JP2904002B2 - 温度センサ - Google Patents
温度センサInfo
- Publication number
- JP2904002B2 JP2904002B2 JP8958094A JP8958094A JP2904002B2 JP 2904002 B2 JP2904002 B2 JP 2904002B2 JP 8958094 A JP8958094 A JP 8958094A JP 8958094 A JP8958094 A JP 8958094A JP 2904002 B2 JP2904002 B2 JP 2904002B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermistor element
- temperature sensor
- formula
- oxide
- embedded image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高温領域で使用される
温度センサに関するものである。
温度センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、環境問題や燃費向上等の要求によ
り、排気ガス対策用触媒が用いられているが、その触媒
性能を充分に発揮させるためには、触媒の温度を正確に
測定する必要がある。そのためには、サーミスタ素子の
サーミスタ定数Ｂ（以下Ｂ定数）が大きい方が望まし
く、また抵抗値の経時変化率を小さく、具体的には±２
０％以内に抑えなければならない。
り、排気ガス対策用触媒が用いられているが、その触媒
性能を充分に発揮させるためには、触媒の温度を正確に
測定する必要がある。そのためには、サーミスタ素子の
サーミスタ定数Ｂ（以下Ｂ定数）が大きい方が望まし
く、また抵抗値の経時変化率を小さく、具体的には±２
０％以内に抑えなければならない。
【０００３】従来、７００℃を越える高温用の温度セン
サはサーミスタ素子を、Ｍｇ（Ａｌ、Ｃｒ、Ｆｅ）2Ｏ4
系に代表されるスピネル型サーミスタ材料や、Ａｌ2Ｏ3
−Ｃｒ2Ｏ3系、ＺｒＯ2−Ｙ2Ｏ3系の耐熱材料で形成し
ていた。
サはサーミスタ素子を、Ｍｇ（Ａｌ、Ｃｒ、Ｆｅ）2Ｏ4
系に代表されるスピネル型サーミスタ材料や、Ａｌ2Ｏ3
−Ｃｒ2Ｏ3系、ＺｒＯ2−Ｙ2Ｏ3系の耐熱材料で形成し
ていた。
【０００４】図２はサーミスタの一例を示す斜視図であ
る。これは、サーミスタ素子１に白金パイプ２ａ，２ｂ
を挿入して一体焼成したものである。このサーミスタ素
子１を図１に示すごとく、耐熱キャップ５内に密封し、
触媒温度検知用の温度センサを形成していた。なお、前
記白金パイプ２ａ，２ｂには二芯管３のリード線４ａ，
４ｂを溶接し、サーミスタ素子１からリード線を引き出
していた。
る。これは、サーミスタ素子１に白金パイプ２ａ，２ｂ
を挿入して一体焼成したものである。このサーミスタ素
子１を図１に示すごとく、耐熱キャップ５内に密封し、
触媒温度検知用の温度センサを形成していた。なお、前
記白金パイプ２ａ，２ｂには二芯管３のリード線４ａ，
４ｂを溶接し、サーミスタ素子１からリード線を引き出
していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の温度センサは、
サーミスタ素子１の８００−９００℃間のＢ定数が５０
００Ｋ程度と低く、高温部での温度測定には不利である
という問題点を有していた。
サーミスタ素子１の８００−９００℃間のＢ定数が５０
００Ｋ程度と低く、高温部での温度測定には不利である
という問題点を有していた。
【０００６】本発明は高温部でのＢ定数が大きい、サー
ミスタ素子を用いることにより、高温部で高い精度を有
する温度センサを提供することを目的とするものであ
る。
ミスタ素子を用いることにより、高温部で高い精度を有
する温度センサを提供することを目的とするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の温度センサは、サーミスタ素子を（化６）で
表される物質を用いて形成したものである。
に本発明の温度センサは、サーミスタ素子を（化６）で
表される物質を用いて形成したものである。
【０００８】
【化６】
【０００９】
【作用】この構成によると、（Ａｌ、Ｃｒ、Ｆｅ）2Ｏ3
コランダム型固溶体の電気伝導をつかさどる（Ａｌ、Ｃ
ｒ、Ｆｅ）2Ｏ3に、Ｍｎを添加することにより、Ｍｎに
よる電気伝導を導入し、高温部でのＢ定数を大きくする
ことができる。この結果として、高温部の温度測定が正
確にできる温度センサを提供することができるものとな
る。
コランダム型固溶体の電気伝導をつかさどる（Ａｌ、Ｃ
ｒ、Ｆｅ）2Ｏ3に、Ｍｎを添加することにより、Ｍｎに
よる電気伝導を導入し、高温部でのＢ定数を大きくする
ことができる。この結果として、高温部の温度測定が正
確にできる温度センサを提供することができるものとな
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例について図と表を示し
ながら説明する。図１は温度センサの断面図である。図
２はサーミスタ素子１の斜視図である。従来と同じであ
るので同一番号が付してある。
ながら説明する。図１は温度センサの断面図である。図
２はサーミスタ素子１の斜視図である。従来と同じであ
るので同一番号が付してある。
【００１１】以下、本発明の第１の実施例について説明
する。 （実施例１）まず、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、Ｍ
ｎ3Ｏ4を（化６）におけるｘ，ｙ，ａが（表１）に示す
組成になるように所定量秤量し、試料No.１〜１４を作
成した。
する。 （実施例１）まず、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、Ｍ
ｎ3Ｏ4を（化６）におけるｘ，ｙ，ａが（表１）に示す
組成になるように所定量秤量し、試料No.１〜１４を作
成した。
【００１２】
【表１】
【００１３】次に、試料No.１をボールミルにて１６時
間混合し、１２００℃で仮焼した後、再びボールミルで
１８時間粉砕した。次に、乾燥後５重量％のＰＶＡ（ポ
リビニルアルコール）水溶液を１０重量％添加して造粒
を行い、その後に図２に示す形状に成形し、白金パイプ
２ａ，２ｂを挿入した後、１６００℃で焼成し、サーミ
スタ素子１を作成した。試料No.２〜１４についても同
様に作成した。
間混合し、１２００℃で仮焼した後、再びボールミルで
１８時間粉砕した。次に、乾燥後５重量％のＰＶＡ（ポ
リビニルアルコール）水溶液を１０重量％添加して造粒
を行い、その後に図２に示す形状に成形し、白金パイプ
２ａ，２ｂを挿入した後、１６００℃で焼成し、サーミ
スタ素子１を作成した。試料No.２〜１４についても同
様に作成した。
【００１４】このようにして得られたサーミスタ素子１
を従来と同様に、図１に示す触媒温度検知用センサ中に
組み込んだ。なお、耐熱キャップ５、二芯管３は耐熱材
料であるＳＵＳ３１０Ｓで形成されている。そして、８
００℃，９００℃における抵抗値Ｒ８００，Ｒ９００を
測定し、８００−９００℃間のＢ定数を（数１）により
算出し、（表１）にＲ８００，Ｒ９００，Ｂ定数を示し
た。
を従来と同様に、図１に示す触媒温度検知用センサ中に
組み込んだ。なお、耐熱キャップ５、二芯管３は耐熱材
料であるＳＵＳ３１０Ｓで形成されている。そして、８
００℃，９００℃における抵抗値Ｒ８００，Ｒ９００を
測定し、８００−９００℃間のＢ定数を（数１）により
算出し、（表１）にＲ８００，Ｒ９００，Ｂ定数を示し
た。
【００１５】
【数１】
【００１６】表１の試料No.７，８のように本発明の請
求の範囲外のものは、高温部でのＢ定数が低い。しかし
本発明の実施例に示すように、（Ａｌ，Ｃｒ，Ｆｅ）2
Ｏ3にＭｎを添加して、Ｍｎによる電気伝導を導入する
ことにより高温部でのＢ定数を増大させることが可能に
なる。
求の範囲外のものは、高温部でのＢ定数が低い。しかし
本発明の実施例に示すように、（Ａｌ，Ｃｒ，Ｆｅ）2
Ｏ3にＭｎを添加して、Ｍｎによる電気伝導を導入する
ことにより高温部でのＢ定数を増大させることが可能に
なる。
【００１７】（実施例２）まず、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、
Ｆｅ2Ｏ3、Ｍｎ3Ｏ4およびＣａＣＯ3を（化７）におけ
るｘ，ｙ，ａ，ｂが（表２）に示す組成になるように、
それぞれ所定量秤量し、試料No.１５〜２６を作成し
た。
Ｆｅ2Ｏ3、Ｍｎ3Ｏ4およびＣａＣＯ3を（化７）におけ
るｘ，ｙ，ａ，ｂが（表２）に示す組成になるように、
それぞれ所定量秤量し、試料No.１５〜２６を作成し
た。
【００１８】
【化７】
【００１９】
【表２】
【００２０】次に、（実施例１）と同様にして、サーミ
スタ素子１を得た。それを図１に示す温度センサの耐熱
キャップ５内に密閉し、８００℃，９００℃における抵
抗値Ｒ８００，Ｒ９００を測定し、８００−９００℃間
のＢ定数を（数１）により求め（表２）にＲ８００，Ｒ
９００，Ｂ定数を示した。次に９００℃、１０００時間
の耐久試験を行った後、８００℃における抵抗値を測定
し、変化率を（数２）により求め（表２）にΔＲ８００
で示した。
スタ素子１を得た。それを図１に示す温度センサの耐熱
キャップ５内に密閉し、８００℃，９００℃における抵
抗値Ｒ８００，Ｒ９００を測定し、８００−９００℃間
のＢ定数を（数１）により求め（表２）にＲ８００，Ｒ
９００，Ｂ定数を示した。次に９００℃、１０００時間
の耐久試験を行った後、８００℃における抵抗値を測定
し、変化率を（数２）により求め（表２）にΔＲ８００
で示した。
【００２１】
【数２】
【００２２】本実施例においては、Ｃａを添加して、緻
密化をはかり、還元性ガスがサーミスタ素子１の酸素を
奪うことを防いでいる。なおＣａＯは主成分（化６）と
固溶せず粒界に析出する。
密化をはかり、還元性ガスがサーミスタ素子１の酸素を
奪うことを防いでいる。なおＣａＯは主成分（化６）と
固溶せず粒界に析出する。
【００２３】（表２）の試料No.１９のようにＣａＯ添
加量が５原子％を越えると、焼成中にＣａＯが飛散して
サーミスタ素子１はポーラスになる。そのため酸素を奪
われやすくなり、抵抗値の経時変化が±２０％を越えて
しまう。また試料No.１５のようにＣａＯ添加量が０．
１原子％未満になると緻密化がはかれない。その結果抵
抗値の経時変化率を±２０％以内に抑えることができな
い。
加量が５原子％を越えると、焼成中にＣａＯが飛散して
サーミスタ素子１はポーラスになる。そのため酸素を奪
われやすくなり、抵抗値の経時変化が±２０％を越えて
しまう。また試料No.１５のようにＣａＯ添加量が０．
１原子％未満になると緻密化がはかれない。その結果抵
抗値の経時変化率を±２０％以内に抑えることができな
い。
【００２４】（実施例３）まず、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、
Ｆｅ2Ｏ3、Ｍｎ3Ｏ4、ＣａＣＯ3および希土類酸化物
（Ｙ2Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3、ＣｅＯ2、Ｐｒ6Ｏ11、Ｎｄ2Ｏ3、
Ｓｍ2Ｏ3、Ｅｕ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、Ｔｂ4Ｏ7、Ｄｙ2Ｏ3、
Ｈｏ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3、Ｔｍ2Ｏ3、Ｙｂ2Ｏ3、Ｌｕ2Ｏ3）
を（化８）におけるｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃが（表３）に示
す組成になるように、それぞれ所定量秤量し、試料No.
２７〜６０を作成した。
Ｆｅ2Ｏ3、Ｍｎ3Ｏ4、ＣａＣＯ3および希土類酸化物
（Ｙ2Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3、ＣｅＯ2、Ｐｒ6Ｏ11、Ｎｄ2Ｏ3、
Ｓｍ2Ｏ3、Ｅｕ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、Ｔｂ4Ｏ7、Ｄｙ2Ｏ3、
Ｈｏ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3、Ｔｍ2Ｏ3、Ｙｂ2Ｏ3、Ｌｕ2Ｏ3）
を（化８）におけるｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃが（表３）に示
す組成になるように、それぞれ所定量秤量し、試料No.
２７〜６０を作成した。
【００２５】
【化８】
【００２６】
【表３】
【００２７】次に、（実施例１）と同様にして、サーミ
スタを得た。それを図１に示す温度センサの耐熱キャッ
プ５内に密閉し、８００℃，９００℃における抵抗値Ｒ
８００，Ｒ９００を測定し、８００−９００℃間のＢ定
数を（数１）により求め（表３）にＲ８００，Ｒ９０
０，Ｂ定数を示した。次に１０００℃、１５０時間の耐
久試験を行った後、８００℃における抵抗値を測定し、
変化率を（数２）により求め（表３）にΔＲ８００で示
した。
スタを得た。それを図１に示す温度センサの耐熱キャッ
プ５内に密閉し、８００℃，９００℃における抵抗値Ｒ
８００，Ｒ９００を測定し、８００−９００℃間のＢ定
数を（数１）により求め（表３）にＲ８００，Ｒ９０
０，Ｂ定数を示した。次に１０００℃、１５０時間の耐
久試験を行った後、８００℃における抵抗値を測定し、
変化率を（数２）により求め（表３）にΔＲ８００で示
した。
【００２８】本実施例において、（表３）に示すよう
に、ＣａＯと希土類酸化物を同時に添加することによ
り、さらにサーミスタの耐熱性が向上し、耐熱キャップ
５の中に密閉した状態でも、１０００℃、１５０時間抵
抗値変化率は±２０％以下であり抵抗値変化率の小さな
サーミスタ素子１を得ることができる。
に、ＣａＯと希土類酸化物を同時に添加することによ
り、さらにサーミスタの耐熱性が向上し、耐熱キャップ
５の中に密閉した状態でも、１０００℃、１５０時間抵
抗値変化率は±２０％以下であり抵抗値変化率の小さな
サーミスタ素子１を得ることができる。
【００２９】本実施例においては、ＣａＯを添加して緻
密化をはかり、還元性ガスがサーミスタ素子１の酸素を
奪うのを防いでいる。また希土類酸化物は（ＲＥ）Ｃｒ
Ｏ3として粒界に析出し、還元性ガスのサーミスタ素子
１内部への拡散を抑制して抵抗値の変化を抑えることが
可能になる。ここでＲＥは希土類元素を表している。
密化をはかり、還元性ガスがサーミスタ素子１の酸素を
奪うのを防いでいる。また希土類酸化物は（ＲＥ）Ｃｒ
Ｏ3として粒界に析出し、還元性ガスのサーミスタ素子
１内部への拡散を抑制して抵抗値の変化を抑えることが
可能になる。ここでＲＥは希土類元素を表している。
【００３０】（表３）の試料No.４２のように、ＣａＯ
の添加量が５原子％を超えると、焼成中にＣａが飛散し
てサーミスタ素子１はポーラスになる。そのため周囲の
雰囲気の影響を受けやすくなり抵抗値変化率が±２０％
を越えてしまう。また試料No.３０のように希土類酸化
物の添加量も１０原子％を超えると主成分（化６）から
Ｃｒが大量に失われペロブスカイト構造（ＲＥ）ＣｒＯ
3の偏析の量が増加し、半導体特性のバランスが崩れ抵
抗値の経時変化率が±２０％を越えてしまう。また、試
料No.２７，４６のようにＣａＯ、希土類酸化物ともに
添加量０．１原子％未満になると緻密化をはかれない。
その結果、抵抗値の経時変化率を±２０％以内に抑える
事ができない。
の添加量が５原子％を超えると、焼成中にＣａが飛散し
てサーミスタ素子１はポーラスになる。そのため周囲の
雰囲気の影響を受けやすくなり抵抗値変化率が±２０％
を越えてしまう。また試料No.３０のように希土類酸化
物の添加量も１０原子％を超えると主成分（化６）から
Ｃｒが大量に失われペロブスカイト構造（ＲＥ）ＣｒＯ
3の偏析の量が増加し、半導体特性のバランスが崩れ抵
抗値の経時変化率が±２０％を越えてしまう。また、試
料No.２７，４６のようにＣａＯ、希土類酸化物ともに
添加量０．１原子％未満になると緻密化をはかれない。
その結果、抵抗値の経時変化率を±２０％以内に抑える
事ができない。
【００３１】（実施例４）まず、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、
Ｆｅ2Ｏ3、Ｍｎ3Ｏ4、ＣａＣＯ3およびＴｈＯ2を（化
９）におけるｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃが（表４）に示す組成
になるように、それぞれ所定量秤量し、試料No.６１〜
７０を作成した。
Ｆｅ2Ｏ3、Ｍｎ3Ｏ4、ＣａＣＯ3およびＴｈＯ2を（化
９）におけるｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃが（表４）に示す組成
になるように、それぞれ所定量秤量し、試料No.６１〜
７０を作成した。
【００３２】
【化９】
【００３３】
【表４】
【００３４】次に、（実施例１）と同様にして、サーミ
スタを得た。それを図１に示す温度センサの耐熱キャッ
プ５内に密閉し、８００℃，９００℃における抵抗値Ｒ
８００，Ｒ９００を測定し、８００−９００℃間のＢ定
数を（数１）により求め（表４）にＲ８００，Ｒ９０
０，Ｂ定数を示した。次に１０００℃、１５０時間の耐
久試験を行った後、８００℃における抵抗値を測定し、
変化率を（数２）により求め（表４）にΔＲ８００で示
した。（表４）を見ると明らかなように実施例３と同様
の効果がある。
スタを得た。それを図１に示す温度センサの耐熱キャッ
プ５内に密閉し、８００℃，９００℃における抵抗値Ｒ
８００，Ｒ９００を測定し、８００−９００℃間のＢ定
数を（数１）により求め（表４）にＲ８００，Ｒ９０
０，Ｂ定数を示した。次に１０００℃、１５０時間の耐
久試験を行った後、８００℃における抵抗値を測定し、
変化率を（数２）により求め（表４）にΔＲ８００で示
した。（表４）を見ると明らかなように実施例３と同様
の効果がある。
【００３５】なお、ＣａＯ、ＴｈＯ2は主成分（化６）
と固溶せず、単独で粒界に析出する。また、ＴｈＯ2は
還元雰囲気に安定であるため、希土類酸化物と比較する
と１０分の１の添加量でも同様の効果が得られる。しか
し、試料No.６７のようにＴｈＯ2が全く添加されていな
いと効果がみられず、試料No.７０のように添加量が１
０原子％を越えると急速に焼結性が悪くなり、抵抗値の
経時変化率は±２０％以内に抑えられない。
と固溶せず、単独で粒界に析出する。また、ＴｈＯ2は
還元雰囲気に安定であるため、希土類酸化物と比較する
と１０分の１の添加量でも同様の効果が得られる。しか
し、試料No.６７のようにＴｈＯ2が全く添加されていな
いと効果がみられず、試料No.７０のように添加量が１
０原子％を越えると急速に焼結性が悪くなり、抵抗値の
経時変化率は±２０％以内に抑えられない。
【００３６】（実施例５）まず、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、
Ｆｅ2Ｏ3、Ｍｎ3Ｏ4、ＣａＣＯ3およびＺｒＯ2を（化１
０）におけるｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃが（表５）に示す組成
になるように、それぞれ所定量秤量し、試料No.７１〜
８３を作成した。
Ｆｅ2Ｏ3、Ｍｎ3Ｏ4、ＣａＣＯ3およびＺｒＯ2を（化１
０）におけるｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃが（表５）に示す組成
になるように、それぞれ所定量秤量し、試料No.７１〜
８３を作成した。
【００３７】
【化１０】
【００３８】
【表５】
【００３９】次に、（実施例１）と同様にして、サーミ
スタ素子１を得た。それを図１に示す温度センサの耐熱
キャップ５内に密閉し、８００℃，９００℃における抵
抗値Ｒ８００，Ｒ９００を測定し、８００−９００℃間
のＢ定数を（数１）により求め（表５）にＲ８００，Ｒ
９００，Ｂ定数を示した。次に１０００℃、１５０時間
の耐久試験を行った後、８００℃における抵抗値を測定
し、変化率を（数２）により求め（表５）にΔＲ８００
で示した。（表５）を見ると明らかなように実施例３，
４と同様の効果がある。
スタ素子１を得た。それを図１に示す温度センサの耐熱
キャップ５内に密閉し、８００℃，９００℃における抵
抗値Ｒ８００，Ｒ９００を測定し、８００−９００℃間
のＢ定数を（数１）により求め（表５）にＲ８００，Ｒ
９００，Ｂ定数を示した。次に１０００℃、１５０時間
の耐久試験を行った後、８００℃における抵抗値を測定
し、変化率を（数２）により求め（表５）にΔＲ８００
で示した。（表５）を見ると明らかなように実施例３，
４と同様の効果がある。
【００４０】しかし、試料No.８３のようにＺｒＯ2添加
量が３０原子％を越えると、焼結性が悪化し抵抗値の経
時変化率を±２０％以内に抑えることができない。また
試料No.７７のようにＺｒＯ2の添加量が０．１原子％未
満であると何の効果も見られない。
量が３０原子％を越えると、焼結性が悪化し抵抗値の経
時変化率を±２０％以内に抑えることができない。また
試料No.７７のようにＺｒＯ2の添加量が０．１原子％未
満であると何の効果も見られない。
【００４１】さらに、主成分（化６）の組成が一定であ
るならば、ＺｒＯ2の添加量を調整することにより幅広
く抵抗値をコントロールできる。
るならば、ＺｒＯ2の添加量を調整することにより幅広
く抵抗値をコントロールできる。
【００４２】以上、上記実施例１〜５からもわかるよう
に本発明の温度センサは、環境変化に強いものである。
また、サーミスタ素子１をディスク形状にしたり、厚
膜、薄膜あるいはガラス封入する等形状を変えても温度
センサとして充分使用可能である。さらに、本実施例で
は、電極として白金パイプ２ａ，２ｂを使用したが、白
金線、その他の金属線を用いたり、サーミスタ素子１を
作成した後に電極を印刷焼き付け、スパッタリングその
他の方法で付与したとしても、その効果に変わりはな
い。
に本発明の温度センサは、環境変化に強いものである。
また、サーミスタ素子１をディスク形状にしたり、厚
膜、薄膜あるいはガラス封入する等形状を変えても温度
センサとして充分使用可能である。さらに、本実施例で
は、電極として白金パイプ２ａ，２ｂを使用したが、白
金線、その他の金属線を用いたり、サーミスタ素子１を
作成した後に電極を印刷焼き付け、スパッタリングその
他の方法で付与したとしても、その効果に変わりはな
い。
【００４３】また上記実施例１〜５では、サーミスタ素
子１の出発原料としておもに酸化物を用いているが、そ
の他の化合物例えば、炭酸塩、蓚酸塩等を用いたとして
も、その効果に変わりはない。
子１の出発原料としておもに酸化物を用いているが、そ
の他の化合物例えば、炭酸塩、蓚酸塩等を用いたとして
も、その効果に変わりはない。
【００４４】上記実施例１〜５では、化合物合成方法と
して典型的に固相反応法を用いているが、共沈法、ゾル
ゲル法、ＣＶＤ、ＰＶＤなどの各種合成法も用いたとし
てもその効果に変わりはない。
して典型的に固相反応法を用いているが、共沈法、ゾル
ゲル法、ＣＶＤ、ＰＶＤなどの各種合成法も用いたとし
てもその効果に変わりはない。
【００４５】
【発明の効果】以上のように本発明の温度センサは、サ
ーミスタ素子を（化６）で表されるコランダム型構造の
酸化物を用いて形成し、Ｍｎによる電気伝導を導入する
ことにより高温部でのＢ定数を増大させることができ
る。また、ＣａＯと希土類酸化物、酸化トリウム、酸化
ジルコニウムを添加することにより緻密化をはかること
ができる。
ーミスタ素子を（化６）で表されるコランダム型構造の
酸化物を用いて形成し、Ｍｎによる電気伝導を導入する
ことにより高温部でのＢ定数を増大させることができ
る。また、ＣａＯと希土類酸化物、酸化トリウム、酸化
ジルコニウムを添加することにより緻密化をはかること
ができる。
【００４６】その上、希土類酸化物、酸化トリウム、酸
化ジルコニウムを粒界に析出させて、還元性の吸着ガス
の酸化物半導体中への拡散を抑制し、サーミスタ素子の
酸素を還元する反応が起きるのを阻止している。その結
果、抵抗値の経時変化率を低く抑えることができる。
化ジルコニウムを粒界に析出させて、還元性の吸着ガス
の酸化物半導体中への拡散を抑制し、サーミスタ素子の
酸素を還元する反応が起きるのを阻止している。その結
果、抵抗値の経時変化率を低く抑えることができる。
【００４７】また、本発明におけるサーミスタ素子は耐
熱性にも非常に優れている。その結果高温領域で高い精
度を有する温度センサを得ることができる。
熱性にも非常に優れている。その結果高温領域で高い精
度を有する温度センサを得ることができる。
【図１】本発明の一実施例ならびに従来例を示す温度セ
ンサの断面図
ンサの断面図
【図２】本発明の一実施例ならびに従来例を示すサーミ
スタ用素子の斜視図
スタ用素子の斜視図
【符号の説明】 １ サーミスタ素子 ２ａ 白金パイプ ２ｂ 白金パイプ ３ 二芯管 ４ａ リード線 ４ｂ リード線 ５ 耐熱キャップ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−95093（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−12780（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01C 7/02 - 7/22
Claims (5)
- 【請求項１】 金属製の耐熱キャップと、この耐熱キャ
ップ内に収納したサーミスタ素子と、このサーミスタ素
子に電気的に接続するとともに、前記耐熱キャップ外に
引き出したリード線とを備え、前記サーミスタ素子を
（化１）で表される酸化物を用いて形成した温度セン
サ。 【化１】 - 【請求項２】 （化１）の酸化物に代えて（化２）で表
される物質を用いてサーミスタ素子を形成した請求項１
記載の温度センサ。 【化２】 - 【請求項３】 （化１）の酸化物に代えて（化３）で表
される物質を用いてサーミスタ素子を形成した請求項１
記載の温度センサ。 【化３】 - 【請求項４】 （化１）の酸化物に代えて（化４）で表
される物質を用いてサーミスタ素子を形成した請求項１
記載の温度センサ。 【化４】 - 【請求項５】 （化１）の酸化物に代えて（化５）で表
される物質を用いてサーミスタ素子を形成した請求項１
記載の温度センサ。 【化５】
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8958094A JP2904002B2 (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 温度センサ |
| EP95106166A EP0680053B1 (en) | 1994-04-27 | 1995-04-25 | A temperature sensor |
| US08/428,577 US5644284A (en) | 1994-04-27 | 1995-04-25 | Temperature sensor |
| DE69500411T DE69500411T2 (de) | 1994-04-27 | 1995-04-25 | Temperatursensor |
| KR1019950010076A KR100238575B1 (ko) | 1994-04-27 | 1995-04-27 | 온도센서 |
| US08/636,017 US5694107A (en) | 1994-04-27 | 1996-04-22 | Temperature sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8958094A JP2904002B2 (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 温度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07297010A JPH07297010A (ja) | 1995-11-10 |
| JP2904002B2 true JP2904002B2 (ja) | 1999-06-14 |
Family
ID=13974738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8958094A Expired - Fee Related JP2904002B2 (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 温度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2904002B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008294326A (ja) * | 2007-05-28 | 2008-12-04 | Tateyama Kagaku Kogyo Kk | 厚膜サーミスタ組成物とその製造方法並びに厚膜サーミスタ素子 |
-
1994
- 1994-04-27 JP JP8958094A patent/JP2904002B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07297010A (ja) | 1995-11-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100238575B1 (ko) | 온도센서 | |
| EP0703438B1 (en) | A temperature sensor and its manufacturing method | |
| EP0207994B1 (en) | Oxide semiconductor for thermistor and a method of producing the same | |
| JPH0799102A (ja) | サーミスタ用磁器組成物およびサーミスタ素子 | |
| JP3254595B2 (ja) | サーミスタ用磁器組成物 | |
| EP0002375B1 (en) | Oxygen sensor for use in engine fuel control systems | |
| JP2904002B2 (ja) | 温度センサ | |
| JP2985561B2 (ja) | 温度センサ | |
| JP2008306086A (ja) | サーミスタ素子及びサーミスタ素子の製造方法 | |
| JPH06325907A (ja) | サーミスタ用磁器組成物 | |
| JP2904007B2 (ja) | 温度センサ | |
| JP2985589B2 (ja) | 温度センサ | |
| JP2985562B2 (ja) | 温度センサ | |
| JP3362644B2 (ja) | サーミスタ素子とその製造方法及びそのサーミスタ素子を用いた温度センサ | |
| JP2970190B2 (ja) | サーミスタ用酸化物半導体 | |
| JPH08506906A (ja) | 電流回路の電気的分離のための絶縁層系 | |
| JP3393261B2 (ja) | サーミスタ用磁器組成物 | |
| JP3121967B2 (ja) | セラミック製発熱素子 | |
| KR0140493B1 (ko) | 온도센서와 그 제조방법 | |
| JP2549633B2 (ja) | 高温サ−ミスタ | |
| JPS6161684B2 (ja) | ||
| JPS61113211A (ja) | サ−ミスタ用酸化物半導体 | |
| JPS5815069A (ja) | 発熱体用セラミツク組成物 | |
| JPS62108505A (ja) | サ−ミスタ用酸化物半導体 | |
| JPS61113206A (ja) | サ−ミスタ用酸化物半導体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |