중앙부와의 사이에서 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 브러쉬는 요동암의 선단부에 대해서 회전(자전) 가능하게 구성되어 있다.

이 종래장치에 의하면, 다음과 같이 기판이 세정된다. 우선, 요동암을 정방향으로 요동시켜 대기위치에 대기하고 있는 브러쉬를 기판 표면의 중앙부로 이동시킨다. 다음에, 브러쉬의 하단을 기판 표면에 접촉시킨 상태, 또는 기판 표면에서 약간 띄운 상태에서 브러쉬를 자전시켜 기판을 회전시키면서 요동암을 역방향으로 요동시켜 브러쉬를 기판 표면의 중앙부에서 그 바깥 테두리로 이동시켜 기판 표면의 전면을 세정한다. 세정이 종료하면, 요동암을 역방향으로 요동시켜 브러쉬를 대기위치로 이동시켜 대기시키고, 다음의 기판 세정에 대비한다.

그러나, 상기 종래 장치에서는 요동암의 선단부에 부착된 1개의 브러쉬만이 대기위치에 설치되고, 브러쉬의 하단부와 반대측의 부착부에 설치된 니트를 상기 연결부의 볼트에 나사결합시키는 것에 의해 브러쉬를 암의 연결부에 연결 및 분리(부착/분리)하도록 구성되어 있다.

따라서 상술한 각종의 세정을 행하는 경우 각종의 브러쉬 교환이나, 브러쉬 하단의 마모 등 브러쉬의 수명이 끝난 경우 브러쉬의 교환 등의 경우에서의 암에 대한 브러쉬의 부착/분리는 다음과 같이 행해지고 있다.

즉, 작업자가 암에 부착된 브러쉬의 너트를 회전시키면서 그 브러쉬를 암의 연결부의 볼트에서 빼낸다. 다음에, 새로운 브러쉬의 너트를 연결부의 볼트에 나사결합시켜 그 브러쉬를 연결부에 부착한다. 결국, 종래 브러쉬의 교환작업(부착/분리작업)에서는 너트와 볼트를 나사결합시키는 관계상 각 부재가 서로 마찰되고, 그 때에 분진(particle)이 발생하며, 세정한 기판을 다시 오염시키는 등 기판이 오염되는 문제가 있다.

이러한 종류의 기판 세정을 포함한 기판 처리공정에 있어서는, 기판의 오염은 제품의 수율이 저하하는 원인으로 되는 것이 알려져 있고, 상기와 같은 기판의 오염을 결코 무시할 수 있는 것은 아니다.

본 발명은 이와 같은 사정을 감안해서 된 것으로서, 그 주된 목적은 복수개의 브러쉬에서 소망의 브러쉬를 자동으로 선택해서 기판 표면의 세정을 행할 수 있는 브러쉬 세정장치를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 상기 주목적을 달성하는 브러쉬 세정장치를 사용한 바람직한 브러쉬 세정방법을 제공하는데 있다.

또, 본 발명의 다른 목적은, 상기 주목적을 달성하는 브러쉬 세정장치에서 암에 대한 브러쉬의 부착/분리시의 파티클(particle) 발생을 방지할 수 있는 브러쉬 세정장치와 그 장치에서 바람직한 브러쉬 부착/분리방법을 제공하는데 있다.

본 발명은 이와 같은 목적을 달성하기 위해 다음과 같은 구성을 채용한다.

즉, 본 발명에 관한 브러쉬 세정장치는 기판을 회전시키면서 상기 기판의 표면을 브러쉬로 세정하는 브러쉬 세정장치로서, 상기 장치는 이하의 요소를 포함한다.

상기 기판의 바깥 테두리의 외측 대기위치에 대기된 복수개의 브러쉬;

상기 대기위치에 대기된 복수개의 브러쉬에서 임의의 브러쉬를 선택하고, 상기 대기위치와 상기 기판의 표면 사이에서 선택한 브러쉬를 이동시키는 이동수단.

또한, 선택된 브러쉬가 이동수단에 의해 기판 표면의 중앙부에서 기판의 바깥 테두리 방향으로 이동될 때, 이 브러쉬를 회전(자전)시키는 브러쉬 회전수단을 구비한다.

이 장치에 의한 기판 세정은 다음과 같이 행해진다. 우선, 이동수단이 대기위치에 대기된 복수개의 브러쉬에서 임의의 브러쉬를 선택한다. 다음에, 이동 수단은 선택한 브러쉬를 대기위치에서 기판 표면의 중앙부로 이동한다. 그리고, 기판 표면에 브러쉬의 하단을 접촉하고, 또는 기판 표면에서 브러쉬의 하단을 약간 띄운 상태에서 브러쉬를 회전(자전)시켜 기판을 회전시키면서 이동수단이 그 브러쉬를 기판의 중앙부에서 기판의 바깥 테두리의 방향으로 이동시켜 이 브러쉬에 의한 기판의 세정을 행한다. 이 브러쉬에 의한 기판 세정이 종료하면, 이동수단이 이 브러쉬를 대기 위치로 이동시켜 대기시킨다.

예를 들면, 복수 종류의 브러쉬를 사용해서 기판을 세정하는 경우에는 대기 위치에 복수 종료의 브러쉬를 대기시켜 두고 소정의 세정순서에 따라서 이동수단은 각 종류의 브러쉬를 순번으로 선택해서 각 종류의 브러쉬에 의한 세정을 그 순서대로 행한다. 따라서, 이들 복수종류의 브러쉬를 사용한 기판 세정의 사이, 작업자는 브러쉬 교환 등의 번잡한 작업을 행할 필요가 없고, 더구나 세정장치의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 동일 종류의 브러쉬를 사용해서 기판을 세정하는 경우에는 대기위치에 동일 종류의 브러쉬를 복수개 대기시켜 두고, 이동수단은 그들 브러쉬를 로테이션(rotation)을 편성하고, 선택해서 기판 세정에 사용하는 것에 의해 각 브러쉬의 긴 수명화가 도모되고, 마모한 브러쉬의 교환기간을 길게 할 수 있다.

또, 상기 장치에 있어서, 상기 대기위치에 배치되고, 상기 각 브러쉬의 적어도 하단부분에 삽입디어 이들 브러쉬를 대기시키는 대기포트와, 상기 대기포트에 대기된 각 브러쉬를 회전(자전)시키는 대기 브러쉬 회전수단과, 상기 대기포트내에 삽입된 각 브러쉬의 하단 부분이 세정되도록 세정액을 분사하는 세정액 분사수단을 구비하고, 대기 중의 각 브러쉬를 대기포트내에 하단부분이 삽입된 상태에서 회전(자전)시켜 하단 부분이 세정되도록 세정액을 분사해서 각 세정브러쉬 의 하단부분의 세정을 행함과 동시에 임의의 브러쉬가 선택되어 기판의 세정이 행해지고 있는 사이에도 다른 대기중의 각 브러쉬의 하단 부분의 세정을 행한다.

이것에 의해, 기판 세정은 하단부분이 세정된 브러쉬를 사용해서 행할 수 있고, 기판 세정 효과를 높일 수 있다. 또한, 본 발명에 관한 장치에서는 복수 종류의 브러쉬를 사용해서 기판을 세정하는 경우, 동일 종류의 브러쉬를 사용해서 기판을 세정하는 경우 어느 쪽에 있어서도 동일의 브러쉬를 연속적으로 사용하는 것이 회피되므로 각각의 브러쉬 대기시간이 길어지게 되고, 이들 브러쉬의 하단부분의 세정이 충분하게 행해지며, 하단부분의 세정이 불충분한 브러쉬를 기판 세정에 사용하지 않는다.

또한, 대기위치에 대기하는 복수개의 브러쉬와, 이동수단과의 실시 양태로서는 선단부에 브러쉬가 연결된 브러쉬 지지암을 대기위치에 복수개 병렬설치해 두고, 이들 브러쉬 지지암에서 임의의 지지암을 선택하고, 이 지지암을 택일적으로 소정의 요동지점 주위에서 요동시키는 것에 의해 이 브러쉬 지지암에 연결된 브러쉬를 상기 대기위치와 상기 기판 표면과의 사이에서 이동시키는 것(제1실시양태)이어도 좋고, 복수개의 브러쉬만이 대기위치에 대기되고, 이들 브러쉬에서 임의의 브러쉬를 선택해서 이 브러쉬를 1개의 요동암의 선단부에 연결하며, 상기 요동암을 소정의 요동지점 주위에서 요동시키는 것에 의해 선택한 브러쉬를 상기 대기위치와 상기 기판 표면과의 사이에서 이동시키는 것(제2실시양태)이어도 좋다.

또, 상기 제1실시양태에 있어서, 상기 각 브러쉬 지지암의 선단부에는 진공흡인원에 연이어 통해진 흡착구멍을 각각 설치하고, 상기 각 브러쉬는 진공흡착에 의해 상기 각 브러쉬 지지암의 선단부에 연결시켜지는 것에 의해 각 브러쉬 지지암의 선단부에 대한 브러쉬의 부착/분리가 용이하게 되고, 또 부재의 마찰에 의한 파티클 발생이 일어나기 어렵게 된다.

또, 브러쉬 지지암 선단부에 대한 브러쉬의 부착/분리를 상기 브러쉬 지지암 선단부의 흡착구멍에서의 흡인력을 약하게 하고, 상기 브러쉬 지지암의 선단부에 진공흡착된 브러쉬를 분리하는 것에 의해 부재의 마찰에 의한 파티클이 발생하여도 그 파티클은 흡착구멍에서 흡인된 파티클이 주위로 확산하는 것이 방지되어 장치내의 청결도(cleanliness)를 저하시키지 않고 기판의 오염(세정이 끝난 기판의 재오염 등)을 방지할 수 있다.

또한, 상기 제2실시양태에 있어서도 제1실시양태와 같이 요동암이 선단부에 브러쉬를 진공흡착에 의해 연결하고, 또 요동암 선단부에 대한 브러쉬의 부착/분리를 상기 요동암 선단부의 흡착 구멍에서 흡인력을 약하게 하고, 상기 요동암의 선단부에 진공흡착된 브러쉬를 분리하도록 하는 것에 의해 제1실시양태의 같은 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상기한 진공흡착에 의한 암(상기 브러쉬 지지암이나 상기 요동암)에 대한 브러쉬 의 부착/분리를 행하도록 구성된 장치에 있어서, 암의 선단부에 연결시키는 브러쉬의 부위(부착부위)를 각각 테이퍼(taper)형태로 구성하고, 암의 선단부에 상기 부착부와 끼워 맞추는 테이퍼 형태의 凹부를 설치함과 동시에, 이 凹부내에 상기 흡착구멍을 설치하며, 브러쉬의 부착부위를 암의 선단부에 설치한 凹부에 삽입한 상태에서, 이 브러쉬를 진공흡착에 의해 암의 선단부에 연결시키는 것에 의해 암의 선단부와 브러쉬의 축심맞춤 등 암선단부의 미리 결정된 위치에 미리 결정된 상태에서 브러쉬를 부착할 수 있고, 브러쉬의 부착/분리 때마다 브러쉬를 사용한 기판 세정의 정밀도에 변동이 생기는 등 불리함을 해소할 수 있다.

본 발명을 설명하기 위해 현재 바람직하다고 생각되는 몇 개의 형태가 도시되어 있지만, 본 발명은 도시된 구성 및 방법에 한정되는 것은 아님을 이해해야 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면에 기초해서 상세히 설명한다.

[실시예 1]

제1실시예 장치의 구성을 제1도∼제3도 및 제4(a)도∼제4(d)도를 참조해서 설명한다.

본 실시예의 장치는 회전 가능하게 지지판 기판(W)(제2도에서는 반도체 웨이퍼 등의 원형기판을 나타내고 있다)의 표면을 세정하기 위한 복수개의 브러쉬(1)가 각각 브러쉬 암(2)의 선단부에 회전(자전) 가능하게 부착되고, 또는 브러쉬(1) 중 소망의 브러쉬(1)를 택일적으로 꺼내어 기판(W)의 표면(회전중심 CP)과 기판(W)의 바깥 테두리의 외측 대기위치와의 사이에서 이동하는 이동수단으로 구성되어 있다.

기판(W)은, 제4(a)도∼제4(d)도에 나타낸 바와 같이, 도시하지 않은 모터로 회전되는 회전축(101)의 선단부에 설치된 회전대(102)상에 표면을 위로 행해서, 예를 들면 진공흡착되어 지지되고, 기판(W)은 CP를 중심으로 해서 회전되도록 구성되어 있다. 또한, 기판(W)이 액정표시기용 글라스 기판과 같은 장방형 기판의 경우, 제4(c)도, 제4(d)도에 나타낸 바와 같이 기판(W)의 표면과 동일 평면을 형성하기 위한 기판보호판(장방형 기판 W과 동일 형상의 凹부가 형성되어 있다)(103)이 회전대(102)상에 부착 설치되어 있다. 또, 제4(c)도의 부호 104는 장방향 기판(W)을 기판보호판(103)의 凹부로 반입/반출할 때 반송로보트의 집게발을 받기 위한 잘린 부분을 나타낸다.

또한, 대기위치에 대기되는 각 브러쉬(1)는 강하위치(L)의 높이로 강하된 상태에서 대기포트(TP)에 삽입되어 이다. 대기포트(TP)에는 각 브러쉬(1)의 하단부분, 즉 모(1a)부분에 세정액을 분사하기 위한 복수개의 노즐(SN)이 설치되어 있다. 또한, 각 브러쉬(1)는 각각 브러쉬암(2)에 부착된 전동모터(3)의 회전이 벨트(4)(제3도 참조)로 전동되는 것에 의해 브러쉬암(2)의 선단부에서 회전(자전)되도록 구성되어 있다. 각 브러쉬(1)는 대기위치에 대기되어 있을 때, 이 대기포트(TP)내에 삽입되어 자전되면서 각 노즐(SN)에서 세정액이 분사되어 각 브러쉬(1)의 모(1a)부분의 세정이 행해진다. 또, 부호 HD는 세정 후 세정액(배출애)을 배출하는 배출드레인을 나타낸다.

또한, 각 브러쉬 암(2)의 기단부에는 지지블록(6)이 일체로 부착됨과 동시에, 이 지지블록(6)의 일단측에 회전축(7)이 일체로 연이어 접속되고, 이들 브러쉬 암(2)(전동모터 3을 포함), 지지블록(6), 회전축(7)에 의해 브러쉬 지지암(5)이 구성되어 있다.

본 실시예에서는 이들 브러쉬 지지암(5) 중 소망의 브러쉬 지지암(5)을 선택해서 후술하는 요동지점(P) 주위에 대기위치의 기판(W)의 회전중심(CP)과의 사이에서 요동시키는 것에 의해 복수개의 브러쉬(1) 중에서 소망의 브러쉬(1)를 선택해서 기판 세정에 사용하도록 구성되어 있다. 이 브러쉬 지지암(5)을 택일적으로 요동시키기 위한 이동기구가 본 발명에서 이동수단에 상당한다. 이 이동기구의 구성을 이하에 설명한다.

각 브러쉬 지지암(5)의 회전축(7)은 암 회전지지체(8)에 회전축(7)의 축심을 중심으로 해서 회전가능하게 지지되어 있다. 또한, 각 암회전 지지체(8)는 공통의 가동프레임(9)에 각각 적어도 레일(10)을 통해서 개별적으로 수직방향으로 승강 가능하게 일직선 형태로 병렬 지지되어 있다.

가동프레임(9)은 부동의 장치 프레임(11)에 부착된 가이드 레일(12)을 통해서 수평방향으로 이동가능하게 지지되고, 가동프레임(9)에 설치된 랙(rack)(13)은 정·역전 가능한 전동모터(14)로 구동되는 피니언(pinion)(15)과 맞물리고 있고, 전동모터(14)가 정역 회전되는 것에 따라 암회전 지지체(8)를 그 병렬방향으로 이동시키도록 구성되어 있다.

암회전 지지체(8)의 축부에는 직렬로 연결한 2개의 에어실린더(16a, 16b)에 의해 수직방향으로 이동되는 승강프레임(17)이 설치됨과 동시에, 이 승강프레임(17)에 에어실린더(17)에 의해 수직방향으로 이동되는 가동브라켓(bracket)(19)이 설치되어 있다. 가동브라켓(19)의 상부에는 소정위치의 요동지점(P)의 주위에서 회전가능한 지지축(20a)이 설치되고, 이 지지축(20a)의 하부에는 요동지점(P) 주위에서 요동 가능하게 구동암(20)이 설치되어 있다.

각 브러쉬 지지암(5)에서 지지블록(6)의 상면에는 회전축(7)의 축심상에 위치해서 원추상의 걸어맞춤 凹부(21)가 형성됨과 동시에, 그것에서 브러쉬(1)축의 떨어진 위치에 걸어맞춤핀(22)이 돌출 설치되어 있다.

다른 한편, 구동암(20)의 하면에는 요동지점(P)과 동축에 위치해서 원추상의 걸어맞춤 돌기(23)가 돌출 설치됨과 동시에, 그 요동지점(P)에서 떨어져 걸어맞춤편(22)에 대응하는 걸어맞춤 구멍(24)이 형성되어 있다. 그리고, 임의로 선택된 1개의 브러쉬 지지암(5)이 상기 가동 프레임(9), 전동모터(14) 등에 의해 브러쉬 지지암(5)의 회전축(7)의 축심이 구동암(20)의 요동지점(P) 바로 아래에 위치하는 소정의 위치로 이동될 때, 그 브러쉬 지지암(5)에 대해서 구동암(20)을 강하시키는 것으로 이 브러쉬 지지암(5)의 걸어맞춤 凹부(21)와 걸어맞춤 핀(22)에 구동암(20)의 걸어맞춤 돌기(23)와 걸어맞춤 구멍(24)을 각각 걸어 맞추어 구동암(20)과 브러쉬 지지암(5)을 일체적으로 걸어맞추어 유지함과 동시에, 브러쉬 지지암(5)의 회전축(7)의 축심이 구동암(20)의 요동지점(P)에서 수평방향으로 위치가 엇갈리지 않도록 위치를 결정하는 정렬기구가 구성되어 있다.

또한, 구동암(20)의 지지축(20a)이 가동 브라켓(19)에 설치한 정·역전 가능한 전동모터(25)에 타이밍 벨트(26)를 통해서 연동 연결되어 있고, 전동모터(25)를 정역회전하는 것에 의해 상기한 바와 같이 구동암(20)에 걸어맞추어 유지된 임의의 브러쉬 지지암(5)을 소정위치로 규정한 요동지점(P) 주위로 요동시켜 이 브러쉬 지지암(5)의 브러쉬(1)를 기판(W)의 바깥 테두리 외측의 대기위치와 기판(W)의 회전중심(CP)과의 사이에서 이동시킬 수 있다.

또, 지지블록(6)의 하면에는 위치결정돌기(27)가 설치되고, 한편 가동프레임(9)의 상면에는 위치결정 凹부(28)가 설치되어 있고, 각 브러쉬 지지암(5)이 강하위치(L)에 대기하고 있을 때, 이들 각 위치결정돌기(27)와 위치결정 凹부(28)가 걸어 맞추어져 일정 자세로 위치결정되어 유지되도록 구성되어 있다.

다음에, 본 실시예 장치의 동작을 제1도 내지 제6도를 참조해서 설명한다.

(1) 초기 상태에서는 제1도, 제2도의 실선으로 나타낸 바와 같이, 전체의 브러쉬(1)는 기판(W)의 바깥 테두리 외측의 대기위치로 물러나 있고, 또 암회전 지지체(8)도 강하위치에 대기하고 있다. 강하위치(L)에 대기하고 있는 각 브러쉬 지지암(5)은 위치결정돌기(27)와 위치결정 凹부(28)와의 걸어맞춤에 의해 일정자세로 위치결정되어 유지되고 있다.

이 대기상태에서는 각 브러쉬(1)는 고정위치에 설치된 대기포트(TP)내에서 각 전동모터(3)로 자전되면서 세정액으로 브러쉬(1)의 모(1a) 부분이 세정되고 있다.

또, 본 실시예에 있어서, 노즐(SN)은 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단부로 향해서 세정액을 직접 분사하도록 구성되어 있지만, 노즐(SN)에서 세정액을 브러쉬(1)의 모(1a)의 근본(상단부) 혹은 중간부로 향해서 세정액을 분사시켜 이 세정액이 모(1a)로 전달되어 자기 무게로 강하해서 브러쉬의 하단부에 공급되도록 구성해도 좋다.

(2) 기판 세정 후에 즈음해서는, 우선 소망하는 브러쉬(1)가 연결되어 있는 브러쉬 지지암(5)이 요동지점(P), 즉 구동암(20)의 바로 아래 위치에 오도록 전동모터(14)에 의해 가동프레임(9)을 수평 이동시킨다.

(3) 다음에, 제5도의 일부절개 측면도에 나타낸 바와 같이, 에어실린더(18)의 로드(rod)(18a)를 신장시키고, 가동브라켓(19)을 강하시켜 이것에 수반하는 구동암(20)의 강하에 의해 선택된 브러쉬 지지암(5)을 구동암(20)에 걸어 맞춘다. 이것에 의해, 사용하는 브러쉬(1)가 기판(W)의 회전중심(CP)에 위치하도록 브러쉬 지지암(5)이 요동될 때 요동지점으로 되는 회전축(7)이 구동암(20)의 요동지점(P)가 일치하도록 위치 결정된다. 또, 선택된 브러쉬(1)의 브러쉬 지지암(5)의 전동모터(3)는 회전이 정지되어 그 브러쉬(1)의 자전이 정치된다.

(4) 그후, 제6도의 일부절개 측면도에 나타낸 바와 같이, 에어실린더(16a, 16b)의 각 로드(16x, 16y)를 함께 신장시켜 승강프레임(17)을 상승시킨다. 그 초기에 있어서는 승강프레임(17)에 설치한 접촉부(31)가 암회전 지지체(8)의 상단돌기(32)로 아래쪽에서 접촉하고, 이것에 의해 선택된 브러쉬 지지암(5)은 구동암(20)과 승강프레임(17)의 접촉부(31)에서 상하로 클램프(clamp) 고정된다. 이 클램프 상태에서 또 승강프레임(17)을 상승시켜 제6도에 나타낸 바와 같이, 선택된 브러쉬 지지암(5)만을 암회전 지지체(8)와 함께 상한 위치(H)까지 상승시킨다.

(5) 다음에, 전동모터(25)를 정회전시켜 구동암(20)을 제2도에서 시계 주위 방향으로 소정 각도만큼 요동시켜 선택한 브러쉬(1)를 회전대(102)상에 지지된 기판(W)의 회전중심(CP)의 위쪽까지 이동시킨다.

(6) 다음에, 에어실린더(16a, 16b)의 각 로드(16x, 16y)를 함께 수축시켜 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단을 기판(W)의 표면에 접촉시키도록 강하시킨다. 또, 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단을 기판(W)의 표면에서 약간 띄운 상태에서 기판을 세정하는 경우에는 에어실린더(16a, 16b) 중 로드(16x, 16y)의 신축 스트로크(stroke)가 큰 쪽의 에어실린더(본 실시예에서는 16a)의 로드(16x)만을 수축시켜 브러쉬(1)를 제1도에 나타내는 위치(M)(강하위치 D에서 약간 높은 위치)까지 강하시키도록 하면 좋다.

(7) 이 상태에서 기판(W)을 회전중심(CP) 주위에서 회전시킴과 동시에, 전동모터(3)를 구동해서 브러쉬(1)를 회전(자전)시킨다.

(8) 그리고, 도시하지 않은 노즐에서 기판(W)의 표면에 세정액을 공급하면서 전동모터(25)를 역회전시켜 제4(a)도∼제4(d)도에 나타낸 바와 같이, 브러쉬(1)를 회전중심(CP)에서 기판(W)의 바깥 테두리 측방위치(EP)까지 이동시켜, 기판(W)의 표면 전면 세정을 행한다. 또, 장방형 기판(W)의 세정에 즈음해서는 브러쉬(1)가 바깥 테두리 측방위치(EP)에 접근하면 브러쉬(1)는 장방형 기판(W)의 단변에서 일단 기판(W)의 측방으로 나오고, 재차 기판(W)의 표면에 얹히도록 동작하지만, 본 실시예에서는 제4(c)도, 제4(d)도에 나타낸 바와 같이, 기판 보호판(103)이 설치되고, 기판(W)의 주변과 기판(W)의 표면을 동일 평면에 형성하고 있으므로, 브러쉬(1)가 기판(W)의 측방에서 표면에 얹힐 때 기판(W)의 에지(edge)에 브러쉬(1)의 모(1a)가 충돌하게 하는 것에 의해 브러쉬(1)의 모(1a)의 마모가 방지될 수 있고, 또한 브러쉬(1)의 모(1a)가 기판(W)의 에치에 충돌해서 발생하는 먼지(particle)에 의한 세정효과의 저하도 방지할 수 있다. 또, 브러쉬 세정에 의해서는 세정시에 있어서 브러쉬 이동의 종단위치는 제4(a)도∼제4(d)도의 EP로 나타낸 바와 같이, 브러쉬(1)가 완전히 기판(W) 표면의 외측으로 이동된 위치에 설정되지 않고, 브러쉬(1)의 일부(예를 들면, 브러쉬 1의 절반)가 기판(W) 표면상에 남아있는 위치에 설정되는 경우도 있다.

(9) 이 브러쉬(1)에 의한 기판 세정의 종료하면 브러쉬(1)의 자전을 정지하고, 로드를 수축시킨 에어실린더(16a, 16b)(브러쉬 1을 위치 M까지 강하시킬 때는 에어실린더 16a만)의 로드를 신장시켜 브러쉬 지지암(5) 및 브러쉬(1)를 상한위치(H)까지 상승시켜, 물러나게 한다. 그후, 전동모터(25)를 역회전시켜 브러쉬 지지암(5)을 대기위치까지 후퇴해서 요동시킨다. 브러쉬 지지암(5)이 대기위치에 있는 상태에서 에어실린더(16a, 16b)의 로드(16x, 16y)를 함께 수축시켜 승강프레임(17)을 하한까지 강하시킨다. 다음에 에어실린더(18)의 로드(18a)를 수축시켜 이것에 의해 가동브라켓(19) 및 구동암(20)을 상승해서 복귀시켜 구동암(20)과 브러쉬 지지암(5)과의 걸어맞춤을 해제한다. 그리고, 그 브러쉬(1)의 자전을 재개시킨다. 이것에 의해, 기판 세정에 사용된 브러쉬(1)는 대기포트(TP) 내에 삽입되고, 브러쉬(1)의 모(1a)는 자전되면서 세정액으로 세정된다. 또, 상기 동작에서 선택된 브러쉬(1)(브러쉬 지지암 5))이외의 브러쉬(1)는 대기포트(TP)에 대기되어 있지만, 이들 대기중의 브러쉬(1)의 모(1a)의 세정액에 의한 세정은 선택된 브러쉬(1)에 의한 상기 기판 세정의 사이에도 계속된다. 또한 상기 기판 세정의 후, 사용하는 브러쉬(1)를 변경하는 경우에는 가동프레임(9)을 적절히 구동해서 구동암(20)에 연결하는 브러쉬 지지암(5)을 선택해서 상기 동작을 행한다.

본 실시예에 의하면, 복수 종류의 브러쉬(1), 예를 들면 나일론 모(1a)를 가진 나일론 브러쉬(1)와 PVA의 스폰지(sponge) 형태 형성부(1a)를 가진 PVA 브러쉬(1)를 사용해서 기판을 세정하는 경우, 각 종류의 브러쉬(1)를 각 브러쉬 지지암(5)의 브러쉬암(2)의 선단부에 미리 부착해서 대기위치에 대기시켜 두고, 이들 각 종류의 브러쉬(1)를 기판 세정의 순으로 선택해서 기판 세정을 행하면 좋다. 예를 들면, 나일론 브러쉬(1)로 거칠게 세정하고, 그후, PVA 브러쉬(1)로 마무리 세정하는 경우라면 나일로 브러쉬(1)가 부착된 브러쉬 지지암(5)을 우선 선택해서 그 브러쉬(1)로 거칠게 세정하고, 그후 PVA 브러쉬(1)가 부착된 브러쉬 지지암(5)을 선택해서 그 브러쉬(1)로 마무리 세정할 수 있고, 각 브러쉬(1)에 의한 일련의 기판 세정 사이에 브러쉬 교환을 행할 필요가 없다.

또한, 예를 들면 동일 종류의 브러쉬(1)(예를 들면, 나일론 브러쉬)만을 사용해서 세정하는 경우에는 복수개의 브러쉬 지지암(5)의 각 브러쉬암(2)의 선단부에 동일 종류의 브러시쉬(1)를 미리 부착해서 대기 위치에 대기시켜 두고, 이들 브러쉬(1)를 로테이션을 편성해서 순차 기판 세정에 사용하도록 하면 각 브러쉬(1)의 모(1a)가 마모하기 어려워 브러쉬(1)의 수명을 길게 할 수 있다.

또한, 복수개의 브러쉬(1)를 순서대로 기판 세정에 사용하는 것에 의해 어떤 브러쉬(1)를 기판 세정에 사용하므로 다음에 그 브러쉬(1)를 기판 세정에 사용할 때까지의 시간(대기위치에 대기되어 있는 시간)이 길어지게 되므로, 그 사이에 브러쉬(1)의 모(1a)의 세정을 충분히 행할 수 있고, 브러쉬(1)의 수명을 길게 할 수 있음과 동시에, 브러쉬(1)의 모(a)의 세정이 불충분한 그대로 기판 세정에 사용하지 않고, 세정효과를 저하시키지 않는다. 또한 설사 기판 세정을 연속적으로 행한 경우에서 브러쉬(1)의 모(1a)의 세정을 충분히 행하면서 각 기판(W)의 기판 세정을 행한 경우, 종래 장치에서는 브러쉬(1)를 대기위치에 소정시간 대기시켜둘 필요가 있고, 그 때문에 기판 세정을 연속적으로 행할 수 없고, 처리의 스루풋이 저하하게 되지만, 본 실시예에서는 그와 같은 불리함도 해소할 수 있다.

또, 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단을 접촉시켜 기판을 세정하는 경우만이라면, 상기 M의 높이에서 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단이 기판(W)이 표면에 접촉하도록 장치가 구성되어 있어도 좋다. 또, 이 변형예 및 다음의 변형예는 후술하는 제2, 제3실시예 장치에서도 같은 형태로 변형 실시하는 것이 가능하다.

또한, 상기 실시예에서는 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단을 기판(W)의 표면에 접촉시키는 높이와 브러쉬(1)의 대기위치에서의 높이를 함께 강하위치(L)로 하고, 브러쉬(1)를 3단계의 높이로 변위할 수 있도록 구성되어 있지만, 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단을 기판(W)의 표면에 접촉시키는 높이와 브러쉬(1)의 대기위치에서의 높이를 다르게 해서 브러쉬(1)를 4단계의 높이(대기위치에서 대기하는 높이 L, 브러쉬 1의 1a의 하단을 기판 W의 표면에 접촉시키는 높이, 브러쉬 1 모 1a의 하단을 기판 W의 표면에서 약간 띄운 높이, 브러쉬 1을 요동시키는 높이 H)로 변위하는 경우에는, 예를 들면, 제7도에 나타낸 바와 같이, 에어실린더(16a, 16b)에, 또 에어실린더(16c)를 직렬로 연결하고, 각 에어실린더(16a, 16b, 16c)의 각 로드(16x, 16y, 16z)의 신축 조합으로 구성할 수 있다.

또, 상기 실시예에서는 대기위치에서 대기되는 브러쉬(1)(브러쉬 지지암 5)를 4개로 해서 도시하고 있지만, 이 개수는 복수개라면 4개의 한정하지 않는다.

[실시예 2]

다음에, 본 발명의 제2실시예 장치의 구성을 제8도를 참조해서 설명한다.

제8도는 제2실시예 장치의 구성을 나타내는 측면도이고, 상기 제1실시예와 다른 것은 다음과 같다.

즉, 브러쉬 지지암(5)에서 회전축(7)의 하단에 구동암(20)에 정렬되는 연결암(40)이 구비됨과 동시에, 구동암(20)과 공동으로 회전축(7)을 클램프하는 접촉부(41)가 승강프레임(19)에 설치한 에어실린더(42)에 의해 독립적으로 상하 구동되도록 구성되어 있다. 그 이외의 다른 구성은 제1실시예와 같고, 동일한 부호를 붙이는 것에 의해 그 설명은 생략한다.

[실시예 3]

다음에, 본 발명의 제3실시예 장치의 구성을 제9도∼제11도를 참조해서 설명한다.

제9도는 제3실시예 장치의 구성을 나타내는 측면도, 제10도는 그 평면도, 제11도는 그 주요부 단면도이다. 또, 제10도에서는 대기포트(TP)의 도시를 생략하고 있다.

이 제3실시예의 구성상, 상기 제1실시예와 다른 것은 다음과 같다.

즉, 브러쉬(1)를 지지한 복수개의 브러쉬 지지암(5)이 각각 다르게 된 소정 위치에 규정된 요동지점(Q1, Q2, Q3) 주위에 요동 자유로이 병렬 설치됨과 동시에, 브러쉬 지지암(5)의 기단부에 연이어 접속한 회전축(7)을 회전 가능하게 지지한 암회전 지지체(8)가 장치 프레임(50)에 가이드 레일(51)을 통해서 승강 가능하게 지지되고, 또한 이들 브러쉬 지지암(5)군의 측부에는 사용하는 브러쉬(1)를 선택하는 구동암(20)이 일정의 요동지점(R) 주위에 요동 가능하게 설치되어 있다.

구동암(20)의 기단부에 구비된 지지축(52)이 직렬로 연결된 2개의 에어실린더(16a, 16b)에 의해 승강되는 승강크레임(17)에 상기 요동지점(R) 주위에 회전 가능하게 지지됨과 동시에 이 지지축(52)에서 연장한 암(53)과 승강프레임(17)에 설치한 전동모터(25)가 링크기구(54)를 통해서 연동 연결되고, 모터(25)의 정역회전에 의해 구동암(20)이 브러쉬 지지암(5)군의 위쪽을 횡단 이동하도록 구성되어 있다.

각 브러쉬 지지암(5)에서 기단 부근의 상부에는 V홈 부착의 로울러(55)가 종축 주위로 회전 자유로이 부착됨과 동시에, 구동암(20)의 하부에는 에어 실린더(56)에 의해 암의 길이방향으로 진퇴 가능하게 좌우 한쌍의 가이드 레일(57)이 설치되고, 앞쪽으로 진출 이동된 가이드레일(57)이 상기 로울러(55)에 걸어 맞추어지도록 구성되어 있다. 그 이외의 구성은 제1실시예와 같고, 동일한 부호를 붙이는 것에 의해 그 설명을 생략한다.

이 제3실시예에 의하면 다음과 같이 동작한다.

(1) 강하위치(L)에서 대기하고 있는 브러쉬 지지암(5)군의 위에서 구동암(20)이 요동하고, 이것에 의해 사용하는 브러쉬(1)가 연결된 브러쉬 지지암(5)을 선택해서 가이드레일(57)을 진출 이동시켜 대상이 되는 브러쉬 지지암(5)의 로울러(55)를 걸어 맞추어 지지한다.

(2) 양 에어실린더(16a, 16b)를 함께 신장시켜서 승강프레임(17)을 상승시켜 걸어 맞추어 선택한 브러쉬 지지암(5)을 상한 위치(H)까지 이동시킨다.

(3) 다음에, 구동암(20)을 요동 구동해서 걸어맞추어 지지한 브러쉬 지지암(5)의 브러쉬(1)를 기판(W)의 회전중심(CP)의 위쪽으로 이동시킨다. 이 경우, 브러쉬 지지암(5)과 구동암(20)과의 요동지점의 차이가 가이드 레일(57)과 로울러(55)와의 상대운동에 의해 흡수된다.

(4) 그후, 양 에어실린더(16a, 16b)(또는, 한쪽의 에어실린더 16a)의 로드를 수축시키는 것에 의해 브러쉬 지지암(5)을 소정량만큼 강하시켜 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단을 기판(W)의 표면에 접촉해서(또는 약간 띄워서)기판을 세정한다.

[실시예 4]

다음에, 본 발명의 제4실시예 장치의 구성을 제12도∼제15도를 참조해서 설명한다.

상술한 제1 내지 제3실시예 장치는 브러쉬(1)를 각각 부착한 복수개의 브러쉬 지지암(5) 중 소망의 브러쉬 지지암(5)을 선택하는 것에 의해 복수개의 브러쉬(1) 중 소망의 브러쉬(1)를 기판(W)의 회전중심(CP)과 대기위치와의 사이에서 택일적으로 이동시키도록 구성하고 있지만, 이 제4실시예 장치에서는 복수개의 브러쉬(1)만을 대기위치에서 대기시켜 두고, 1개의 요동암을 사용해서 복수개의 브러쉬(1) 중 소망의 브러쉬(1)를 기판(W)의 회전중심(CP)과 대기위치와의 사이에서 택일적으로 이동시키도록 구성한 것이다.

구체적으로는 제4(a)도∼제4(d)도와 같은 구성으로 회전 가능하게 지지판 기판(W)의 측방에 있어서, 요동지점(S) 주위에서 요동되는 1개의 요동암(61)이 설치되고, 이 요동암(61)이 대기위치에 설치된 대기포트(TP)에 대기되어 있는 복수개의 브러쉬(1) 중 소망의 브러쉬(1)를 택일적으로 인출해서 지지하고 그 브러쉬(1)를 대기위치와 기판(W)의 회전중심(CP)과의 사이에서 이동시키도록 구성되어 있다.

본 실시예에서는 이 요동암(61)을 승강/요동하는 등 이하의 기구가 본 발명에서 이동수단에 상당한다.

요동암(61)의 기단부측은 측심이 요동지점(S)과 일치하는 암 지지측(62)의 선단부에 부착되어 있다. 이 암 지지축(62)은 베이스프레임(63)에 회전 자유로이, 또 승강자유로이 세워 설치되고, 그 기단부측에 있어서 벨트(64)를 통해서 전동모터(62)의 회전이 전동되고 있고, 이것에 의해 요동암(61)을 요동지점(61) 주위에서 요동 가능하게 하고 있다.

암 지지축(62)의 아래쪽에는 에어실린더(66)와 설치되고, 이 에어실린더(66)의 로드(66a)의 선단부에는 호이스트(hoist) 부재(67)가 일체로 연이어 접속되어 있고, 에어실린더(66)의 로드(66a)를 신장시키는 것에 의해 암지지축(62)의 아래쪽을 눌러서 올려 요동암(61)이 상승된다. 또한, 암 지지축(62)에는 스토퍼(stopper)(68)가 부착되고, 이 스토퍼(68)가 지지대(69)에 접촉하는 것에 의해 암 지지축(62)의 강하위치가 규제되고 있다. 또 암 지지축(62)은 에어실린더(70)의 로드(70a)의 신축에 의해 신장, 수축 가능하게 구성되어 있다.

요동암(61)의 선단부에는 브러쉬 척(71)이 설치되어 있다. 이 브러쉬척(71)은 요동암(61)의 선단부 아래쪽에 회전 자유로이 부착되어 있고, 벨트(72)를 통해서 전동모터(73)의 회전이 전도되어 후술하는 바와 같이 브러쉬척(71)으로 지지한 브러쉬(1)를 회전(자전)시키도록 구성되어 있다.

브러쉬척(71)의 선단부에는 4개의 집게발(74)이 +자 방향으로 개폐 자유로이 부착되고, 브러쉬(1)의 상측면에 주위 방향으로 설치된 홈(1b)을 제14(b)도에 나타낸 바와 같이, 이 집게발(74)로 사방에서 끼워 지지하여 브러쉬(1)를 지지하도록 구성되어 있다.

이들 집게발(74)은 지지점(75)을 중심으로 해서 요동되도록 구성되고, 또한 각 집게발(74)의 기단부의 원반형태의 부재(76)는 압축코일 스프링(77)으로 항상 위쪽 방향으로 힘이 가해지고 있는 지지판(78)상에 얹혀지고, 이것에 의해 각 집게발(74)은 항상 닫혀진 방향으로 힘이 가해지고 있다. 한편, 부재(76)의 위쪽에는 디프레스(depress)부재(79)를 선단부에 부착하고, 브러쉬척(71)내를 상하방향으로만 미끄러지는 베어링(80)을 통해서 승강 자유로운 구동축(81)이 설치되어 있다. 이 구동측(81)은 에어실린더(82)의 로드(82a)의 신축에 의해 승강되고, 에어실린더(82)의 로드(82a)가 신장되어, 구동축(81)이 강하되는 것에 의해 각 부재(76)를 통해서 지지판(78)이 눌러져 내려가 각 집게발(74)이 열려지도록 구성되어 있다.

다음에, 대기포트(TP)의 구성을 제13도, 제15도를 참조해서 설명한다.

이 대기포트(TP)는 요동암(61)의 브러쉬척(71)의 요동궤적에 따라서 복수개의 대기컵(91)이 설치되어 있다. 각 대기컵(91)에는 브러쉬(1)의 홈(1b)이 위쪽에서 돌출됨과 동시에 브러쉬 모(1a)가 아래쪽에서 돌출되도록 끼우고, 빼내기 자유롭게 브러쉬(1)가 수납되어 있다. 각 대기컵(91)은 대기포트(TP)에 회전 자유로이 부착되고, 전동모터(92)의 회전이 벨트(93, 94, 95)를 통해서 각 대기컵(91)에 전동하도록 구성되어 있다. 또한 대기포트(TP)에는 복수개의 세정액 분사용의 노즐(SN)이 설치되고, 각 대기컵(91)에 수납된 대기중의 각 브러쉬(1)가 회전되면서 각 브러쉬(1)의 모(1a)의 세정이 행해지도록 구성되어 이다. 또, 제15도 중 부호 HD는 세정 후 세정액(배출액)을 배출하는 배출 드레인을 나타낸다.

다음에, 본 실시예 장치의 동작을 제12도, 제13도를 참조해서 설명한다.

(1) 초기 상태에서는 제12도의 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이 요동암(61)은 대기포트(TP)의 위쪽에 대기하고 있다. 이때, 암지지축(62)의 스토퍼(68)는 지지대(69)에 접촉함과 동시에 에어실린더(70)의 로드(70a)가 신장되고, 암지지축(62)이 신장된 상태이다. 또한, 대기포트(TP)의 각 대기컵(91)에는 각각 브러쉬(1)가 수납되어 있고, 이 대기상태에서는 각 브러쉬(1)는 전동모터(92)의 회전에 의해 자전되면서 세정액으로 브러쉬의 모(1a)가 세정되고 있다.

(2) 기판 세정에 즈음해서는, 우선 전동모터(65)를 구동하고, 요동암(61)의 브러쉬척(71)이 대기포트(TP)의 대기컵(91)에 수납된 브러쉬(1) 중 소망하는 브러쉬의 위쪽에 위치하도록 요동암(61)을 요동시킨다. 그리고, 전동모터(92)의 회전을 정지해서 각 브러쉬(1)의 자전을 정지시켜 에어실린더(82)의 로드(82a)를 신장시켜 브러쉬척(71)의 각 집게발(74)을 열고, 또 에어실린더(70)의 로드(70a)를 수축하여 암 지지축(62)을 수축해서 브러쉬척(71)을 강하시켜, 다음에 에어실린더(82)의 로드(82A)를 수축시켜 브러쉬척(71)의 각 집게발(74)을 닫아서 소망의 브러쉬(1)를 브러쉬척(71)으로 끼워 지지하고, 에어실린더(70)의 로드(70a)를 신장시켜 끼워 지지한 브러쉬(1)를 대기컵(91)에서 위쪽으로 인출한다. 소망 브러쉬의 인출이 종료하면 전동모터(92)를 재차 구동해서 대기포트(TP)에 대기하고 있는 다른 브러쉬(1)의 모(1a)의 세정이 재개된다.

(3) 다음에, 에어실린더(66)의 로드(66a)를 신장시켜서 암 지지축(62)을 위쪽으로 집어 올리고, 그 상태에서 전동모터(65)를 정회전시켜 요동암(61)을 요동시켜 인출한 브러쉬(1)를 기판(W)의 회전중심(CP)의 위쪽으로 이동시킨다.

(4) 다음에, 에어실린더(66)의 로드(66a)를 수축시켜 브러쉬(1)를 강하시킨다. 이때, 스토퍼(68)는 지지대(69)에 접촉해 있고, 이후의 기판 세정 때, 브러쉬(1)를 소정의 높이로 유지하면서 행한다. 또, 스토퍼(68)가 지지대(63)에 접촉하고 있을 때, 브러쉬(1)는 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단이 기판(W)의 표면에 접촉(또는 브러쉬 1의 모 (1a)의 하단에 기판 W의 표면에서 약간 띄운 상태로 된다)하도록 스토퍼(68), 지지대(69) 등이 조정되어 있다. 또, 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단을 기판(W)의 표면에 접촉시킨 세정과 브러쉬(1)의 모(1a)의 하단을 기판(W)의 표면에서 약간 띄운 상태에서의 세정을 질환해서 실시하는 경우에는, 예를 들면 에어실린더(70)에 대신해서 2개의 에어실린더를 직렬로 연결해서 암 지지축(6)의 신축을 2단계로 행하도록 구성하면 좋다. 또한 제16도에 나타낸 바와 같이 지지대(69)에 승강 자유로운 접촉부(200)을 설치하고, 이 접촉부(200)를 에어실린더(201)의 로드(201a)의 신축에 의해 승강시키는 것에 의해 스토퍼(68)가 접촉부(200)에 접촉할 때 브러쉬(12)의 높이를 다르게 구성해도 좋다.

(5) 브러쉬(1)의 높이가 조절된 상태에서 기판(W)을 회전중심(CP) 주위에서 회전시킴과 동시에, 전동모터(73)을 구동해서 브러쉬(1)를 회전(자전)시킨다.

(6) 그리고, 노즐(NZ)에서 기판(W)의 표면에 세정액을 공급하면서 전동모터(65)을 역회전시켜 제13도에 나타낸 바와 같이, 브러쉬(1)를 회전중심(CP)에서 기판(W)의 바깥 테두리 측방위치(EP)까지 이동시켜 기판(W) 표면의 전면세정을 행한다.

(7) 기판 세정이 종료하면, 모터(73)의 구동을 정지해서 브러쉬(1)의 자전을 정지시켜 에어실린더(66)의 로더(66a)를 신장시키고, 암 지지축(62)을 집어 올려 그 상태에서 전동모터(65)를 역회전시키고, 이 세정에 사용한 브러쉬(1)를 인출한 대기컵(91)의 위쪽 위치까지 브러쉬(1)를 이동시키도록 요동암(61)을 요동시킨다. 그리고, 대기포트(TP)의 전동모터(92)의 회전을 정지시키고, 다음에 에어실린더(66)의 로드(66a)를 수축시키며, 그것에 계속해서 에어실린더(70)의 로드(70a)를 수축시키고, 암 지지축(62)을 수축시켜 브러쉬(1)를 강하시켜 대기컵(91)에 수납한다. 그리고, 에어실린더(82)의 로드(82a)를 신장시키고, 브러쉬척(71)의 각 집게발(74)을 열어서 브러쉬(1)의 지지를 해제하며, 에어실린더(70)의 로드(70a)를 신장시켜 브러쉬척(71)을 상승시키고, 각 집게발(74)을 닫어 다음 세정까지 대기한다. 또 세정에 사용된 브러쉬(1)가 대기컵(91)에 수납되면 전동모터(92)의 회전을 개시하고, 각 브러쉬(1)의 모(1a)의 세정을 재개한다. 또한 그후 사용하는 브러쉬(1)를 변경하는 경우에는 상기 동작을 반복해서 행한다.

이 실시예에 의하면, 상술한 제1실시예에서 설명한 효과에 부가해서 대기포트(91)에는 브러쉬(1)만 대기되어 있으므로, 브러쉬(1)의 교환작업에 있어서, 작업자는 브러쉬(1)를 암 등에서 분리하는 등 번잡한 작업을 행할 필요가 없게 되고, 작업자 부담의 경감을 도포할 수 있다.

또, 이 제4실시예 장치에서는 기판(W)과 대기포트(TP)의 위치관계가 요동지점(S)을 끼워서 반대측에 설치되어 있지만, 예를 들면 대기포트(TP)를 기판(W)의 측방에 설치하고 상술한 제1실시예와 같이 요동암(61)에 의한 브러쉬(1)의 대기위치와 기판(W)의 회전중심(CP)과의 사이의 이동시 요동암(61)의 대략 90°회전되도록 한 위치에 설치되어도 좋다. 또한 상술한 제1 내지 제3실시예에 있어서, 기판(W)과 대기포트(TP)의 위치관계를 이 제4실시예 장치와 같이 요동지점(P)(제1도, 제2도 참조)을 끼워 대향해서 설치하고, 대기포트(TP)을 기판(W)의 측방에 설치하도록 구성해도 좋다.

그런데, 상기 제4실시예 장치에서는 대기포트(TP)에 대기된 브러쉬(1)와 요동암(61)과의 연결은 브러쉬척(71)의 집게발(74)로 끼워 지지해서 행하도록 구성하고 있지만, 브러쉬(1)와 요동암(61)과의 연결(부착/분리)을 이하에 설명하는 바와 같이 진공흡착에 의해 행하도록 구성해도 좋다.

이 변형에의 구성은 제17도∼제19도를 참조해서 설명한다.

제17도는 제4실시예 장치의 변형에의 요동암 부근의 구성을 나타내는 단면도, 제18도는 이 변형예의 대기포트를 측면에서 본 대기컵의 단면도, 제19도는 이 변형예의 대기포트의 평면도이고, 도시를 생략하고 있는 부분 및 제12도∼제15도와 동일 부호로 나타낸 부분은 제4실시예 장치와 동일한 구성이므로 그 상세한 설명은 생략한다.

이 변형예의 브러쉬(1)는 모(1a)가 심어져 있는 부분의 반대측이 테이퍼 형태로 형성되어 있고, 이 페이터 형태의 부분이 요동암(61)의 선단 연결부(110)에 연결되는 부착부(1c)로 된다.

한편, 요동암(61)의 선단 연결부(110)는 상기 브러쉬(1)의 부착부(1c)와 끼워 맞추는 테이퍼 형태의 凹부를 구비하고, 그 凹부에 흡착구멍(112)이 설치되어 있다. 또한 연결부(110)부는 요동암(61)에 대해서 회전중심(B) 주위에서 회전 자유로이 지지된 회전축(113)의 선단부에 입체적으로 연결되고 있다.

흡착구멍(112)은 이 회전축(113)의 중공부(114), 중공부(114)에 연이어 통해지도록 요동암(61)에 연결된 판(115), 개폐밸브(116)를 통해서 진공흡인원(117)에 연이어 통해지고, 개폐밸브(116)의 개폐에 의해 흡착구멍(112)에서의 진공흡인과 그 해제가 행해지도록 구성되어 있다. 또한 판(115)에서 분기된 판(118)은 개폐밸브(119), 니들밸브(120)를 통해서 대기와 연이어 통해지며, 개폐밸브(119)의 개폐에 의해 흡착구멍(112)에서의 진공흡인력을 감소시켜 니들밸브(120)에 의해 그 진공흡인력의 감소량을 조정할 수 있도록 구성되어 있다.

또한, 회전축(113)은 벨트(72)를 통해서 모터(73)의 회전이 전동되고, 모터(73)를 회전시키는 것에 의해 연결부(110)에 지지된 브러쉬(1)를 회전중심(B) 주위에서 회전(자전)시키고 있다.

또, 제18도에 나타낸 바와 같이 대기포트(TP)의 각 대기포트(130)의 내측에는 도시하지 않는 진공흡인원에 연이어 통해진 흡착구멍(131)이 설치되어 있다. 그리고, 도시하지 않은 절환수단으로에 의해 각 대기컵(130)을 흡입상태와 비흡인상태로 절환되도록 되어 있다. 또, 이 절환수단은, 예를 들면 흡착구멍(131)과 진공흡인원과의 연이이 통한 상태와, 흡착구멍(131)과 대기와의 연이어 통한 상태를 절환하는 개폐밸브(절환밸브) 등으로 구성된다.

이 변형에서 의한 요동암(61)에 대한 브러쉬(1)의 부착/분리, 즉 대기포트(TP)에 대기하고 있는 브러쉬(1)와 요동암(61)과의 연결 및 세정이 종료한 브러쉬(1)를 대기포트(TP)에 대기시킬 때의 브러쉬(1)와 요동암(61)과의 연결 해제는 이하와 같이 행해진다.

우선, 브러쉬(1)와 요동암(61)과의 연결할 때에는, 우선 요동암(61)이 대기 중의 브러쉬(1)의 위쪽에서 강하하고, 브러쉬의 페이퍼 형태의 부착부(1c)가 요동암(61)의 연결부(110)의 페이퍼 형태의 凹부(111)에 삽입시켜진다. 다음에, 개폐밸브(116)을 열고, 개폐밸브(119)를 닫아서 진공흡인원(117)에서 진공흡입하는 것에 의해 브러쉬(1)를 요동암(61)의 연결부(110)에 흡착 유지시킨다. 그리고, 요동암(61)을 상t승시켜서 흡착 유지된 브러쉬(1)를 대기포트(TP)(대기컵 130)에서 꺼낸다. 이때, 대기컵(130)에 의한 브러쉬(1)의 흡착은 해제되어 있으므로 브러쉬(1)를 대기컵(130)에서 꺼내는데 지장은 없다.

한편, 브러쉬(1)의 요동암(61)과의 연결을 해제할 때에는, 우선 대기포트(TP) 위쪽에서 요동암(61)이 강하해서 요동암(61)에 연결(흡착유지)된 브러쉬(1)를 소정의 대기컵(130)에 삽입한다. 다음에, 대기컵(130)의 흡착구멍(131)을 흡인상태로 절환하여 브러쉬(1)를 흡착 유지한다. 그리고, 개폐밸브(116)를 닫아서 흡착구멍(112)에서의 진공흡인을 해제하던가, 개폐밸브(116)를 연 상태 그대로 개폐밸브(119)를 닫아서 흡착구멍(112)에서의 진공흡인력을 감소(이 감소량은 니들 밸브 120로 조정된다)시켜서 요동암(61)을 상승시키고, 브러쉬(1)의 부착부(1c)를 요동암(61)의 연결부(110)의 凹부(111)에서 빼낸다. 이때, 브러쉬(1)는 대기컵(130)에 의해 흡착유지되어 있으므로 브러쉬(1)가 요동암(61)과 함께 집어 올려지지 않는다. 요동암(61)과 브러쉬(1)의 연결이 해제되면 대기컵(130)에 의한 브러쉬(1)의 흡착을 해제한다.

이와 같이, 이 변형예에 의하면 브러쉬(1)의 부착/분리시에는 브러쉬(1)와 다른 부재와의 마찰에 의한 파티클이 발생하기 어려워 기판(W)을 오염시키지 않는다. 또, 브러쉬(1)와 요동암(61)과의 연결을 해제할 때, 개폐밸브(116)를 연 상태 그대로 개폐밸브(119)를 닫아서 흡착구멍(112)에서의 진공흡인력을 감소시켜 행하면, 브러쉬(1)의 연결해제시에 부재의 마찰에 의한 파티클이 발생해도 흡착구멍(112)에서 흡인력은 유지되어 있으므로 발생한 파티클은 흡착구멍(112)에 흡인되어, 파티클의 주위로 확산하는 것을 방지할 수 있고, 기판(W) 오염의 방지가 한층 도모된다.

또한, 이 변형예에서는 브러쉬(1)의 부착부(1c)를 테이프 형태로 구성하고, 요동암(61)의 연결부(110)에 부차부(1c)와 끼워 맞추는 페이퍼 형태의 凹부(111)를 설치함과 동시에, 그 凹부(111)내에 흡착구멍(112)을 설치해서 부착부(1c)를 凹부(111)에 삽입시킨 상태에서 브러쉬(1)를 진공흡착에 의해 연결부(110)에 지지되도록 구성하였으므로 브러쉬(1)의 축심을 회전중심(B)에 일치시키는 등 연결부(110)의 미리 결정된 위치에 미리 결정된 상태에서 브러쉬(1)를 정확하게 부착할 수 있다. 따라서, 예를 들면 브러쉬(1)의 연결시 브러쉬(1)의 축심이 회점중심(B)과 엇갈리고, 세정시에 회전측(113)을 회전중심(B) 주위에서 회전시킬 때 브러쉬(1)가 편심해서 회전되는 것에 의한 장치의 파손이나 세정효과의 저하 등 불리함이 회피된다.

또, 이 변형예에서는 브러쉬(1)의 부착부(1c)의 형상을 테이퍼 형태로 하고, 요동암(61)의 연결부(110)에 凹부(11)를 설치하며, 그 凹부(111)내에 흡착구멍(112)을 설치하도록 구성하였지만, 부착부(1c), 연결부(110)의 구성이나 흡착구멍(112)의 위치는 상기 변형예의 구성에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 제20(a)도∼제20(i)도에 나타난 바와 같이 구성해도 좋다.

제20(a)도∼제20(c)도의 구성은 부착부(1c)를 원통형태로 형성함과 동시에, 1개 또는 복수개(도면에서는 4개)의 3각 원추 형태의 돌출부(140)를 설치하고, 연결부(110)에는 상기 부차부(1c)에 끼워 맞추도록 원통형태의 凹부에 3각 원추 형태의 돌출부(140)에 끼워 맞추는 잘린 부분(141)을 설치하며, 흡착구멍(112)을 연결부(110)의 凹부내에 설치한 구성이다. 또, 제20(a)도는 브러쉬(1)가 연결부(110)에 지지된 상태의 단면도 제20(b)도는 연결부(110)를 아래쪽에서 본 도면, 제20(c)도는 브러쉬(1)를 위쪽에서만 본 도면이다.

또한 제20(d)도∼제30(f)도의 구성은 부착부(1c)에 복수개(도면에서는 4개)의 凸부(150)를 설치하고, 연결부(110)에는 상기 부착부(1c)의 凸부(150)에 끼워 맞추는 복수개의 凹부(151)를 설치하며, 흡착구멍(112)을 연결부(110)의 하면에 설치한 구성이다. 또, 제20(d)도는 브러쉬(1)가 연결부(110)에 지지된 상태의 단면도, 제20(e)도는 연결부(110)를 아래쪽에서 본 도면, 제20(f)도는 브러쉬(1)를 위쪽에서만 본 도면이다.

또, 제20(g)도∼제20(i)도의 구성은 부착부(1c)에 링 형태의 凸부(160)를 설치하고, 연결부(110)에는 상기 부착부(1c)의 凸부(160)에 끼워 맞추는 링 형태의 凹부(161)를 설치하며, 흡착구멍(112)을 연결부(110)의 하면과 凹부(161)내에 설치한 구성이다. 또, 제20(g)도는 브러쉬(1)가 연결부(110)에 지지된 상태의 단면도, 제20(h)도는 연결부(110)를 아래쪽에서 본 도면, 제20(i)도는 브러쉬(1)를 위쪽에서 본 도면이다.

또, 제20(a)도∼제20(i)도는 부착부(1c), 연결부(110)의 구성이나 흡착구멍(112)의 위치의 변형예의 일례를 나타낸 것이고, 부착부(1c), 연결부(110)의 구성이나 흡착구멍(112)의 위치는 그 밖에 여러 가지 변형을 실시할 수 있다.

그런데, 상기 제1∼제3실시예에서는 브러쉬(1)는 브러쉬암(2)에 미리 연결되어 있지만, 브러쉬(1)의 수명이 끝날 때에는 그 브러쉬(1)의 교환을 행할 필요가 있다. 이 브러쉬(1)와 브러쉬암(2)의 연결은 종래 기술에서 설명한 바와 같이, 볼트와 너트를 나사 결합시키는 것이다. 따라서 상기 제1∼제3실시예에서 브러쉬(1)의 교환을 행할 때에는 종래 기술과 같이 볼트와 너트의 마찰에 의한 파티를 발생이 발생하고, 기판을 오염시키는 것으로 된다. 따라서, 상기 제1∼제3실시예의 브러쉬암(2)과 브러쉬(1)와의 연결구성을 상기 제17도∼제19도 및 제20(a)도∼제20(i)도에서 설명한 바와 같이 진공흡착으로 행하도록 하면 파티클의 발생이나 그 파티클의 확산 등을 방지할 수 있고, 기판을 오염시키지 않는다. 또, 이때 브러쉬암(2)을 제17도와 같이 구성해서 브러쉬암(2)내에 진공흡인하기 위한 관경로 등을 설치하면 좋다.

또한, 이 경우 브러쉬(1)의 부착/분리는 이와 같이 행해진다.

우선, 브러쉬(1)를 부착할 때에는 작업자가 브러쉬(1)의 테이퍼 형태의 부착부(1c)를 브러쉬암(2)의 연결부(110)의 凹부(111)에 삽입하여 그 상태에서 개폐밸브(116)를 열고, 개폐밸브(119)를 닫아서 진공흡인원(117)에서 진공흡인하는 것에 의해 브러쉬(1)를 브러쉬암(2)의 연결부(110)에 흡착 유지시킨다.

한편, 브러쉬(1)를 분리할 때에는 개폐밸브(116)를 닫아서 흡착구멍(112)에서의 진공흡인을 해제하던가, 개폐밸브(116)를 연 상태 그대로 개폐밸브(119)를 열어서 흡착구멍(117)에서의 진공흡인력을 감소(이 감소량은 니들 밸브 120로 조정된다)시켜 작업자가 브러쉬(1)의 부착부(1c)를 브러쉬암(2)의 연결부(110)의 凹부(111)에서 빼낸다.

또한, 브러쉬(1)를 분리할 때 개폐밸브(116)를 연상태 그대로 개폐밸브(119)를 열어 흡착구멍(117)에서의 진공흡인력을 감소시켜 행하면, 파티클이 발생해도 그 파티클은 흡착구멍(112)에서 흡인되고, 파티클의 주위로의 확산을 방지할 수 있다.

본 발명은 그 사상 또는 본질에서 이탈하지 않고, 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있고, 따라서 본 발명의 범위를 나타내는 것으로서 이상의 설명이 아니고, 부가된 청구항을 참조해야 할 것이다.

Claims

기판을 회전시키면서 상기 기판의 표면을 브러쉬로 세정하는 브러쉬 세정장치에서, 상기 기판의 바깥 테두리 외측의 대기위치에 대기된 복수개의 브러쉬와, 상기 대기위치에 대기된 복수개의 브러쉬에서 임의의 브러쉬를 선택하고, 상기 대기위치와 상기 기판의 표면 사이에서 상기 선택한 브러쉬를 이동시키는 이동수단을 구비하는 브러쉬 세정장치.
제1항에 있어서, 상기 선택된 브러쉬의 수직방향 높이 위치를 변위시키는 수직 변위수단을 더 구비하는 브러쉬 세정장치.
제1항에 있어서, 상기 선택된 브러쉬가 상기 이동수단에 의해 상기 기판표면의 중앙부에서 상기 기판의 바깥 테두리 방향으로 이동될 때, 상기 브러쉬를 회전(자전)시키는 브러쉬 회전수단을 더 구비하는 브러쉬 세정장치.
제1항에 있어서, 상기 대기위치에 배치되고, 상기 각 브러쉬의 적어도 하단부분이 삽입되어 상기 브러쉬를 대기시키는 대기포트와, 상기 대기포트에 대기된 각 브러쉬를 회전(자전)시키는 대기 브러쉬 회전수단과, 상기 대기포트 내에 삽입된 각 브러쉬의 하단부분에 세정액을 분사하는 세정액 분사수단을 더 구비하는 브러쉬 세정장치.
제1항에 있어서, 상기 대기위치에는 선단부에 브러쉬가 연결된 브러쉬 지지암이 대기되게 복수개 병렬 설치며, 상기 브러쉬 지지암에서 임의의 브러쉬 지지암을 선택하고, 상기 브러쉬 지지암을 택일적으로 소정의 요동지점 주위에서 요동시키는 것에 의해 상기 브러쉬 지지암에 연결된 브러쉬를 상기 대기위치와 상기 기판 표면 사이에서 이동시키는 브러쉬 세정장치.
제5항에 있어서, 상기 대기위치에 병렬 설치되어 대기된 각 브러쉬 지지암의 암 길이를 같게 함과 동시에 1점으로 규정된 요동지점 주위로 요동되는 요동암과, 상기 요동암과 임의의 1개 브러쉬 지지암을 걸어 맞추어 연결하는 걸어 맞춤수단과, 상기 각 브러쉬 지지암을 상기 병렬 방향으로 수평 이동시키고, 상기 요동암에 걸어 맞추어 연결하는 브러쉬 지지암을 선택하는 수평 이동수단과, 상기 요동암에 걸어 맞추어 연결된 브러쉬 지지암을 요동암과 함께 승강시키는 승강수단과, 상기 승강된 요동암과 브러쉬 지지암을 소정의 요동지점 주위에서 요동시키는 요동 구동수단을 더 구비하고, 상기 브러쉬 지지망을 택일적으로 소정의 요동지점 주위에서 요동시키고, 상기 브러쉬 지지암에 연결된 브러쉬를 상기 대기위치와 상기 기판표면 사이에서 이동시키도록 구성한 브러쉬 세정장치.
제5항에 있어서, 상기 대기위치에 병렬 설치되어 대기된 각 브러쉬 지지암의 암 길이를 상기 기판에서 멀리 배치되는데에 따라서 길게 형성함과 동시에, 각 브러쉬 지지암마다 개별적으로 규정된 요동지점 주위에서 요동가능한 요동암과, 상기 요동암과 임의의 1개 브러쉬 지지암을 걸어 맞추어 연결하는 걸어맞춤수단과, 상기 요동암을 각 브러쉬 지지암에 대해서 횡단 이동시키고, 상기 요동암에 걸어 맞추어 연결하는 브러쉬 지지암을 선택하는 횡단 이동수단과, 상기 요동암에 걸어맞추어 연결된 브러쉬 지지망을 요동암과 함께 승강시키는 승강수단과, 상기 승강된 요동암과 브러쉬 지지암을 상기 브러쉬 지지암의 요동지점 주위에서 요동시키는 요동수단을 구비하고, 대기 위치에 대기된 복수의 브러쉬 지지암에서 임의의 브러쉬 지지암을 선택하고, 상기 브러쉬 지지암을 택일적으로 소정의 요동지점 주위에서 요동시켜, 상기 브러쉬 지지암에 연결된 브러쉬를 대기위치와 상기 기판 표면 사이에서 이동시키도록 구성한 브러쉬 세정장치.
제1항에 있어서, 상기 대기위치에는 복수개의 브러쉬만이 대기되고, 상기 브러쉬에서 임의의 브러쉬를 선택해서 상기 브러쉬를 1개의 요동암의 선단부에 연결하고, 상기 요동암을 소정의 요동지점 주위에서 요동시키는 것에 의해 선택한 브러쉬를 상기 대기위치와 상기 기판 표면 사이에서 이동시키도록 한 브러쉬 세정장치.
제5항에 있어서, 상기 각 브러쉬 지지암의 선단부에는 진공흡인원에 연이어 통해진 흡착구멍을 각각 설치하고, 상기 각 브러쉬는 진공흡착에 의해 상기 각 브러쉬 지지암의 선단부에 연결시키는 브러쉬 세정장치
제8항에 있어서, 상기 요동암의 선단부에는 진공흡인원에 연인어 통해진 흡착구멍을 설치하고, 상기 각 브러쉬는 진공흡인에 의해 상기 요동암의 선단부에 연결시키는 브러쉬 세정장치.
제9항에 있어서 상기 각 브러쉬 지지암의 선단부에 연결시키는 상기 각 브러쉬의 부위(부착부위)를 테이퍼 형태로 구성하고, 상기 각 브러쉬 지지암의 선단부에 상기 부착부와 끼워 맞추는 테이퍼 형태의 凹부를 각각 설치함과 동시에 상기 凹부내에 상기 흡착구멍을 각각 설치하며, 상기 각 브러쉬의 부착부를 상기 각 브러쉬 지지망의 선단부에 설치한 凹부에 각각 삽입시킨 상태에서 상기 각 브러쉬를 진공흡착에 의해 상기 각 브러쉬 지지암의 선단부에 연결시키는 브러쉬 세정장치.
제10항에 있어서, 상기 요동암의 선단부에 연결시키는 상기 각 브러쉬의 부위(부착부위)를 각각 테이퍼 형태로 구성하고, 상기 요동암의 선단부에 상기 부착부와 끼워 맞추는 테이퍼 형태의 凹부를 설치함과 동시에, 상기 凹부내에 상기 흡착구멍을 설치하며, 상기 선택된 브러쉬의 부착부를 상기 요동암의 선단부에 설치한 凹부에 삽입시킨 상태에서 상기 브러쉬를 진공흡착에 의해 상기 요동암의 선단부에 연결시키는 브러쉬 세정장치.
제1항의 브러쉬 세정장치를 사용한 브러쉬 세정방법에 있어서, 상기대기위치에는 복수 종류의 브러쉬를 대기시켜 두고, 소정의 세정순서에 따라서 최초의 세정에 사용하는 종류의 브러쉬를 선택해서 상기 브러쉬를 대기위치에서 기판의 중앙부로 이동시켜 기판 표면에 브러쉬의 하단을 접촉시키고, 또는 기판 표면에서 브러쉬의 하단을 약간 띄운 상태에서 기판을 회전시키면서 브러쉬를 기판의 중앙부에서 바깥 테두리 방향으로 이동시켜 상기 브러쉬에 의한 기판의 세정을 행하고, 상기 브러쉬에 의한 기판 세정이 종료하면, 상기 브러쉬를 대기위치로 이동시켜 대기시키고, 다음에 제2번째의 세정에 사용하는 종류의 브러쉬를 선택해서 상기 브러쉬를 사용해서 상기와 같이 해서 브러쉬 세정을 행하며, 이하 동일하게 제3번째 이후의 세정에 사용하는 브러쉬를 순차 선택해서 복수 종류의 브러쉬를 사용한 일련의 기판 세정을 행하는 브러쉬 세정방법.
제1항의 브러쉬 세정장치를 사용한 브러쉬 세정방법에 있어서, 상기 대기위치에는 동일 종류의 브러쉬를 복수개 대기시켜 두고, 동일 종류의 브러쉬를 사용하는 기판 세정은 상기 종류의 브러쉬를 로테이션을 편성해서 순서대로 선택하여 기판 세정을 사용하는 브러쉬 세정방법.
제3항의 브러쉬 세정장치를 사용한 브러쉬 세정방법에 있어서, 기판이 회전되면서 선택된 브러쉬를 기판의 중앙부에서 기판의 바깥 테두리 방향으로 이동시킬 때 브러쉬를 회전(자전)시키면서 이동시켜서 기판 세정을 행하는 브러쉬 세정방법.
제4항의 브러쉬 세정장치를 사용한 브러쉬 세정방법에 있어서, 대기 중의 각 브러쉬는 대기포트 내에 하단 부분이 삽입된 상태에서 회전(자전)되고, 하단부분이 세정되도록 세정액을 분사해서 각 세정 브러쉬의 하단 부분의 세정을 행함과 동시에, 임의의 브러쉬가 선택되어 기판 세정이 행해지고 있는 사이에도 다른 대기중의 각 브러쉬의 하단부분의 세정에 행하는 브러쉬 세정방법.
제9항의 브러쉬 세정장치에서 브러쉬 지지암 선단부에 대한 브러쉬의 부착/분리방법에 있어서, 상기 브러쉬 지지암 선단부의 흡착구멍에서의 흡인력을 약하게 하고, 상기 브러쉬 지지암의 선단부에 진공흡착된 브러쉬를 분리하는 브러쉬의 부착/분리방법.
제10항의 브러쉬 세정장치에서 요동암 선단부에 대한 브러쉬의 부착/분리 방법에 있어서, 상기 요동암 선단부의 흡착구멍에서의 흡인력을 약하게 하고, 상기 요동암의 선단부에 진공흡인된 브러쉬를 분리하는 브러쉬의 부착/분리방법.