KR0140493B1 - 온도센서와 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 자동차의 배기가스를 처리하기 위한 촉매 등의 온도를 정확하게 측정할 수 있는 전기저항치의 경시변화율이 작은 더미스터를 구비한 온도센서와 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한 것으로서, 그 구성에 있어서, 내열캡(4)과, 이 내열갭(4)내에 설치된 더미스터소자(1)와, 그 더미스터소자(1)에 전기적으로 접속되는 동시에 내열캡(4)밖으로 인출된 리드선을 구비하고, 더미스터소자(1)를 구성하는 재료가 하기의 화학식 및 조성범위로 표시되는 물질을 주성분으로 하고, 필요에 따라서 이 주성분에 CaO. 희토류산화물, ThO2, 또는 ZrO2단독 또는 조합해서 부가하고 혼합, 임시소성, 분쇄, 입자만들기, 소성의 과정을 거쳐 제작되는 것을 특징으로 한 것이다.

(Al1-x-yCrxFey)2O3

0.05≤ x+y≤ 0.95, 0.05≤ y / (x+y) ≤ 0.6

Description

온도센서와 그 제조방법

제1도는 본 발명의 온도센서의 일실시예의 구조를 표시한 단면도,

제2도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 온도센서에 사용되는 더미스터의 구조를 표시한 사시도,

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

(1):더미스터소자 (2a), (2b) : 백금파이프

(3a), (3b):2심관 (4) : 내열캡

본 발명은 예를 들면 자동차의 배기가스를 처리하기 위한 촉매의 온도검지에 사용하는 온도센서에 관한 것이다.

최근, 환경문제나 자동차의 연비향상 등에 대한 요구로부터, 자동차의 배기가스대책용촉매가 자동차의 엔진계통에 사용되고 있으나, 그 촉매성능을 높이기 위해서는 촉매온도를 정확하게 측정할 필요가 있다. 그 때문에 온도센서의 저항치의 경시변화율을 작게, 구체적으로는 ±20% 이내로 억제하지 않으면 안된다.

종래, 300∼700℃의 온도를 검지하기 위하여 사용되고, 또한 1000℃의 내열성을 가진 온도센서에 사용되는 더미스터소자의 재로로서, Mg (Al, Cr)₂O₄계의 물질이 사용되고 있었다.

제1도는 일반적으로 자주 사용되고 있는 온도센서의 구조를 표시하는 단면도이고, 그 선단부에는 제2도에 표시한 더미스터소자(1)가 설치 되어 있다. 더미스터소자(1)에는 백금파이프(2a) (2b) 가 삽입되어 있고, 소성함으로써 온도를 검지할 수 있는 더미스터가 얻어진다.

이 더미스터소자(1)는 제1도에 표시한 바와 같이 촉매온도검지용온도센서로서 내열캡(4)내에 밀봉되고, 이때, 백금파이프(2a), (2b)는 2심관(3a), (3b)과 용접되고, 그 속에는 리드선이 형성되어 내열캡(4)의 밖으로 인출되고 있다.

그러나, 이와 같은 구성을 가진 온도센서에서는, 고온이 되면 내열캡(4)을 구성하는 금속원자가 내열캡(4)내의 산소와 결합하고, 내열캡(4)내의 산소분압을 내리게 된다. 그 때문에 산소분압의 평균을 유지하기 위하여 더미스터소자(1)로부터 산소가 방출된다. 또, 내열캡(4)으로부터 수소나 일산화탄소 등의 환원성가스가 발생하고, 더미스터소자(1) 속의 산소와 결합하여 더미스터소자(1)의 구조가 변화에 버리고, 그 결과 더미스터소자(1)의 저항치의 경시변화율이 ±20%를 넘게 되고 온도를 정확하게 측정할 수 없다는 문제점을 가지고 있었다.

본 발명의 목적은 저항치의 경시변화율을 작게 할 수 있는 물질로 이루어진 더미스터를 구비한 온도센서와 그 제조방법을 제공하는 것이다.

본 발명은 내열캡과, 이 내열캡에 설치된 더미스터소자와, 그 더미스터소자에 전기적으로 접속되는 동시에 내열캡밖으로 인출된 리드선을 구비하고, 더미스터소자가 하기의 화학식 및 조성범위로 표시되는 바의 물질로 구성된 온도센서이다.

(Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃

0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

또, 본 발명의 온도센서는, 더미스터소자를 구성하는 물질이 하기의 화학식 및 조성범위로 표시되는 바의 물질로 구성되는 것이다.

(Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a 원자% CaO

0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

0.1 ≤ a ≤ 5

단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100원자%로 한다.

또, 본 발명의 온도센서는, 더미스터소자를 구성하는 물질이 하기의 화학식 및 조성범위로 표시되는 바의 물질로 구성되는 것이다.

(Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃ ^{+ a}원자%희토류산화물

^{+ b}원자%CaO

0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

0.1 ≤ a ≤ 10, 0 ≤ b ≤ 5

단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100 원자%로 한다.

또, 본 발명의 온도센서는 더미스터소자를 구성하는 물질이 하기의 화학식 및 조성범위로 표시되는 바의 물질로 구성되는 것이다.

(Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a 원자% ThO₂+ b 원자% CaO

0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

0.1 ≤ a ≤ 10, 0 ≤ b ≤ 5

단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100 원자%로 한다.

또 본 발명의 온도센세는, 더미스터소자를 구성하는 물질이 하기의 화학식 및 조성범위로 표시되는 바의 물질로 구성되는 것이다.

(Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a원자% ZrO₂+ b원자% CaO

0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

0.1 ≤ a ≤ 30, 0 ≤ b ≤ 5

단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100 원자%로 한다.

또, 본 발명은 하기의 A∼E에 표시되는 5그룹의 화학식 및 각 성분의 조성범위를 구비한 물질의 어느하나를 균질적으로 혼합한 후 성형해서 전극을 형성하고, 소성함으로써 얻어진 더미스터소자를 내열성캡내에 수납하고, 전극에 접속한 리드선을 내열캡밖으로 인출함으로써 온도센서를 얻는 바의 온도센서의 제조방법이다.

A. (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃

0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

B. (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a원자 %CaO

0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

0.1 ≤ a ≤ 5

단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100 원자%로 한다.

C. (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a 원자% 희토류산화물 + b원자% CaO

0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

0.1 ≤ a ≤ 10, 0 ≤ b ≤ 5

단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100원자%로 한다.

D. (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a 원자% ThO₂+ b원자% CaO

0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

0.1 ≤ a ≤ 10, 0 ≤ b ≤ 5

단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100 원자%로한다.

E. (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a 원자% ZrO₂+ b 원자% CaO

0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y/(x+y) ≤ 0.6

0.1 ≤ a ≤ 30, 0 ≤ b ≤ 5

단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100 원자%로 한다.

다음에 본 발명의 작용의 개요에 대해서 이하에 설명한다.

상기 본 발명의 구성에 의하면 더미스터소자는 코런덤구조를 가진 고전기저항의 Al₂O₃에 P형의 전기전도를 행하는 Cr₂O₃와 N형의 전기전도를 행하는 Fe₂O₃을 고용(固溶)시킨 것이 된다. 이때 P형전기전도를 행하는 물질은 산소를 잃으면 전기저항치가 증가하고, N형전기전도를 행하는 물질은 전기저항치가 감소한다. 이와 같이 동일 결정중에 P형물질과 N형물질을 공존시킴으로써 전기정항치의 경시변화를 작게 억제할 수 있다. 이 작용에 의해서 고온증에 있어서 더미스터소자로부터 산소가 소실되어도 더미스터의 전기저항치의 경시변화를 매우 작게 억제하는 것이 가능하게 되고, 정확한 온도측정을 행할 수 있다.

이하 본 발명의 일실시예에 대해서 도면과 표를 참조하면서 설명한다.

제1도, 제2도에 표시한 온도센서 및 더미스터의 구조에 있어서 본 발명은 종래의 것과 동일하고, 본 발명의 온도센서가 종래의 것과 다른 점은 더미스터의 구성 재료에 있으므로, 이하 그 구성재료와 특징의 관계에 대해서 설명한다.

[실시예 1]

원료로서 Al₂O₃, Cr₂O₃및 Fe₂O₃을 하기의 식①의 조성에 따라서 x와 y가 표1에 표시한 조성이 되도록 소정량칭량배합해서 시료 № 1∼27을 작성했다.

(Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃··· ①

먼저 시료 № 1을 볼밀에 의해서 16시간 혼합하고, 1200℃에서 임시소성한후 다시 볼밀에 의해 18시간 분쇄혼합했다. 그리고 건조후 10중량%농도의 폴리비닐알콜수 용액을 시료의 전체량의 8중량% 첨가해서 입자를 만들었다. 최후에 제2도에 표시한 바와 같은 치수를 가진 형상으로 성형하고, 백금파이프(2a), (2b)를 삽입한 후 1600℃에서 소성하고, 더미스터소자(1)를 얻었다. 시료 № 2∼27에 대해서도 마찬가지의 처리를 행하여 더미스터소자의 샘플을 제작했다.

이와같이 해서 얻어진 더미스터소자(1)를 제1도에 표시한 바와 같이 종래와 마찬가지의 구조를 가진 온도센서의 내열캡(4)내에 짜넣고, 300℃, 600℃, 850℃에 있어서의 저항치를 측정하고, 그 측정치를 표1에 R300, R600, R850의 수치로서 표시했다. 또, 900℃에서 1000시간의 밀폐내구시험을 행한 후, 300℃에 있어서의 저항치를 측정하고, 초기치로부터의 변화율을 구하고, 표1에 △R 300의 수치로서 표시했다.

또한 저항치변화율(ΔR 300)은 (밀폐내구시험후의 저항치-초기저항치)/초기저항치×100(%)의 식에 의해 산출했다.

표1에 표시하는 시료 № 20과 같이 Fe성분이 증가하고 y / (x+y)의 값이 0.6을 넘으면, 저항치변화율이 -30%로서 커진다. 그 이유는 Fe가 고온하에서 내구성이 떨어지고, 환원분위기속에 있어서 산소를 빼앗겨서 더미스터성분속에 있어서 FeO로서 존재하고, 그 때문에 P형전도와 N형전도의 균형이 잡히지 않게 되기 때문이다. 또 Fe성분이 많아지면 균열을 발생하는 원인이 되는 경우도 있다.

또, 시료 №5와 같이 Fe성분이 전혀 함유되어 있지 않으면, N형전도가 존재하지 않고 저항치변화율은 +37%로서 커진다.

[실시예2]

이하에 본 발명의 제2실시예에 대해서 설명한다.

원료로서 AlO, CrO, FeO및 CaCO을 하기의 식②의 조성에 따라서 x, y, a가 표2에 표시하는 조성이 되도록 소정량 칭량배합해서, 시료 №28∼39를 작성했다.

(AlCrFe)O+ a 원자%CaO ··· ②

시료의 처리공정에 있어서 소성온도를 1500℃로 한 이의에는 [실시예1]의 경우와 마찬가지로 해서, 더미스터소자의 샘플을 제작했다. 그리고 그것을 제1도에 표시한 온도센서의 내열캡(4)내에 짜넣고, 300℃, 600℃, 850℃에 있어서의 저항치를 측정하고, 그 측정치를 표2내에 R300, R600, R850의 수치로서 표시했다. 다음에 900℃에서 1000시간의 밀폐내구시험을 행한후, 300℃에 있어서의 저항치를 측정하고, 저항치변화율을(실시예1)에서 사용한 식에 의해 구했다. 그 계산치를 표2에 △R300의 수치로서 표시했다. 또한 CaO는 더미스터소결체의 주성분과는 고용하지 않고, 단독으로 입자경계에 존재한다. 표2중의 시료 №39와 같이, CaO의 첨가량이 5원자 %를 넘으면, 소성중에 CaO가 비산하여 더미스터소자(1)는 다공질이 된다. 그 때문에 산소를 빼앗기기 쉽게 되고, 저항치의 경시변화율이 -20%를 넘어버린다. 또 시료 №38과 같이 CaO의 첨가량이 0.1원자%미만이 되면, [실시예1]에 있어서의 시료의 소성온도보다도 소성온도가 100℃나 낮기 때문에, 소결체의 치밀화를 도모할 수 없고, 저항치의 경시변화율이 커진다. CaO첨가시, 무첨가시의 수치는 (소체밀도)/(이론밀도)×100(%)의 식에 의해 산출했다. CaO의 무첨가시에 있어서의 밀도비2는 [실시예1]에 있어서 제작한 시료에 대해서 구한 것이다. 표2로부터 명확한 바와같이, 소성온도를 100℃나 내리고있음에도 불구하고 CaO를 첨가함으로써, 치밀한 구조를 가진 더미스터소자가 얻어지는 것을 알 수 있다. 또한 CaO의 첨가는 Cr을 많이 함유하는 것에 특별히 효과가 크다.

[실시예3]

이하 본 발명의 제3실시예에 대해서 설명한다.

원료로서 AlO, CrO, FeO, CaCO및 희토류산화물(YO, LaO, CeO, PrO, NdO, SmO, EuO, GdO, TbO, DyO, HoO, ErO, TmO, YbO, LaO)을 하기의 식(3)의 조성에 따라서, x, y, a, b가 표3에 표시한 조성이 되도록, 소정량칭량배합해서 시료 №40∼77을 작성했다.

(AlCrFe)O+ a원자%희토류산화물 + b % CaO ··· ③

시료의 처리공정조건은 [실시예1]의 경우와 마찬가지로 하고, 더미스터소자의 샘플을 제작했다. 그리고 그 더미스터소자의 샘플을 제1도에 표시한 온도센서의 내열캡(4)내에 짜넣고, 300℃, 600℃, 900℃에 있어서의 저항치를 측정하고, 그 측정치를 표3에 R300, R600, R900의 수치로서 표시했다. 다음에 1100℃에서 1000시간의 밀폐내구시험을 행한후, 300℃에 있어서의 저항치를 측정하고, 저항치변화율을[실시예1]의 경우와 마찬가지로 산출하고 표3에 ΔR300의 수치로서 표시했다.

본 실시예에 있어서는 희토류산화물과 CaO를 첨가해서 더미스터소결체의 치밀화를 도모하고, 흡착가스가 소결체로부터 산소를 빼앗아 확산하는 것을 막고 있다. 도 희토류산화물은 입자경계에 있어서, 퍼로브스카이트구조의 (RE)CrO으로서 존재하고 있다. 여기서 RE는 희토류원소를 표시하고 있다. CaO는 더미스터소결체의 주성분과는 고용하지 않고 단독으로 입자경계에 존재하고 있다.

표3의 시료 №42, 54, 66과 같이 희토류산화물의 첨가량이 10원자%를 넘으면, (RE) CrO의 편석량이 증가하고, 더미스터소결체의 주성분의 Cr이 다량으로 소실되어 반도체특성의 균형이 깨져서 저항치의 경시변화율이 ±20%를 넘어버린다. 또 시료 №47, 61, 75와 같이, CaO를 첨하하지 않고 또한 희토류산화물의 첨가량이 0.1원자%미만이며, 저항치의 경시변화율은 ±20%를 크게 넘어버린다.

또한, 밀폐내구시험에 있어서의 저항치의 변화율을 실시예1,2의 경우와 비교해도 알 수 있는 바와 같이, 희토류산화물을 첨가한 경우 시험온도를 실시예1,2와 비교해서 200℃상승시키고 있음에도 불구하고 저항치변화율은 거의 차가 확인되지 않아 내열성이 향상하고 있는 것을 알 수 있다.

[실시예4]

이하, 본 발명의 제4실시예에 대해서 설명한다. 원료로서 AlO, CrO, FeO, CaCO및 ThO를 하기의 식(4)의 조성에 따라서 x, y, a, b가 표4에 표시한 조성이 되도록 소정량칭량배합해서 시료 №78∼88을 작성했다.

(AlCrFe)O+ a원자% ThO2 + b원자% CaO ··· ④

시료의 처리조건은 [실시예1]의 경우와 마찬가지로 하고, 더미스터소자의 샘플을 제작했다. 그릭 더미스터소자의 샘플을 제1도에 표시한 온도센서의 내열캡(4)내에 짜넣고, 300℃, 600℃, 900℃에 있어서의 저항치를 측정하고 그 측정치를 표4중에 R300, R600, R900의 수치로서 표시했다. 다음에 1100℃에서 1000시간의 밀폐내구시험을 행한 후, 300℃에 있어서의 저항치를 측정하고, 그 저항치변화율을 (실시예1)의 경우와 마찬가지로해서 산출하고 그것을 표4에 ΔR300의 수치로서 표시했다.

ThO, CaO는 더미스터소결체의 주성분과는 고용하지 않고 각각 단독으로 입자경계에 존재한다. 그리고, ThO는 환원분위기에 대해서 안정되기 때문에 희토류산화물을 사용한 경우와 비교하면 10분의 1의 첨가량이어도 희토류산화물의 첨가의 경우와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

그러나 표4의 시료 №82와같이 ThO의 첨가량이 10원자%를 넘으면, 급속하게 소결성이 나빠지고 소결체중에 다공질의 발생이 증가하고, 저항치의 경시변화율이 -20%를 넘어버린다. 또, 시료 №85와 같이, CaO를 첨하하지 않고 또한 ThO의 첨가량이 0.01원자%미만이 되면, 저하치의 경시변화율이 마찬가지로 -20%를 넘어버린다.

또 ThO를 첨가한 경우도 희토류산화물을 첨가한 경우와 마찬가지로 내열성을 200℃개선할 수 있다.

[실시예5]

이하, 본 발명의 제5실시예에 대해서 설명한다.

원료로서 AlO, CrO, FeO, CaCO및 ZrO를 하기의 식(5)의 조성에 따라서 x, y, a, b가 표5에 표시하는 조성이 되도록 각각 소정량칭량배합해서 시료 №89∼101을 작성했다.

(AlCrFe)O+ a원자% ZrO2 b원자% CaO ··· ⑤

시료의 처리공정조건은 (실시예1)의 경우와 마찬가지로 하고, 더미스터소자의 샘플을 제작했다. 그리고 그 더미스터소자의 샘플을 제1도에 표시한 온도센서의 내열캡(4)내에 짜넣고, 300℃, 600℃, 900℃에 있어서의 저항치를 측정하고, 그측정치를 표5속에 R300, R600, R900의 수치로서 표시했다. 다음에 1100℃에서 1000시간의 밀폐내구시험을 행한 후, 300℃에 있어서의 저항치를 측정하고, 그 저항치변화율을 (실시예1)의 경우와 마찬가지로 산출하고 표5에 ΔR300의 수치로서 표시했다.

ZrO, CaO는 모두 더미스터소결체의 주성분과는 고용하지 않고, 각각 단독으로 입자경계에 존재한다. 표5의 시료 №92, 96의 데이터로부터 명백한 바와 같이, ZrO의 첨가량이 30원자%를 넘으면 더미스터의 소결성이 악화하고, 저항치의 경시변화율이 -20%를 넘어버린다.

또, ZrO를 첨가한 경우도 ThO또는 희토류산화물을 첨가한 경우와 마찬가지로 내열성을 200℃개선할 수 있다.

또 식①에 표시한 더미스터소결체의 주성분의 조성이 일정할 때, ZrO2의 첨가량을 조절함으로써 저항치를 폭넓게 조절할 수 있다.

또한, 상기 실시예1∼5에 있어서 기술한 데이터로부터도 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 온도센서에 사용하는 더미스터재료는, 그것을 사용하는 환경의 변화에 강하고, 제2도에 표시한 형상뿐만 아니라, 디스크형이나 유리봉입용등 필요에 따라서 그 형상을 바꾸어도 온도센서로서 충분히 사용할 수 있다.

Claims (6)

1. 내열캡과 이 내열캡내에 설치된 더미스터소자와, 그 더미스터소자에 전기적으로 접속되는 동시에 내열캡밖으로 인출된 리드선을 구비하고, 상기 더미스터소자가 하기의 화학식 및 조성범위로 표시되는 바의 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 온도센서.

   (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃

   0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6
2. 제1항에 있어서, 더미스터소자를 구성하는 물질이 제1항에 기재한 화학식에 CaO가 하기의 화학식 및 조성범위에 따라서 부가된 것을 특징으로 하는 온도센서.

   (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃

   0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

   0.1 ≤ a ≤ 5

   (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100원자%로 한다.
3. 제1항에 있어서, 더미스터소자를 구성하는 물질이 제1항에 기재한 화학식에 회토류산화물 및 CaO가 하기의 화학식 및 조성범위에 따라서 부가된 것을 특징으로 하는 온도센서.

   (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a원자%희토류산화물 + b원자% CaO

   0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

   0.1 ≤ a ≤ 10, 0 ≤ b ≤ 5

   단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100원자%로 한다.
4. 제1항에 있어서, 더미스터소자를 구성하는 물질이 제1항에 기재한 화학식에 ThO2 및 CaO가 하기의 화학식 및 조성범위에 따라서 부가된 것을 특징으로 하는 온도센서.

   (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a원자% ThO2 + b원자% CaO

   0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

   0.1 ≤ a ≤ 10, 0 ≤ b ≤ 5

   단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100원자%로 한다.
5. 제1항에 있어서, 더미스터소자를 구성하는 물질이 제1항에 기재한 화학식에 ZrO₂및 CaO가 하기의 화학식 및 조성범위에 따라서 부가된 것을 특징으로 하는 온도센서.

   (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a원자% ZrO2 + b원자% CaO

   0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

   0.1 ≤ a ≤ 30, 0 ≤ b ≤ 5

   단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100원자%로 한다.
6. 하기의 A∼E에 표시되는 5그룹의 화학식 및 각 성분의 조성범위를 구비한 물질의 어느하나를 균질적으로 혼합한 후 성형해서 적극을 형성하고, 소성함으로써 얻어진 더미스터소자를 내열성캡내에 수납하고, 상기 전극에 접속한 리드선을 상기 내열캡밖으로 인출한 것을 특징으로하는 온도센서의 제조방법.

   A. (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃

   0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

   B. (Al1-x-yCrxFey)2O3 + a원자%CaO

   0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

   0.1 ≤ a ≤ 5

   단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100 원자%로 한다.

   C. (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a 원자% 희토류산화물 + b원자% CaO

   0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

   0.1 ≤ a ≤ 10, 0 ≤ b ≤ 5

   단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100원자%로 한다.

   D. (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a 원자% ThO2 + b원자% CaO

   0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

   0.1 ≤ a ≤ 10, 0 ≤ b ≤ 5

   단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100 원자%로한다.

   E. (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃+ a 원자% ZrO2 + b 원자% CaO

   0.05 ≤ x+y ≤ 0.95, 0.05 ≤ y / (x+y) ≤ 0.6

   0.1 ≤ a ≤ 30, 0 ≤ b ≤ 5

   단 (Al_1-x-yCr_xFe_y)₂O₃= 100 원자%로 한다.